JPH0324745A - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
- Publication number
- JPH0324745A JPH0324745A JP1162325A JP16232589A JPH0324745A JP H0324745 A JPH0324745 A JP H0324745A JP 1162325 A JP1162325 A JP 1162325A JP 16232589 A JP16232589 A JP 16232589A JP H0324745 A JPH0324745 A JP H0324745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- relay
- common power
- power supply
- dut
- supply line
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 10
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000004397 blinking Effects 0.000 description 1
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はクエハーテストのブロープカードに関するも
のである。
のである。
第２図は従来のブローブカードの共通電源の電源ライン
を示す回路図であり、図において、（４）は各ＤＵＴの
切離しのためのリレーを示す。
を示す回路図であり、図において、（４）は各ＤＵＴの
切離しのためのリレーを示す。
次に動作について説明する。ウェハテストの多数個同時
測定において共通電源を使用する場合、各ＤＵＴにリレ
ー（４）を設けて不良ＤＵＴが存在した時、そのＤＵＴ
を切離して他のＤＵＴに影響を与えないようにしていた
。
測定において共通電源を使用する場合、各ＤＵＴにリレ
ー（４）を設けて不良ＤＵＴが存在した時、そのＤＵＴ
を切離して他のＤＵＴに影響を与えないようにしていた
。
従来のブローブカードは以上の様に構或されていたので
、不良ＤＵＴが確実に共通電源から切り離されているか
を確認する事ができないという問題点があった。
、不良ＤＵＴが確実に共通電源から切り離されているか
を確認する事ができないという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、不良ＤＵＴがテストストップ後、共通電源ラ
インから確実に切離されているかを確認できるブローブ
カードを得ることを目的とする。
たもので、不良ＤＵＴがテストストップ後、共通電源ラ
インから確実に切離されているかを確認できるブローブ
カードを得ることを目的とする。
この発明に係るブローブカードは、各ＤＵＴの共通電源
ラインの切離しリレーにＬＥＤを接続したものである。
ラインの切離しリレーにＬＥＤを接続したものである。
この発明にかけるブロープカードは、リレーに接続され
たＬＩｕＤの点滅によって、不良ＤＵＴが共通電源ライ
ンから確実に切離された事を確認できる。
たＬＩｕＤの点滅によって、不良ＤＵＴが共通電源ライ
ンから確実に切離された事を確認できる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）はＴ− Ｅ Ｄｓ （２）はＬ Ｅ
Ｄ （１）を点燈させる為のリレーの連動接点、（８
）は直流電源、（４）はＤＵＴの切離しのためのリレー
である。
図において、（１）はＴ− Ｅ Ｄｓ （２）はＬ Ｅ
Ｄ （１）を点燈させる為のリレーの連動接点、（８
）は直流電源、（４）はＤＵＴの切離しのためのリレー
である。
次に動作について説明する。テスト開始と共に共通電源
のリレー（４）はＯＮされ、これと同時に連動接点（２
）がＯＮになり，ＬＥＤ（１）が点燈する。テスト中に
不良ＤＵＴが発生した場合、そのＤＵＴのテストはスト
ップし、共通電源のリレー（４）は切換えられるが、こ
れと同時に連動接点（２）がＯＦＦになり、Ｌ Ｆ Ｄ
（１）が消燈する。
のリレー（４）はＯＮされ、これと同時に連動接点（２
）がＯＮになり，ＬＥＤ（１）が点燈する。テスト中に
不良ＤＵＴが発生した場合、そのＤＵＴのテストはスト
ップし、共通電源のリレー（４）は切換えられるが、こ
れと同時に連動接点（２）がＯＦＦになり、Ｌ Ｆ Ｄ
（１）が消燈する。
なお、上記実施例では共通電源の場合について説明した
が、各ＤＵＴが共通に使われているＧＮＤの場合でもよ
く、上記実施例と同様の効果を奏する。
が、各ＤＵＴが共通に使われているＧＮＤの場合でもよ
く、上記実施例と同様の効果を奏する。
〔発明の効果〕
以上のようにこの発明によれば、ブローブカードの各Ｄ
ＵＴの共通電源ラインの切離しリレーの連動接点にＬＥ
Ｄを接続する事によｂ１ リレーが正常に動作している
かどうかを確認する事ができよυ精度の高いテストがで
きるという効果がある。
ＵＴの共通電源ラインの切離しリレーの連動接点にＬＥ
Ｄを接続する事によｂ１ リレーが正常に動作している
かどうかを確認する事ができよυ精度の高いテストがで
きるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるブローブヵードの共
通電源ラインを示す回路図、第２図は従来のプローブカ
ードの共通電源ラインを示す回路図である。 図において、（１｝はＬＥＤ，（２）はリレーの連動接
点、（８）は直流電源、（４）はリレーを示す。 なお、図中、同一符号は同一 または相当部分を示す。
通電源ラインを示す回路図、第２図は従来のプローブカ
ードの共通電源ラインを示す回路図である。 図において、（１｝はＬＥＤ，（２）はリレーの連動接
点、（８）は直流電源、（４）はリレーを示す。 なお、図中、同一符号は同一 または相当部分を示す。
Claims (1)
- ウェハテストの多数個同時測定において、各ＤＵＴの共
通電源のリレーにＬＥＤを設けてリレーのＯＮ、ＯＦＦ
を確認できるようにした事を特徴とするプローブカード
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1162325A JPH0324745A (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1162325A JPH0324745A (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 | プローブカード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0324745A true JPH0324745A (ja) | 1991-02-01 |
Family
ID=15752392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1162325A Pending JPH0324745A (ja) | 1989-06-22 | 1989-06-22 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0324745A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110967570A (zh) * | 2018-09-30 | 2020-04-07 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种探针卡、自动光学检测装置及方法 |
-
1989
- 1989-06-22 JP JP1162325A patent/JPH0324745A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110967570A (zh) * | 2018-09-30 | 2020-04-07 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种探针卡、自动光学检测装置及方法 |
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