JPH0324319A - 気体軸受装置 - Google Patents
気体軸受装置Info
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- JPH0324319A JPH0324319A JP1159317A JP15931789A JPH0324319A JP H0324319 A JPH0324319 A JP H0324319A JP 1159317 A JP1159317 A JP 1159317A JP 15931789 A JP15931789 A JP 15931789A JP H0324319 A JPH0324319 A JP H0324319A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/12—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement characterised by features not related to the direction of the load
- F16C17/18—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement characterised by features not related to the direction of the load with floating brasses or brushing, rotatable at a reduced speed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
- F16C17/026—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with helical grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure, e.g. herringbone grooves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
- F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は気体軸受装置、特には高精度な高速回転が必要
とされる機器、例えばポリゴンミラ一回転装置、繊ｍ巻
取り装置、各種工作機械等のスピンドルユニットに適用
される気体軸受装置に関するものである． ［従来の技術］ 従来、高速回転可能なスピンドルユニットに適用される
気体軸受装置としては、例えば第９図に示すようなもの
が知られている。この装置は、殻に静圧軸受装置と呼ば
れるもので、回転釉１０２と軸受パッド１０４の間に数
ミクロンの間隔を設け、この間隔に軸受パッド１０４か
ら気体、例えば空気を噴出することにより、ハウジング
１０１に対して回転軸１０２を静圧支持するものである
。
とされる機器、例えばポリゴンミラ一回転装置、繊ｍ巻
取り装置、各種工作機械等のスピンドルユニットに適用
される気体軸受装置に関するものである． ［従来の技術］ 従来、高速回転可能なスピンドルユニットに適用される
気体軸受装置としては、例えば第９図に示すようなもの
が知られている。この装置は、殻に静圧軸受装置と呼ば
れるもので、回転釉１０２と軸受パッド１０４の間に数
ミクロンの間隔を設け、この間隔に軸受パッド１０４か
ら気体、例えば空気を噴出することにより、ハウジング
１０１に対して回転軸１０２を静圧支持するものである
。
［発明が解決しようとしている問題点］しかしながら、
このような従来例では、回転軸１０２が高速回転し、回
転軸１０２がその半径方向に膨らむと、回転軸１０２の
表面が軸受パッド１０４に接触し、軸受パッド１０４を
傷付けてしまうという不都合があった．また、高速回転
の際にも両者が接触しない程度に、回転ｉ１０２と軸受
パッド１０４の間の間隔を大きくすると、静圧釉受とし
ての剛性が低下して、回転精度が低下するという不都合
が生じる。このため、従来例では、回転軸１０２を精度
よく高速回転させることが困難であった。
このような従来例では、回転軸１０２が高速回転し、回
転軸１０２がその半径方向に膨らむと、回転軸１０２の
表面が軸受パッド１０４に接触し、軸受パッド１０４を
傷付けてしまうという不都合があった．また、高速回転
の際にも両者が接触しない程度に、回転ｉ１０２と軸受
パッド１０４の間の間隔を大きくすると、静圧釉受とし
ての剛性が低下して、回転精度が低下するという不都合
が生じる。このため、従来例では、回転軸１０２を精度
