JPH03243340A - 熱接着性蒸着シート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は熱接着性蒸着シートに関する。

更に詳しくは、本発明は、熱接着時の熱により蒸着膜に
クランクが生しない蒸着シートに関する。

（従来の技術） プラスチックシートなどのシートに金属または金属化合
物の蒸着膜を設けたシートは良く知られている。かかる
蒸着シートは、蒸着膜が酸素や水蒸気等のガス遮断性に
優れることから、食品や薬品などの酸素を嫌う内容物の
包装材料に好適である。

かかる蒸着シートを包装材料に使用する際には、包装材
料同志を熱接着する必要のあることから、蒸着膜面に熱
接着性樹脂層を設けるのが通常である。

（発明が解決しようとする課り しかし、熱接着性樹脂層を設けた蒸着シートを熱接着す
ると、この熱により熱接着性樹脂が軟化・流動し、接着
時の圧力により蒸着膜にクラックが生じることがあった
。

かかるクランクの発生により、蒸着膜のガス遮断性が劣
化する結果となった。

また、金属または金属化合物の蒸着膜を形成したシート
は、装飾のためのラベル、転写箔や転写シート、反射型
ホログラム、干渉フィルター、紫外線遮断フィルムなど
に用いられることがあるが、かかる場合もクラックの発
生により回折光を生して、レインボー模様を発生し、金
属光沢が失われたり１、本来の機能を損なうことがあっ
た。

（課題を解決するための手段） この問題を解決するために、本発明は、蒸着膜を設けた
基体シートの蒸着膜面に三層のプラスチック層を積層し
て成り、かかる三層のプラスチックの中間層の融点が両
側のプラスチック層の融点より低いことを特徴とする熱
接着性蒸着シートを提供する。

本発明にかかる基体シートには、蒸着に先立って前処理
を施すことができる。また、蒸着膜とプラスチック層（
３）は接着剤を介して積層することができる。

（実施例） 本発明にかかる蒸着シートは、第１図に示すように、基
体シート（１）、蒸着膜（２）、三層のプラスチック（
３）（４）（５）から威る。

１、基体シート（１）。

基体シート（１）は蒸着膜の支持体となるもので、任意
の材質から成っていて良い。好ましくはプラスチック表
面を有するものである。プラスチック単体またはプラス
チック同志の積層材料あるいはプラスチックと他の材料
の積層材料などである。もっとも、透明導１ＩｔＷａ、
干渉フィルター（カラーフィルター）等を形成する場合
には、位置精度を向上するため、熱膨張率の小さいガラ
ス板を用いることが好ましい。

（ａ）プラスチック単体の場合。

基体シート（１）がプラスチック単体から成る場合は、
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリペン
テン、エチレンと炭素数３〜２０のオレフィンとの共重
合体、プロピレンと炭素数４〜２０のオレフィンとの共
重合体等のポリオレフィン；ポリオレフィンを塩素化し
て戒る塩素化ポリオレフィン；エチレン−酢酸ビニル共
重合体などのオレフィンと他の七ツマ−との共重合体；
ポリスチレン；ポリ塩化ビニルまたは塩素化したポリ塩
化ビニルなどの塩化ビニル系樹脂；ポリ塩化ビニリデン
；ポリエステル；６ナイロン、６６ナイロン、１１ナイ
ロン、１２ナイロンなどのポリアミド；ポリカーボネー
ト；ポリアクリロニトリル；ポリアクリル酸またはポリ
アクリル酸エステル、ポリアクリル酸エーテルなどのア
クリル酸系重合体；ポリフッ化ビニル、ボリフフ化ビニ
リデン、４フッ化エチレン−６フツ化プロピレン共重合
体、ポリフロロアルコキシ樹脂などのフッ素系樹脂；ポ
リウレタンなどが使用できる。

なお、蒸着時の熱及び熱接着時の熱などに耐える点でポ
リエステルシートが好適である。ポリエステルは二塩基
酸とジオールの縮合体で、二塩基酸の主成分はテレフタ
ル酸、ジオールの主成分はエチレングリコールであり、
テレフタル酸の一部及びエチレングリコールの一部を他
の二塩基酸及び他のジオールで置換することができる。

他の二塩基酸としてはイソフタル酸、ナフタリンジカル
ボン酸、ジフェニルジカルボン酸、ジフェノキシエタン
ジカルボン酸、ジフェニルスルホンジカルボン酸、ジフ
ヱニルエーテルジカルポン酸等の芳香族カルボン酸；ヘ
キサヒドロテレフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸等
の脂環族カルボン酸；アジピン酸、セバシン酸、アゼラ
イン酸、Ｐ−β−ヒドロキシエトキシ安息香酸、ｐ−オ
キシ安息香酸、ε−オキシカプロン酸等のオキシ酸が使
用できる。また他のジオールとしてはプロピレングリコ
ール、１．４−ブタンジオール、１．４−ジシクロヘキ
サンジメタツール、トリメチレングリコール、テトラメ
チレングリコール、ヘキサメチレングリコール、デカメ
チレングリコール、ネオペンチレンゲリコール、ジエチ
レングリコール、１．１−シクロヘキサンジメチロール
、ｌ、４−シクロヘキサンジメチロール、２．２−ビス
（４−β−ヒドロキシエトキシフェニル）プロノくン、
ビス（４−β−ヒドロキシエトキシフェニル）スルホン
シクロヘキサンジオール、１．４−ビス（β−ヒドロキ
シエトキシ）ベンゼン、１．３−ビス（β−ヒドロキシ
エトキシ）ベンゼンが使用できる。また二塩基酸または
ジオールの一部をトリメリント酸、トリメシン酸、３，
３°　、５゜５”−テトラカルボキシフェニル、ブタン
テトラカルボン酸、フロログリシン、１，２．４．５テ
トラヒドロキシベンゼン、グリセリン、トリメチロール
メタン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトー
ル、酒石酸、リンゴ酸などの多官能性化合物で置換して
も良い。

また、ポリエステルには他の添加剤を混合することもで
きる０例えば核剤である。核剤としては低密度ポリエチ
レン、高密度ポリエチレン、線状低密度ポリエチレンな
どのポリオレフィン；カーボンブランク、タルク、セラ
コラ、シリカ、アルごす、炭酸カルシウム、二酸化チタ
ン、グラファイト、粉末ガラス、粉末金属などの粒径２
〜１０μｍの無機物などが例示できる。その外、滑剤、
アンチブロンキング剤、安定剤、防曇剤、着色剤などを
添加することができる。

（ｂ）三原上のプラスチックの積層材料から戒る場合。

基体シート（１）が三原上のプラスチックの積層材料か
ら成る場合は、上記単体のプラスチックを積層したもの
を使用することができる。積層は例えば接着剤を用いて
可能である。接着剤としてはポリウレタン、エポキシ、
シアノアクリレートなどが使用できる。また、プラスチ
ックの上に他のプラスチックを溶融押出コーティングし
ても良い。

また、基体シート（１）が三原上のプラスチックの積層
材料から威る場合は、上記単体のプラスチックの他に保
形性のない塗料を用いることができる。例えばポリウレ
タン系塗料、ポリエステル系塗料、ポリ酢酸ビニル、エ
チレン−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル
共重合体、アイオノマー、ポリオレフィンの不飽和カル
ボン酸またはその誘導体による変性物などである。不飽
和カルボン酸としては（メタ）アクリル酸、マレイン酸
、フマル酸等が例示できる。誘導体はそのエステル、エ
ーテル、無水物などである。変性はランダム共重合、グ
ラフト共重合などによる。あるいはポリビニルアルコー
ルまたはポリビニルアルコールの架橋物なども使用でき
る。ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタールなど
である。

