JPH03238344A - オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法 - Google Patents
オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法Info
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- JPH03238344A JPH03238344A JP3378990A JP3378990A JPH03238344A JP H03238344 A JPH03238344 A JP H03238344A JP 3378990 A JP3378990 A JP 3378990A JP 3378990 A JP3378990 A JP 3378990A JP H03238344 A JPH03238344 A JP H03238344A
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、紫外線吸収方式のオゾン濃度測定装置におい
て、ガス流路手段に介設させたゼロガス生成装置のオゾ
ン除去性能の低下を判定する方法に関するものである。
て、ガス流路手段に介設させたゼロガス生成装置のオゾ
ン除去性能の低下を判定する方法に関するものである。
従来より、オゾンは極めて強い酸化力を有し、又、人工
的に生成することが可能であることから、殺菌処理等の
様々な工業的分野で利用されているが、例えば、放電に
よってオゾンを生成させても生成反応と同時に、分解反
応（抑制反応）も生じる等の極めて不安定な性質を有し
ている為、生成と同時にその濃度を連続的に測定する必
要性が有り、例えば、紫外線吸収方式による濃度測定が
周知のものとして行なわれている。
的に生成することが可能であることから、殺菌処理等の
様々な工業的分野で利用されているが、例えば、放電に
よってオゾンを生成させても生成反応と同時に、分解反
応（抑制反応）も生じる等の極めて不安定な性質を有し
ている為、生成と同時にその濃度を連続的に測定する必
要性が有り、例えば、紫外線吸収方式による濃度測定が
周知のものとして行なわれている。
紫外線吸収方式によるオゾン濃度の測定は、オｌシンが
紫外線領域に２５４ｎｍ付近をピークとする吸収スペク
トル（ハートレー帯）を有していることを利用して、セ
ル内に流入させた試料ガスへ２５３．７ｎｍに強い輝線
スペクトルを有する低圧水銀ランプ等で紫外線を照射し
て透過量を測定するもので、この方式に係る測定装置へ
は分岐路の一方にオゾンの除去能力を有するゼロガス生
成装置を介設させたガス流路手段と、光源ランプ、ディ
テクター等から成る光学測定手段が設けられ、先ず、ゼ
ロガス生成装置を通過したオゾンを含まない試料（ゼロ
ガス）を測定用の光学セル内に流入させて紫外線の透過
量を測定（Ｉｏ）Ｌ、次に試料ガスをそのままセル内に
流入させて同様に紫外線の透過量を測定（Ｉ ｘ）する
ことによって、以下（１）式に示すランバートベールの
法則に基づいてオゾン濃度を求めるものである。
紫外線領域に２５４ｎｍ付近をピークとする吸収スペク
トル（ハートレー帯）を有していることを利用して、セ
ル内に流入させた試料ガスへ２５３．７ｎｍに強い輝線
スペクトルを有する低圧水銀ランプ等で紫外線を照射し
て透過量を測定するもので、この方式に係る測定装置へ
は分岐路の一方にオゾンの除去能力を有するゼロガス生
成装置を介設させたガス流路手段と、光源ランプ、ディ
テクター等から成る光学測定手段が設けられ、先ず、ゼ
ロガス生成装置を通過したオゾンを含まない試料（ゼロ
ガス）を測定用の光学セル内に流入させて紫外線の透過
量を測定（Ｉｏ）Ｌ、次に試料ガスをそのままセル内に
流入させて同様に紫外線の透過量を測定（Ｉ ｘ）する
ことによって、以下（１）式に示すランバートベールの
法則に基づいてオゾン濃度を求めるものである。
Ｃ＝Ｋ ｌｏｇ Ｉ。／Ｉｘ ・・・・・・・・・・
・・・（１）Ｃニオシン濃度 に：比例定数 従って、（１）式から自明の如く、経時に亘る使用で前
