JP2945050B2 - オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法 - Google Patents
オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法Info
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、紫外線吸収方式のオゾン濃度測定装置にお
いて、ガス流路手段に介設させたゼロガス生成装置のオ
ゾン除去性能の低下を判定する方法に関するものであ
る。
いて、ガス流路手段に介設させたゼロガス生成装置のオ
ゾン除去性能の低下を判定する方法に関するものであ
る。
従来より、オゾンは極めて強い酸化力を有し、又、人
工的に生成することが可能であることから、殺菌処理等
の様々な工業的分野で利用されているが、例えば、放電
によってオゾンを生成させても生成反応と同時に、分解
反応（抑制反応）も生じる等の極めて不安定な性質を有
している為、生成と同時にその濃度を連続的に測定する
必要性が有り、例えば、紫外線吸収方式による濃度測定
が周知のものとして行なわれている。
工的に生成することが可能であることから、殺菌処理等
の様々な工業的分野で利用されているが、例えば、放電
によってオゾンを生成させても生成反応と同時に、分解
反応（抑制反応）も生じる等の極めて不安定な性質を有
している為、生成と同時にその濃度を連続的に測定する
必要性が有り、例えば、紫外線吸収方式による濃度測定
が周知のものとして行なわれている。
紫外線吸収方式によるオゾン濃度の測定は、オゾンが
紫外線領域に254nm付近をピークとする吸収スペクトル
（ハートレー帯）を有していることを利用して、セル内
に流入させた試料ガスへ253.7nmに強い輝線スペクトル
を有する低圧水銀ランプ等で紫外線を照射して透過量を
測定するもので、この方式に係る測定装置へは分岐路の
一方にオゾンの除去能力を有するゼロガス生成装置を介
設させたガス流路手段と、光源ランプ、ディテクター等
から成る光学測定手段が設けられ、先ず、ゼロガス生成
装置を通過したオゾンを含まない試料（ゼロガス）を測
定用の光学セル内に流入されて紫外線の透過量を測定
（Io）し、次に試料ガスをそのままセル内に流入させて
同様に紫外線の透過量を測定（Ix）することによって、
以下（１）式に示すランバートベールの法則に基づいて
オゾン濃度を求めるものである。
紫外線領域に254nm付近をピークとする吸収スペクトル
（ハートレー帯）を有していることを利用して、セル内
に流入させた試料ガスへ253.7nmに強い輝線スペクトル
を有する低圧水銀ランプ等で紫外線を照射して透過量を
測定するもので、この方式に係る測定装置へは分岐路の
一方にオゾンの除去能力を有するゼロガス生成装置を介
設させたガス流路手段と、光源ランプ、ディテクター等
から成る光学測定手段が設けられ、先ず、ゼロガス生成
装置を通過したオゾンを含まない試料（ゼロガス）を測
定用の光学セル内に流入されて紫外線の透過量を測定
（Io）し、次に試料ガスをそのままセル内に流入させて
同様に紫外線の透過量を測定（Ix）することによって、
以下（１）式に示すランバートベールの法則に基づいて
オゾン濃度を求めるものである。
Ｃ＝K log Io/Ix ……（１） C:オゾン濃度 K:比例定数 従って、（１）式から自明の如く、経時に亘る使用で
前述のゼロガス生成装置のオゾン除去性能が低下してし
まうと、Ioの値が変化して正確なオゾン濃度の測定が不
可能と成るので、例えば、既に備えられているゼロガス
生成装置と新規のものとを交換し、夫々へ同じ試料ガス
を通過させて濃度測定の結果を比較することによって性
能低下を定期的に判定しているものである。
前述のゼロガス生成装置のオゾン除去性能が低下してし
まうと、Ioの値が変化して正確なオゾン濃度の測定が不
可能と成るので、例えば、既に備えられているゼロガス
生成装置と新規のものとを交換し、夫々へ同じ試料ガス
を通過させて濃度測定の結果を比較することによって性
能低下を定期的に判定しているものである。
然し乍ら、前述の方法では、ゼロガス生成装置の交換
作業等に手間がかかるたけでなく、所定の作業で判定さ
せた結果、性能低下が全く認められない場合等には、再
び元の状態へ交換し直す必要がある等の極めて非効率的
なものであった。
作業等に手間がかかるたけでなく、所定の作業で判定さ
