JPH0961354A - ガス分析装置 - Google Patents
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 一つのサンプルガスラインで測定原理の異な
る分析計を用いて２種類以上のガスを分析することが可
能で、部品点数も削減しコストダウンを図ることが可能
なガス分析装置を提供する。 【解決手段】 サンプルガス供給用管路１にガス分析計
６を配置し、更に、サンプルガス供給用管路１及び比較
ガス供給用管路３を他の分析計８に接続し、これらサン
プルガス供給用管路１及び比較ガス供給用管路３には前
記ガス分析計６を介して又は直接前記他のガス分析計８
にサンプルガスと比較ガスとを交互に供給するバルブ
（２、４）を配置して構成される。サンプルガス供給用
管路１と比較ガス供給用管路３には複数個のガス分析計
６を配置してもよい。
る分析計を用いて２種類以上のガスを分析することが可
能で、部品点数も削減しコストダウンを図ることが可能
なガス分析装置を提供する。 【解決手段】 サンプルガス供給用管路１にガス分析計
６を配置し、更に、サンプルガス供給用管路１及び比較
ガス供給用管路３を他の分析計８に接続し、これらサン
プルガス供給用管路１及び比較ガス供給用管路３には前
記ガス分析計６を介して又は直接前記他のガス分析計８
にサンプルガスと比較ガスとを交互に供給するバルブ
（２、４）を配置して構成される。サンプルガス供給用
管路１と比較ガス供給用管路３には複数個のガス分析計
６を配置してもよい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、サンプルガスと
比較ガスとを交互に供給して測定するガス分析計に関
し、同一分析法又は異なった分析法の複数の組合せの分
析が可能なガス分析計に関する。
比較ガスとを交互に供給して測定するガス分析計に関
し、同一分析法又は異なった分析法の複数の組合せの分
析が可能なガス分析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】例として紫外線ガス分析法（ＮＤＵＶ
法）と赤外線ガス分析法（ＮＤＩＲ法）を挙げると、Ｎ
ＤＵＶは分析対象となるガスが特有の波長領域の紫外線
を吸収する特性を利用するものであり、ＮＤＩＲ法も分
析対象となるガスが特有の波長領域の赤外線を吸収する
特性を利用するものである。即ち、ＮＤＵＶ法の場合、
図４に示すように、サンプルガスを導入する管路１の途
中に電磁バルブ１２を配置すると共に比較ガスを導入す
る管路３の途中にも電磁バルブ１４を配置して紫外光源
やフィルタ及び検出器を備えたＮＤＵＶガス分析計６に
サンプルガスと比較ガスを導入し、紫外線吸収スペルト
ルを分析して測定対象ガスの定性分析或いは定量分析を
行う。また、ＮＤＩＲ法の場合、図３に示すように、サ
ンプルガスを導入する管路１の途中に電磁バルブ（三方
バルブ）２を配置し、比較ガスを導入する管路３の途中
にも電磁バルブ（三方バルブ）４を配置し、これら二つ
の電磁バルブ２、４より他方の管路にサンプルガス及び
比較ガスが流れるように管路５、７を配管し赤外光源や
サンプルセルやフィルタ及び検出器を備えた赤外線ガス
分析計８にサンプルガスと比較ガスを交互に導入し、赤
外線吸収スペルトルを分析して測定対象ガスの定性分析
或いは定量分析を行う。
法）と赤外線ガス分析法（ＮＤＩＲ法）を挙げると、Ｎ
ＤＵＶは分析対象となるガスが特有の波長領域の紫外線
を吸収する特性を利用するものであり、ＮＤＩＲ法も分
析対象となるガスが特有の波長領域の赤外線を吸収する
特性を利用するものである。即ち、ＮＤＵＶ法の場合、
図４に示すように、サンプルガスを導入する管路１の途
中に電磁バルブ１２を配置すると共に比較ガスを導入す