（ｃ）プラスチックと他の材料の積層材料から威る場合
。

他の材料としては紙、セロハン、金属箔などが使用でき
る。プラスチックとしては上記単体プラスチック、ある
いは塗料として例示したものが使用できる。

（ｄ）厚さ。

基体シート（１）の厚さは任意で良い、包装材料として
使用する点から通常３〜２０００μｍである。

（ｅ）形状等。

プラスチックは延伸または未延伸のものであって良い。

また基体シート（１）は枚葉状あるいは巻取状のもので
あって良い。

また、基体シート（１）表面は平滑であっても良く、凹
凸が形成されたものであっても良い。例えば回折格子を
エンボスしたシートである。

■、前処理。

前処理は基体シート（１）と蒸着膜（２）の密着性を向
上するための処理である。必ずしも必要なものではない
が、基体シー１−（１）と蒸着材料に応し、アンカーコ
ート処理、放電処理、イオンビーム照射処理、オゾン処
理などの前処理を施すことが望ましい。

（ａ）アンカーコート処理。

アンカーコート処理はアンカーコート剤を塗布する処理
である。基体シート（１）表面が延伸又は未延伸のポリ
エステル、ポリオレフィン等の場合に好適である。

アンカーコート剤としては二液硬化型のポリウレタンが
使用できる。二液硬化型のポリウレタンはポリオールと
イソシアネート化合物の反応硬化物で、ポリオールとし
てはポリエステルポリオール、ポリエーテルポリオール
、アクリルポリオールなどが使用できる。基体シート（
１）＊面がポリエステルの場合は、この基体シート（１
）と接着力が優れることから、ポリエステルポリオール
が好ましい。また、蒸着時の熱、熟接着時の熱、あるい
は包装材料として内容物を包装し、レトルト殺菌する際
の熱に耐えて蒸着膜の剥離脱落を防止する点で分子量２
００００以上のポリエステルポリオールが望ましい、イ
ソシアネート化合物は三原上のイソシアネート基を有す
る化合物で、ヘキサメチレンジイソシアネート、トルエ
ンジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、キシ
レンジイソシアネートなどが使用できる。　また、この
ポリウレタンには、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体；
ニトロセルロース、エチルセルロースなどのセルロース
系樹脂；塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレンな
どの塩素化ポリオレフィンを混合することができる。塩
化ビニル−酢酸ビニル共重合体やセルロース系樹脂の混
合により、熱及び水分の存在下で、基体シー）　（１）
と蒸着１！（２）の密着力の低下を防止できる。このた
め、蒸着膜（２）が酸化マグネシウム、酸化カルシウム
等の水和し易い化合物である時に好適である。

混合量は、アンカーコート剤の固形分全体の０〜３０重
量％で良い。

（ｂ）放電処理。

放電処理は常圧下で放電する処理と減圧下で放電する処
理がある。常圧下で放電する処理はコロナ放電処理と呼
ばれる。また、減圧下で放電する場合は雰囲気に含まれ
るガスがプラズマ化し、かかるプラズマによる基体シー
ト（１）表面の改質が進むことからプラズマ放電処理と
呼ばれる。

（ｉ）コロナ放電処理。

コロナ放電処理は基体シート（１）の両側に電極を配置
し、放電することにより処理する方法である。基体シー
ト（１）表面がポリオレフィンである場合、その表面に
極性基が導入され、蒸着膜（２）との密着力が向上する
ので、ポリオレフィンに対して好適である。この外、フ
ッ素系樹脂、塩化ビニル系樹脂に施しても良い。

コロナ放電処理は大気中で行なえば良い。この点でプラ
ズマ放電処理に比べて簡便である。しかし、他の気体中
で行なうこともできる。例えば、窒素、酸素、二酸化炭
素、アルゴン、ヘリウム、ネオン、あるいはその混合ガ
スである。特に窒素と二酸化炭素の混合ガスの中で処理
する時、基体シート（１）と蒸着膜（２）の密着力が強
い、混合比は、体積比で、窒素：二酸化炭素が９９゜Ｓ
：Ｏ，Ｓ〜５０：５０の範囲が好ましい。

なお、コロナ放電処理は処理電力４　Ｗｌｏｆ・ｍｉｎ
以上の装置で可能である。

（ｉｉ　）プラズマ放電処理。

プラズマ放電処理は放電により発生したプラズマを基体
シート（１）に接触させて基体シート（１）表面を改質
する方法である。プラズマ発生のため、減圧下で行なう
必要がある。圧力は１×１０−”−Ｉ　Ｘ　１０−”ｔ
　ｏ　ｒ　ｒ、で良い、好ましくは５　Ｘ　１０”’　
〜５　Ｘ　１０−’ｔ　ｏ　ｒ　ｒ、である。

プラズマ放電処理に用いるガスは空気で良い。

しかし、他のガスを用いることもできる０例えば、窒素
、酸素、二酸化炭素、アルゴン、ヘリウム、ネオン、あ
るいはその混合ガスである。特に窒素：二酸化炭素が体
積比で９８＝２〜７０：３０の混合ガスが好ましい。

かかるガスは放電エネルギーにより励起され、プラズマ
状態になる。エネルギーは例えば電極間の高周波放電に
より付与される。基体シート（１）の両側に電極を設け
、連続的にガスを導入しながら、電極間で放電すれば良
い。エネルギーは２０Ｗ／ｒｒｆ・ｍｉｎ以上であれば
良い。なお、この処理は後述するように蒸着機内部で、
蒸着の直前に行なうことが望ましい、プラズマ処理によ
り基材シート（１）が活性化し、この活性化した状態で
金属または金属化合物などの蒸着材料が付着するため、
密着力に優れた蒸着膜（２）が得られるからである。

また、エネルギーはマグネトロンで発生したマイクロ波
を導波管で誘導し、ガスに照射することによって、付与
することもできる。この処理も蒸着機内部で行なうこと
ができる。

なお、プラズマ放電処理は、基体シー）（１）表面がポ
リエステル、ポリオレフィン、塩化ビニル系樹脂、ポリ
塩化ビニリデン、フッ素系樹脂の場合に好適である。延
伸または未延伸のプラスチックであって良い。

（ｃ）イオンビーム照射処理。

イオンビーム照射処理は、基体シート（１）表面を活性
化して、夷着膜（２）の密着力を向上するものである。

イオンは酸素、窒素、アルゴン、キセノン、空気、ある
いはこれらの混合物で良い。

イオンビームは、真空系内に、イオンビーム源と基体シ
ート（１）を対向させて照射できる。真空系は１０””
〜１０−’ｔ　ｏ　ｒ　ｒ、で良い。なお、イオンビー
ム照射は蒸着機内部で蒸着の直前に行なうことができる
。

イオンビーム源としては、フィラメントを用いる熱陰極
タイプ（）（ａｕｔｍａｎ型）、あるいはホローカソー
ドタイプ、またはフィラメントを用いない冷陰極タイプ
が使用できる。

（ｄ）オゾン処理。

オゾン処理はオゾンを含むガスを基体シート（１）表面
に吹きつけて酸化する処理である。基体シート（１）表
面がポリオレフィンから威る場合に好ましい、ガスはオ
ゾン濃度１ｇ／ｒｒｆのものを使用すれば良い。好まし
くは５〜１００　ｇ／ｉｆである。

酸化を効率良く行なうため、ガスは、加熱軟化したプラ
スチック表面に吹きつける。予めシート状に形成された
プラスチックを加熱して軟化させても良いし、プラスチ
ックを溶融押出成膜しながら、吹きつけても良い、プラ
スチックの温度は１５０〜３００″Ｃ程度である。

■、蒸着膜（２）。

蒸着膜（２）は種種の目的で形成される。一般には酸素
ガスの遮断のためである。この外、金属光沢、透明性、
炭酸ガスや水分の吸収、反射形ホログラム、カラーフィ
ルターのために設けられることもある。

蒸着膜（２）は通常金属または金属化合物から戒る。一
般に金属または金属化合物の蒸着膜（２）は酸素遮断性
が優れているからである。

また、ナフタロシアニンなどの有機物から或つていでも
良い。

（ａ）金属。

金属としては、アルミニウム、鉄、銀、イオウ、セレン
、タングステン、ボタジウム、テルル、タンタル、ビス
マス、スズ、マグネシウム、チタン、ケイ素、亜鉛、銅
、インジウム、ニッケル、ヒ素などが使用できる。