せた結果、性能低下が全く認められない場合等には、再
び元の状態へ交換し直す必要がある等の極めて非効率的
なものであった。
本発明は上記の事由に着目して、鋭意研鑽の結果、紫
外線吸収方式のオゾン濃度測定において、ゼロガス生成
装置を介設させたガスの流路より試料ガスと所定のオゾ
ン含有ガスを時間差を設けて夫々光学セル内へ流入さ
せ、紫外線の透過量を測定することによって、極めて簡
易なゼロガス生成装置のオゾン除去性能の低下判定方法
を提供するものである。
外線吸収方式のオゾン濃度測定において、ゼロガス生成
装置を介設させたガスの流路より試料ガスと所定のオゾ
ン含有ガスを時間差を設けて夫々光学セル内へ流入さ
せ、紫外線の透過量を測定することによって、極めて簡
易なゼロガス生成装置のオゾン除去性能の低下判定方法
を提供するものである。
本発明の構成は、ガスの流路をゼロガス生成装置側の
一方の分岐路へと切換えると共に試料ガス入口部より試
料ガスとオゾン含有ガスとを夫々流入し、試料ガスの紫
外線透過量を補償用ディテクターの検出値と測定用ディ
テクターの検出値との比率として求め、オゾン含有ガス
の紫外線透過量を補償用ディテクターの検出値と測定用
ディテクターの検出値との比率として求め、夫々の紫外
線透過量を比較演算してゼロガス生成装置の性能低下を
判定する構成である。
一方の分岐路へと切換えると共に試料ガス入口部より試
料ガスとオゾン含有ガスとを夫々流入し、試料ガスの紫
外線透過量を補償用ディテクターの検出値と測定用ディ
テクターの検出値との比率として求め、オゾン含有ガス
の紫外線透過量を補償用ディテクターの検出値と測定用
ディテクターの検出値との比率として求め、夫々の紫外
線透過量を比較演算してゼロガス生成装置の性能低下を
判定する構成である。
斯る目的を達成せしめた本発明を以下実施例の図面に
よって説明する。
よって説明する。
第１図は本発明に係るオゾン濃度測定装置の説明の為
の全体概要図である。
の全体概要図である。
本発明は、紫外線吸収方式のオゾン濃度測定装置１に
おけるゼロガス生成装置10のオゾン除去性能の低下を判
定する方法に関するものであり、該オゾン濃度測定装置
１はガス流路手段２と光学測定手段３とから成り、該ガ
ス流路手段２は測定用の光学セル４と、該光学セル４へ
送気管５を介して連通させた試料ガス入口部６と、排気
管７を介して連通させた排ガス出口部８とを備え、且つ
前記送気管５は操作弁９を介して二方へ並列接続させた
分岐路5a.5bを有し、該夫々の分岐路5a.5bの一方5aへは
ゼロガス生成装置10を介設させると共に、前記光学測定
手段３へは前記光学セル４へ紫外光を照射させる光源ラ
ンプ11と、該光学セル４内を透過した紫外光を受光させ
る測定用ディテクター12と、該測定用ディテクター12の
検出値を補償させる補償用ディテクター13とを備えた紫
外線吸収方式によるオゾン濃度測定装置１において、前
記操作弁９によりガスの流路をゼロガス生成装置10側の
一方の分岐路5aへと切換えると共に、試料ガス入口部６
より試料ガスとオゾン含有ガスとを適宜な時間差を設け
て夫々流入し、該試料ガスのゼロガス生成させた後の紫
外線透過量Vzを前記補償用ディテクター13の検出値（Ｓ
−１）と測定用ディテクター12の検出値（Ｓ−２）との
比率（Ｓ−2/S−１又はＳ−1/S−２）として求め、前記
オゾン含有ガスのゼロガス生成させた後の紫外線透過量
Voを前記補償用ディテクター13の検出値（Ｓ−１）と測
定用ディテクター12の検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−
2/S−１又はＳ−1/S−２）として求め、該夫々の紫外線
透過量Vz.Voを比較演算してゼロガス生成装置10の性能
低下を判定するものである。
おけるゼロガス生成装置10のオゾン除去性能の低下を判
定する方法に関するものであり、該オゾン濃度測定装置
１はガス流路手段２と光学測定手段３とから成り、該ガ
ス流路手段２は測定用の光学セル４と、該光学セル４へ
送気管５を介して連通させた試料ガス入口部６と、排気
管７を介して連通させた排ガス出口部８とを備え、且つ
前記送気管５は操作弁９を介して二方へ並列接続させた
分岐路5a.5bを有し、該夫々の分岐路5a.5bの一方5aへは
ゼロガス生成装置10を介設させると共に、前記光学測定
手段３へは前記光学セル４へ紫外光を照射させる光源ラ
ンプ11と、該光学セル４内を透過した紫外光を受光させ
る測定用ディテクター12と、該測定用ディテクター12の