る管路３の途中にも電磁バルブ１４を配置して紫外光源
やフィルタ及び検出器を備えたＮＤＵＶガス分析計６に
サンプルガスと比較ガスを導入し、紫外線吸収スペルト
ルを分析して測定対象ガスの定性分析或いは定量分析を
行う。また、ＮＤＩＲ法の場合、図３に示すように、サ
ンプルガスを導入する管路１の途中に電磁バルブ（三方
バルブ）２を配置し、比較ガスを導入する管路３の途中
にも電磁バルブ（三方バルブ）４を配置し、これら二つ
の電磁バルブ２、４より他方の管路にサンプルガス及び
比較ガスが流れるように管路５、７を配管し赤外光源や
サンプルセルやフィルタ及び検出器を備えた赤外線ガス
分析計８にサンプルガスと比較ガスを交互に導入し、赤
外線吸収スペルトルを分析して測定対象ガスの定性分析
或いは定量分析を行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記するように、従来
はサンプルガスを分析する場合、測定原理が異なれば個
々のサンプルガスラインを設け別々のユニットを構築し
て分析対象ガス毎に別個のガス分析計を使用していた。
しかしながら、例えば亜硫酸ガス（ＳＯ2 ）はＮＤＵＶ
法で分析し、一酸化炭素（ＣＯ）は赤外線分析計のＮＤ
ＩＲ法で分析するとすると、ＳＯ2 及びＣＯ両方のガス
が含まれている煙道排ガスを分析する場合２種類のガス
分析計が必要となり、且つ別々に分析しなければならな
い。また、これらガス分析計のユニット内の配管及び部
品等も測定対象ガス毎に構成し組み立てなければならず
コストもかかる。更に、実際の測定に際してもこれらの
ガス分析計を並べて設置するためガス分析計の個数分の
スペ−スが必要となる等の問題がある。
はサンプルガスを分析する場合、測定原理が異なれば個
々のサンプルガスラインを設け別々のユニットを構築し
て分析対象ガス毎に別個のガス分析計を使用していた。
しかしながら、例えば亜硫酸ガス（ＳＯ2 ）はＮＤＵＶ
法で分析し、一酸化炭素（ＣＯ）は赤外線分析計のＮＤ
ＩＲ法で分析するとすると、ＳＯ2 及びＣＯ両方のガス
が含まれている煙道排ガスを分析する場合２種類のガス
分析計が必要となり、且つ別々に分析しなければならな
い。また、これらガス分析計のユニット内の配管及び部
品等も測定対象ガス毎に構成し組み立てなければならず
コストもかかる。更に、実際の測定に際してもこれらの
ガス分析計を並べて設置するためガス分析計の個数分の
スペ−スが必要となる等の問題がある。
【０００４】この発明は上記する課題に着目してなされ
たものであり、一つのサンプルガスラインで測定原理の
異なる分析計を用いて２種類以上のガスを分析すること
が可能であり、部品点数も削減しコストダウンを図るこ
とが可能で、更に配置スペ−ス等も小さくて済ませるこ
とのできるガス分析計を提供することを目的とする。
たものであり、一つのサンプルガスラインで測定原理の
異なる分析計を用いて２種類以上のガスを分析すること
が可能であり、部品点数も削減しコストダウンを図るこ
とが可能で、更に配置スペ−ス等も小さくて済ませるこ
とのできるガス分析計を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は、上記
する課題を解決するために、ガス分析装置が、サンプ
ルガス供給用管路と比較ガス供給用管路のいずれか一方
又は双方にガス分析計を配置すると共にこれらのサンプ
ルガス供給用管路及び比較ガス供給用管路を他のガス分
析計に接続し、更に、これらサンプルガス供給用管路及
び比較ガス供給用管路には前記ガス分析計を介して又は
直接前記他のガス分析計にサンプルガスと比較ガスとを
交互に供給するバルブを配置したことを特徴とする。ま
た、前記サンプルガス供給用管路と比較ガス供給用管
路のいずれか一方又は双方に配置されるガス分析計が複
数個であることを特徴とする。