よく高速回転させることが困難であった。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、その目
的は、回転軸を高精度に高速回転させることのできる気
体軸受装置を提供することにある。
的は、回転軸を高精度に高速回転させることのできる気
体軸受装置を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、上述の目的を達戒するために、ヘリングボー
ン溝が形成されている回転軸と、気体噴出用の軸受パッ
ドを有するハウジングと、前記回転軸と前記ハウジング
の間に前記回転軸を囲むように介在するスリーブを有し
、前記軸受パッドから気体を噴出することにより前記ス
リーブを前記ハウジングに対して静圧支持すると共に、
前記回転軸と前記スリーブの相対的な回転差に応じて前
記ヘリングボーン溝が発生する動圧により前記回転軸を
前記スリーブに対して動圧支持している。
ン溝が形成されている回転軸と、気体噴出用の軸受パッ
ドを有するハウジングと、前記回転軸と前記ハウジング
の間に前記回転軸を囲むように介在するスリーブを有し
、前記軸受パッドから気体を噴出することにより前記ス
リーブを前記ハウジングに対して静圧支持すると共に、
前記回転軸と前記スリーブの相対的な回転差に応じて前
記ヘリングボーン溝が発生する動圧により前記回転軸を
前記スリーブに対して動圧支持している。
［作用］
本発明によれば、ハウジングに静圧支持されたスリーブ
は、回転軸を動圧支持しながら、回転軸よりも遅い速度
で回転することになる。このため、回転軸を高速回転さ
せる際には、回転軸と同様にスリーブも半径方向に膨ら
むことになるので、両者が接触することはない。また、
この場合には、スリーブの膨らみは回転速度が遅い分だ
け回転軸の膨らみよりも小さいので、静圧軸受の剛性を
高めるために軸受パッドとスリーブの間隔を狭めても、
軸受パッドとスリーブが接触する恐れは小さい。従って
、本発明によれば、高精度に高速回転できる気体軸受装
置の提供が可能となる。
は、回転軸を動圧支持しながら、回転軸よりも遅い速度
で回転することになる。このため、回転軸を高速回転さ
せる際には、回転軸と同様にスリーブも半径方向に膨ら
むことになるので、両者が接触することはない。また、
この場合には、スリーブの膨らみは回転速度が遅い分だ
け回転軸の膨らみよりも小さいので、静圧軸受の剛性を
高めるために軸受パッドとスリーブの間隔を狭めても、
軸受パッドとスリーブが接触する恐れは小さい。従って
、本発明によれば、高精度に高速回転できる気体軸受装
置の提供が可能となる。
［実施例］
以下、本発明を図に示した実施例に基づいて説明する。
第１図は本発明の気体軸受装置を用いたスピンドル機構
を示すもので、この図において、１はハウジング、２は
回転軸、３は回転軸２を囲むようにハウジング１と回転
軸２の間に介在されている円筒状のスリーブで、図示の
如く、ハウジングｉ内に設けられている。
を示すもので、この図において、１はハウジング、２は
回転軸、３は回転軸２を囲むようにハウジング１と回転
軸２の間に介在されている円筒状のスリーブで、図示の
如く、ハウジングｉ内に設けられている。
４はそれぞれ多孔質材で形成されている軸受パッドで、
ハウジング１の両端部に設けられている。ハウジング１
には各軸受パッド４に対応して給気通路８が形成され、
軸受パッド４には給気通路８を介して気体供給源２０か
ら気体、例えば空気が供給される。軸受パッド４に供給
される気体は、軸受パッド４からスリーブ３に向けて噴
出され、この後、排気通路９を介してハウジング１の外
部に排出ざれる。なお、軸受パッド４は多孔質材を用い
た絞りでなくても、自戒絞り、オリフィス絞り、表面絞
り等の他の絞り方式のものでも良い。
ハウジング１の両端部に設けられている。ハウジング１
には各軸受パッド４に対応して給気通路８が形成され、
軸受パッド４には給気通路８を介して気体供給源２０か
ら気体、例えば空気が供給される。軸受パッド４に供給
される気体は、軸受パッド４からスリーブ３に向けて噴
出され、この後、排気通路９を介してハウジング１の外
部に排出ざれる。なお、軸受パッド４は多孔質材を用い
た絞りでなくても、自戒絞り、オリフィス絞り、表面絞
り等の他の絞り方式のものでも良い。
５は回転軸２の表面にその回転方向に沿って形成されて
いる動圧発生用のヘリングボーン溝で、図示の如く、ハ
ウジング１の両端部近傍にそれぞれ位置するように、回
転軸２上で２箇所に形成されている。ハウジング１とス
リーブ３の間には空気層〈間隔〉６が形成され、スリー
ブ３と回転軸２の間には空気層（間隔）７が形成されて
いる。