検出値を補償させる補償用ディテクター13とを備えた紫
外線吸収方式によるオゾン濃度測定装置１において、前
記操作弁９によりガスの流路をゼロガス生成装置10側の
一方の分岐路5aへと切換えると共に、試料ガス入口部６
より試料ガスとオゾン含有ガスとを適宜な時間差を設け
て夫々流入し、該試料ガスのゼロガス生成させた後の紫
外線透過量Vzを前記補償用ディテクター13の検出値（Ｓ
−１）と測定用ディテクター12の検出値（Ｓ−２）との
比率（Ｓ−2/S−１又はＳ−1/S−２）として求め、前記
オゾン含有ガスのゼロガス生成させた後の紫外線透過量
Voを前記補償用ディテクター13の検出値（Ｓ−１）と測
定用ディテクター12の検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−
2/S−１又はＳ−1/S−２）として求め、該夫々の紫外線
透過量Vz.Voを比較演算してゼロガス生成装置10の性能
低下を判定するものである。
即ち、本発明に係るオゾン濃度測定装置１は紫外線吸
収方式により様々な試料ガスの含有オゾン濃度を測定す
る装置であり、第１図図示の如く、主としてガス流路手
段２と光学測定手段３とから構成されるものである。
収方式により様々な試料ガスの含有オゾン濃度を測定す
る装置であり、第１図図示の如く、主としてガス流路手
段２と光学測定手段３とから構成されるものである。
前記ガス流路手段２は石英硝子及びステンレス製等の
円筒管等から成る中空の測定用の光学セル４を備え、該
光学セル４へは送気管５を介して連通させた試料ガス入
口部６と共に、排気管７を介して連通させた排ガス出口
部８とが設けられ、該試料ガス入口部６から光学セル４
内へ適宜な試料ガスを流入させて前記排ガス出口部８か
ら排出させるものであり、該試料ガス入口部６へ好まし
くは小型のオゾン発生装置（図示せず）等を設けて、試
料ガスだけでなく、例えば、1ppm程度のオゾンを含有さ
せた所定のオゾン含有ガスを送りこむことを可能とさせ
るものである。
円筒管等から成る中空の測定用の光学セル４を備え、該
光学セル４へは送気管５を介して連通させた試料ガス入
口部６と共に、排気管７を介して連通させた排ガス出口
部８とが設けられ、該試料ガス入口部６から光学セル４
内へ適宜な試料ガスを流入させて前記排ガス出口部８か
ら排出させるものであり、該試料ガス入口部６へ好まし
くは小型のオゾン発生装置（図示せず）等を設けて、試
料ガスだけでなく、例えば、1ppm程度のオゾンを含有さ
せた所定のオゾン含有ガスを送りこむことを可能とさせ
るものである。
前記送気管５は三方向電磁弁等の単数個、又は二方向
電磁弁等の複数個の操作弁９を介して二方へ並列接続さ
せた分岐路5a.5bを有しており、該夫々の分岐路5a.5bの
一方5aは通過するガスに含有するオゾンを光、電磁波、
触媒、熱、活性炭、或いはそれ等の効果的な組合せによ
って分解、吸着等により除去させるゼロガス生成装置10
を介設させるものであり、又、前記排気管７と排ガス出
口部８との間へは試料ガスの流入、排出量を調節させる
流量計14、及び圧力ポンプ15等を介設させたものであ
る。
電磁弁等の複数個の操作弁９を介して二方へ並列接続さ
せた分岐路5a.5bを有しており、該夫々の分岐路5a.5bの
一方5aは通過するガスに含有するオゾンを光、電磁波、
触媒、熱、活性炭、或いはそれ等の効果的な組合せによ
って分解、吸着等により除去させるゼロガス生成装置10
を介設させるものであり、又、前記排気管７と排ガス出
口部８との間へは試料ガスの流入、排出量を調節させる
流量計14、及び圧力ポンプ15等を介設させたものであ
る。
前記光学測定手段３は前記ガス流路手段２に備えられ
た光学セル４へ紫外光を照射させる低圧水銀ランプ（25
3.7nm）等の光源ランプ11と、該光学セル４内を透過し
た紫外光を受光させる測定用ディテクター12が適宜な間
隔を有して設置され、又、該測定用ディテクター12の検
出値を補償させる補償用ディテクター13が前記光源ラン
プ11からハーフミラー18、或いは石英硝子板等の光学系
を介設するか、或いは特に光学系は介設せずに適宜な間
隔を有して設置されるものである。
た光学セル４へ紫外光を照射させる低圧水銀ランプ（25
3.7nm）等の光源ランプ11と、該光学セル４内を透過し
た紫外光を受光させる測定用ディテクター12が適宜な間
隔を有して設置され、又、該測定用ディテクター12の検
出値を補償させる補償用ディテクター13が前記光源ラン
