JPH03223519A - 静圧軸受 - Google Patents
静圧軸受Info
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- JPH03223519A JPH03223519A JP1880990A JP1880990A JPH03223519A JP H03223519 A JPH03223519 A JP H03223519A JP 1880990 A JP1880990 A JP 1880990A JP 1880990 A JP1880990 A JP 1880990A JP H03223519 A JPH03223519 A JP H03223519A
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Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、静圧軸受の改良に関するものである。
[従来の技術]
従来、静圧軸受としては第11図に示すものが知られて
いる。この図に示す静圧軸受は、−船釣なスラスト軸受
であって、軸受本体B1に軸受平面B2が形成され、軸
受平面B2に気体が充満するエアチャンバー83か形成
されたものである。
いる。この図に示す静圧軸受は、−船釣なスラスト軸受
であって、軸受本体B1に軸受平面B2が形成され、軸
受平面B2に気体が充満するエアチャンバー83か形成
されたものである。
ここで、エアチャンバー83の中央部には、軸受本体B
lの内部に形成された入気孔B5に連通ずるスロットル
孔B4が形成されている。一方、入気孔B5には、コン
プレッサーSが乾燥器りと濾過器Fを介して接続され、
コンプレッサーSにより圧縮された空気が入気孔B5j
こ供給され、スロットル孔B4を通ってエアチャンバー
83内に入るようになっている。これによって、軸受平
面B2と負荷面Xとの隙間Cにおいて圧力のある気体の
膜が形成され、軸受として機能するようになっている。
lの内部に形成された入気孔B5に連通ずるスロットル
孔B4が形成されている。一方、入気孔B5には、コン
プレッサーSが乾燥器りと濾過器Fを介して接続され、
コンプレッサーSにより圧縮された空気が入気孔B5j
こ供給され、スロットル孔B4を通ってエアチャンバー
83内に入るようになっている。これによって、軸受平
面B2と負荷面Xとの隙間Cにおいて圧力のある気体の
膜が形成され、軸受として機能するようになっている。
[発明が解決しようとする課題]
ところで、上記のような静圧軸受においては、その負荷
能力を高めようとする場合に、エアチャンバーB3の容
積を大きくするか、または供給空気の圧力を大きくする
必要がある。しかしながら、そのようにすると振動が生
じ易くなり、このため、軸受の精度が低下するばかりで
なく寿命が短くなり、したがって、軸受を使用した機械
装置の精度等の信頼性を損なうという問題があった。
能力を高めようとする場合に、エアチャンバーB3の容
積を大きくするか、または供給空気の圧力を大きくする
必要がある。しかしながら、そのようにすると振動が生
じ易くなり、このため、軸受の精度が低下するばかりで
なく寿命が短くなり、したがって、軸受を使用した機械
装置の精度等の信頼性を損なうという問題があった。
[発明の目的]
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、供給空
気の圧力を大きくしても振動の発生を防止することがで
き、軸受の精度および寿命を工場させることができる静
圧軸受を提供することを目的としている。
気の圧力を大きくしても振動の発生を防止することがで
き、軸受の精度および寿命を工場させることができる静
圧軸受を提供することを目的としている。
[課題を解決するための手段]
この発明の静圧軸受は、負荷面を有する軸受本体を具備
し、さらに軸受本体に、負荷面に設けられ負荷物との間
にエアチャンバーを構成し得る凹部と、この凹部に連通
し外周側へ延在する溝と、この溝の外周端とうしを連通
させる環状溝と、外部の空気供給源に接続されるととも
に凹部に第1のスロットル孔を介して連通ずる入気孔と
、この入気孔にその軸線方向へ移動可能に嵌合されるこ
とにより入気孔の内部に貯気室を構成するとともに、こ