いる動圧発生用のヘリングボーン溝で、図示の如く、ハ
ウジング１の両端部近傍にそれぞれ位置するように、回
転軸２上で２箇所に形成されている。ハウジング１とス
リーブ３の間には空気層〈間隔〉６が形成され、スリー
ブ３と回転軸２の間には空気層（間隔）７が形成されて
いる。
空気層６と空気層７はスリーブ３によって完全に遮断さ
れている． 次に、この実施例の動作を説明する。先ず、回転軸２が
停止もしくは低速で回転している際には、回転＠２はス
リーブ３に接触した状態でスリーブ３に支持されている
。一方、スリーブ３は、軸受パッド４がら空気層６に噴
出されている気体により構成される静圧軸受により、ハ
ウジング１ （＠受パッド４）に対して非接触に、且つ
回転可能に支持されている。従って、この際には、回転
軸２はスリーブ３と一体的に静圧軸受で支持された状態
で回転ずる。
れている． 次に、この実施例の動作を説明する。先ず、回転軸２が
停止もしくは低速で回転している際には、回転＠２はス
リーブ３に接触した状態でスリーブ３に支持されている
。一方、スリーブ３は、軸受パッド４がら空気層６に噴
出されている気体により構成される静圧軸受により、ハ
ウジング１ （＠受パッド４）に対して非接触に、且つ
回転可能に支持されている。従って、この際には、回転
軸２はスリーブ３と一体的に静圧軸受で支持された状態
で回転ずる。
この後、次第に回転軸２の回転速度が増加していくと、
ハウジング１とスリーブ３の間の空気層６の粘性抵抗が
増加し、この粘性抵抗が回転軸２とスリーブ３の間の最
大静止摩擦力よりも大きくなったとき、回転軸２とスリ
ーブ３の間に相対的な回転が生じる。この相対的な回転
差の発生に応じて、回転軸２とスリーブ３の間にはヘリ
ングボーン溝５により動圧が生じる． 更に、この後、回転軸２の回転速度が増加して、回転軸
２の回転速度が定常回転数となったときには、ヘリング
ボーン満５により生じている動圧（動圧軸受）によって
、回転軸２はスリーブ３に対して非接触状態で支持され
ている．即ち、この際には、ハウジング１とスリーブ３
の間の静圧軸受により、スリーブ３はハウジング１に対
して非接触に支持され、回転釉２とスリーブ３の間の動
圧軸受により、回転軸２はスリーブ３に対して非接触に
支持されている。
ハウジング１とスリーブ３の間の空気層６の粘性抵抗が
増加し、この粘性抵抗が回転軸２とスリーブ３の間の最
大静止摩擦力よりも大きくなったとき、回転軸２とスリ
ーブ３の間に相対的な回転が生じる。この相対的な回転
差の発生に応じて、回転軸２とスリーブ３の間にはヘリ
ングボーン溝５により動圧が生じる． 更に、この後、回転軸２の回転速度が増加して、回転軸
２の回転速度が定常回転数となったときには、ヘリング
ボーン満５により生じている動圧（動圧軸受）によって
、回転軸２はスリーブ３に対して非接触状態で支持され
ている．即ち、この際には、ハウジング１とスリーブ３
の間の静圧軸受により、スリーブ３はハウジング１に対
して非接触に支持され、回転釉２とスリーブ３の間の動
圧軸受により、回転軸２はスリーブ３に対して非接触に
支持されている。
この時のスリーブ３の角速度ωは、空気層６の半径方向
の厚さをｈ，（５〜１０μｍ程度）、空気層７の半径方
向の厚さをｈ２ （５〜ｌＯμｍ程度）、回転軸２の角
速度をω。とすると、で表わさせる。ただし、スリーブ
３の半径方向の厚さｔが、回転軸２の軸径ｄに比べて十
分に小さいものとする。
の厚さをｈ，（５〜１０μｍ程度）、空気層７の半径方
向の厚さをｈ２ （５〜ｌＯμｍ程度）、回転軸２の角
速度をω。とすると、で表わさせる。ただし、スリーブ
３の半径方向の厚さｔが、回転軸２の軸径ｄに比べて十
分に小さいものとする。
従って、回転軸２の回転速度が定常速度となったときに
は、スリーブ３も回転軸２の回転速度より遅い所望の速
度で回転することになる。このため、高速回転時、遠心
力により回転！Ｎｌ２が半径方向に膨らんでも、スリー
ブ３の内、外径も同様に膨らんでいるので、両者が接触
することがない。
は、スリーブ３も回転軸２の回転速度より遅い所望の速
度で回転することになる。このため、高速回転時、遠心
力により回転！Ｎｌ２が半径方向に膨らんでも、スリー
ブ３の内、外径も同様に膨らんでいるので、両者が接触
することがない。
また、スリーブ３の角速度ωは回転ＩＭ２の角速度ω。
よりも小さいので、遠心力による膨らみも小さく、空気
層６の半径方向の厚さｈ，をそれほど大きくしなくても
、スリーブ３が軸受パッド４に接触しないようにできる
。即ち、静圧軸受の剛性を低下させることなく、高速回
転時の接触を防止できる。
層６の半径方向の厚さｈ，をそれほど大きくしなくても