また、合金であっても良い、ステンレス、Ｚｎ−Ｎｉ合
金、Ｚｎ−Ａｌ合金、Ｚｎ−Ｆｅ合金、Ｆｅ−Ａｌ合金
、Ｔｉ−Ｎｉ合金、Ｃｕ−Ｚｎ−Ａｌ合金などである。

　金属の蒸着膜（２）は、酸素遮断性を有すると共に、
通常不透明であり、金属光沢を有する。このため、装飾
のため用いることができる。また、Ｃｕ−Ｚｎ−Ａｌ合
金の場合は形状記憶性の蒸着シートを得ることができる
。

また、基体シート（１）表面に回折格子などがエンボス
されている場合は反射型位相ホログラムを形成すること
ができる。

（ｂ）金属の酸化物。

金属の酸化物としては、ＳｉＯｘ、ＡｌＯｘ。

５ｎＯｘ、　　Ｃｕ０ｘ、　　ＦｅＯｘ、　　ＩｎＯｘ
、Ｍｇ０ｘ、　　ＰｂＯｘ　Ｓ　ＺｒＯｘ　、、　Ｔａ
Ｏｘ、　　ＴｉＯｘ。

Ｃａ０ｘ、あるいはＩＴＯなどである。

なお、上記化学式において、Ｘは通常０から２であるが
、０の場合には金属であり、０と２の間の場合には一般
に金属と金属酸化物及び低級酸化物の混合物、２の場合
には金属酸化物である。また、蒸着膜（２）の厚さ方向
または表面に沿って組成が変化しても良い、厚さ方向に
Ｓｉ含有率等の組成が変化するＳｉＯｘの蒸着膜は紫外
線吸収率が極めて優れている。

金属酸化物は一般に酸素遮断性に優れると共に透明であ
る。このため、内容物を透視することができて、しかも
内容物の保存性に優れた包装材料を得ることができる。

また、金属酸化物は炭酸ガスや水分と化学結合し易く、
このため、包装体内部の炭酸ガスや水分を吸収して、保
存性を向上することができる。

また、金属酸化物の屈折率は空気やプラスチックより大
きく、このため、回折格子をエンボスした基体ソートを
使用した時には透明な反射型位相ホログラムを得ること
ができる。

（ｃ）その他の金属化合物。

上記金属の水酸化物、硫化物、炭化物、窒化物、フッ化
物などが使用できる。その種類に応し、レインボー調の
シート、酸素遮断性に優れたシートなどを得ることがで
きる。

（ｄ）多層蒸着膜。

蒸着膜は単層である必要はない。例えば、ＡｌＯｘの蒸
着膜の上にＭｇ０ｘの蒸着膜を形成することにより、あ
るいはＭｇ０ｘの上にＡｌＯｘの蒸着膜を形成すること
により、Ｍｇ０ｘの吸水能力もしくは吸水速度をコント
ロールすることができる。

また、屈折率の異なる透明な蒸着膜を繰り返して形成す
ることにより、その厚さに応して特定の波長の光を透過
し、他の波長の光を遮断することができる。ダイクロミ
ンクタイプの干渉フィルターである。

（ｅ）厚さ。

蒸着１！（２）の厚さは任意であるが、酸素遮断性を得
るためには１０００オングストロームの厚さが必要であ
る。また、厚さが大きくなると、クラックが生しること
があるから、通常５０００オングストローム以下である
。

（ｉ蒸着方法。

蒸着は公知の物理的蒸着方法によって可能である０例え
ば、抵抗加熱法、高周波加熱法、電子線加熱法、電子衝
撃加熱法、輻射加熱法、フラ、ンシュ蒸着法、シーザー
蒸着法などである。また、イオンビームスパンタ、マグ
ネトロンスバ・ン夕等のスパッタ蒸着法によっても良い
、あるいはプラズマＣＶＤ法などのＣＶＤ法によっても
良い。

（ｉ）ＥＣＲ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　　ＣｙｃｌｉｃＲｅ
ｓｏｎａｎｃｅ）プラズマＣＶＤ法・第２図はＥＣＲプ
ラズマＣＶＤ法に使用する装置の説明図である。かかる
蒸着法により、例えば、膜厚方向に連続的に金属元素含
有率が変化するＳ　ｆｏｘの蒸着膜（２）を形成するこ
とができる。たとえば、基体シート（１）に接する表面
で金属珪素（Ｓｉ）含有率が約２Ｑａｔｏｍ％、反対表
面で約４０％のＳ　ｆｏｘ蒸着１１［（２）である。

第２図において、（１）は基体シートであり、巻出しロ
ール（１８）に巻き取られている。基体シート（１）は
テンシランコントロールのためのダンサ−ロール（１１
）を経て、冷却ロール（１３）を通り、巻取りロール（
１９）に巻き取られる。なお、冷却ロール（１３）表面
に基体シート（１）を密着するため、その前後にエキス
パンダーロール（１２）が設けられている。

装置全体は排気装？（１０）により、例えば０１ｌｔｏ
ｒｒ、の真空状態に維持されている。蒸着膜（２）の原
料となるガスはガス導入口（１５）から装置内に導入さ
れる。原料ガスは例えばＳｉＨ等のシランガスとＮ、Ｏ
等の酸化性のガスである０Ｍ着膜（２）形成に関与しな
かった残余のガスは排気装置（１０）から排気される。

マイクロ波は導波管（１４）を通って、ガス導入口（１
５）に直接照射される。（１７）はマグネトロンである
。マイクロ波の照射により、原料ガスは、Ｓｉ、Ｓｉ○
、Ｓ　ｔｏｗ　、Ｓ　ｉｔ　Ｏｓ等のプラズマに変化し
、冷却ロール（１３）上の冷却された基体シート（１）
に付着堆積する。（１６）はプラズマの誘導用マグネッ
トである。

蒸着膜（２）中の金属珪素含有率はこのマイクロ波のエ
ネルギー密度や原料ガスの組成を変えることによりコン
トロールすることができる。

（ｉｉ　）酸素アシスト蒸着。

第３図Ａ及びＢは酸素アシスト蒸着に用いる装置の説明
図である。かかる蒸着法は金属酸化物の蒸着膜（２）形
成に用いるもので、酸素原子により金属原子が三次元的
に結合し、強固で密度の高い蒸着膜（２）を形成できる
。この結果、蒸着膜（２）の酸素等のガス遮断性が向上
する。金属酸化物としては５ｎＯｘ、ＡｌＯｘなどであ
る。

第２図Ａにおいて、基体シート（１）を巻出しロール（
２７）から連続的に一定速度で送り出し、この基材シー
ト（１）がダンサ−ロール（２４）、エキスパンダーロ
ール（２２）を経て、冷却ロールの位置で、冷却されな
がら、蒸着材料（５００）から蒸発した金属酸化物分子
（２００）を、第３図Ｂに示した高純度酸素ガスをマス
クロコントローラ−（６００）、により、一定量真空槽
内に供給すると共に１３．５６ＭＨｚの高周波電源（４
００）、マツチングボックス（３ｏｏ）、高周波コイル
（２０１）を設け、酸素プラズマを基体シート（１）に
接触させる。この結果、基体シート（１）には金属原子
と酸素原子が三次元的に結合した真着腹（２）が形成さ
れる。

１３．５６ＭＨｚの高周波電源（４００）の代わりに２
４５０ＭＨｚのマイクロ波を用いても良い （ｉｊ）イオンビーム照射と蒸着。

第４図はイオンビーム照射と蒸着を同じ真空蒸着機内で
行なう方法に使用する装置の説明図である。

イオンビーム照射は、蒸着の前に行なっても良い、かか
る場合には基体シート（１）表面を活性化して、蒸着膜
（２）の密着力を向上することができる。なお、第４図
に示す装置によれば、イオンビーム照射と蒸着は連続的
に行なうことができる。

