JPH03232136A - 光磁気記録用媒体 - Google Patents
光磁気記録用媒体Info
- Publication number
- JPH03232136A JPH03232136A JP2596390A JP2596390A JPH03232136A JP H03232136 A JPH03232136 A JP H03232136A JP 2596390 A JP2596390 A JP 2596390A JP 2596390 A JP2596390 A JP 2596390A JP H03232136 A JPH03232136 A JP H03232136A
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- JP
- Japan
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- film
- magneto
- optical recording
- recording medium
- magnetization
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光磁気記録、より詳しくは、光磁気記録用媒体（光磁気
ディスク）の改良に関し、 光磁気記録用媒体（光磁気ディスク）での多層構造を工
夫して記録した信号の安定性を高めた高信頼性の光磁気
記録用媒体を提供することを目的とし、 透明基板の上に透明干渉膜および希土類−遷移金属合金
記録膜を順次積層した光磁気記録用媒体において、前記
透明干渉膜と前記希土類−遷移金属合金記録膜との間に
フェライト又はガーネットの面内磁化膜を形成しである
ように構成する。
ディスク）の改良に関し、 光磁気記録用媒体（光磁気ディスク）での多層構造を工
夫して記録した信号の安定性を高めた高信頼性の光磁気
記録用媒体を提供することを目的とし、 透明基板の上に透明干渉膜および希土類−遷移金属合金
記録膜を順次積層した光磁気記録用媒体において、前記
透明干渉膜と前記希土類−遷移金属合金記録膜との間に
フェライト又はガーネットの面内磁化膜を形成しである
ように構成する。
本発明は、光磁気記録、より詳しくは、光磁気記録用媒
体（光磁気ディスク）の改良に関する。
体（光磁気ディスク）の改良に関する。
光磁気記録では大容量の情報か記録でき、しかも消去・
書換えができるので、光磁気記録用媒体（光磁気ディス
ク）の研究開発が進み、実用化が図られている。現在の
光磁気記録用媒体の主流となっている記録材料は、希土
類（ＲＥ）元素と遷移金属（ＴＭ）元素との非晶質合金
（ＴｂＦｅＣｏ、 ＤｙＦｅｃｏ、 ＧｄＴｂＦｅなど
）薄膜であるが、読み出し特性が十分でないのと、酸化
し易いので、透明基板上で多層構造を採用して記録感度
の向上、信号品質の改善、信頼性確保が図られている（
例えば、今村修武、 ［光磁気ディスク材料を探る」２
日経ニューマテリアル、創刊前１号、１９８５年５月２
０日、ｐｐ、４７−５４、太田、高橋２ ［光磁気ディ
スクの記録材料」、電子材料、１９８８年７月号、ｐｐ
、３４−３９、参照）。
書換えができるので、光磁気記録用媒体（光磁気ディス
ク）の研究開発が進み、実用化が図られている。現在の
光磁気記録用媒体の主流となっている記録材料は、希土
類（ＲＥ）元素と遷移金属（ＴＭ）元素との非晶質合金
（ＴｂＦｅＣｏ、 ＤｙＦｅｃｏ、 ＧｄＴｂＦｅなど
）薄膜であるが、読み出し特性が十分でないのと、酸化
し易いので、透明基板上で多層構造を採用して記録感度
の向上、信号品質の改善、信頼性確保が図られている（
例えば、今村修武、 ［光磁気ディスク材料を探る」２
日経ニューマテリアル、創刊前１号、１９８５年５月２