の貯気室と入気孔の外側とを連通させる第2のスロット
ル孔を有するスペーサーとを備えたものである。
し、さらに軸受本体に、負荷面に設けられ負荷物との間
にエアチャンバーを構成し得る凹部と、この凹部に連通
し外周側へ延在する溝と、この溝の外周端とうしを連通
させる環状溝と、外部の空気供給源に接続されるととも
に凹部に第1のスロットル孔を介して連通ずる入気孔と
、この入気孔にその軸線方向へ移動可能に嵌合されるこ
とにより入気孔の内部に貯気室を構成するとともに、こ
の貯気室と入気孔の外側とを連通させる第2のスロット
ル孔を有するスペーサーとを備えたものである。
上記軸受本体に、先端部が第2のスロットル孔に臨み、
軸線方向へ移動可能になされることによって同スロット
ル孔の開口面積を変化させるニードル部材を設けても良
い。また、ニードル部材を貯気室を貫通して第2のスロ
ットル孔に臨むように設けても良い。
軸線方向へ移動可能になされることによって同スロット
ル孔の開口面積を変化させるニードル部材を設けても良
い。また、ニードル部材を貯気室を貫通して第2のスロ
ットル孔に臨むように設けても良い。
さらに、スペーサーを、軸受本体に回転可能かつ軸線方
向への移動を阻止された状態で設けられ1こねし部材に
螺合させることにより軸線方向へ移動可能とし、スペー
サーに、軸線がねじ部材と平行で入気孔の外部側へ開口
するねじ孔と、このねじ孔と同軸て貯気室と連通ずる第
2のスロットル孔とを設け、さらに、ねじ孔に、基端部
を入気孔の外側へ向けたニードル部材を螺合させ、かつ
、このニードル部材を、軸受本体に回転可能かつ軸線方
向への移動を阻止された状態で設けられた調整バーに軸
線方向への相対移動が可能で相対回転が阻止された状態
で嵌合させても良い。
向への移動を阻止された状態で設けられ1こねし部材に
螺合させることにより軸線方向へ移動可能とし、スペー
サーに、軸線がねじ部材と平行で入気孔の外部側へ開口
するねじ孔と、このねじ孔と同軸て貯気室と連通ずる第
2のスロットル孔とを設け、さらに、ねじ孔に、基端部
を入気孔の外側へ向けたニードル部材を螺合させ、かつ
、このニードル部材を、軸受本体に回転可能かつ軸線方
向への移動を阻止された状態で設けられた調整バーに軸
線方向への相対移動が可能で相対回転が阻止された状態
で嵌合させても良い。
[作用]
上記構成の静圧軸受においては、負荷を支えるための空
気膜が凹部よりも広い環状溝の範囲まで広がるから、凹
部が小さいにも拘わらず大きさな負荷を支えることがで
きる。したがって、負荷能力を低下させることなく振動
の発生を有効に防止することができる。また、スペーサ
ーを移動させて貯気室の容積を変更することにより、コ
ンプレッサー等から供給される空気の脈動を鎮静させる
ことができるので、振動の発生をより有効に防止するこ
とができる。
気膜が凹部よりも広い環状溝の範囲まで広がるから、凹
部が小さいにも拘わらず大きさな負荷を支えることがで
きる。したがって、負荷能力を低下させることなく振動
の発生を有効に防止することができる。また、スペーサ
ーを移動させて貯気室の容積を変更することにより、コ
ンプレッサー等から供給される空気の脈動を鎮静させる
ことができるので、振動の発生をより有効に防止するこ
とができる。
[実施例]
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について説
明する。第1図は実施例の静圧軸受を示す正面図である
。図中符号lは軸受本体である。
明する。第1図は実施例の静圧軸受を示す正面図である
。図中符号lは軸受本体である。
軸受本体1の軸受平面2には、凹状のエアチャンバー(
凹部)3が形成され、エアチャンバー3の中央部には第
1のスロットル孔4か形成されている。また、軸受平面
2には、エアチャンバー3から放射状に延在する溝5が
形成され、溝5の外周側端部を接続するようにしてリン
グ状溝(環状溝)6が形成されている。
凹部)3が形成され、エアチャンバー3の中央部には第
1のスロットル孔4か形成されている。また、軸受平面
2には、エアチャンバー3から放射状に延在する溝5が
形成され、溝5の外周側端部を接続するようにしてリン
グ状溝(環状溝)6が形成されている。
第2図は第1図に示す静圧軸受の断面図であり、この図
