JPH03229163A - コンデンサの容量測定方法 - Google Patents
コンデンサの容量測定方法Info
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- JPH03229163A JPH03229163A JP2484990A JP2484990A JPH03229163A JP H03229163 A JPH03229163 A JP H03229163A JP 2484990 A JP2484990 A JP 2484990A JP 2484990 A JP2484990 A JP 2484990A JP H03229163 A JPH03229163 A JP H03229163A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009774 resonance method Methods 0.000 description 1
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、コンデンサ、例えばチップコンデンサ、リー
ド端子付きコンデンサ等の容量測定方法に関する。
ド端子付きコンデンサ等の容量測定方法に関する。
従来の技術と課題
従来、コンデンサの容量測定方法として、容量測定器、
例えばCメータの測定端子に交流測定電圧を印加してそ
の容量を測定する方法が知られている。ところが、通常
この測定系には、コンデンサの外部電極表面に酸化皮膜
が形成されていることが主原因と考えられる接触抵抗が
含まれる。この接触抵抗が含まれた測定系で得られたコ
ンデンサの容量は真の数値より小さくなる。即ち、真の
容量をCo、接触抵抗をr11測定周波数をfl、測定
容量をC0とすると、次の関係式(1)が得られる。
例えばCメータの測定端子に交流測定電圧を印加してそ
の容量を測定する方法が知られている。ところが、通常
この測定系には、コンデンサの外部電極表面に酸化皮膜
が形成されていることが主原因と考えられる接触抵抗が
含まれる。この接触抵抗が含まれた測定系で得られたコ
ンデンサの容量は真の数値より小さくなる。即ち、真の
容量をCo、接触抵抗をr11測定周波数をfl、測定
容量をC0とすると、次の関係式(1)が得られる。
O
C=″″1+((Jt、C0’r+)” (ω・″2π
r+)−(t)例えば、真の容量Co= 1000[p
F]、測定周波数f。
r+)−(t)例えば、真の容量Co= 1000[p
F]、測定周波数f。
= 1 [hfHz] 、接触抵抗rt ” 10[Ω
コとすると、測定容量CI−996,1[pF]となる
。従って、コンデンサの大量生産工程の自動容量選択機
において、例えば950〜1000[pF]のコンデン
サを選別するようにセットしても、接触抵抗が含まれて
いると、真の容量が1000[pF]を若干越えるコン
デンサが良品として選別されたり、真の容量が950[
pF]を若干越えるコンデンサが不良品として扱われた
りする場合がある。
コとすると、測定容量CI−996,1[pF]となる
。従って、コンデンサの大量生産工程の自動容量選択機
において、例えば950〜1000[pF]のコンデン
サを選別するようにセットしても、接触抵抗が含まれて
いると、真の容量が1000[pF]を若干越えるコン
デンサが良品として選別されたり、真の容量が950[
pF]を若干越えるコンデンサが不良品として扱われた
りする場合がある。
そこで、本発明の課題は、接触抵抗が測定系に含まれな
いようなコンデンサの容量測定方法を提供することにあ
る。
いようなコンデンサの容量測定方法を提供することにあ
る。
課題を解決するための手段と作用
以上の課題を解決するため、本発明に係るコンデンサの
容量測定方法は、まず、測定端子に直流バイアス電圧を
印加してコンデンサの外部電極表面に形成された酸化皮
膜を破壊する。例えばコンデンサの外部電極に当てた測
定端子に直流バイアス電圧を印加する。直流バイアス電
圧を印加すると、瞬時に大電流が測定端子から外部電極
に流れる。この大電流によって外部電極の表面のうち端
子が接触した部分の酸化皮膜が破壊されるため、測定端
子と外部電極間の接触抵抗が低減する。
容量測定方法は、まず、測定端子に直流バイアス電圧を
印加してコンデンサの外部電極表面に形成された酸化皮
膜を破壊する。例えばコンデンサの外部電極に当てた測
定端子に直流バイアス電圧を印加する。直流バイアス電
圧を印加すると、瞬時に大電流が測定端子から外部電極
に流れる。この大電流によって外部電極の表面のうち端
子が接触した部分の酸化皮膜が破壊されるため、測定端
子と外部電極間の接触抵抗が低減する。
次に、本発明は、測定端子を外部電極に当てた状態を維