述のゼロガス生成装置のオゾン除去性能が低下してしま
うと、Ｉｏの値が変化して正確なオゾン濃度の測定が不
可能と成るので、例えば、既に備えられているゼロガス
生成装置と新規のものとを交換し、夫々へ同じ試料ガス
を通過させて濃度測定の結果を比較することによって性
能低下を定期的に判定しているものである。
・・・（１）Ｃニオシン濃度 に：比例定数 従って、（１）式から自明の如く、経時に亘る使用で前
述のゼロガス生成装置のオゾン除去性能が低下してしま
うと、Ｉｏの値が変化して正確なオゾン濃度の測定が不
可能と成るので、例えば、既に備えられているゼロガス
生成装置と新規のものとを交換し、夫々へ同じ試料ガス
を通過させて濃度測定の結果を比較することによって性
能低下を定期的に判定しているものである。
然し乍ら、前述の方法では、ゼロガス生成装置の交換作
業等に手間がかかるだけでなく、所定の作業で判定させ
た結果、性能低下が全く認められない場合等には、再び
元の状態へ交換し直す必要がある等の極めて非効率的な
ものであった。
業等に手間がかかるだけでなく、所定の作業で判定させ
た結果、性能低下が全く認められない場合等には、再び
元の状態へ交換し直す必要がある等の極めて非効率的な
ものであった。
本発明は上記の事由に着目して、鋭意研讃の結果、紫外
線吸収方式のオゾン濃度測定において、ゼロガス生成装
置を介設させたガスの流路より試料ガスと所定のオゾン
含有ガスを時間差を設けて夫々光学セル内へ流入させ、
紫外線の透過量を測定することによって、極めて簡易な
ゼロガス生成装置のオゾン除去性能の低下判定方法を提
供するものである。
線吸収方式のオゾン濃度測定において、ゼロガス生成装
置を介設させたガスの流路より試料ガスと所定のオゾン
含有ガスを時間差を設けて夫々光学セル内へ流入させ、
紫外線の透過量を測定することによって、極めて簡易な
ゼロガス生成装置のオゾン除去性能の低下判定方法を提
供するものである。
本発明の構成は、ガスの流路をゼロガス生成装置側の一
方の分岐路へと切換えると共に試料ガス入口部より試料
ガスとオゾン含有ガスとを夫々流入し、試料ガスの紫外
線透過量を補償用ディテクターの検出値と測定用ディテ
クターの検出値との比率として求め、オゾン含有ガスの
紫外線透過量を補償用ディテクターの検出値と測定用デ
ィテクターの検出値との比率として求め、夫々の紫外線
透過量を比較演算してゼロガス生成装置の性能低下を判
定する構成である。
方の分岐路へと切換えると共に試料ガス入口部より試料
ガスとオゾン含有ガスとを夫々流入し、試料ガスの紫外
線透過量を補償用ディテクターの検出値と測定用ディテ
クターの検出値との比率として求め、オゾン含有ガスの
紫外線透過量を補償用ディテクターの検出値と測定用デ
ィテクターの検出値との比率として求め、夫々の紫外線
透過量を比較演算してゼロガス生成装置の性能低下を判
定する構成である。
斯る目的を達成せしめた本発明を以下実施例の図面によ
って説明する。
って説明する。
第１図は本発明に係るオゾン濃度測定装置の説明の為の
全体概要図である。
全体概要図である。
本発明は、紫外線吸収方式のオゾン濃度測定装Ｗ１にお
けるゼロガス生成装置１０のオゾン除去性能の低下を判
定する方法に関するものであり、該オゾン濃度測定装Ｗ
ｌはガス流路手段２と光学測定手段３とから成り、該ガ
ス流路手段２は測定用の光学セル４と、該光学セル４へ
送気管５を介して連通させた試料ガス入口部６と、排気
管７を介して連通させた排ガス出口部８とを備え、且つ
前記送気管５は操作弁９を介して三方へ並列接続させた
分岐路５ａ、５ｂを有し、該夫々の分岐路５ａ、５ｂの
一方５ａへはゼロガス生成装置１０を介設させると共に
、前記光学測定手段３へは前記光学セル４へ紫外光を照
射させる光源ランプ１１と、該光学セル４内を透過した
紫外光を受光させる測定用ディテクター１２と、該測定
用ディテクター１２の検出値を補償させる補償用ディテ
クター１３とを備えた紫外線吸収方式によるオゾン濃度
測定装置１において、前記操作弁９によりガスの流路を
ゼロガス生成装置１０側の一方の分岐路５ａへと切換え