プ11からハーフミラー18、或いは石英硝子板等の光学系
を介設するか、或いは特に光学系は介設せずに適宜な間
隔を有して設置されるものである。
前記測定用ディテクター12と補償用ディテクター13は
インターフェース（図示せず）を介して演算装置16へと
接続され、又、該演算装置16で演算処理された前記夫々
ディテクター12.13の検出値は更に信号処理されてデジ
タル表示器17で表示されると共にアラーム等の各種の信
号出力が可能と成っており、この他、演算、表示等に関
しては周知の方法で行なっても構わないものである。
インターフェース（図示せず）を介して演算装置16へと
接続され、又、該演算装置16で演算処理された前記夫々
ディテクター12.13の検出値は更に信号処理されてデジ
タル表示器17で表示されると共にアラーム等の各種の信
号出力が可能と成っており、この他、演算、表示等に関
しては周知の方法で行なっても構わないものである。
［作用］ 本発明の測定装置１により試料ガスのオゾン濃度を測
定するには、先ず、ガスの流路を前記操作弁９によりゼ
ロガス生成装置10側の一方の分岐路5aへと切り換え、試
料ガス入口部６よりゼロガス生成装置10を通過させてオ
ゾンを含まない試料（ゼロガス）を光学セル４内に流入
させると共に、前記光学測定手段３を作動させて紫外線
の透過量を測定するものであり、次に、ガスの流路を前
記操作弁９により他方の分岐路5bへと切り換え、試料ガ
スをそのまま光学セル４に流入させ、同様に紫外線の透
過量を測定して、前述の如くランバートベールの法則に
基づいてオゾン濃度を求めるものである。
定するには、先ず、ガスの流路を前記操作弁９によりゼ
ロガス生成装置10側の一方の分岐路5aへと切り換え、試
料ガス入口部６よりゼロガス生成装置10を通過させてオ
ゾンを含まない試料（ゼロガス）を光学セル４内に流入
させると共に、前記光学測定手段３を作動させて紫外線
の透過量を測定するものであり、次に、ガスの流路を前
記操作弁９により他方の分岐路5bへと切り換え、試料ガ
スをそのまま光学セル４に流入させ、同様に紫外線の透
過量を測定して、前述の如くランバートベールの法則に
基づいてオゾン濃度を求めるものである。
本発明は、前記ゼロガス生成装置10のオゾン除去性能
が所定の性能に維持されているかどうかを判定する為
に、予め操作弁９をゼロガス生成装置10側の一方の分岐
路5aへと切換え、ガスの流路を常にゼロガス生成装置10
を通過させる状態に設定するものであり、先ず、試料ガ
ス入口部６より適宜な試料ガスを光学セル４内へ流入さ
せ、該試料ガスの見かけ上、ゼロガス生成させた後の紫
外線透過Vzを前記補償用ディテクター13の検出値（Ｓ−
１）と測定用ディテクター12の検出値（Ｓ−２）との比
率（Ｓ−2/S−１又はＳ−1/S−２）として求めるもので
あり、該検出値の比率（Ｓ−2/S−１又はＳ−1/S−２）
は前記演算装置16の回路内へ設けられた記憶装置へと記
憶させるものである。
が所定の性能に維持されているかどうかを判定する為
に、予め操作弁９をゼロガス生成装置10側の一方の分岐
路5aへと切換え、ガスの流路を常にゼロガス生成装置10
を通過させる状態に設定するものであり、先ず、試料ガ
ス入口部６より適宜な試料ガスを光学セル４内へ流入さ
せ、該試料ガスの見かけ上、ゼロガス生成させた後の紫
外線透過Vzを前記補償用ディテクター13の検出値（Ｓ−
１）と測定用ディテクター12の検出値（Ｓ−２）との比
率（Ｓ−2/S−１又はＳ−1/S−２）として求めるもので
あり、該検出値の比率（Ｓ−2/S−１又はＳ−1/S−２）
は前記演算装置16の回路内へ設けられた記憶装置へと記
憶させるものである。
次に、前記光学セル４内から試料ガスを充分に排出さ
せることが可能な時間差を設けて、前記試料ガス入口部
６へ付設させた小型のオゾン発生装置等によって、所定
のオゾン含有ガスを流入させ、該オゾン含有ガスの見か
け上、ゼロガス生成させた後の紫外線透過量Voを前記補
償用ディテクター13の検出値（Ｓ−１）と測定用ディテ
クター12の検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−2/S−１又
はＳ−1/S−２）として求め、前記夫々の検出値の比
率、つまり夫々の紫外線透過量Vz.Voを前記演算装置16
によって比較演算させるものであり、前記試料ガスとオ
ゾン含有ガスの濃度が全く一致していない限りは、ゼロ