０日、ｐｐ、４７−５４、太田、高橋２ ［光磁気ディ
スクの記録材料」、電子材料、１９８８年７月号、ｐｐ
、３４−３９、参照）。
そこで、第４図に示すように、透明基板ｌ上に読み出し
特性を向上させる透明干渉膜２と、希土類−遷移金属合
金記録膜３と、保護膜４とからなる３層構造を有する光
磁気記録用媒体が提案されている。
特性を向上させる透明干渉膜２と、希土類−遷移金属合
金記録膜３と、保護膜４とからなる３層構造を有する光
磁気記録用媒体が提案されている。
上述の光磁気記録用媒体での透明干渉膜および保護膜の
材料として、Ｔｂ ５ｉＯｚなどを用いることが提案
され、合金記録膜を酸化から保護する効果は大きいにも
関わらす、記録した信号の安定性（読み出し安定性〕が
未だ不十分である。
材料として、Ｔｂ ５ｉＯｚなどを用いることが提案
され、合金記録膜を酸化から保護する効果は大きいにも
関わらす、記録した信号の安定性（読み出し安定性〕が
未だ不十分である。
本発明の目的は、光磁気記録用媒体（光磁気ディスク）
での多層構造を工夫して記録した信号の安定性を高めた
高信頼性の光磁気記録用媒体を提供することである。
での多層構造を工夫して記録した信号の安定性を高めた
高信頼性の光磁気記録用媒体を提供することである。
上述の目的が、透明基板の上に透明干渉膜および希土類
−遷移金属合金記録膜を順次積層した光磁気記録用媒体
において、前記透明干渉膜と前記希土類−遷移金属合金
記録膜との間にフェライト又はガーネットの市内磁化膜
を形成してあることを特徴とする光磁気記録用媒体によ
って達成される。
−遷移金属合金記録膜を順次積層した光磁気記録用媒体
において、前記透明干渉膜と前記希土類−遷移金属合金
記録膜との間にフェライト又はガーネットの市内磁化膜
を形成してあることを特徴とする光磁気記録用媒体によ
って達成される。
フェライトおよびガーネットの面内磁化膜の膜厚として
は、ｌＯ〜１１００ｎの範囲が好ましく、これよりも薄
いと効果が小さく、一方厚いと光りの吸収が大きくなる
ので好ましくない。
は、ｌＯ〜１１００ｎの範囲が好ましく、これよりも薄
いと効果が小さく、一方厚いと光りの吸収が大きくなる
ので好ましくない。
フェライトには、ニッケル亜鉛フェライト（ＮｉＺｎＦ
ｅｚＯ＋ ） 、コバルトフェライト（ＣＯＦｅｚ０４
） 、＝ッケルフェライト（ＮｉＦｅ２０＜） 、リチ
ウムフェライト（シｉ。、Ｆｅ２．５０４）などがあり
、そして、ガーネットには、イツトリウム鉄ガーネット
（Ｙ３Ｆｅ５０．□）、ディスプロシウム鉄ガーネット
（Ｄｙ３ＦｓＯ＋２）、ガドリニウム鉄ガーネット（Ｇ
ｄ３Ｆｅｓ０１ｚ）などがある。
ｅｚＯ＋ ） 、コバルトフェライト（ＣＯＦｅｚ０４
） 、＝ッケルフェライト（ＮｉＦｅ２０＜） 、リチ
ウムフェライト（シｉ。、Ｆｅ２．５０４）などがあり
、そして、ガーネットには、イツトリウム鉄ガーネット
（Ｙ３Ｆｅ５０．□）、ディスプロシウム鉄ガーネット
（Ｄｙ３ＦｓＯ＋２）、ガドリニウム鉄ガーネット（Ｇ
ｄ３Ｆｅｓ０１ｚ）などがある。
フェライトおよびガーネットの市内磁化膜はスパッタリ
ングによって透明干渉膜上に製膜することができ、さら
に、その上に希土類−遷移金属合金記録膜をスパッタリ
ングによって製膜することになる。
ングによって透明干渉膜上に製膜することができ、さら
に、その上に希土類−遷移金属合金記録膜をスパッタリ
ングによって製膜することになる。
面内磁化膜とは、面内方向（基板の平面と平行な方向）
に磁化容易軸を有する軟磁性材料の薄膜であり、希土類
−遷移金属合金記録膜の垂直磁化膜の隣接する反対方向
の垂直磁力線を水平方向で結ぶことになるので、記録（
書き込まれた垂直磁力線パターン）を安定化する働きが
ある。
