JP2613949B2 - 半導体用プロービング装置 - Google Patents
半導体用プロービング装置Info
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- JP2613949B2 JP2613949B2 JP2352590A JP2352590A JP2613949B2 JP 2613949 B2 JP2613949 B2 JP 2613949B2 JP 2352590 A JP2352590 A JP 2352590A JP 2352590 A JP2352590 A JP 2352590A JP 2613949 B2 JP2613949 B2 JP 2613949B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体を製造する際のペレット試験（以下P/
Wチェックという）時において、ペレットとテスターの
接続を行なうプロービング装置に関し、特にプローブカ
ード上の探針の高さ確認（以下コンタクトポイントチェ
ックという）を自動的に行なう機能を有するプロービン
グ装置に関する。
Wチェックという）時において、ペレットとテスターの
接続を行なうプロービング装置に関し、特にプローブカ
ード上の探針の高さ確認（以下コンタクトポイントチェ
ックという）を自動的に行なう機能を有するプロービン
グ装置に関する。
従来この種のプロービング装置はP/Wチェックの回数
が増えると探針の高さにばらつきが発生するが、このま
までは探針の良否の判定ができないため、従来は作業者
がプローブカードの使用回数を確認し、規定回数になっ
た所で、P/Wチェックをストップし、それからプローブ
カードを取り外して探針のコンタクト順にランプがつく
試験装置にセットし、コンタクトポイントチェックを行
ない、プローブカードの良否を判定していた。
が増えると探針の高さにばらつきが発生するが、このま
までは探針の良否の判定ができないため、従来は作業者
がプローブカードの使用回数を確認し、規定回数になっ
た所で、P/Wチェックをストップし、それからプローブ
カードを取り外して探針のコンタクト順にランプがつく
試験装置にセットし、コンタクトポイントチェックを行
ない、プローブカードの良否を判定していた。
上述した従来のプロービング装置では作業者がプロー
ブカードを取り外してコンタクトポイントチェックが出
来る試験装置の所まで持っていく労力と時間を必要とす
る欠点がある。又、コンタクトポイントチェックを行な
う為に、作業者がプローブカードの使用回数を常に確認
しなければならないという欠点もある。
ブカードを取り外してコンタクトポイントチェックが出
来る試験装置の所まで持っていく労力と時間を必要とす
る欠点がある。又、コンタクトポイントチェックを行な
う為に、作業者がプローブカードの使用回数を常に確認
しなければならないという欠点もある。
上述した従来のプロービング装置に対し、本発明では
プローブカードの自動交換装置と、コンタクトポイント
チェックの制御装置を有する事により、自動的にプロー
ブカードのコンタクトポイントチェックを行ない、プロ
ーブカードの良否の判定を行なうという相違点を有して
いる。
プローブカードの自動交換装置と、コンタクトポイント
チェックの制御装置を有する事により、自動的にプロー
ブカードのコンタクトポイントチェックを行ない、プロ
ーブカードの良否の判定を行なうという相違点を有して
いる。
本発明の構成は、ウェーハ内に形成されたペレットに
プローブカードを接触させてペレット試験を行なうと共
に、前記プローブカードの探針の高さを確認するコンタ
クトポイントチェックを行なう半導体プロービング装置
において、前記プローブカードを前記ペレット試験を行
なう第１のソケットの位置から取り外す第１のカード取
外し手段と、この取り外したプローブカードを前記コン
タクトポイントチェックの位置へ移送し第２のソケット
に装着するプローブカード交換用ステージと、この装着
されたプローブカードの探針に接触するコンタクトポイ
ントチェック用ステージと、このコンタクトポイントチ
ェック用ステージと前記探針との接触を電気的導通によ
り確認し前記プローブカードの良否判定を行なうコンタ
クトポイントチェック制御装置と、探針押下げピンによ
り前記探針の高さ調整すると共に前記プローブカードを
前記第２のソケットの位置から取り外す第２のカード取
外し手段とを有することを特徴とする。
プローブカードを接触させてペレット試験を行なうと共
に、前記プローブカードの探針の高さを確認するコンタ
クトポイントチェックを行なう半導体プロービング装置
において、前記プローブカードを前記ペレット試験を行
なう第１のソケットの位置から取り外す第１のカード取
外し手段と、この取り外したプローブカードを前記コン
タクトポイントチェックの位置へ移送し第２のソケット
に装着するプローブカード交換用ステージと、この装着
されたプローブカードの探針に接触するコンタクトポイ
ントチェック用ステージと、このコンタクトポイントチ