ると共に、試料ガス入口部６より試料ガスとオゾン含有
ガスとを適宜な時間差を設けて夫々流入し、該試料ガス
のゼロガス生成させた後の紫外線透過量Ｖｚを前記補償
用ディテクター１３の検出値（Ｓ−１）と測定用ディテ
クター１２の検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−２／Ｓ−
１又はＳ−１／Ｓ−２）として求め、前記オゾン含有ガ
スのゼロガス生成させた後の紫外線透過量Ｖｏを前記補
償用ディテクター１３の検出値（Ｓ−１）と測定用ディ
テクター１２の検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−２／Ｓ
−１又はＳ−１／Ｓ−２）として求め、該夫々の紫外線
透過量Ｖｚ、Ｖｏを比較演算してゼロガス生成装Ｗ１０
の性能低下を判定するものである。
けるゼロガス生成装置１０のオゾン除去性能の低下を判
定する方法に関するものであり、該オゾン濃度測定装Ｗ
ｌはガス流路手段２と光学測定手段３とから成り、該ガ
ス流路手段２は測定用の光学セル４と、該光学セル４へ
送気管５を介して連通させた試料ガス入口部６と、排気
管７を介して連通させた排ガス出口部８とを備え、且つ
前記送気管５は操作弁９を介して三方へ並列接続させた
分岐路５ａ、５ｂを有し、該夫々の分岐路５ａ、５ｂの
一方５ａへはゼロガス生成装置１０を介設させると共に
、前記光学測定手段３へは前記光学セル４へ紫外光を照
射させる光源ランプ１１と、該光学セル４内を透過した
紫外光を受光させる測定用ディテクター１２と、該測定
用ディテクター１２の検出値を補償させる補償用ディテ
クター１３とを備えた紫外線吸収方式によるオゾン濃度
測定装置１において、前記操作弁９によりガスの流路を
ゼロガス生成装置１０側の一方の分岐路５ａへと切換え
ると共に、試料ガス入口部６より試料ガスとオゾン含有
ガスとを適宜な時間差を設けて夫々流入し、該試料ガス
のゼロガス生成させた後の紫外線透過量Ｖｚを前記補償
用ディテクター１３の検出値（Ｓ−１）と測定用ディテ
クター１２の検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−２／Ｓ−
１又はＳ−１／Ｓ−２）として求め、前記オゾン含有ガ
スのゼロガス生成させた後の紫外線透過量Ｖｏを前記補
償用ディテクター１３の検出値（Ｓ−１）と測定用ディ
テクター１２の検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−２／Ｓ
−１又はＳ−１／Ｓ−２）として求め、該夫々の紫外線
透過量Ｖｚ、Ｖｏを比較演算してゼロガス生成装Ｗ１０
の性能低下を判定するものである。
即ち、本発明に係るオゾン濃度測定装置１は紫外線吸収
方式により様々な試料ガスの含有オゾン濃度を測定する
装置であり、第１図図示の如く、主としてガス流路手段
２と光学測定手段３とから構成されるものである。
方式により様々な試料ガスの含有オゾン濃度を測定する
装置であり、第１図図示の如く、主としてガス流路手段
２と光学測定手段３とから構成されるものである。
前記ガス流路手段２は石英硝子及びステンレス製等の円
筒管等から成る中空の測定用の光学セル４を備え、該光
学セル４へは送気管５を介して連通させた試料ガス入口
部６と共に、排気管７を介して連通させた排ガス出口部
８とが設けられ、該試料ガス入口部６から光学セル４内
へ適宜な試料ガスを流入させて前記排ガス出口部８から
排出させるものであり、該試料ガス入口部６へ好ましく
は小型のオゾン発生装置（図示せず）等を設けて、試料
ガスだけでなく、例えば、ｌｐｐｍ程度のオゾンを含有
させた所定のオゾン含有ガスを送りこむことを可能とさ
せるものである。
筒管等から成る中空の測定用の光学セル４を備え、該光
学セル４へは送気管５を介して連通させた試料ガス入口
部６と共に、排気管７を介して連通させた排ガス出口部
８とが設けられ、該試料ガス入口部６から光学セル４内
へ適宜な試料ガスを流入させて前記排ガス出口部８から
排出させるものであり、該試料ガス入口部６へ好ましく
は小型のオゾン発生装置（図示せず）等を設けて、試料