、スリーブ３が軸受パッド４に接触しないようにできる
。即ち、静圧軸受の剛性を低下させることなく、高速回
転時の接触を防止できる。
なお、回転軸２の停止時もしくは低速回転時にも、回転
軸２とスリーブ３の間に空気層７が存在するように、予
め゛回転軸の２の直径よりもスリーブ３の内径を多少大
きくして設定するようにしても良いが、この場合には、
回転Ｉ１ｉＩｌｌ２の停止時もしくは低速回転時には、
回転軸２はハウジング１に関して多少偏心した状態とな
る。一方、スリーブ３を回転Ｉｔｋ ２と比べてかなり
縦弾性係数の小さな材質で作れば、回転軸２の停止時も
しくは低速回転時は、空気層７の厚さｈ２が零であって
も、高速回転になるにつれて遠心力により空気層７が形
成されることになるので、上述の偏心を避けて、高速回
転時に回転軸２とスリーブ３の間に動圧を生じさせるこ
とも可能である。
軸２とスリーブ３の間に空気層７が存在するように、予
め゛回転軸の２の直径よりもスリーブ３の内径を多少大
きくして設定するようにしても良いが、この場合には、
回転Ｉ１ｉＩｌｌ２の停止時もしくは低速回転時には、
回転軸２はハウジング１に関して多少偏心した状態とな
る。一方、スリーブ３を回転Ｉｔｋ ２と比べてかなり
縦弾性係数の小さな材質で作れば、回転軸２の停止時も
しくは低速回転時は、空気層７の厚さｈ２が零であって
も、高速回転になるにつれて遠心力により空気層７が形
成されることになるので、上述の偏心を避けて、高速回
転時に回転軸２とスリーブ３の間に動圧を生じさせるこ
とも可能である。
次に、本発明の他の実施例を説明する。第２図は本発明
の更に改良された気体軸受装置を示す図、第３図は第２
図のＡ部分を拡大して示す図、第４図は第２図のＢ−Ｂ
断面を示す図である。
の更に改良された気体軸受装置を示す図、第３図は第２
図のＡ部分を拡大して示す図、第４図は第２図のＢ−Ｂ
断面を示す図である。
この実施例は、スリーブ３の軸方向の移動を規制するた
めの手段がハウジング１に更に設けられている点が、第
１図の実施例と異なっている。第２図において、１２は
スリーブ３の軸方向の移動を規制するための規制板で、
ハウジング１の両側にそれぞれ設けられている。第４図
に示す如く、規制板１２には回転＠２の回転方向に沿っ
て等間隔に４つの通気路１２ａが形成されている。通気
路１２ａには給気通路８を介して気体供給源２０から気
体が供給されている。通気路１２ａに供給された気体は
、第３図に示す如く、スリーブ３の側而３ａに向けて噴
射され、その圧力によりスリーブ３の軸方向の移動を規
制する。
めの手段がハウジング１に更に設けられている点が、第
１図の実施例と異なっている。第２図において、１２は
スリーブ３の軸方向の移動を規制するための規制板で、
ハウジング１の両側にそれぞれ設けられている。第４図
に示す如く、規制板１２には回転＠２の回転方向に沿っ
て等間隔に４つの通気路１２ａが形成されている。通気
路１２ａには給気通路８を介して気体供給源２０から気
体が供給されている。通気路１２ａに供給された気体は
、第３図に示す如く、スリーブ３の側而３ａに向けて噴
射され、その圧力によりスリーブ３の軸方向の移動を規
制する。
また、規制板１２は自己潤滑性材料で形威され、もしス
リーブ３と接触しても固体潤滑により、不都合が生じな
いようになされている。
リーブ３と接触しても固体潤滑により、不都合が生じな
いようになされている。
１０は規制板ｌ２をハウジング１に取付けるための取付
け板、１ｌは取付け板１０をハウジング１に固定するた
めのネジである。他は第１図の実施例と同様である。
け板、１ｌは取付け板１０をハウジング１に固定するた
めのネジである。他は第１図の実施例と同様である。
第５図は規制手段を多孔質材料で形成する例を示すもの
で、第５図とこの図のＡ−Ａ断面を示す第６図において
、ｌ５は第２図の規制板１２と同様な作用を行なう規制
板で、この規制板１５は例えばグラファイト等の自己潤
滑性を有するカーボン系の多孔質材で形威されている。
で、第５図とこの図のＡ−Ａ断面を示す第６図において
、ｌ５は第２図の規制板１２と同様な作用を行なう規制
板で、この規制板１５は例えばグラファイト等の自己潤
滑性を有するカーボン系の多孔質材で形威されている。
規制板１５には軸受パッド４を介して気体が供給され、
供給された気体は第２図の実施例と同様にスリーブ３の
側面に噴射され、スリーブ３の軸方向の移動を規制する
。他は上述の実施例と同様である。
供給された気体は第２図の実施例と同様にスリーブ３の
側面に噴射され、スリーブ３の軸方向の移動を規制する
。他は上述の実施例と同様である。
第７図は、スリーブ３の軸方向の移動を、磁力を用いて