ェック用ステージと前記探針との接触を電気的導通によ
り確認し前記プローブカードの良否判定を行なうコンタ
クトポイントチェック制御装置と、探針押下げピンによ
り前記探針の高さ調整すると共に前記プローブカードを
前記第２のソケットの位置から取り外す第２のカード取
外し手段とを有することを特徴とする。
次に本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の基本構成の一部を示す断面図である。カード
交換用ステージ４はプローブカード１を乗せて、Ｘ方
向、Ｚ方向に動くようになっている。カード抜き筒6,7
はＺ方向に動くようになっており、プローブカード１を
押し上げて抜く事が出来る。コンタクトポイントチェッ
ク制御装置３は、コンタクトポイントチェック用ステー
ジ５がＺ方向に動いてプローブカード１上の探針とこの
ステージ５との間で電気的導通を確認する事により、探
針の高さのばらつきをチェックする事が出来る。このチ
ェックは探針との接触順にランプがつくことにより確認
出来る。
は本発明の基本構成の一部を示す断面図である。カード
交換用ステージ４はプローブカード１を乗せて、Ｘ方
向、Ｚ方向に動くようになっている。カード抜き筒6,7
はＺ方向に動くようになっており、プローブカード１を
押し上げて抜く事が出来る。コンタクトポイントチェッ
ク制御装置３は、コンタクトポイントチェック用ステー
ジ５がＺ方向に動いてプローブカード１上の探針とこの
ステージ５との間で電気的導通を確認する事により、探
針の高さのばらつきをチェックする事が出来る。このチ
ェックは探針との接触順にランプがつくことにより確認
出来る。
次に動作手順を第３図のフローチャートと共に説明す
る。始めにコンタクトポイントチェック制御装置３にコ
ンタクトポイントチェックを必要とする任意の数を設定
し、P/W用ソケット９にプローブカード１をセットし、P
/Wチェックを行なう。P/Wチェックの回数が最初に設計
した任意の数に達したらP/Wのチェックを中断し、カー
ド交換用ステージ４がP/W用ソケット９の下に移動し、
カード抜き筒６によりプローブカード１をカード交換用
ステージの上へセットする。
る。始めにコンタクトポイントチェック制御装置３にコ
ンタクトポイントチェックを必要とする任意の数を設定
し、P/W用ソケット９にプローブカード１をセットし、P
/Wチェックを行なう。P/Wチェックの回数が最初に設計
した任意の数に達したらP/Wのチェックを中断し、カー
ド交換用ステージ４がP/W用ソケット９の下に移動し、
カード抜き筒６によりプローブカード１をカード交換用
ステージの上へセットする。
次に、カード交換用ステージ４は、コンタクトポイン
トチェック用ソケット10の下に移動し、さらにＺ方向に
移動しプローブカード１をコンタクトポイントチェック
用ソケット10にセットした後、コンタクトポイントチェ
ック用ソケット10の下より他の場所へ移動する。その
後、コンタクトポイントチェック用ステージ５がＺ方向
へ上昇し、コンタクトポイントチェック制御装置３と合
わせてプローブカードのコンタクトポイントチェックを
行ない、良否の判定を行なう。
トチェック用ソケット10の下に移動し、さらにＺ方向に
移動しプローブカード１をコンタクトポイントチェック
用ソケット10にセットした後、コンタクトポイントチェ
ック用ソケット10の下より他の場所へ移動する。その
後、コンタクトポイントチェック用ステージ５がＺ方向
へ上昇し、コンタクトポイントチェック制御装置３と合
わせてプローブカードのコンタクトポイントチェックを
行ない、良否の判定を行なう。
もし、ここで判定が良であれば、カード抜き筒７を下
げてカード交換用ステージ４へプローブカード１をセッ
トし、ステージ４を移動させてそのままP/W用ソケット
９にプローブカード１をセットし、P/Wチェックを再開
するという手順になっている。また、判定が否であれば
アラームを出し、P/Wチェックをストップしてプローブ
カードを交換する。
げてカード交換用ステージ４へプローブカード１をセッ
トし、ステージ４を移動させてそのままP/W用ソケット
９にプローブカード１をセットし、P/Wチェックを再開
するという手順になっている。また、判定が否であれば
アラームを出し、P/Wチェックをストップしてプローブ
カードを交換する。
第２図は、本発明の実施例の断面図である。符号の１
〜6,9,10は第１図と同じであるが、ガード抜き筒７の中
に、カード抜き筒７とは別にＺ方向へ動くプローブカー
ドの探針押下げ用のピン８が入っている。
〜6,9,10は第１図と同じであるが、ガード抜き筒７の中
に、カード抜き筒７とは別にＺ方向へ動くプローブカー
ドの探針押下げ用のピン８が入っている。
第４図はこの実施例の動作手順を示すフローチャート
である。この実施例では、コンタクトポイントチェック
時に探針押下げピン８を下げることにより、プローブカ
ードの探針の調整を行なってしまう為、コンタクトポイ
ントチェックの判定で否となる可能性が少ないという利
点がある。