ガスだけでなく、例えば、ｌｐｐｍ程度のオゾンを含有
させた所定のオゾン含有ガスを送りこむことを可能とさ
せるものである。
前記送気管５は三方向電磁弁等の単数個、又は二方向電
磁弁等の複数個の操作弁９を介して一方へ並列接続させ
た分岐路５ａ、５ｂを有しており、該夫々の分岐路５ａ
、５ｂの一方５ａへは通過するガスに含有するオゾンを
光、電磁波、触媒、熱、活性炭、或いはそれ等の効果的
な組合せによって分解、吸着等により除去させるゼロガ
ス生成装置１０を介設させるものであり、又、前記排気
管７と排ガス出口部８との間へは試料ガスの流入、排出
量を調節させる流量計１４、及び圧力ポンプ１５等を介
設させたものである。
磁弁等の複数個の操作弁９を介して一方へ並列接続させ
た分岐路５ａ、５ｂを有しており、該夫々の分岐路５ａ
、５ｂの一方５ａへは通過するガスに含有するオゾンを
光、電磁波、触媒、熱、活性炭、或いはそれ等の効果的
な組合せによって分解、吸着等により除去させるゼロガ
ス生成装置１０を介設させるものであり、又、前記排気
管７と排ガス出口部８との間へは試料ガスの流入、排出
量を調節させる流量計１４、及び圧力ポンプ１５等を介
設させたものである。
前記光学測定手段３は前記ガス流路手段２に備えられた
光学セル４へ紫外光を照射させる低圧水銀ランプ（２５
３，７ｎｍ）等の光源ランプ１１と、該光学セル４内を
透過した紫外光を受光させる測定用ディテクター１２が
適宜な間隔を有して設置され、又、該測定用ディテクタ
ー１２の検出値を補償させる補償用ディテクター１３が
前記光源ランプ１１からハーフミラ−１８、或いは石英
硝子板等の光学系を介設するか、或いは特に光学系は介
設せずに適宜な間隔を有して設置されるものである。
光学セル４へ紫外光を照射させる低圧水銀ランプ（２５
３，７ｎｍ）等の光源ランプ１１と、該光学セル４内を
透過した紫外光を受光させる測定用ディテクター１２が
適宜な間隔を有して設置され、又、該測定用ディテクタ
ー１２の検出値を補償させる補償用ディテクター１３が
前記光源ランプ１１からハーフミラ−１８、或いは石英
硝子板等の光学系を介設するか、或いは特に光学系は介
設せずに適宜な間隔を有して設置されるものである。
前記測定用ディテクター１２と補償用ディテクター１３
はインターフェース（図示せず）を介して演算装置１６
へと接続され、又、該演算装置１６で演算処理された前
記夫々ディテクター１２゜１３の検出値は更に信号処理
されてデジタル表示器１７で表示されると共にアラーム
等の各種の信号出力が可能と成っており、その他、演算
、表示等に関しては周知の別の方法で行なっても構わな
いものである。
はインターフェース（図示せず）を介して演算装置１６
へと接続され、又、該演算装置１６で演算処理された前
記夫々ディテクター１２゜１３の検出値は更に信号処理
されてデジタル表示器１７で表示されると共にアラーム
等の各種の信号出力が可能と成っており、その他、演算
、表示等に関しては周知の別の方法で行なっても構わな
いものである。
［作用コ
本発明の測定装置１により試料ガスのオゾン濃度を測定
するには、先ず、ガスの流路を前記操作弁９によりゼロ
ガス生成装置１０側の一方の分岐路５ａへと切り換え、
試料ガス入口部６よりゼロガス生成装置１０を通過させ
てオゾンを含まない試料（ゼロガス）を光学セル４内に
流入させると共に、前記光学測定手段３を作動させて紫
外線の透過量を測定するものであり、次に、ガスの流路
を前記操作弁９により他方の分岐路５ｂへと切り換え、
試料ガスをそのまま光学セル４に流入させ、同様に紫外
線の透過量を測定して、前述の如くランバートベールの
法則に基づいてオゾン濃度を求めるものである。
するには、先ず、ガスの流路を前記操作弁９によりゼロ
ガス生成装置１０側の一方の分岐路５ａへと切り換え、
試料ガス入口部６よりゼロガス生成装置１０を通過させ
てオゾンを含まない試料（ゼロガス）を光学セル４内に
流入させると共に、前記光学測定手段３を作動させて紫
外線の透過量を測定するものであり、次に、ガスの流路
を前記操作弁９により他方の分岐路５ｂへと切り換え、