規制する例を示すものである。第７図とこの図の矢視Ａ
を示す第８図において、ｌ７は永久磁石で、ハウジング
１の両側に、回転軸２の回転方向に沿って等間隔に４つ
配置されている。ハウジングｌの図示右側の永久磁石１
７はスリーブ３に対向する側がＳ極に、また、図示左側
の永久磁石１７はスリーブ３に対向する側がＮ極に設定
されている。スリーブ３の図示右端はＳ極に、また、図
示左端はＮ極に磁化されている。これらにより、スリー
ブ３と永久磁石ｌ７の間に反発力が生じるので、スリー
ブ３は軸方向の移動が規制される。なお、この場合には
、回転軸２は非磁性体で形成される。他は上述の実施例
と同様である。
規制する例を示すものである。第７図とこの図の矢視Ａ
を示す第８図において、ｌ７は永久磁石で、ハウジング
１の両側に、回転軸２の回転方向に沿って等間隔に４つ
配置されている。ハウジングｌの図示右側の永久磁石１
７はスリーブ３に対向する側がＳ極に、また、図示左側
の永久磁石１７はスリーブ３に対向する側がＮ極に設定
されている。スリーブ３の図示右端はＳ極に、また、図
示左端はＮ極に磁化されている。これらにより、スリー
ブ３と永久磁石ｌ７の間に反発力が生じるので、スリー
ブ３は軸方向の移動が規制される。なお、この場合には
、回転軸２は非磁性体で形成される。他は上述の実施例
と同様である。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明は、回転軸と軸受パッドの
間にスリーブを設け、更に回転軸の表面には動圧発生用
にヘリングボーン溝を設けることによって、回転軸は対
して静圧軸受と動圧軸受が直列となるため、本発明によ
れば、停止時もしくは低速回転時には静圧軸受により、
また、高速回転時には静圧及び動圧軸受により、回転軸
をハウジング（軸受パッド）に対して常に非接触状態と
することができる。
間にスリーブを設け、更に回転軸の表面には動圧発生用
にヘリングボーン溝を設けることによって、回転軸は対
して静圧軸受と動圧軸受が直列となるため、本発明によ
れば、停止時もしくは低速回転時には静圧軸受により、
また、高速回転時には静圧及び動圧軸受により、回転軸
をハウジング（軸受パッド）に対して常に非接触状態と
することができる。
従って、本発明によれば、起動時のトルクを小さくでき
ると共に、回転軸及び軸受パッドの摩耗を防ぐことがで
きる。また、高速回転時の遠心力による回転軸の膨らみ
は、スリーブも膨らむことにより緩和されるので、回転
軸とスリーブの間隔と、スリーブとハウジング（軸受パ
ッド）の間隔を遠心力を見込んだ大きさにする必要がな
く、軸受剛性の低下を大幅に防ぐことができる。更に、
静圧及び動圧軸受を直列に配置し、その間にスリーブを
介在させたことにより、軸受全休の発熱量も静圧のみの
場合に比して小さくなる。
ると共に、回転軸及び軸受パッドの摩耗を防ぐことがで
きる。また、高速回転時の遠心力による回転軸の膨らみ
は、スリーブも膨らむことにより緩和されるので、回転
軸とスリーブの間隔と、スリーブとハウジング（軸受パ
ッド）の間隔を遠心力を見込んだ大きさにする必要がな
く、軸受剛性の低下を大幅に防ぐことができる。更に、
静圧及び動圧軸受を直列に配置し、その間にスリーブを
介在させたことにより、軸受全休の発熱量も静圧のみの
場合に比して小さくなる。
第１図は本発明の気体軸受装置を用いたスピンドル機構
の一実施例を示す図、第２図は本発明の他の実施例を示
す図、第３図は第２図のＡ部分を拡大して示す図、第４
図は第２図のＢ−Ｂ断面を示す図、第５図は本発明の更
に他の実施例を示す図、第６図は第５図のＡ−Ａ断面を
示す図、第７図は本発明の更に他の実施例を示す図、第
８図は第７図の矢視Ａを示す図、第９図は従来例を示す
図である。 １はハウジング、２は回転軸、３はスリーブ、４は軸受
パッド、５はヘリングボーン溝、６・７は空気層、１２
・ｌ５は規制板、ｌ７は永久磁石、２０は気体供給源で
ある。 ｋ’（Ｚ ゝｆｆ
の一実施例を示す図、第２図は本発明の他の実施例を示
す図、第３図は第２図のＡ部分を拡大して示す図、第４
図は第２図のＢ−Ｂ断面を示す図、第５図は本発明の更
に他の実施例を示す図、第６図は第５図のＡ−Ａ断面を
示す図、第７図は本発明の更に他の実施例を示す図、第
８図は第７図の矢視Ａを示す図、第９図は従来例を示す
図である。 １はハウジング、２は回転軸、３はスリーブ、４は軸受
パッド、５はヘリングボーン溝、６・７は空気層、１２
・ｌ５は規制板、ｌ７は永久磁石、２０は気体供給源で
ある。 ｋ’（Ｚ ゝｆｆ
Claims (5)
- （１）ヘリングボーン溝が形成されている回転軸と、気
体噴出用の軸受パッドを有するハウジングと、前記回転