持しつつ、交流測定電圧を印加してコンデンサの容量を
測定する。従って、測定端子がコンデンサの外部電極に
接触する部分は、酸化皮膜が破壊きれた状態で容量測定
が行なわれるので、得られる数値は真の容量値となる。
持しつつ、交流測定電圧を印加してコンデンサの容量を
測定する。従って、測定端子がコンデンサの外部電極に
接触する部分は、酸化皮膜が破壊きれた状態で容量測定
が行なわれるので、得られる数値は真の容量値となる。
実施例
以下、本発明に係るコンデンサの容量測定方法の一実施
例を添付図面を参照して説明する。
例を添付図面を参照して説明する。
第1図は本実施例の測定系を示す構成概略図である。容
量測定器、例えばCメータは、測定周波数fの交流測定
電圧Vと酸化皮膜を破壊する直流バイアス電圧■、とが
予め重畳した状態におかれている。通常、Cメータには
直流バイアス外部入力端子が設けられているので、この
端子に直流バイアス電圧■、を印加すればよい。
量測定器、例えばCメータは、測定周波数fの交流測定
電圧Vと酸化皮膜を破壊する直流バイアス電圧■、とが
予め重畳した状態におかれている。通常、Cメータには
直流バイアス外部入力端子が設けられているので、この
端子に直流バイアス電圧■、を印加すればよい。
一方、測定端子1,2はコンデンサ3の外部電極4a、
4bに接触した状態でセットされている。本実施例の
外部電極4a、 4bは、下地にAg −Pdが形成さ
れ、その表面にSnがめっきされている。測定端子1,
2はスイッチSをON状態にすると、交流測定電圧V及
び直流バイアス電圧■、が印加される。
4bに接触した状態でセットされている。本実施例の
外部電極4a、 4bは、下地にAg −Pdが形成さ
れ、その表面にSnがめっきされている。測定端子1,
2はスイッチSをON状態にすると、交流測定電圧V及
び直流バイアス電圧■、が印加される。
スイッチSをONした瞬間、コンデンサ3に流れる電流
Iは次の関係式で表わされる。即ち、真の容量を05接
触抵抗をr、コンデンサ3の自己抵抗を含む測定系のイ
ンピーダンスをR,スイッチSをON状態にしてからの
時間をtとすると、・・・(2) (ω=2πf) となる。本実施例では、コンデンサ3本体を破壊しない
範囲内で酸化皮膜を破壊することができる直流バイアス
電圧は、V、=40[V]であったが、40[V]に限
らず各種のバイアス電圧を適用できる。
Iは次の関係式で表わされる。即ち、真の容量を05接
触抵抗をr、コンデンサ3の自己抵抗を含む測定系のイ
ンピーダンスをR,スイッチSをON状態にしてからの
時間をtとすると、・・・(2) (ω=2πf) となる。本実施例では、コンデンサ3本体を破壊しない
範囲内で酸化皮膜を破壊することができる直流バイアス
電圧は、V、=40[V]であったが、40[V]に限
らず各種のバイアス電圧を適用できる。
さらに、測定周波数f = 1 [MHz] 、真の容
量C=1000[pFコ、交流測定電圧V = 1 [
Vrmsコ、接触抵抗r=1[Ωコ、測定系のインピー
ダンスR= 0.2[Ωコとすると、 ・・・(3) となる。関係式(3)において、t=0、即ちスイッチ
SをONした瞬間には約33.3[A]の大電流がコン
デンサ3の外部電極4a、 4bと測定端子1,2の間
を流れ、外部電極4a、 4bのうち測定端子1゜2が
接触している部分の酸化皮膜を破壊し、接触抵抗rを殆
ど無視できるものにする。
量C=1000[pFコ、交流測定電圧V = 1 [
Vrmsコ、接触抵抗r=1[Ωコ、測定系のインピー
ダンスR= 0.2[Ωコとすると、 ・・・(3) となる。関係式(3)において、t=0、即ちスイッチ
SをONした瞬間には約33.3[A]の大電流がコン
デンサ3の外部電極4a、 4bと測定端子1,2の間
を流れ、外部電極4a、 4bのうち測定端子1゜2が
接触している部分の酸化皮膜を破壊し、接触抵抗rを殆
ど無視できるものにする。
次に、測定端子1,2を外部電極4a、 4bに当てた
状態を維持しつつ、コンデンサ3の容量を測定する。測
定端子1.2がコンデンサ3の外部電極4a、 4bに
接触する部分は、酸化皮膜が破壊された状態で容量測定
が行なわれるので、得られる数値は真の容量値となる。
状態を維持しつつ、コンデンサ3の容量を測定する。測
定端子1.2がコンデンサ3の外部電極4a、 4bに
接触する部分は、酸化皮膜が破壊された状態で容量測定
が行なわれるので、得られる数値は真の容量値となる。
なお本実施例は、直流バイアス電圧VB=40[V]を
印加したままの状態で容量測定を行なったが、酸化皮膜
破壊後に容量測定してもよい。
印加したままの状態で容量測定を行なったが、酸化皮膜
破壊後に容量測定してもよい。
こうして40[V ]程度の直流バイアス電圧を印加す