また、イオンビーム照射は蒸着と同時に行なうことがで
きる。この場合には基体シート（１）表面の活性化と蒸
着１１１（２）の形成が同時に行なわれる。また、蒸着
する金属または金属化合物の粒子に運動エネルギーを与
え、粒子が基体シート（１）に衝突する際の衝突エネル
ギーを大きくすることができる。このため、基体シート
（１）と蒸着膜（２）の密着性が向上する。また、衝突
エネルギーの増大に加え、蒸着した粒子と粒子の間をイ
オンの原子が繋いで三次元構造を形成することから、密
度が大きくなり、酸素等のガス遮断性が向上する。

第４図において、基体シート（１）を巻出しロール（３
８）から一定速度で送り出し、ダンサ−ロール（３１）
、エキスパンダーロール（３２）を経て、冷却ロール（
３３）に接触させる。

冷却ロール（３３）により、基体シート（１）を裏面か
ら冷却しながら、イオンビーム照射と蒸着を行なう。イ
オンビームａ（３４）は三’ｙ所に設けられており、そ
れぞれのイオンビーム源（３４）は隔壁で隔てられてい
る。最初のイオンビーム源（３４）は蒸着前にイオンビ
ーム照射を行なって、基体シート（１）の前処理を行な
うものである。中央のイオンビーム［（３４）は蒸着と
同時にイオンビーム照射を行なって、衝突エネルギーの
増大と三次元構造形成を図るものである。最後のイオン
ビーム源（３４）は蒸着後に照射するものである。それ
ぞれのイオンビーム源（３４）は独立にイオンビーム照
射できる。図中（３５）はイオンビームの照射部を示す
。また、（３６）は蒸着部である。

イオンビーム源としては、フィラメントを用いる熱陰極
タイプ（Ｋａ　ｕ　ｔｍａ　ｎ型）、あるいはホローカ
ソードタイプ、またはフィラメントを用いない冷陰極タ
イプが使用できる。

第４図はホローカソードタイプのイオンビーム源を用い
たもので高純度ガスはマスフロコントローラーにより調
整し、導入している。高純度ガスは、酸素、窒素、アル
ゴン、キセノン、空気、あるいはこれらの混合物で良い
。

（ｉｖ　）プラズマ処理と蒸着。

第５図Ａ及びＢは蓼着機内部でプラズマ処理（前処理）
を行い、連続的に蒸着する方法に使用する装置の説明図
である。

第５図Ａにおいて、基体シート（１）は、ダンサ−ロー
ル（４１）を通って、プラズマ処理装置（４４）ｌｌ遇
し、エキスパンダーロール（４２）を介して冷却ロール
（４３）に接触させる。

プラズマ処理装置（４４）は第５図Ｂに示されている。

すなわち、第５−図Ｂにおいて、プラズマ処理装置（４
４）は全体を壁体で囲まれており、基体シート（４５）
は壁体に設けられたスリットから導出入する。内部には
電極（４６）（４６）が設けられており、基体シート（
１）は電極（４６）（４６）の間を通過する。ガスはガ
ス導入口（４７）から連続的に導入され、電極（４６）
（４６）間の放電によりプラズマ状態に変わる。

プラズマ処理の後、冷却ロール（４３）上で蒸着し、巻
取りロール（４９）に巻き取られる。

なお、ガスの種類、放電方法等は前述の通りである。

■、プラスチック層。

本発明にかかるプラスチック層は、蒸着ＩＩ（２）にク
ランクを生じることなく、熱接着を可能とするものであ
る。

かかるプラスチック層は三層から威る。すなわち、蒸着
ＩＩ（２）側に設けられる第１のプラスチック層（３）
、第１のプラスチック層（３）と第３のプラスチック層
（５）の間に設けられる第２のプラスチック層（４）、
蒸着シートの表面を構成する第３のプラスチック層（５
）である。

（ａ）第１のプラスチック層（３）。

第１のプラスチック層（３）は蒸着ｌ！（２）の上に設
けられるもので、熱接着時に蒸着膜（２）を固定してク
ラックの発生を防ぐものである。かかる理由から第２の
プラスチック層（４）の融点より大きいものを用いる必
要がある。第２のプラスチック層（４）より融点の低い
プラスチックでは熱接着時の熱と圧力により蒸着膜（２
）に限界以上の応力がかかり、クランクを生しるからで
ある。好ましくは融点１４０から２００″Ｃのプラスチ
ックである。

かかるプラスチックとしては延伸又は未延伸のプラスチ
ックがある０例えばホモタイプの未延伸ポリプロピレン
である。この外、ポリブテン、ポリペンテン、エチレン
と炭素数３〜２０のオレフィンとの共重合体、プロピレ
ンと炭素数４〜２０のオレフィンとの共重合体等のポリ
オレフィン：ポリスチレン；硬質ポリ塩化ビニル；ポリ
塩化ビニリデン；ポリエチレンテレフタレートなどのポ
リエステル；６ナイロン、６６ナイロン、１１ナイロン
、１２ナイロンなどのボリアミド；ポリカーボネート；
ポリアクリロニトリル；ポリアクリル酸またはポリアク
リル酸エステル、ポリアクリル酸エーテルなどのアクリ
ル酸系重合体；ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデ
ン、４７フ化エチレン−６７フ化プロピレン共重合体、
ポリフロロアルコキシ樹脂などのフッ素系樹脂；ポリウ
レタンなどが使用できる。

第１のプラスチック層（３）は例えば０．１〜２０μｍ
の厚さに設ければ良い、好ましくは１０μｍ以下である
。厚くなるにしたがって熱伝導性が低下し、基体シート
（１）面から熱板または熱ロールを押し当ててヒートシ
ールする際に高温または長時間を必要とすることになる
からである。

（ｂ）第２のプラスチック層（４）。

第２のプラスチック層（４）は、熱接着時に十分に軟化
し、その圧力を吸収して、第１のプラスチック層（３）
にかかる応力を緩和し、蒸着膜（２）にかかる応力をそ
の限界以下に抑えるものである。かかる理由から第１の
プラスチック層（３）と第３のプラスチック層（５）の
間に設けられる。同じ理由から第１のプラスチック（３
）の融点より低く、また第３のプラスチック（５）の融
点より低い融点のプラスチックを使用する必要がある。

第１のプラスチックより融点が高いと、熱接着時に第１
のプラスチックが溶融流動化し、蒸着１１！（２）に応
力がかかってクランクを生じ易くなり、第３のプラスチ
ックより融点が高いと熱接着時の熱により、十分に軟化
せず、圧力を十分に吸収することができないため、やは
り蒸着膜（２）にクランクを生じ易くなるからである。

好ましくは融点１１０から１４０°Ｃのプラスチックで
ある。

かかるプラスチックは非結晶性または低結晶性のものが
好ましい０例えば未延伸のプラスチックである。延伸に
よりプラスチックは結晶化し、融点が高くなるからであ
る。

例えば、エチレンとプロピレンのブロック共重合体が使
用できる。この外、アイオノマー、ポリ酢酸ビニル、ポ
リオレフィンの不飽和カルボン酸またはその誘導体によ
る変性物などが使用できる。

第２のプラスチック層（４）は、熱接着時の圧力を吸収
するため、２０μｍ以上の厚さに設けることが望ましい
０例えば２０〜１００μｍの厚さである。

（ｃ）第３のプラスチック層（５）。

第３のプラスチック層（５）は他の物質に熱接着するた
めのもので、このため、本発明の蒸着シートの表面を構
成する。他の物質とは、例えば、プラスチック物質、紙
、金属、ガラスなどである。