軸と前記ハウジングの間に前記回転軸を囲むように介在
するスリーブを有し、前記軸受パッドから気体を噴出す
ることにより前記スリーブを前記ハウジングに対して静
圧支持すると共に、前記回転軸と前記スリーブの相対的
な回転差に応じて前記ヘリングボーン溝が発生する動圧
により前記回転軸を前記スリーブに対して動圧支持する
ことを特徴とする気体軸受装置。 - （２）前記スリーブの縦弾性係数は前記回転軸の縦弾性
係数より小さいことを特徴とする請求項（１）に記載の
気体軸受装置。 - （３）前記ハウジングは前記スリーブの軸方向の移動を
規制するための規制手段を有することを特徴とする請求
項（１）に記載の気体軸受装置。 - （４）前記規制手段は前記スリーブの側面に気体を噴出
するものであることを特徴とする請求項（３）に記載の
気体軸受装置。 - （５）前記規制手段は永久磁石を有し、この永久磁石に
より前記規制手段と前記スリーブの間に反発力を発生さ
せるのであることを特徴とする請求項（３）に記載の気
体軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1159317A JPH0324319A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 気体軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1159317A JPH0324319A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 気体軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0324319A true JPH0324319A (ja) | 1991-02-01 |
Family
ID=15691154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1159317A Pending JPH0324319A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 気体軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0324319A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005083506A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Canon Inc | 空気軸受装置 |
| US8052327B2 (en) * | 2007-06-04 | 2011-11-08 | Ntn Corporation | Hydrostatic gas bearing, rotator and CT scanner |
| US20150104123A1 (en) * | 2013-10-11 | 2015-04-16 | General Electric Company | Journal bearing assemblies and methods of assembling same |
-
1989
- 1989-06-21 JP JP1159317A patent/JPH0324319A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005083506A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Canon Inc | 空気軸受装置 |
| US8052327B2 (en) * | 2007-06-04 | 2011-11-08 | Ntn Corporation | Hydrostatic gas bearing, rotator and CT scanner |
| US20150104123A1 (en) * | 2013-10-11 | 2015-04-16 | General Electric Company | Journal bearing assemblies and methods of assembling same |
| US9429191B2 (en) * | 2013-10-11 | 2016-08-30 | General Electric Company | Journal bearing assemblies and methods of assembling same |
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