JPH03237464A - 電子写真感光体の製造方法 - Google Patents
電子写真感光体の製造方法Info
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- JPH03237464A JPH03237464A JP3448090A JP3448090A JPH03237464A JP H03237464 A JPH03237464 A JP H03237464A JP 3448090 A JP3448090 A JP 3448090A JP 3448090 A JP3448090 A JP 3448090A JP H03237464 A JPH03237464 A JP H03237464A
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Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、導電性基体上に有機感光材料からなる感光層
を有し、プリンタ、複写機などの電子写真装置に用いら
れる電子写真感光体の製造方法に関する。
を有し、プリンタ、複写機などの電子写真装置に用いら
れる電子写真感光体の製造方法に関する。
感光材料として有機材料を用いた有ｍ感光体には、初期
帯電の際、表面に正ｉｔ荷を帯電させて使用するものと
、負帯電させて使用するものとある。
帯電の際、表面に正ｉｔ荷を帯電させて使用するものと
、負帯電させて使用するものとある。
負帯電型有機感光体の場合、通常、第２図に示すように
導電性基体２１上に１電荷発生層２２． ［荷輸送層２
３を積層した構造を有する。露光後、電荷輸送層２３の
表面に電荷が残留していても、基体２１から電荷が注入
されると、その部位の表面電荷がキャンセルされる。そ
の対策として第３図に示すように導電性基体２１と電荷
発生層２２の間にプロンキング層２４が設けられる。こ
のブロンキング層として通常アルミニウム素管が用いら
れる基体上にｍ縁性樹脂を塗布して形成するか、あるい
は表面をアルマイト処理した素管を基体とすることによ
り代用される。
導電性基体２１上に１電荷発生層２２． ［荷輸送層２
３を積層した構造を有する。露光後、電荷輸送層２３の
表面に電荷が残留していても、基体２１から電荷が注入
されると、その部位の表面電荷がキャンセルされる。そ
の対策として第３図に示すように導電性基体２１と電荷
発生層２２の間にプロンキング層２４が設けられる。こ
のブロンキング層として通常アルミニウム素管が用いら
れる基体上にｍ縁性樹脂を塗布して形成するか、あるい
は表面をアルマイト処理した素管を基体とすることによ
り代用される。
ところが、ブロッキング層として導電性基体上に塗布さ
れる絶縁性樹脂は、代表的にはポリアミド系あるいはウ
レタン系等であるが、その温湿度特性が急峻なため、高
温、高温環境下と低温、低湿環境下とで電気特性が大き
く変化し、不具合が生しるので、電子写真装置側への負
担が大であった。また、表面をアルマイト処理してフロ
ンキング層に代える場合は、表面の酸化被膜の均一性が
十分でなく、また、処理後の乾燥時に塵埃等により汚染
が生ずることなどのために画像不良が発生しやすいとい
う問題点をかかえていた。
れる絶縁性樹脂は、代表的にはポリアミド系あるいはウ
レタン系等であるが、その温湿度特性が急峻なため、高
温、高温環境下と低温、低湿環境下とで電気特性が大き
く変化し、不具合が生しるので、電子写真装置側への負
担が大であった。また、表面をアルマイト処理してフロ
ンキング層に代える場合は、表面の酸化被膜の均一性が
十分でなく、また、処理後の乾燥時に塵埃等により汚染
が生ずることなどのために画像不良が発生しやすいとい
う問題点をかかえていた。
本発明の目的は、上記の問題を解決し、温湿度特性がゆ
るやかなブロッキング層を均一に形成し、かつその表面
がｉｔ荷発生Ｎ積層前に汚染されない電子写真感光体の
製造方法を提供することにある。
るやかなブロッキング層を均一に形成し、かつその表面
がｉｔ荷発生Ｎ積層前に汚染されない電子写真感光体の
製造方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明は、アル為ニウム
からなる導電性基体上にブロッキング層、それぞれ有機
材料よりなる１ｌｔｒ＠発生層およびｔ荷輸送層を積層
してなる電子写真感光体の製造方法において、反応槽内
で導電性基体の表面に接して酸素プラズマを発生させ、
基体表面を酸化させてフロンキング層を形成したのち、
同一反応槽内でフタロンアニン系材料を昇華させて電荷
発生層を蒸着するものとする。
からなる導電性基体上にブロッキング層、それぞれ有機
材料よりなる１ｌｔｒ＠発生層およびｔ荷輸送層を積層
してなる電子写真感光体の製造方法において、反応槽内
で導電性基体の表面に接して酸素プラズマを発生させ、
基体表面を酸化させてフロンキング層を形成したのち、