本発明にかかる蒸着シートの第３のプラスチック層（５
）面同志を重ねて熱接着することもできる。

他の物質に熱接着するため、この第３のプラスチック層
（５）は融点２００℃以下であることが好ましい、熱接
着時に十分に軟化して接着力を発揮させるためである。

もっとも、熱接着時に、第２のプラスチック層（４）は
この第３のプラスチック層（５）より一層軟化した状態
になければならない、このため、第３のプラスチック層
（５）は第２のプラスチック（４）より融点の高いもの
でなければならない。例えば融点１４０から２００°Ｃ
のものである。

なお、第１のプラスチック（３）と第３のプラスチック
（５）は同−融点又は同一樹脂であっても良いが、第３
のプラスチック（５）の融点は第１のプラスチックより
低いことが望ましい。熱接着時の第１の流動化を防いで
、蒸着膜（２）のクラック発生を防ぐためである。

かかるプラスチックは非結晶性または低結晶性のものが
好ましい。例えば未延伸のプラスチックである。

かかるプラスチックとしては、第１のプラスチック層（
３）に使用できるプラスチックと同一のプラスチックが
使用できる０例えば未延伸のホモポリプロピレンである
。

第３のプラスチック層（５）の厚さは、熱伝導性を阻害
しない範囲で良い０例えば１〜２０ｔＩｍである。

（ｄ）積層。

（ｉ）積層の順序。

三層のプラスチックは任意の順序で積層することができ
る。

例えば、基体シート（１）の蒸着膜（２）面に順次第１
〜第３のプラスチックを積層することができる。

また、第１〜第３のプラスチック層を積層した積層シー
トを製造した後、この積層シートを基体シート（１）の
蒸着膜（２）面に積層しても良い。

あるいは、任意の二つのプラスチック層を積層した後、
残る一つのプラスチック層とこの積層材料を順次積層し
ても良い。

いずれの場合も、得られる蒸着シートは、第１図に示す
ように、基体シート（１）、蒸着膜（２）、第１のプラ
スチック（３）、第２のプラスチック（４）、第３のプ
ラスチック（５）の順序で積層されたものである。

（１１）積層方法。

基体シート（１）及び三層のプラスチック（３）（４）
（５）は任意の方法で積層できる。

例えば、三層のプラスチック（３）（４）（５）を順次
基体シート（１）上に積層する場合は、接着剤または溶
融押出コーティングにより積層することができる。溶融
押出コーティングは、基体シート（１）の蒸着膜（２）
面またはプラスチック層（３）あるいはプラスチック層
（４）の積層された基体シート（１）のこれらのプラス
チック層（３）または（４）面に、溶融した他のプラス
チックをダイから押し出して積層すれば良いまた、プラ
スチックを溶剤に溶解または分散して塗布することによ
って積層することもできる。

溶剤としてはトルエン、キシレンなどの芳香族系溶剤、
メチルエチルケトンなどのケトン系溶剤、エーテル系溶
剤などが使用できる。

また、任意の二層または三層のプラスチック（３）（４
）（５）を予め積層した後、基体シート（１）の蒸着膜
（２）面に積層するする場合は、接着剤または溶融押出
コーティングによりこれらのプラスチックを積層した後
、基体シート（１）の蒸着膜（２）面に積層できる。溶
融押出コーティングは三層のプラスチックのうち、いず
れか一つのプラスチックを成膜しておき、この成膜した
プラスチック上に溶融した他のプラスチックをグイから
押し出して積層すれば良い、積層したプラスチックと基
体シート（１）の蒸着膜（２）面の積層は接着剤により
可能である。

また、三層のプラスチック（３）（４）（５）のうちの
いずれか二つまたは三層のプラスチック全部を共押出成
膜することによって積層することもできる。あるいはい
ずれか一つのプラスチックを溶剤に溶解または分散して
、予め成膜されたプラスチック上に塗布しても良い。

なお、蒸着膜（２）は熱によりクランクを生じることが
あるから、積層にあたっては、この蒸着膜（２）面に高
温がかからない方法で積層することが望ましい、すなわ
ち、接着剤による積層である。

接着剤としてはウレタン系接着剤、エポキシ系接着剤、
アクリル系接着剤などが使用できる。また、紫外線硬化
型あるいは電子線硬化型などの放射線硬化型接着剤も好
適である。接着時に高温を必要としないからである。

例えば、三層のプラスチック（３）（４）（５）を共押
出成膜した後、接着剤により、基体シート（１）の蒸着
膜（２）面に積層する方法である。また、三層のプラス
チック（３）（４）（５）を順次基体シート（１）の蒸
着膜（２）面に接着剤を用いて積層しても良い。

■、熱接着。

本発明にかかる蒸着シートは任意のものに熱接着するこ
とができる０例えば、プラスチック表面、金属表面、紙
表面、ガラス表面、セラミック表面などである。また、
蒸着シートの第３のプラスチック（５）表面同志を熱接
着することも可能である。

熱接着は、蒸着シートの第３のプラスチック面と他の表
面を加熱状態で重ね、押圧すれば良い。

加熱は１３０〜３５０　’Ｃの範囲で良い。

例えば、蒸着シート裏面から加熱盤、加熱ロール、サー
マルヘンドなどで加熱しながら、押圧することにより、
熱接ｆＦ（ヒートシール）することができる。また、第
３のプラスチック（５）面を炎（フレーム）で加熱した
り、加熱空気を吹きつけて加熱した後、軟化状態で他の
表面に重ね、押圧することにより、熱接着することがで
きる。

また、蒸着シートを他の表面に重ね、押圧した状態で、
高周波電界、高周波磁界、マイクロ波などの１Ｍ１波、
超音波などの高周波エネルギーを付与することにより、
蒸着シートのプラスチック層（３）（４）（５）や蒸着
膜（２）を発熱させて熱接着することもできる。

また、蒸着シートは溶融または軟化状態のプラスチック
に接触、加圧することにより、このプラスチックに熱接
着することも可能である。

■、用途。

（ａ）包装材料。

本発明にかかる蒸着シートは包装材料として使用できる
。この蒸着シートにより密封された包装体は、外部の酸
素などの流入を遮断し、内容物の体は、外部の酸素など
の流入を遮断し、内容物の長期保存を可能とする。また
、包装材料がエチレン−酢酸ビニル共重合体ケン化物、
ポリ塩化ビニリデンなどの酸素遮断性を有するプラスチ
ック層を含む場合は、水蒸気を遮断して、水分によるこ
れらのプラスチック層の酸素遮断性の劣化を防止するこ
とができる０例えば、基体シート（１）がこれらの酸素
遮断性プラスチックから戒る場合、あるいはこれらの酸
素遮断性プラスチックを含む積層材料から成る場合であ
る。

例えば、第６図Ａに示すものは、二枚の蒸着シートの第
３のプラスチック層（５）面同志を重ね、周辺の三辺を
互いに熱接着した袋である。また、第６図Ｂは蒸着シー
トを二つ折りに折り曲げて第３のプラスチック層同志を
重ね合わせ、周辺の二辺で熱接着した袋である。

また、蒸着シートを筒状に丸め、側片同志を熱接着した
上、一方の開口端部に所定の排出部材を取り付ければい
わゆるチューブ容器が得られる。

排出部材及びその取付は方法は公知である。この際、蒸
着シートの端面がチューブ容器の内面または外面に露出
することを防ぐため、その内面または外面に筒状のプラ
スチックを溶融押出コーチイブすることができる。いず
れにしても最内面は、その衛生性を保つため、ポリオレ
フィンまたはポリエステルから威ることか望ましい０例
えば、ポリオレフィン／接着性樹脂、またはポリオレフ
イン／接着性樹脂／ポリオレフィンの層構成のプラスチ
ックを内面に共押出コーティングする方法である。接着
性樹脂には上述の変性ポリオレフィンが使用できる。

また、第７図Ａ及びＢは基体シート（１）が紙を含む場
合の包装体を示している。かかる形状の包装体とその製
造方法は公知であり、酒、ジュース、ミルク、コーヒー
などの液体飲料の容器として使用できる。