に磁化容易軸を有する軟磁性材料の薄膜であり、希土類
−遷移金属合金記録膜の垂直磁化膜の隣接する反対方向
の垂直磁力線を水平方向で結ぶことになるので、記録（
書き込まれた垂直磁力線パターン）を安定化する働きが
ある。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施態様例および
比較例によって本発明をより詳細に説明する。
比較例によって本発明をより詳細に説明する。
烈士
第１図に示すように、透明基板（ガラス）１１の上にス
パッタリング法で透明干渉膜１２（Ｔｂ４０ａ ｔ％−
３ｉ○２６０ａｔ％、厚さ：９０ｎｍ）を製膜し、本発
明にしたがって、この干渉膜１２の上にスパッタリング
法でニッケル亜鉛フェライト（Ｎ＋ＺｎＦｅ２Ｏ４、厚
さ：２０ｎｍ）の市内磁化膜１３を形成した。そして、
この面内磁化膜１３の上に希土類−遷移金属合金記録膜
（Ｄｙ２５Ｆｅ６０Ｃｏ１５） １４（厚さ：９０ｎｍ
）をスパッタリング形成し、さらに、その上に保護膜（
Ｔｂ４０ａｔ％−８ｉＯ２６０ａ ｔ％）１５（厚さ：
９０ｎｍ）をスパッタリング形成した。
パッタリング法で透明干渉膜１２（Ｔｂ４０ａ ｔ％−
３ｉ○２６０ａｔ％、厚さ：９０ｎｍ）を製膜し、本発
明にしたがって、この干渉膜１２の上にスパッタリング
法でニッケル亜鉛フェライト（Ｎ＋ＺｎＦｅ２Ｏ４、厚
さ：２０ｎｍ）の市内磁化膜１３を形成した。そして、
この面内磁化膜１３の上に希土類−遷移金属合金記録膜
（Ｄｙ２５Ｆｅ６０Ｃｏ１５） １４（厚さ：９０ｎｍ
）をスパッタリング形成し、さらに、その上に保護膜（
Ｔｂ４０ａｔ％−８ｉＯ２６０ａ ｔ％）１５（厚さ：
９０ｎｍ）をスパッタリング形成した。
このようにして作った光磁気記録用媒体に、半導体レー
ザ（８３０ｎｍ、パワー６ｍＷ）で線速１０ｍ／秒にて
ビット長１μｍの信号を記録した。そして、半導体レー
ザ（８３０ｎｍ、パワー１ｍＷ）で信号を基板側から読
み出し、Ｃ／Ｎ５０ｄＢが得られた。
ザ（８３０ｎｍ、パワー６ｍＷ）で線速１０ｍ／秒にて
ビット長１μｍの信号を記録した。そして、半導体レー
ザ（８３０ｎｍ、パワー１ｍＷ）で信号を基板側から読
み出し、Ｃ／Ｎ５０ｄＢが得られた。
さらに、光磁気記録用媒体の記録したビットに読み出し
半導体レーザ（８３０ｎｍ）を設定レーザパワーで照射
する読み出しを繰り返して、信号の劣化（Ｃ／Ｎの低下
）を測定し、第２図中の線Ａで示す結果が得られた。こ
の結果から、閾値パワー（信号を記録できる最小書き込
みレーザパワー）の７０％までは信号の劣化がみられな
かった。
半導体レーザ（８３０ｎｍ）を設定レーザパワーで照射
する読み出しを繰り返して、信号の劣化（Ｃ／Ｎの低下
）を測定し、第２図中の線Ａで示す結果が得られた。こ
の結果から、閾値パワー（信号を記録できる最小書き込
みレーザパワー）の７０％までは信号の劣化がみられな
かった。
なお、設定レーザパワーでの信号の読み出し回数と雑音
の変化量（ｄＢ）との間には、第３図に示すような関係
があり、読み出しレーザパワーがＰＯ，Ｐｌ、Ｐ２．Ｐ
、と大きくなるにつれて、雑音が増大しくＣ／Ｎが低下
し）、第２図での雑音増加の傾きの値が大きくなるわけ
である。
の変化量（ｄＢ）との間には、第３図に示すような関係
があり、読み出しレーザパワーがＰＯ，Ｐｌ、Ｐ２．Ｐ
、と大きくなるにつれて、雑音が増大しくＣ／Ｎが低下
し）、第２図での雑音増加の傾きの値が大きくなるわけ
である。
輿叉
面内磁化膜Ｉ３をイツトリウム鉄ガーネット（Ｙ、Ｆｅ
５０＋ｚ、厚さ：ｌＯｎｍ）とした変更以外は上述の例
１と同様にして、光磁気記録用媒体を作った。
５０＋ｚ、厚さ：ｌＯｎｍ）とした変更以外は上述の例
１と同様にして、光磁気記録用媒体を作った。
この光磁気記録用媒体に、例１と同じ条件で半導体レー