試料ガスをそのまま光学セル４に流入させ、同様に紫外
線の透過量を測定して、前述の如くランバートベールの
法則に基づいてオゾン濃度を求めるものである。
本発明は、前記ゼロガス生成装置１０のオゾン除去性能
が所定の性能に維持されているかどうかを判定する為に
、予め操作弁９をゼロガス生成装置ｌｏ側の一方の分岐
路５ａへと切換え、ガスの流路を常にゼロガス生成装置
１０を通過させる状態に設定するものであり、先ず、試
料ガス入口部６より適宜な試料ガスを光学セル４内へ流
入させ、該試料ガスの見かけ上、ゼロガス生成させた後
の紫外線透過量Ｖｚを前記補償用ディテクター１３の検
出値（Ｓ −１）と測定用ディテクター１２の検出値（
Ｓ−２）との比率（Ｓ−２／Ｓ−１又はＳ−１／Ｓ−２
）として求めるものであり、該検出値の比率（Ｓ−２／
Ｓ−１又はＳ−１／Ｓ−２）は前記演算装置１６の回路
内へ設けられた記憶装置へと記憶させるものである。
が所定の性能に維持されているかどうかを判定する為に
、予め操作弁９をゼロガス生成装置ｌｏ側の一方の分岐
路５ａへと切換え、ガスの流路を常にゼロガス生成装置
１０を通過させる状態に設定するものであり、先ず、試
料ガス入口部６より適宜な試料ガスを光学セル４内へ流
入させ、該試料ガスの見かけ上、ゼロガス生成させた後
の紫外線透過量Ｖｚを前記補償用ディテクター１３の検
出値（Ｓ −１）と測定用ディテクター１２の検出値（
Ｓ−２）との比率（Ｓ−２／Ｓ−１又はＳ−１／Ｓ−２
）として求めるものであり、該検出値の比率（Ｓ−２／
Ｓ−１又はＳ−１／Ｓ−２）は前記演算装置１６の回路
内へ設けられた記憶装置へと記憶させるものである。
次に、前記光学セル４内から試料ガスを充分に排出させ
ることが可能な時間差を設けて、前記試料ガス入口部６
へ付設させた小型のオゾン発生装置等によって、所定の
オゾン含有ガスを流入させ、該オゾン含有ガスの見かけ
上、ゼロガス生成させた後の紫外線透過量Ｖｏを前記補
償用ディテクター１３の検出値（Ｓ −１）と測定用デ
ィテクター１２の検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−２／
Ｓ−１又はＳ−１／Ｓ−２）として求め、前記夫々の検
出値の比率、つまり夫々の紫外線透過量Ｖｚ、Ｖｏを前
記演算装置１６によって比較演算させるものであり、前
記試料ガスとオゾン含有ガスの濃度が全く一致していな
い限りは、ゼロガス生成装置１０が正常であれば、Ｖ
ｚ ＝ Ｖ ｏと成り、該ゼロガス生成装置１０が性能
低下していれば、Ｖｚ＞ＶＯ又はＶ ｚ ＜ Ｖ ｏと
成ることから、Ｖ ｚ ＞ Ｖ ｏ又はＶ ｚ ＜ Ｖ
ｏであれば、アラーム、エラー等の出力を行なって、
前記ゼロガス生成装置１０の性能低下を判定、及び警示
させるものである。
ることが可能な時間差を設けて、前記試料ガス入口部６
へ付設させた小型のオゾン発生装置等によって、所定の
オゾン含有ガスを流入させ、該オゾン含有ガスの見かけ
上、ゼロガス生成させた後の紫外線透過量Ｖｏを前記補
償用ディテクター１３の検出値（Ｓ −１）と測定用デ
ィテクター１２の検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−２／
Ｓ−１又はＳ−１／Ｓ−２）として求め、前記夫々の検
出値の比率、つまり夫々の紫外線透過量Ｖｚ、Ｖｏを前
記演算装置１６によって比較演算させるものであり、前
記試料ガスとオゾン含有ガスの濃度が全く一致していな
い限りは、ゼロガス生成装置１０が正常であれば、Ｖ
ｚ ＝ Ｖ ｏと成り、該ゼロガス生成装置１０が性能
低下していれば、Ｖｚ＞ＶＯ又はＶ ｚ ＜ Ｖ ｏと
成ることから、Ｖ ｚ ＞ Ｖ ｏ又はＶ ｚ ＜ Ｖ
ｏであれば、アラーム、エラー等の出力を行なって、
前記ゼロガス生成装置１０の性能低下を判定、及び警示
させるものである。
尚、前記試料ガスとオゾン含有ガスを流入させる順序、
つまり夫々の紫外線透過量Ｖｚ、Ｖｏを求める順序は限
定させるものではなく、又、具体的な装置においては、
前記試料ガスへオゾンを全く含有していないものを使用