する課題を解決するために、ガス分析装置が、サンプ
ルガス供給用管路と比較ガス供給用管路のいずれか一方
又は双方にガス分析計を配置すると共にこれらのサンプ
ルガス供給用管路及び比較ガス供給用管路を他のガス分
析計に接続し、更に、これらサンプルガス供給用管路及
び比較ガス供給用管路には前記ガス分析計を介して又は
直接前記他のガス分析計にサンプルガスと比較ガスとを
交互に供給するバルブを配置したことを特徴とする。ま
た、前記サンプルガス供給用管路と比較ガス供給用管
路のいずれか一方又は双方に配置されるガス分析計が複
数個であることを特徴とする。
【０００６】上記分析装置はサンプルガスに変化を及ぼ
さない物理的な測定法を利用するものであるからガス分
析装置を上記或いはの手段とすると、一つのサンプ
ルガスラインと比較ガスラインに複数の高感度多成分ガ
ス分析計を構成することができるので二種類以上のサン
プルガスの成分を同時に分析することが可能となる。
さない物理的な測定法を利用するものであるからガス分
析装置を上記或いはの手段とすると、一つのサンプ
ルガスラインと比較ガスラインに複数の高感度多成分ガ
ス分析計を構成することができるので二種類以上のサン
プルガスの成分を同時に分析することが可能となる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の具体的実施の形
態について図面を参照して説明する。図１はこの発明の
ガス分析計の第１の実施例の構成を示す図である。尚、
重複記載を避けるため同一構成要素には従来技術で説明
した符号と同一の符号を用いて説明する。このガス分析
計はサンプルガスと比較ガスとを交互に供給する流体変
調方式の分析計であり、サンプルガス用の管路１にはガ
ス切換用電磁バルブ（三方バルブ）２を配置し、更に、
この管路１には紫外線分析計（以下、ＮＤＵＶガス分析
計とする）６の容積の少ないサンプルセル６ｂと高感度
の非分散形赤外線分析計（以下、ＮＤＩＲガス分析計と
する）８の一方のサンプルセル８ｂが配置される。ま
た、比較ガス用の管路３にはガス切換用電磁バルブ（三
方バルブ）４を配置すると共に、前記ＮＤＩＲガス分析
計８のもう一方のサンプルセル８ｂ’が配置される。
態について図面を参照して説明する。図１はこの発明の
ガス分析計の第１の実施例の構成を示す図である。尚、
重複記載を避けるため同一構成要素には従来技術で説明
した符号と同一の符号を用いて説明する。このガス分析
計はサンプルガスと比較ガスとを交互に供給する流体変
調方式の分析計であり、サンプルガス用の管路１にはガ
ス切換用電磁バルブ（三方バルブ）２を配置し、更に、
この管路１には紫外線分析計（以下、ＮＤＵＶガス分析
計とする）６の容積の少ないサンプルセル６ｂと高感度
の非分散形赤外線分析計（以下、ＮＤＩＲガス分析計と
する）８の一方のサンプルセル８ｂが配置される。ま
た、比較ガス用の管路３にはガス切換用電磁バルブ（三
方バルブ）４を配置すると共に、前記ＮＤＩＲガス分析
計８のもう一方のサンプルセル８ｂ’が配置される。
【０００８】前記ガス切換用電磁バルブ２のポ−ト２ａ
には前記比較ガス管路３に配管接続された管路５が接続
され、また、ガス切換用電磁バルブ４のポ−ト４ａには
前記サンプルガス管路１に配管接続された管路７が接続
されている。従って、ガス切換用電磁バルブ２を動作さ
せるとサンプルガス用の管路１と比較ガス用の管路３と
に交互にサンプルガスを供給することになり、また同様
に、ガス切換用電磁バルブ４を動作させると比較ガス用
の管路３とサンプルガス用の管路１に比較ガスを交互に
供給することになる。
には前記比較ガス管路３に配管接続された管路５が接続
され、また、ガス切換用電磁バルブ４のポ−ト４ａには
前記サンプルガス管路１に配管接続された管路７が接続