同一反応槽内でフタロンアニン系材料を昇華させて電荷
発生層を蒸着するものとする。
ブロッキング層が酸化アルミニウム膜であるため温湿度
特性がゆるやかであり、プラズマ酸化法で形成されるた
め均一である。また′ｒ４荷発生層を同一反応槽内で形
成するので、その前にブロッキング層の表面が汚染され
ることがない。
特性がゆるやかであり、プラズマ酸化法で形成されるた
め均一である。また′ｒ４荷発生層を同一反応槽内で形
成するので、その前にブロッキング層の表面が汚染され
ることがない。
以下図を引用して本発明の一実施例について説明する。
第１図ｆａ＋、（ｂｌは第３図に示したブロッキング層
２４およびｉ電荷発生層２２の成膜装置を示す。
２４およびｉ電荷発生層２２の成膜装置を示す。
第１図において反応槽は釣鐘状部１と仕切板２からなり
、公転台座３に取付けられた４本の基体支持軸４は公転
軸５の回転により自転しながら第１図（′ｂ）のように
公転する０反応槽の釣鐘状部１をガス導入管６が１１通
し、仕切板２を真空排気管７がＷｉｌしている。釣鐘状
部１の内壁には公転する基体支持軸４に対向して電極８
が配置され、高周波＜ＲＦ＞ｑａ９に接続されている。
、公転台座３に取付けられた４本の基体支持軸４は公転
軸５の回転により自転しながら第１図（′ｂ）のように
公転する０反応槽の釣鐘状部１をガス導入管６が１１通
し、仕切板２を真空排気管７がＷｉｌしている。釣鐘状
部１の内壁には公転する基体支持軸４に対向して電極８
が配置され、高周波＜ＲＦ＞ｑａ９に接続されている。
また、公転する基体支持軸４の下方には背後にヒータ１
０を備えた蒸発源１１が配置されている。この装置の基
体支持軸４にトリクレン脱脂した１２本のＭ素管１２を
それぞれの端部を覆うマスク１３と共に嵌め、真空排気
管７から排気すると共に、ガス導入管６から１１００５
ｃｃの流量のｃｏ、を導入して反応槽１，２内の圧力を
０．０１Ｔｏｒｒとし、電極８にｔ源９により高周波（
ＲＦ）電圧を印加し接地されたＭ素管１２との間にプラ
ズマを発生させ、ＣＯ２を分解して第３図の基体２１ｔ
、：ｔＩ当する素管１２の表面にＡＩ酸化物からなるフ
ロンキング＠２４をＯ，） ｎの厚さに成膜した。ＲＦ
パワーはｓｏｏｗ、成膜時間は３０分であった０次いで
同一反応槽内で蒸発Ｂ９を３８０℃に加熱してその中に
収容したアルミクロルフタロシアニンジクロライドを昇
華させ、５００人の厚さの電荷発生１１２２を１着した
１反応槽内の真空度は４×１０−’ Ｔｏｒｒであった
。ここで各素管１２を反応槽より取出し、８０℃のトリ
エン舊気中に２４時間放置してアルミクロルフタロシア
ニンジクロライドの結晶系をβ形に変換し、感度を高め
た９次に、電荷発生ｌＩ２２の上に下記の配合の有機材
料を塗布し、１８−の厚さの電荷輸送１１２３を形成し
た。
０を備えた蒸発源１１が配置されている。この装置の基
体支持軸４にトリクレン脱脂した１２本のＭ素管１２を
それぞれの端部を覆うマスク１３と共に嵌め、真空排気
管７から排気すると共に、ガス導入管６から１１００５
ｃｃの流量のｃｏ、を導入して反応槽１，２内の圧力を
０．０１Ｔｏｒｒとし、電極８にｔ源９により高周波（
ＲＦ）電圧を印加し接地されたＭ素管１２との間にプラ
ズマを発生させ、ＣＯ２を分解して第３図の基体２１ｔ
、：ｔＩ当する素管１２の表面にＡＩ酸化物からなるフ
ロンキング＠２４をＯ，） ｎの厚さに成膜した。ＲＦ
パワーはｓｏｏｗ、成膜時間は３０分であった０次いで
同一反応槽内で蒸発Ｂ９を３８０℃に加熱してその中に
収容したアルミクロルフタロシアニンジクロライドを昇
華させ、５００人の厚さの電荷発生１１２２を１着した
１反応槽内の真空度は４×１０−’ Ｔｏｒｒであった
。ここで各素管１２を反応槽より取出し、８０℃のトリ
エン舊気中に２４時間放置してアルミクロルフタロシア
ニンジクロライドの結晶系をβ形に変換し、感度を高め
た９次に、電荷発生ｌＩ２２の上に下記の配合の有機材
料を塗布し、１８−の厚さの電荷輸送１１２３を形成し
た。
ポリカーボネート １０重量部２．４ジ
エチル７ミノベンズアルテヒＦ
１０！１１ジフエニルヒドラゾンシクロ疼メ
タン １００重１ 部比
較例の感光体として、基体２１上にブロッキング層２４
をポリアミドを浸漬法で７００人の厚さに塗布して形成
したほかは電荷発生層２２．電荷輸送層２３を実施例と
同様に積層した感光体を作製した。
エチル７ミノベンズアルテヒＦ
１０！１１ジフエニルヒドラゾンシクロ疼メ
タン １００重１ 部比
較例の感光体として、基体２１上にブロッキング層２４
をポリアミドを浸漬法で７００人の厚さに塗布して形成
したほかは電荷発生層２２．電荷輸送層２３を実施例と
同様に積層した感光体を作製した。
実施例および比較例の感光体は第１表のような特性を示
した。
した。
第１表
第１表から分かるように、帯電位、イメージ電位共に温
湿度依存性が本発明の実施例で製造された感光体の方が