である。この実施例では、コンタクトポイントチェック
時に探針押下げピン８を下げることにより、プローブカ
ードの探針の調整を行なってしまう為、コンタクトポイ
ントチェックの判定で否となる可能性が少ないという利
点がある。
以上説明したように本発明は、プローブカードの自動
交換装置とコンタクトポイントチェック制御装置とを有
する事により、作業者によるプローブカードの使用回数
の確認と、プローブカードを取り外してコンタクトポイ
ントチェックが出来る所まで持っていくという労力と時
間を節約する効果がある。
交換装置とコンタクトポイントチェック制御装置とを有
する事により、作業者によるプローブカードの使用回数
の確認と、プローブカードを取り外してコンタクトポイ
ントチェックが出来る所まで持っていくという労力と時
間を節約する効果がある。
第１図は本発明の基本構成の一部を示す断面図、第２図
は本発明の実施例の断面図、第３図は第１図の動作を示
すフローチャート、第４図は第２図の動作を示すフロー
チャートである。 １……プローブカード、２……ウェーハステージ、３…
…コンタクトポイントチェック制御装置、４……カード
交換用ステージ、５……コンタクトポイントチェック用
ステージ、６……カード抜き筒、７……カード抜き筒、
８……探針押下げピン、９……P/W用ソケット、10……
コンタクトポイントチェック用ソケット。
は本発明の実施例の断面図、第３図は第１図の動作を示
すフローチャート、第４図は第２図の動作を示すフロー
チャートである。 １……プローブカード、２……ウェーハステージ、３…
…コンタクトポイントチェック制御装置、４……カード
交換用ステージ、５……コンタクトポイントチェック用
ステージ、６……カード抜き筒、７……カード抜き筒、
８……探針押下げピン、９……P/W用ソケット、10……
コンタクトポイントチェック用ソケット。
Claims (1)
- 【請求項１】ウェーハ内に形成されたペレットにプロー
ブカードを接触させてペレット試験を行なうと共に、前
記プローブカードの探針の高さを確認するコンタクトポ
イントチェックを行なう半導体プロービング装置におい
て、前記プローブカードを前記ペレット試験を行なう第
１のソケットの位置から取り外す第１のカード取外し手
段と、この取り外したプローブカードを前記コンタクト
ポイントチェックの位置へ移送し第２のソケットに装着
するプローブカード交換用ステージと、この装着された
プローブカードの探針に接触するコンタクトポイントチ
ェック用ステージと、このコンタクトポイントチェック
用ステージと前記探針との接触を電気的導通により確認
し前記プローブカードの良否判定を行なうコンタクトポ
イントチェック制御装置と、探針押下げピンにより前記
探針の高さ調整すると共に前記プローブカードを前記第
２のソケットの位置から取り外す第２のカード取外し手
段とを有することを特徴とする半導体プロービング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2352590A JP2613949B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 半導体用プロービング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2352590A JP2613949B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 半導体用プロービング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03227032A JPH03227032A (ja) | 1991-10-08 |
| JP2613949B2 true JP2613949B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=12112863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2352590A Expired - Fee Related JP2613949B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 半導体用プロービング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2613949B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP2352590A patent/JP2613949B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03227032A (ja) | 1991-10-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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