また、本発明の蒸着シートを板紙などの紙に熱接着して
包装材料とすることもできる。熱接着は上記三層のブラ
スチンク面を紙に重ね、熱接着することにより、可能で
ある。かかる包装材料は菓子などを包装する包装箱の包
装材料として使用することができ、酸素や水分から内容
物を保護することができる。

また、蒸着シートは、プラスチック製のカップやトレー
、あるいはガラス製の容器の蓋として用いることもでき
る。

本発明に係る蒸着シートを用いた包装体には、任意の内
容物を収容できる。包装体の形状に応し、固体、液体、
ペースト状のいずれの内容物でも良い。蒸着シートが酸
素遮断性に優れることから、食品類が好適である。また
、酸素遮断性とともに、水蒸気遮断性にも優れることか
ら、水分を嫌う食品類に適している０例えば、鰹節、削
り節等である。また、練歯磨きや化粧クリーム等の水分
保存性を要する内容物にも適している。酸素を嫌う薬品
類であっても良い、また、香料を透過しないことから、
香料成分を含む内容物にも好適である。

本発明にかかる蒸着シートを使用した包装体はレトルト
殺菌処理することができる。レトルト殺菌処理は常圧以
上の圧力下で１３０−１７０℃程度の水蒸気で加熱殺菌
する方法である。かかる温度で蒸着膜（２）にクラック
は発生せず、酸素等の遮断性は劣化しない。このため、
−要保存性を向上することができる。また、常圧下で沸
騰水によるボイル殺菌も可能である。

蒸ｆＦｌｌＡ（２）が金属化合物からなる場合は、包装
体にマイクロ波などのｔ磁波を照射して殺菌することも
できる。マイクロ波の照射により内容物が発熱し、この
熱により殺菌される。１００°Ｃ以上の高温で殺菌する
ため、包装体は耐熱性の強固な保持体で固定した状態で
殺菌することが望ましい、保持体としてはガラス繊維を
混合したエポキシ樹脂の成形品、不飽和ポリエステルと
ガラスフィラーから成るシートモールドコンパウンドの
成形品、あるいは不飽和ポリエステルとガラスフィラー
の圧縮成形品が使用できる。

また、かかる包装体は１０００気圧以上の流体圧で加圧
処理することもできる。流体としては水が好適に用いら
れる。圧力と時間に応じ、殺菌または内容物の蛋白質の
ゲル化等の現象が生しる。

圧力は１０００〜１００００気圧で良く、温度は０〜１
００°Ｃで良い。

（ｂ）炭酸ガス吸収シート。

蒸着膜（２）が金属酸化物から戒る場をは炭酸ガス吸収
シートとして使用できる。金１ｉ＃化物は炭酸ガスと化
学反応し易いからである。炭酸ガス吸収能力の点で、酸
化マグネシウムが好ましい。

炭酸ガス吸収シートとして使用する場合は雰囲気中の炭
酸ガスと蒸着膜が接触すれば良いから、三層のプラスチ
ック層（３）（４）（５）は不要であり、基体シート（
１）／蒸着膜（２）の二層のシートでも可能である。し
かし、プラスチック層（３）（４）（５）の存在により
炭酸ガス透過速度すなわち、吸収速度をコントロールで
き、葉菜類、きのこ類、畜肉や魚肉などの肉類を内容物
とする包装体内部の炭酸ガス濃度を一定（適度な濃度）
に保つことが可能である。

炭酸ガス吸収シートとして使用する場合は熱接着は不要
である０例えばプラスチック製カップ、トレー、あるい
はプラスチックを内貼りしたダンボール箱の内部に載置
すれば良い、あるいは蒸着シートで包んだ後、容器に収
容しても良い、しかし、炭酸ガス吸着シートとして使用
する場合も、このシートが包装体内部で揺動することを
防ぐため、シートの少なくとも一部（例えば端部）を容
器に熱接着することが望ましい。

（ｃ）ラベル。

本発明に係る蒸着シートは、ガラス製の容器やプラスチ
ック製の容器のラベルとして用いることができる。蒸着
膜（２）が金属から成る場合は金属光沢を付与して意匠
性を向上する。また、蒸着膜（２）がホログラムを構成
する場合は、意匠性の向上と共に、偽造を防止できる。

蒸着シートをプラスチックボトルのラベルとして用いる
時には、ブロー成形金型の内面に設けられた真空吸引孔
にラベルを吸着しておき、この金型内でブロー底形する
ことにより、底形と同時にラベルの熱接着が可能である
。かかる方法においては、熱接着に必要な熱はプラスチ
ックボトルを形成するプラスチックのパリソンまたはプ
リフォームの熱、また圧力はブロー底形のための空気圧
が利用できる。かかる方法で得られるラベル付き容器は
、表面にラベルの厚さに起因する凹凸が生じることなく
、外観上美麗であるばかりでなく、ラベルが剥離し難い
という特徴を有している。なお、かかる方法は、特願昭
６２−１３６０１７号、特願昭６３−３２８５６９号、
特願平１−３７１１Ｏ号の明細書及び図面に記載されて
いる。

（ｄ）その他の用途。

（ｉ）蒸着膜（２）が導電性の物質から成る場合は、蒸
着シートをｉｔｍ波遮断用シートとして使用できる。例
えば、コンピューター等の半導体回路を内蔵する機器、
もしくは信号線などを被覆することにより、外部を磁波
を反射して、その侵入を防止することができる。

また、第８図に示すように、導電性の蒸着膜（２）を有
する蒸着シートを三角錐などの錐形成形物の側面に熱接
着すれば電磁波吸収体が得られる。第８図において、Ｓ
は電磁波エネルギーの進入方向を示し、この方向に沿っ
て次第に見かけの導電率が増加する結果、特性インピー
ダンスもほぼこの見かけの導電率に比例して増加し、を
磁波エネルギーを吸収して、熱エネルギーに変換する。

見かけの導電率は電磁波エネルギーの進行方向に沿って
、指数関数的に連続的に増加していることが望ましい、
電磁波反射率は、特性インピーダンス「の微小量ｄ「を
ｒで割った数ｄ　ｒ／ｒに比例し、このｄ「／「が一定
値となるため、反射を最小限に抑えることができるから
である。

なお、第８図において、（７０）は電波暗室の壁を示し
ており、外部電磁波を反射してその侵入を防ぐため、金
属板が貼られている。このため、かかる壁で密閉された
電波暗室内部では、外部電磁波の侵入と内部の電磁波の
反射がなく、正確な電磁波の測定が可能となる。

（ｉｉ　）　Ｎ着膜（２）が透明な金属酸化物の多層膜
から成る場合は、その屈折率と膜厚に応し、干渉フィル
ターとして使用できる。すなわち、入射光のうち、特定
の波長の光のみを透過し、他の波長の光を反射する。あ
るいは特定の波長の光を反射し、他の波長の光を透過す
る。この場合には蒸着膜として酸化珪素と酸化チタンを
交互に多層に積層したものが好適である。

（ｉｉｉ）蒸着！Ｉ（２）が紫外線遮断性に優れた材質
（例えば膜厚方向に金属珪素含有率が変化する５ｔＯＸ
）からなる場合は、紫外線遮断フィルムとして使用でき
る０例えば、窓ガラスに熱接着することにより、室内に
入射する紫外線量を削減できる。また、昇華性染料で染
色されたプラス千ンク表面に熱接着することにより、紫
外線に起因する変褪色を防止できる。

（ｉｖ　）基体シート（１）が所望の情報に応した凹凸
を有している場合は、金属から威る蒸着膜（２）を光記
録層として利用できる。すなわち、蒸着膜（２）面にレ
ーザー光を照射して、凹部による反射光と凸部による反
射光の位相の相違により、記録された情報を読み取るこ
とができる。