すると共に検出値の比率をＳ−２／Ｓ−１のみで求め、
判定はＶｚ＞Ｖｏで行なう設定とすれば、判定操作を簡
易化させて、実施上、充分な効果を得ることが出来るも
のである。
つまり夫々の紫外線透過量Ｖｚ、Ｖｏを求める順序は限
定させるものではなく、又、具体的な装置においては、
前記試料ガスへオゾンを全く含有していないものを使用
すると共に検出値の比率をＳ−２／Ｓ−１のみで求め、
判定はＶｚ＞Ｖｏで行なう設定とすれば、判定操作を簡
易化させて、実施上、充分な効果を得ることが出来るも
のである。
本発明の実施例では、オゾン濃度測定装置１の精度を向
上させる目的で、測定用ディテクター１２に加えて補償
用ディテクター１３を使用させたが、光源ランプ１１が
極めて安定的な場合等は補償用ディテクター１３を特に
設置する必要がないので、その際には、該補償用ディテ
クター１３の検出値（Ｓ−１）を定数として演算する等
の応用例を実施すれば良いものである。
上させる目的で、測定用ディテクター１２に加えて補償
用ディテクター１３を使用させたが、光源ランプ１１が
極めて安定的な場合等は補償用ディテクター１３を特に
設置する必要がないので、その際には、該補償用ディテ
クター１３の検出値（Ｓ−１）を定数として演算する等
の応用例を実施すれば良いものである。
本発明は前述の如く、ガス流路手段へ介設させたゼロガ
ス生成装置の性能低下を判定する際に、交換作業等の煩
雑な手間をかけずに極めて容易に判定できるものであり
、又、判定の操作も手動は勿論、自動化が容易である等
の応用性にも優れ、従って、従来の紫外線吸収方式によ
るオゾン濃度測定装置へ本発明の方法を適用することに
よって、装置そのものの信頼性を飛躍的に向上させるこ
とが可能な画期的で且つ極めて有意義な発明である。
ス生成装置の性能低下を判定する際に、交換作業等の煩
雑な手間をかけずに極めて容易に判定できるものであり
、又、判定の操作も手動は勿論、自動化が容易である等
の応用性にも優れ、従って、従来の紫外線吸収方式によ
るオゾン濃度測定装置へ本発明の方法を適用することに
よって、装置そのものの信頼性を飛躍的に向上させるこ
とが可能な画期的で且つ極めて有意義な発明である。
第１図は本発明に係るオゾン濃度測定装置の説明の為の
全体概要図である。 １−ガス濃度測定装置、２−ガス流路手段、３−光学測
定手段、４−光学セル、５−送気管、６−試料ガス入口
部、７−排気管、８−排ガス出口部、９−操作弁、５ａ
、５ｂ−分岐路、１０−ゼロガス生成装置、１１−光源
ランプ、１２−測定用ディテクター、１３−補償用ディ
テクター、１４−流量計、１５−圧力ポンプ、１６−演
算装置、１７−表示器、１８−ハーフミラ−
全体概要図である。 １−ガス濃度測定装置、２−ガス流路手段、３−光学測
定手段、４−光学セル、５−送気管、６−試料ガス入口
部、７−排気管、８−排ガス出口部、９−操作弁、５ａ
、５ｂ−分岐路、１０−ゼロガス生成装置、１１−光源
ランプ、１２−測定用ディテクター、１３−補償用ディ
テクター、１４−流量計、１５−圧力ポンプ、１６−演
算装置、１７−表示器、１８−ハーフミラ−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ガス流路手段と光学測定手段とから成り、該ガス流路手
段は測定用の光学セルと、該光学セルへ送気管を介して
連通させた試料ガス入口部と、排気管を介して連通させ
た排ガス出口部とを備え、且つ前記送気管は操作弁を介
して二方へ並列接続させた分岐路を有し、該夫々の分岐
路の一方へはゼロガス生成装置を介設させると共に、前
記光学測定手段へは前記光学セルへ紫外光を照射させる
光源ランプと、該光学セル内を透過した紫外光を受光さ
せる測定用ディテクターと、該測定用ディテクターの検
出値を補償させる補償用ディテクターとを備えた紫外線
吸収方式によるオゾン濃度測定装置において、 前記操作弁によりガスの流路をゼロガス生成装置側の一
方の分岐路へと切換えると共に、試料ガス入口部より試
料ガスとオゾン含有ガスとを適宜な時間差を設けて夫々
流入し、該試料ガスのゼロガス生成させた後の紫外線透