されている。従って、ガス切換用電磁バルブ２を動作さ
せるとサンプルガス用の管路１と比較ガス用の管路３と
に交互にサンプルガスを供給することになり、また同様
に、ガス切換用電磁バルブ４を動作させると比較ガス用
の管路３とサンプルガス用の管路１に比較ガスを交互に
供給することになる。
【０００９】前記ＮＤＵＶガス分析計６は、紫外線光源
６ａとサンプルセル６ｂと検出器６ｃとより構成されて
おり（フィルタ等は図示省略）、サンプルセル６ｂにサ
ンプルガスと比較ガスとを交互に導入することによりサ
ンプルガス中の目的成分（例えばＳＯ2 ）の紫外線吸収
を測定する。また、前記ＮＤＩＲガス分析計８は赤外線
光源８ａ及び８ａ’とサンプルセル８ｂ及び８ｂ’と検
出器８ｃとより構成され（フィルタ等は図示省略）、前
記二つのサンプルセル８ｂ及び８ｂ’にサンプルガスと
比較ガスとを交互に導入することによりサンプルガス中
の目的成分（例えばＣＯ）の赤外線吸収を測定する。
尚、前記ガス切換用電磁バルブ２、４に代えロ−タリ−
式のバルブを用いてＮＤＵＶ計６及びＮＤＩＲガス分析
計８にガスを供給するようにしてもよい。
６ａとサンプルセル６ｂと検出器６ｃとより構成されて
おり（フィルタ等は図示省略）、サンプルセル６ｂにサ
ンプルガスと比較ガスとを交互に導入することによりサ
ンプルガス中の目的成分（例えばＳＯ2 ）の紫外線吸収
を測定する。また、前記ＮＤＩＲガス分析計８は赤外線
光源８ａ及び８ａ’とサンプルセル８ｂ及び８ｂ’と検
出器８ｃとより構成され（フィルタ等は図示省略）、前
記二つのサンプルセル８ｂ及び８ｂ’にサンプルガスと
比較ガスとを交互に導入することによりサンプルガス中
の目的成分（例えばＣＯ）の赤外線吸収を測定する。
尚、前記ガス切換用電磁バルブ２、４に代えロ−タリ−
式のバルブを用いてＮＤＵＶ計６及びＮＤＩＲガス分析
計８にガスを供給するようにしてもよい。
【００１０】上記構成としたこの発明のガス分析計にお
いて、サンプルガス用の管路１からサンプルガスを供給
し、比較ガス用の管路３から比較ガスを供給し、ガス切
換用電磁バルブ２及び４をそれぞれ動作させるとＮＤＵ
Ｖガス分析計６で紫外線の特定の波長領域に吸収帯を有
するガスを分析することができると同時にこのサンプル
ガス及び比較ガスを用いてＮＤＩＲガス分析計８では赤
外線の特定の波長領域に吸収帯を有するガスを分析する
ことができる。
いて、サンプルガス用の管路１からサンプルガスを供給
し、比較ガス用の管路３から比較ガスを供給し、ガス切
換用電磁バルブ２及び４をそれぞれ動作させるとＮＤＵ
Ｖガス分析計６で紫外線の特定の波長領域に吸収帯を有
するガスを分析することができると同時にこのサンプル
ガス及び比較ガスを用いてＮＤＩＲガス分析計８では赤
外線の特定の波長領域に吸収帯を有するガスを分析する
ことができる。
【００１１】図２はこの発明のガス分析計の第２の実施
例の構成を示す図である。このガス分析計の実施例では
サンプルガス用の管路１にＮＤＵＶガス分析計６を配置
すると共にＮＤＩＲガス分析計８の一方のサンプルセル
８ｂを配置し、更に、比較ガス用の管路３にもＮＤＵＶ
ガス分析計６を配置すると共にＮＤＩＲガス分析計８の
他方のサンプルセル８ｂ’を配置してある。このような
組み合わせにすることにより、二つのＮＤＵＶガス分析
計６、６で紫外線の波長領域に吸収帯を有する異なる種
類のガス成分を測定することができると同時に、ＮＤＩ
Ｒガス分析計８で赤外線の波長領域に吸収帯を有するガ
ス成分を測定することができる。また、二つのＮＤＵＶ
ガス分析計６、６では一方が故障した場合他方を使用し
て分析することも可能となると共に、同一ガスを二つの
ＮＤＵＶガス分析計６、６で測定し数値が異なる場合一
方の故障を素早く見つけることができる。更に、これら
の二つのＮＤＵＶガス分析計６、６はスパンガスを用い