小さい、そして、画像上の欠陥発生率は、比較例の感光
体では４０％であったのに対し、実施例による感光体で
は１０％であった。
湿度依存性が本発明の実施例で製造された感光体の方が
小さい、そして、画像上の欠陥発生率は、比較例の感光
体では４０％であったのに対し、実施例による感光体で
は１０％であった。
本発明によれば、電荷発生層とアルミニウム基体に介在
させるブロッキング層を酸化アルごニウム膜としたため
、感光体特性の温湿度依存性を小さくすることができ、
またそのブロッキング層をプラズマ酸化法で形成したた
め均一に底膜でき、さらに同一反応槽内でひきつづき電
荷発生層を形成するためブロッキング層面の汚染がない
ので画像欠陥の発生の少ない特性良好な電子写真感光体
を￥Ｍ造することができた。
させるブロッキング層を酸化アルごニウム膜としたため
、感光体特性の温湿度依存性を小さくすることができ、
またそのブロッキング層をプラズマ酸化法で形成したた
め均一に底膜でき、さらに同一反応槽内でひきつづき電
荷発生層を形成するためブロッキング層面の汚染がない
ので画像欠陥の発生の少ない特性良好な電子写真感光体
を￥Ｍ造することができた。
第１図は本発明の一実施例に用いた戒Ｍ ｇ置を示し、
そのうち（５）は縦断面図、Ｃｂ）は横断面図、第２図
は有機感光体の一例の構造を示す断面図、第３図は本発
明による有機感光体の構造を示す断面図である。 １：反応槽釣鐘状部、２：反応槽仕切板、４：基体支持
軸、６：ガス導入管、７：真空排気管、８：を極、９：
ＲＦｉｉｆｉ、１１：ｍ発源、１２：Ｍ素管、２１：導
電性基体、２２：ｉｉｔ荷発生層、２３：ｉｉ荷輸送層
、２４ニブロッキング層。 第２図 が 第３図 第１図
そのうち（５）は縦断面図、Ｃｂ）は横断面図、第２図
は有機感光体の一例の構造を示す断面図、第３図は本発
明による有機感光体の構造を示す断面図である。 １：反応槽釣鐘状部、２：反応槽仕切板、４：基体支持
軸、６：ガス導入管、７：真空排気管、８：を極、９：
ＲＦｉｉｆｉ、１１：ｍ発源、１２：Ｍ素管、２１：導
電性基体、２２：ｉｉｔ荷発生層、２３：ｉｉ荷輸送層
、２４ニブロッキング層。 第２図 が 第３図 第１図
Claims (1)
- １）アルミニウムからなる導電性基体上にブロッキング
層、それぞれ有機材料よりなる電荷発生層および電荷輸
送層を積層してなる電子写真感光体の製造方法において
、反応槽内で導電性基体の表面に接して酸素プラズマを
発生させ、基体表面を酸化させてブロッキング層を形成
したのち、同一反応槽内でフタロシアニン系材料を昇華
させて電荷発生層を蒸着することを特徴とする電子写真
感光体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3448090A JPH03237464A (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 電子写真感光体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3448090A JPH03237464A (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 電子写真感光体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03237464A true JPH03237464A (ja) | 1991-10-23 |
Family
ID=12415415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3448090A Pending JPH03237464A (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 電子写真感光体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03237464A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012118469A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Canon Inc | 電子写真感光体の製造方法および堆積膜形成方法 |
-
1990
- 1990-02-15 JP JP3448090A patent/JPH03237464A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012118469A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Canon Inc | 電子写真感光体の製造方法および堆積膜形成方法 |
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