過量Ｖｚを前記補償用ディテクターの検出値（Ｓ−１）
と測定用ディテクターの検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ
−２／Ｓ−１又はＳ−１／Ｓ−２）として求め、前記オ
ゾン含有ガスのゼロガス生成させた後の紫外線透過量Ｖ
ｏを前記補償用ディテクターの検出値（Ｓ−１）と測定
用ディテクターの検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−２／
Ｓ−１又はＳ−１／Ｓ−２）として求め、該夫々の紫外
線透過量Ｖｚ、Ｖｏを比較演算して前記ゼロガス生成装
置のオゾン除去性能の低下を判定することを特徴とする
オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低
下判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3378990A JP2945050B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3378990A JP2945050B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03238344A true JPH03238344A (ja) | 1991-10-24 |
| JP2945050B2 JP2945050B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=12396241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3378990A Expired - Lifetime JP2945050B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2945050B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2039186A2 (es) * | 1991-06-11 | 1993-09-01 | Mcv S A 34 | Equipo analizador de ozono. |
| JP2000171394A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-23 | Tetra Laval Holdings & Finance Sa | 妨害材料が存在する試料中の物質濃度の決定方法および装置 |
| JP2002228583A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-14 | Horiba Ltd | Ｐｆｃ除害装置の状態モニタ |
-
1990
- 1990-02-16 JP JP3378990A patent/JP2945050B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2039186A2 (es) * | 1991-06-11 | 1993-09-01 | Mcv S A 34 | Equipo analizador de ozono. |
| JP2000171394A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-23 | Tetra Laval Holdings & Finance Sa | 妨害材料が存在する試料中の物質濃度の決定方法および装置 |
| JP2002228583A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-14 | Horiba Ltd | Ｐｆｃ除害装置の状態モニタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2945050B2 (ja) | 1999-09-06 |
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