ることによって、接触抵抗が測定系に含まれないような
コンデンサの容量測定方法が得られる。
ることによって、接触抵抗が測定系に含まれないような
コンデンサの容量測定方法が得られる。
なお、本発明に係るコンデンサの容量測定方法は前記実
施例に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種
々に変更することができる。
施例に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種
々に変更することができる。
前記実施例はCメータによる容量測定の場合について説
明したものであるが、本発明は他の共振法による容量測
定や交流ブリッジによる容量測定の場合にも適用できる
。
明したものであるが、本発明は他の共振法による容量測
定や交流ブリッジによる容量測定の場合にも適用できる
。
発明の効果
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、容量測
定に先だって直流バイアス電圧をコンデンサの外部電極
に印加することによって、外部電極に形成されている酸
化皮膜を破壊して接触抵抗を低減するようにしたので、
接触抵抗が測定系に含まれにくいコンデンサの容量測定
方法が得られる。
定に先だって直流バイアス電圧をコンデンサの外部電極
に印加することによって、外部電極に形成されている酸
化皮膜を破壊して接触抵抗を低減するようにしたので、
接触抵抗が測定系に含まれにくいコンデンサの容量測定
方法が得られる。
この結果、コンデンサの静電容量選別精度が向上する。
第1図は本発明に係るコンデンサの容量測定方法を説明
するための構成概略図である。 1.2・・・測定端子、3・・・コンデンサ、4a、
4b・・・外部電極、■・・・交流測定電圧、■、・・
・直流バイアス電圧。 第 図 ■ ■8
するための構成概略図である。 1.2・・・測定端子、3・・・コンデンサ、4a、
4b・・・外部電極、■・・・交流測定電圧、■、・・
・直流バイアス電圧。 第 図 ■ ■8
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、測定端子をコンデンサの外部電極に当ててコンデン
サの容量を測定する方法において、測定端子に直流バイ
アス電圧を印加してコンデンサの外部電極表面に形成さ
れた酸化皮膜を破壊し、次に測定端子を外部電極に当て
た状態を維持しつつ交流測定電圧を測定端子に印加して
コンデンサの容量を測定すること、 を特徴とするコンデンサの容量測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2484990A JPH03229163A (ja) | 1990-02-03 | 1990-02-03 | コンデンサの容量測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2484990A JPH03229163A (ja) | 1990-02-03 | 1990-02-03 | コンデンサの容量測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03229163A true JPH03229163A (ja) | 1991-10-11 |
Family
ID=12149665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2484990A Pending JPH03229163A (ja) | 1990-02-03 | 1990-02-03 | コンデンサの容量測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03229163A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002139542A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-05-17 | Tokyo Electron Ltd | 検査方法及び検査装置 |
-
1990
- 1990-02-03 JP JP2484990A patent/JPH03229163A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002139542A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-05-17 | Tokyo Electron Ltd | 検査方法及び検査装置 |
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