ガス生成装置10が正常であれば、Vz＝Voと成り、該ゼロ
ガス生成装置10が性能低下していれば、Vz＞Vo又はVz＜
Voと成ることから、Vz＞Vo又はVz＜Voであれば、アラー
ム、エラー等の出力を行なって、前記ゼロガス生成装置
10の性能低下を判定し、及び警示させるものである。
せることが可能な時間差を設けて、前記試料ガス入口部
６へ付設させた小型のオゾン発生装置等によって、所定
のオゾン含有ガスを流入させ、該オゾン含有ガスの見か
け上、ゼロガス生成させた後の紫外線透過量Voを前記補
償用ディテクター13の検出値（Ｓ−１）と測定用ディテ
クター12の検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−2/S−１又
はＳ−1/S−２）として求め、前記夫々の検出値の比
率、つまり夫々の紫外線透過量Vz.Voを前記演算装置16
によって比較演算させるものであり、前記試料ガスとオ
ゾン含有ガスの濃度が全く一致していない限りは、ゼロ
ガス生成装置10が正常であれば、Vz＝Voと成り、該ゼロ
ガス生成装置10が性能低下していれば、Vz＞Vo又はVz＜
Voと成ることから、Vz＞Vo又はVz＜Voであれば、アラー
ム、エラー等の出力を行なって、前記ゼロガス生成装置
10の性能低下を判定し、及び警示させるものである。
尚、前記試料ガスとオゾン含有ガスを流入させる順
序、つまり夫々の紫外線透過量Vz.Voを求める順序は限
定させるものではなく、又、具体的な装置においては、
前記試料ガスヘオゾンを全く含有していないものを使用
すると共に検出値の比率をＳ−2/S−１のみで求め、判
定はVz＞Voで行なう設定とすれば、判定操作を簡易化さ
せて、実施上、充分な効果を得ることが出来るものであ
る。
序、つまり夫々の紫外線透過量Vz.Voを求める順序は限
定させるものではなく、又、具体的な装置においては、
前記試料ガスヘオゾンを全く含有していないものを使用
すると共に検出値の比率をＳ−2/S−１のみで求め、判
定はVz＞Voで行なう設定とすれば、判定操作を簡易化さ
せて、実施上、充分な効果を得ることが出来るものであ
る。
本発明の実施例では、オゾン濃度測定装置１の精度を
向上させる目的で、測定用ディテクター12に加えて補償
用ディテクター13を使用させたが、光源ランプ11が極め
て安定的な場合等は補償用ディテクター13を特に設置す
る必要がないので、その際には、該補償用ディテクター
13の検出値（Ｓ−１）を定数として演算する等の応用例
を実施すれば良いものである。
向上させる目的で、測定用ディテクター12に加えて補償
用ディテクター13を使用させたが、光源ランプ11が極め
て安定的な場合等は補償用ディテクター13を特に設置す
る必要がないので、その際には、該補償用ディテクター
13の検出値（Ｓ−１）を定数として演算する等の応用例
を実施すれば良いものである。
本発明は前述の如く、ガス流路手段へ介設させたゼロ
ガス生成装置の性能低下を判定する際に、交換作業等の
煩雑な手間をかけずに極めて容易に判定できるものであ
り、又、判定の操作も手動は勿論、自動化が容易である
等の応用性にも優れ、従って、従来の紫外線吸収方式に
よるオゾン濃度測定装置へ本発明の方法を適用すること
によって、装置そのものの信頼性を飛躍的に向上させる
ことが可能な画期的で且つ極めて有意義な発明である。
ガス生成装置の性能低下を判定する際に、交換作業等の
煩雑な手間をかけずに極めて容易に判定できるものであ
り、又、判定の操作も手動は勿論、自動化が容易である
等の応用性にも優れ、従って、従来の紫外線吸収方式に
よるオゾン濃度測定装置へ本発明の方法を適用すること
によって、装置そのものの信頼性を飛躍的に向上させる
ことが可能な画期的で且つ極めて有意義な発明である。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明に係るオゾン濃度測定装置の説明の為の
全体概要図である。 １……ガス濃度測定装置、２……ガス流路手段、３……
光学測定手段、４……光学セル、５……送気管、６……
試料ガス入口部、７……排気管、８……排ガス出口部、
９……操作弁、5a.5b……分岐路、10……ゼロガス生成
装置、11……光源ランプ、12……測定用ディテクター、
13……補償用ディテクター、14……流量計、15……圧力
ポンプ、16……演算装置、17……表示器、18……ハーフ
ミラー。
全体概要図である。 １……ガス濃度測定装置、２……ガス流路手段、３……