て相互の校正を行うことも可能となり分析計としての信
頼性を確保することができる。
例の構成を示す図である。このガス分析計の実施例では
サンプルガス用の管路１にＮＤＵＶガス分析計６を配置
すると共にＮＤＩＲガス分析計８の一方のサンプルセル
８ｂを配置し、更に、比較ガス用の管路３にもＮＤＵＶ
ガス分析計６を配置すると共にＮＤＩＲガス分析計８の
他方のサンプルセル８ｂ’を配置してある。このような
組み合わせにすることにより、二つのＮＤＵＶガス分析
計６、６で紫外線の波長領域に吸収帯を有する異なる種
類のガス成分を測定することができると同時に、ＮＤＩ
Ｒガス分析計８で赤外線の波長領域に吸収帯を有するガ
ス成分を測定することができる。また、二つのＮＤＵＶ
ガス分析計６、６では一方が故障した場合他方を使用し
て分析することも可能となると共に、同一ガスを二つの
ＮＤＵＶガス分析計６、６で測定し数値が異なる場合一
方の故障を素早く見つけることができる。更に、これら
の二つのＮＤＵＶガス分析計６、６はスパンガスを用い
て相互の校正を行うことも可能となり分析計としての信
頼性を確保することができる。
【００１２】上記するように、この発明のガス分析計で
はサンプルガス用の管路と比較ガス用の管路との一方或
いは双方にＮＤＵＶガス分析計６（６）を配置すると共
にＮＤＩＲガス分析計８を配置するように構成するもの
であるが、更に、サンプルガス用の管路１と比較ガス用
の管路３との一方或いは双方にそれぞれ３個、４個、・
・と複数のＮＤＵＶガス分析計６を配置するように構成
しても良い。また、ＮＤＩＲガス分析計８等の赤外線ガ
ス分析計も複数個配置しても良い。このように複数のＮ
ＤＵＶガス分析計及び複数のＮＤＩＲガス分析計８を配
置することにすれば高感度多分析計として同時に多数成
分の分析が可能となる。また、ＮＤＩＲとＮＤＵＶとの
組み合わせのみならず化学発光式ガス分析計（ＣＬ
Ｄ）、水素イオン化式ガス分析計（ＦＩＤ）、紫外蛍光
式ガス分析計（ＵＶＦ）、磁気式酸素計等についてもサ
ンプルガスと比較ガスとを交互に供給して測定するガス
分析計についてはいずれの組み合わせも可能である。但
し、管路に最初に配置され最初に測定する分析計はＮＤ
ＵＶ、ＮＤＩＲ、ＵＶＦ、磁気式酸素計等のようにカン
プルガス又は比較ガスを化学反応等により変更させない
測定法に限られる。
はサンプルガス用の管路と比較ガス用の管路との一方或
いは双方にＮＤＵＶガス分析計６（６）を配置すると共
にＮＤＩＲガス分析計８を配置するように構成するもの
であるが、更に、サンプルガス用の管路１と比較ガス用
の管路３との一方或いは双方にそれぞれ３個、４個、・
・と複数のＮＤＵＶガス分析計６を配置するように構成
しても良い。また、ＮＤＩＲガス分析計８等の赤外線ガ
ス分析計も複数個配置しても良い。このように複数のＮ
ＤＵＶガス分析計及び複数のＮＤＩＲガス分析計８を配
置することにすれば高感度多分析計として同時に多数成
分の分析が可能となる。また、ＮＤＩＲとＮＤＵＶとの
組み合わせのみならず化学発光式ガス分析計（ＣＬ
Ｄ）、水素イオン化式ガス分析計（ＦＩＤ）、紫外蛍光
式ガス分析計（ＵＶＦ）、磁気式酸素計等についてもサ
ンプルガスと比較ガスとを交互に供給して測定するガス
分析計についてはいずれの組み合わせも可能である。但
し、管路に最初に配置され最初に測定する分析計はＮＤ
ＵＶ、ＮＤＩＲ、ＵＶＦ、磁気式酸素計等のようにカン
プルガス又は比較ガスを化学反応等により変更させない
測定法に限られる。
【００１３】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明のガス分
析装置によれば、測定原理の異なるガス分析計であって
も一つのガス分析装置で多数のガス成分の同時分析が可