凹凸の深さは、続出に使用するレーザー光の波長をλと
する時、（ｎ　＋　１　／　４　）λの光学的距離（た
だしｎは０または整数）を有することが望ましい、凹部
の反射光と凸部の反射光の位相が２分の１波長異なり、
誤りなく読み出すことができるからである。なお、光学
的距離は、蒸着膜の上に積層されるプラスチック等の屈
折率を物理的距離で積分したものである。

アルミニウム、銅などの反射性金属の外、カルコゲン系
の金属、あるいはナフタロシアニンの蒸着膜（２）など
も使用できる。

（ｖ）：ｆｆｉ着膜（２）がスズ等の低融点の金属から
威る場合は、強いレーザー光の照射またはサーマルヘッ
ドなどにより、画像状に蒸着膜（２）を除去して、印字
または印画することができる。

また、同様の方法により、ドツト状に蒸着膜（２）を除
去して、光記録層とすることもできる。

（ｖｉ）蒸着膜（２）が酸化チタン、酸化スズ、ＩＴｏ
などの化合物から戒る場合は透明導電膜として利用でき
る。ガラス板、プラスチック板等に熱接着して使用すれ
ば良い。

■、特殊な蒸着シート。

（ａ）転写箔または転写シート。

基体シート（１）が分離容易な二つの層から戒っている
場合は、本発明の蒸着シートは転写箔または転写シート
として利用できる。すなわち、他（被転写体）の表面に
熱接着した後、基体シート（１）のうち、一方の層を剥
離除去すれば良い。

通常剥離除去される層は自己支持性のあるシートであり
、被転写体表面に残る層は自己支持性に乏しい塗料の塗
膜あるいは未延伸のプラスチック等である。

自己支持性のあるシートとしては任意のシートが使用で
きる。好ましくはポリエステルシート、ポリプロピレン
シート、ポリ塩化ビニルシート、塩素化したポリ塩化ビ
ニルシート、塩素化したポリプロピレンシートなどのプ
ラスチックシートである。

かかる自己支持性のシートから分離可能な層としては、
６０〜１２０°Ｃ程度の熱により溶融するものが使用で
きる。例えば、ワックスである。ワックスとしてはパラ
フィンワックス、カルナバワンクス、モンタンワックス
、高級脂肪酸、高級アルコール、高級脂肪酸エステル、
高級脂肪酸アミドなどが使用できる。かかるワックスと
融点６０〜１５０　”Ｃの低分子量エポキシ樹脂の混合
物であっても良い。

なお、熱接着時の熱によりワックスなどが溶融し、蒸着
膜（２）にクラックが生しるのを防ぐため、基体シート
（１）は、かかる分離可能な層と蒸着膜（２）のの形成
される表面の間に、ポリメチルメタアクリレートなどの
プラスチック層を有することが望ましい。

かかる転写箔または転写シートは、任意の物品に部分的
または全面を転写してその装飾に使用することかできる
。また、サーマルヘッドで印字または印画することも可
能である。蒸着膜（２）が形成される基体シート（１）
の表面が所定の凹凸を有していれば、ホログラムの転写
や光記録層の転写も可能となる。

（ｂ）部分的な蒸着膜（２）を有する蒸着シート。

基体シート（１）上溶剤溶解性または溶剤膨潤性の層を
部分的に設け、蒸着膜（２）を形成した後、溶剤で溶解
または膨潤して、蒸着１１！４（２）と共にこの層を除
去すれば、部分的に蒸着１１（２）を有する蒸着シート
が得られる。プラスチック層（３）（４）（５）の積層
は、除去の前、除去の後のいずれでも良いが、溶解また
は膨潤の効率、プラスチック層（３）（４）（５）を全
面に形成するため、除去の後に積層することが望ましい
。

溶剤としては水が好適である。しかし、アルカリ水溶液
も使用できる。水溶解性の層としてはポリビニルアルコ
ール、デンプン、カルボキシメチルセルロースなどの水
溶解性セルロース樹脂が使用できる。アルカリ水溶液に
可溶性の層としてはニトロセルロースなどが例示できる
。また、水に膨潤する樹脂としてはでんぷん−アクリロ
ニトリルグラフト共重合体、ポリビニルアルコールの部
分架橋物などが例示できる。

部分的にこの層を設けるには、グラビア印刷、スクリー
ン印刷などの印刷方法で印刷すれば良い。

また、水溶解性の層を全面に、この層を水不溶性に変え
る化合物を部分的に、任意の順序で形成した後、加熱し
てこれらを反応硬化させることにより、部分的に水溶解
性の層を設けることもできる。

水溶解性の層を不溶性に変える化合物としては各種イソ
シアネート基、アルデヒド基、活性ビニル基、エポキシ
基を有する架橋剤；塩化アルミニウム；アルキルチタン
；ホウ酸等が使用できる。

また、光、紫外線、電子線などの放射線により硬化する
樹脂を塗布した後、部分的に放射線を照射して硬化させ
ることによって得ることもできる。

部分的に照射するに当たっては、硬化させない（溶解性
のまま維持する）部分に放射線遮断性の層を設けて、全
面に向けて照射することによって、結果として部分的な
照射が可能である。

除去は、蒸着したのちのシートを溶剤に浸漬し、十分に
上記層が溶剤を吸収した後、軽く拭き取ることによって
可能である。

部分的に蒸着層を形威した蒸着シートは、主に装飾ない
し意匠性向上のために用いられる０例えば、転写シート
、ラベルなどである。

（ｃ）カラーフィルター 部分的に、かつ交互に、反射または透過する光の異なる
多層の蒸着膜（２）を形威したシートである。蒸着膜（
２）はいずれも透明な材料から構成され、好ましくは酸
化珪素と酸化チタンを交互に多層に蒸着した蒸着膜が用
いられる。溶剤溶解性の層を利用することにより、それ
ぞれの層を部分的に形威し、これを多数回繰り返すこと
によって得ることができる。

もっとも、カラーフィルターを部分化する場合には、そ
れぞれの蒸着膜が極めて微小な部分に設けられ、しかも
その位置精度の要求が厳しいため、以下の如き方法を用
いることが望ましい。すなわち、酸化珪素と酸化チタン
の交互多層蒸着膜を形威し、次いでクロム等の金属を蒸
着した後、放射線硬化型樹脂を塗布、部分的に放射線照
射して硬化、現像し１、硝酸第二セリウムアンモニウム
過塩素酸等のエング液で金属をエツチングし、さらにＣ
Ｆ、ＣＩ２などのエツチングガスで上記多層膜をエツチ
ングする。かかる工程を一工程として繰り返すことによ
りカラーフィルターを得ることができる。多層膜のエツ
チングは反応性イオンエツチングで行い、例えば、ガス
流量２０〜５０ｓｅｃｍ、ガス圧力２０ｍｍＴｏ　ｒ　
ｒｌ、印加電力密度０．３３Ｗ／ｅｊで約３０分間で行
うことができる。

（実施例１） 厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上
にアクリルポリオール４８重量％、トルエンジイソシア
ネート４０重量％、ポリ塩化ビニル−酢酸ビニル共重合
体１２重量％から成る二液硬化型ポリウレタン接着剤を
厚さ０．４μｍに塗布し、常温下で１日間放置して完全
硬化した後、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を厚さ２００
０オングストロームに蒸着した。

蒸着は、電子線加熱法による真空蒸着法で行い、その蒸
着条件は以下の通りである。

・蒸着条件。

初期真空度　２．０ＸＩＯ−’ｔｏｒｒ、以下。

成膜時真空度 １．５〜３．０Ｘｔｏｒｒ。

蒸発速度　２５±１オングストロ一ム／秒。

冷却ロール温度　−１０°Ｃ０ 次いで、この蒸着面に、同じウレタン系接着剤を塗布量
３　ｇ／ｒｒｒ’！布し、プラスチックフィルムを重ね
、ニップ圧４ｋｇ／ｃｊで接着した。