ザによる信号の書き込みおよび読み出しを行って、Ｃ／
Ｎ５０ｄＢが得られた。
ザによる信号の書き込みおよび読み出しを行って、Ｃ／
Ｎ５０ｄＢが得られた。
さらに、例１と同様に記録したビットに読み出し半導体
レーザを設定レーザパワーで照射する読み出しを繰り返
して、信号の劣化（Ｃ／Ｎの低下）を測定し、第２図中
の線Ｂで示す結果が得られた。この結果から、閾値パワ
ーの６５％までは信号の劣化がみられなかった。
レーザを設定レーザパワーで照射する読み出しを繰り返
して、信号の劣化（Ｃ／Ｎの低下）を測定し、第２図中
の線Ｂで示す結果が得られた。この結果から、閾値パワ
ーの６５％までは信号の劣化がみられなかった。
此負夛ＬＯυ月性と
第１図に示すように、透明基板（ガラス）ｌの上にスパ
ッタリング法で透明干渉膜２（Ｔｂ４０ａｔ％−３ｉ０
２６０ａｔ％、厚さ：９０ｎｍ）を形成した。この干渉
膜２の上にスパッタリング法で希土類−遷移金属合金記
録膜（Ｄｙｚ６Ｆｅｓ、ＧＯ＋ｓ） ３ （厚さ：９０
ｎｍ）を形成し、さらに、その上にスパッタリング法で
保護膜（透明干渉膜２と同じＴ１）４０ａｔ％−３ｉ
０２６０ａｔ％）４ （厚さ：９０ｎｍ）を形成した。
ッタリング法で透明干渉膜２（Ｔｂ４０ａｔ％−３ｉ０
２６０ａｔ％、厚さ：９０ｎｍ）を形成した。この干渉
膜２の上にスパッタリング法で希土類−遷移金属合金記
録膜（Ｄｙｚ６Ｆｅｓ、ＧＯ＋ｓ） ３ （厚さ：９０
ｎｍ）を形成し、さらに、その上にスパッタリング法で
保護膜（透明干渉膜２と同じＴ１）４０ａｔ％−３ｉ
０２６０ａｔ％）４ （厚さ：９０ｎｍ）を形成した。
この場合には、面内磁化膜を形成していない。
このようにして作った光磁気記録用媒体に、上述の例１
と同じ条件で半導体レーザによる信号の買い込みおよび
読み出しを行って、Ｃ／Ｎ４９ｄＢが得られた。
と同じ条件で半導体レーザによる信号の買い込みおよび
読み出しを行って、Ｃ／Ｎ４９ｄＢが得られた。
さらに、例１と同様に記録したビットに読み出し半導体
レーザを設定レーザパワーで照射する読み出しを繰り返
して、信号の劣化（Ｃ／Ｎの低下）を測定し、第２図中
の線Ｃで示す結果が得られた。この結果から、閾値パワ
ーの３０％を越えると、信号の劣化がみられた。
レーザを設定レーザパワーで照射する読み出しを繰り返
して、信号の劣化（Ｃ／Ｎの低下）を測定し、第２図中
の線Ｃで示す結果が得られた。この結果から、閾値パワ
ーの３０％を越えると、信号の劣化がみられた。
これらのことから、読み出し当初のＣ／Ｎは、本発明に
係る光磁気記録用媒体であっても従来のものと同等であ
るが、繰り返して読み出しを行う時には本発明に係る光
磁気記録用媒体の方が信号の劣化が小さく（信号の安定
性が良く）かつより大きな読み出しレーザパワーで行え
ることが判る。
係る光磁気記録用媒体であっても従来のものと同等であ
るが、繰り返して読み出しを行う時には本発明に係る光
磁気記録用媒体の方が信号の劣化が小さく（信号の安定
性が良く）かつより大きな読み出しレーザパワーで行え
ることが判る。
〔発明の効果〕
上述したように、本発明に従ってフェライトおよびガー
ネットの面内磁化膜を合金記録膜の再生面側に付加形成
して光磁気記録用媒体を作れば、信号の安定性が従来よ
りも向上して、信頼性を高めることが出来る。上述した
多層構造の他に、保護膜を透明干渉膜および反射膜とし
た多層構造とすることも可能である。
ネットの面内磁化膜を合金記録膜の再生面側に付加形成
して光磁気記録用媒体を作れば、信号の安定性が従来よ
りも向上して、信頼性を高めることが出来る。上述した
多層構造の他に、保護膜を透明干渉膜および反射膜とし
た多層構造とすることも可能である。
第１図は、本発明に係る光磁気記録用媒体の概略断面図