能となる。従来、分析法が異なれば個々別々のガス分析
計を必要としていたが、この発明のガス分析装置によれ
ば一つのガス分析装置で済むため部品点数も低減し且つ
製作コストも低減することができる。また、ガス分析に
際して配置スペ−スも小さくすることができる。更に、
複数の同一タイプのガス分析計を配置することにより一
つが故障しても支障なく分析が可能であり、いち早く一
部の分析計の故障を見つけることもできる。
析装置によれば、測定原理の異なるガス分析計であって
も一つのガス分析装置で多数のガス成分の同時分析が可
能となる。従来、分析法が異なれば個々別々のガス分析
計を必要としていたが、この発明のガス分析装置によれ
ば一つのガス分析装置で済むため部品点数も低減し且つ
製作コストも低減することができる。また、ガス分析に
際して配置スペ−スも小さくすることができる。更に、
複数の同一タイプのガス分析計を配置することにより一
つが故障しても支障なく分析が可能であり、いち早く一
部の分析計の故障を見つけることもできる。
【図１】この発明のガス分析装置の第１の実施例の構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】この発明のガス分析装置の第２の実施例の構成
を示す図である。
を示す図である。
【図３】ＮＤＩＲ法による従来の赤外線ガス分析装置の
構成例を示す図である。
構成例を示す図である。
【図４】ＮＤＵＶ法による従来の紫外線ガス分析計の構
成例を示す図である。
成例を示す図である。
１ サンプルガス供給用管路 ２、４ 切換電磁バルブ ３ 比較ガス供給用管路 ６ ＮＤＵＶガス分析計 ８ ＮＤＩＲガス分析計
【手続補正書】
【提出日】平成７年８月３１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 ガス分析装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】 この発明は上記する課題に着目してなさ
れたものであり、一つのサンプルガスラインで測定原理
の異なる分析計を用いて２種類以上のガスを分析するこ
とが可能であり、部品点数も削減しコストダウンを図る
ことが可能で、更に配置スペ−ス等も小さく済ませるこ
とのできるガス分析装置を提供することを目的とする。
れたものであり、一つのサンプルガスラインで測定原理
の異なる分析計を用いて２種類以上のガスを分析するこ
とが可能であり、部品点数も削減しコストダウンを図る
ことが可能で、更に配置スペ−ス等も小さく済ませるこ
とのできるガス分析装置を提供することを目的とする。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井ノ上 哲志 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 生田 卓司 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内
Claims (2)
- 【請求項１】 サンプルガス供給用管路と比較ガス供給
用管路のいずれか一方又は双方にガス分析計を配置する
と共にこれらのサンプルガス供給用管路及び比較ガス供
給用管路を他のガス分析計に接続し、更に、これらサン
プルガス供給用管路及び比較ガス供給用管路には前記ガ
ス分析計を介して又は直接前記他のガス分析計にサンプ
ルガスと比較ガスとを交互に供給するバルブを配置した
ことを特徴とするガス分析装置。 - 【請求項２】 サンプルガス供給用管路と比較ガス供給
用管路のいずれか一方又は双方に配置されるガス分析計
が複数個であることを特徴とする請求項第１項記載のガ
ス分析装置。
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