プラスチックフィルムは厚さ７μｍの未延伸ホモポリプ
ロピレン（融点１６５　”Ｃ）　、厚さ４５μｍの未延
伸エチレン−プロピレンブロック共重合体（融点１２３
°Ｃ）、厚さ７μｍの未延伸ホモポリプロピレン（融点
１５７°Ｃ）をこの順に積層したもので、三層共押し出
し製膜して製造したものである。プラスチックフィルム
は、融点１２３°Ｃの未延伸ポリプロピレンが蒸着膜に
対面するように接着した。

得られた蒸着シートのプラスチック面同士を重、蒸着シ
ート裏面から加熱したシールバーを押し当てて、シール
バー塩度１７０から１７５°Ｃ１圧力２．０ｋｇ／ｄ、
時間２．０秒の条件でヒートシールした。

かかるヒートシール部分にクラックの発生は認められず
、回折光も生じなかった。

なお、かかる蒸着シートを二枚重ね、周辺を同様の条件
でヒートシールすることにより、１００Ｘ１００ｃｍの
袋を作って、塩化カルシウムを充填し、４０°Ｃ１９０
％Ｒ，Ｈ，の条件下に保存したところ、２６日経過後も
シール部分の剥離が生しなかった。この結果から、かか
る蒸着シートの水草気遣断性が極めて優れたものである
ことが分かった。

（実施例２） 第２図に示す装置を用いて、厚さ１２μｍのポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に３ｉ０ｘ薫着膜を厚さ８
５０オングストロームに形成した。

圧力は０，１ｔｏｒｒ、、原料ガスは５ｉＨａとＮ、Ｏ
の混合ガス、マイクロ波のパワー密度は２から４　Ｗ／
ｃｄ、製膜速度は１００オングストローム／秒である。

得られた蒸着膜は金属珪素含有率が膜厚方向に連続的に
変化しているもので、ポリエチレンテレフタレート表面
では金属珪素含有率約２０原子％、低級酸化物（Ｓｉｎ
、Ｓｉ、０２Ｓｔ、○、）含有率４５％であり、蒸着膜
表面では金属珪素含有率約４０原子％、低級酸化物（Ｓ
ｉ０　　Ｓ　ｉｚ　Ｏ，Ｓ　ｉｔ　○、）含有率３４％
であった。

次いで実施例１と同様に三層のプラスチックフィルムを
ドライラミネートした。

かかるフィルムのブラスチンクツ４１１ム面をポリ塩化
ビニル製カード面に重ね、加熱ロールによりヒートシー
ルした。

カードは予め画像状に昇華性染料で染色されたもので、
ヒートシール条件はロール温度１７０℃である。

得られたカードは耐紫外線性に優れた画像を有するもの
で、画像面に回折光等は認められなかった。

（実施例３） 第３図に示す装置を用いて、厚さ１２μｍのポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に酸化アルミニウムを蒸着
した。蒸着条件は以下の通りである。

・蒸着条件。

真空度　　　３Ｘ１０−’ｔｏｒｒ、　となるように酸
素ガスでコントロール。

高周波電力（１３，５６ＭＨｚ　）　ｌ　ｋＷ。

蒸着速度　３０オングストロ一ム／秒。

得られたシートは透明性と酸素遮断性に優れたものであ
った。

次いで実施例１と同様に三層のプラスチックフィルムを
ドライラミネートした。

得られた蒸着シートのプラスチック面同士を重、実施例
１と同様の条件でヒートシールした。

かかるヒートシール部分にクランクの発生は認められず
、回折光も生しなかった。

（実施例４） 第４図の装置を使用し、厚さ２５μｍの未延伸ポリプロ
ピレンフィルム上にアルミニウムを厚さ６００オングス
トロームに蒸着した。蒸着条件は以下の通りである。

・蒸着条件 イオンビーム照射　　蒸着前（３５）に照射。

ガス　　　高純度酸素ガス。

イオンビーム電流密度　５．７６μＡ／ｄ　（ファラデ
ーカップ法によ り測定）。

蒸着速度　３０オングストロ一ム／秒。

得られた蒸着シートのプラスチック面同士を重、実施例
１と同様の条件でヒートシールした。

かかるヒートシール部分にクラックの発生は認められず
、回折光も生しなかった。

（実施例５） 蒸着前にイオンビーム照射することに変えて、イオンビ
ーム照射を蒸着と同時に行った他は実施例４と同様に実
験を行った。

（実施例６） 厚さ０．５ｍｍのパイレックスガラス上に抵抗加熱法に
よる真空蒸着法により、酸化チタン（Ｔｉ０．）と酸化
珪素（Ｓｔｏｗ）の交互多層蒸着膜（合計厚さ０．９μ
ｍ）を形成した。かかる蒸着膜はシアンの光を透過する
０反射光はその補色である。

次いで実施例１と同様に三層のプラスチックフィルムを
ドライラミネートした。

得られた蒸着シートのプラスチック面に、ボリエチレン
テレフタレート／ポリプロピレンの積層シートのポリプ
ロピレン面を重ね、加熱盤により、熱接着した。加熱温
度は１６５°ｃ１時間は２．５秒である。

得られたシートにクランクの発生は認められず、回折光
もなく、所定のシアン光のみを透過する干渉フィルター
であった。

（効果） 以上のように、本発明によれば、蒸着膜にクラックを生
しることなく、熱接着可能な蒸着シートが得られる。

このため、包装材料として使用する際に酸素や水蒸気等
のガス遮断性の劣化がなく、内容物の長期保存が可能と
なる。

また、クラックが発生しないことから、回折光が生しる
こともなく、蒸着膜本来の金属光沢、透過光または反射
光選択性、記録された信号、ホログラム画像などを維持
できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図は蒸着シートの断
面図、第２図、第３図Ａ及びＢ、第４図、第５図Ａ及び
Ｂは蒸着装置の説明図、第６図Ａ及びＢは袋の平面図、
第７図Ａ及びＢは包装体の斜視図、第８図は電磁波吸収
壁の説明図である。 （１）−一一一一基体シー）　　　（２）−・−蒸着膜
（３）−−−・第１のプラスチック層 （４）・−第２のプラスチック層 （５）・−・・−第３のプラスチック層（１１）・・−
・ダンサ−ロール （１２）−・−エキスパンダーロール （１３）−−−一冷却ロール （１４）　−導波管　（１５）　−ガス導入口（１６）
・・−プラズマ誘導用マグネット（１７）−−−マグネ
トロン （１８Ｌ−・・・巻出しロール （１９）−・・−巻取りロール （２１）−一−−−制御ロール （２２）−−−−一エキスパンダーロール（２３）−−
一−−冷却ロール （２４）−−−−−ダンサ−ロール （２５）−・・蒸着源 （２６）−・−蒸着パワー （２７）−一・・・巻出しロール （２８）　−巻取りロール （３１）−巻出しロール （３２）−・・−エキスパンダーロール（３３）−・・
・−冷却ロール （３４）−−−イオンビーム源 （３５Ｌ−・・−イオンビーム照射部 （３６）　−ｍ−・蒸着部　（３９）・−・−巻取りロ
ール（４１）−ｍ−・・ダンサ−ロール （４２）−・−・−エキスパンダーロール（４３）−・
・・〜冷却ロール （４４）−・・・−プラズマ処理装置 （４５）−・−電極 （４６）　−一一一・蒸着源　（４７）・・−ガス導入
口（４８）・−巻出しロール （４９）−・−・−巻取りロール （７０）　−−−ｍ−電波暗室の壁 （２００）・・・・−金属酸化物分子 １　）　−高周波コイル ０　）　−マツチングボックス ０）−・−高周波電源 ０）・−・−蒸着材料 ０）・−マスフロコントローラー 〇）−・−酸素ガス ０　）　−−−−−ガス流路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）蒸着膜を設けた基体シートの蒸着膜面に三層のプ
   ラスチック層を積層して成り、かかる三層のプラスチッ
   クの中間層の融点が両側のプラスチック層の融点より低
   いことを特徴とする熱接着性蒸着シート。