であり、 第２図は、読み出しレーザパワー／閾値パワーの比と雑
音増加の傾きとの関係を示すグラフであり、 第３図は、設定読み出しレーザパワーに応じた信号の読
み出し回数と雑音の変化量との関係を示すグラフであり
、 第４図は、従来の光磁気記録用媒体の概略断面図である
。 １１・・・透明基板 １２・・・透明干渉膜１３
・・・面内磁化膜 １４・・・希土類−遷移金属合金記録膜１５・・・保護
膜
であり、 第２図は、読み出しレーザパワー／閾値パワーの比と雑
音増加の傾きとの関係を示すグラフであり、 第３図は、設定読み出しレーザパワーに応じた信号の読
み出し回数と雑音の変化量との関係を示すグラフであり
、 第４図は、従来の光磁気記録用媒体の概略断面図である
。 １１・・・透明基板 １２・・・透明干渉膜１３
・・・面内磁化膜 １４・・・希土類−遷移金属合金記録膜１５・・・保護
膜
Claims (1)
- １、透明基板の上に透明干渉膜および希土類−遷移金属
合金記録膜を順次積層した光磁気記録用媒体において、
前記透明干渉膜（１２）と前記希土類−遷移金属合金記
録膜（１４）との間にフェライト又はガーネットの面内
磁化膜（１３）を形成してあることを特徴とする光磁気
記録用媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2596390A JPH03232136A (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光磁気記録用媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2596390A JPH03232136A (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光磁気記録用媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03232136A true JPH03232136A (ja) | 1991-10-16 |
Family
ID=12180393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2596390A Pending JPH03232136A (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光磁気記録用媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03232136A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7776507B2 (en) * | 2004-07-22 | 2010-08-17 | Toray Industries, Inc. | Photosensitive paste and manufacturing method of member for display panel |
-
1990
- 1990-02-07 JP JP2596390A patent/JPH03232136A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7776507B2 (en) * | 2004-07-22 | 2010-08-17 | Toray Industries, Inc. | Photosensitive paste and manufacturing method of member for display panel |
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