光学測定手段、４……光学セル、５……送気管、６……
試料ガス入口部、７……排気管、８……排ガス出口部、
９……操作弁、5a.5b……分岐路、10……ゼロガス生成
装置、11……光源ランプ、12……測定用ディテクター、
13……補償用ディテクター、14……流量計、15……圧力
ポンプ、16……演算装置、17……表示器、18……ハーフ
ミラー。
Claims (1)
- 【請求項１】ガス流路手段と光学測定手段とから成り、
該ガス流路手段は測定用の光学セルと、該光学セルへ送
気管を介して連通させた試料ガス入口部と、排気管を介
して連通させた排ガス出口部とを備え、且つ前記送気管
は操作弁を介して二方へ並列接続させた分岐路を有し、
該夫々の分岐路の一方へはゼロガス生成装置を介設させ
ると共に、前記光学測定手段へは前記光学セルへ紫外光
を照射させる光源ランプと、該光学セル内を透過した紫
外光を受光させる測定用ディテクターと、該測定用ディ
テクターの検出値を補償させる補償用ディテクターとを
備えた紫外線吸収方式によるオゾン濃度測定装置におい
て、 前記操作弁によりガスの流路をゼロガス生成装置側の一
方の分岐路へと切換えると共に、試料ガス入口部より試
料ガスとオゾン含有ガスを適宜な時間差を設けて夫々を
流入し、該試料ガスのゼロガス生成させた後の紫外線透
過量Vzを前記補償用ディテクターの検出値（Ｓ−１）と
測定用ディテクターの検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−
2/S−１又はＳ−1/S−２）として求め、前記オゾン含有
ガスのゼロガス生成させた後の紫外線透過量Voを前記補
償用ディテクターの検出値（Ｓ−１）と測定用ディテク
ターの検出値（Ｓ−２）との比率（Ｓ−2/S−１又はＳ
−1/S−２）として求め、該夫々の紫外線透過量Vz.Voを
比較演算して前記ゼロガス生成装置のオゾン除去性能の
低下を判定することを特徴とするオゾン濃度測定装置に
おけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3378990A JP2945050B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3378990A JP2945050B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03238344A JPH03238344A (ja) | 1991-10-24 |
| JP2945050B2 true JP2945050B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=12396241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3378990A Expired - Lifetime JP2945050B2 (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | オゾン濃度測定装置におけるゼロガス生成装置の性能低下判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2945050B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2039186B1 (es) * | 1991-06-11 | 1997-03-01 | Mcv Sa | Equipo analizador de ozono. |
| JP4034920B2 (ja) * | 1998-12-01 | 2008-01-16 | テトラ ラバル ホールデイングス エ フイナンス ソシエテ アノニム | 妨害材料が存在する試料中の物質濃度の決定方法および装置 |
| JP4937455B2 (ja) * | 2001-01-31 | 2012-05-23 | 株式会社堀場製作所 | Ｐｆｃ除害装置の状態モニタ |
-
1990
- 1990-02-16 JP JP3378990A patent/JP2945050B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03238344A (ja) | 1991-10-24 |
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