から分かるように、軸受本体Iの内部には、その側部に
人気口IIを有するとともに上記第1のスロットル孔4
に連通する入気孔12が内側に延在するように形成され
ている。入気孔12の内部には、スペーサー8が例えば
螺合等の適当な手段によって軸線方向に移動可能に配置
され、このスペーサー8よりも内側に貯気室7が構成さ
れている。スペーサー8には、第3図に示すように、貯
気室7と人気口11とを連通させる第2のスロットル孔
81が形成されている。
から分かるように、軸受本体Iの内部には、その側部に
人気口IIを有するとともに上記第1のスロットル孔4
に連通する入気孔12が内側に延在するように形成され
ている。入気孔12の内部には、スペーサー8が例えば
螺合等の適当な手段によって軸線方向に移動可能に配置
され、このスペーサー8よりも内側に貯気室7が構成さ
れている。スペーサー8には、第3図に示すように、貯
気室7と人気口11とを連通させる第2のスロットル孔
81が形成されている。
このような構成により、人気口11から供給される圧縮
空気Aは、スペーサー8のスロットル孔81を通って貯
気室7に送給され、第1のスロットル孔4からエアチャ
ンバー3に送られる。この際の空気圧は、エアチャンバ
ー3と、溝5及びリング状溝6に均一に伝達され、負荷
Xと軸受平面2との間に空気膜を形成する。これによっ
て、荷重りを非接触で支持することができる。
空気Aは、スペーサー8のスロットル孔81を通って貯
気室7に送給され、第1のスロットル孔4からエアチャ
ンバー3に送られる。この際の空気圧は、エアチャンバ
ー3と、溝5及びリング状溝6に均一に伝達され、負荷
Xと軸受平面2との間に空気膜を形成する。これによっ
て、荷重りを非接触で支持することができる。
このような静圧軸受においては、溝5及びリンク状溝6
がら空気膜を形成するための空気が供給されるので、エ
アチャンバー3の容積を小さくしても十分な軸受荷重を
確保することができる。したがって、振動の発生を防止
することができ、軸受の精度および寿命を向上させるこ
とができ、これを使用した機械装置の信頼性を高めるこ
とができる。
がら空気膜を形成するための空気が供給されるので、エ
アチャンバー3の容積を小さくしても十分な軸受荷重を
確保することができる。したがって、振動の発生を防止
することができ、軸受の精度および寿命を向上させるこ
とができ、これを使用した機械装置の信頼性を高めるこ
とができる。
特に、上記静圧軸受においては、スペーサー8により貯
気室7の容積を調整することができるので、例えば、空
気がコンプレッサーの脈動を伴って供給されるような場
合には、貯気室7の容積を大きくして脈動を鎮静させる
こともでき、振動をより効果的に防止することができる
。
気室7の容積を調整することができるので、例えば、空
気がコンプレッサーの脈動を伴って供給されるような場
合には、貯気室7の容積を大きくして脈動を鎮静させる
こともでき、振動をより効果的に防止することができる
。
第4図は、本発明と従来の静圧軸受の性能比較試験を行
った結果を示す線図である。なお、横軸は軸受中心から
の距離、縦軸は負荷し得る圧力の大きさを示す。
った結果を示す線図である。なお、横軸は軸受中心から
の距離、縦軸は負荷し得る圧力の大きさを示す。
比較に用いた従来の静圧軸受は、本発明のものと同一寸
法とされ、エアチャンバーだけが上記リング状溝6まで
の大きさを有している。この図から、本発明の静圧軸受
では負荷荷重については従来のものと全く遜色ないこと
が判る。
法とされ、エアチャンバーだけが上記リング状溝6まで
の大きさを有している。この図から、本発明の静圧軸受
では負荷荷重については従来のものと全く遜色ないこと
が判る。
このように、上記静圧軸受では、エアチャンバー3を小
さくする一方において、溝5およびリング状溝6を設け
ているので、負荷荷重の能力を何ら低下させることなく
振動を防止することができ、機械装置の精度および信頼
性を向上させることができ、さらに、貯気室7の容積を
調整することにより、コンプレッサーの圧力を増加させ
た場合においてら振動を確実に防止することができる。
さくする一方において、溝5およびリング状溝6を設け
ているので、負荷荷重の能力を何ら低下させることなく
振動を防止することができ、機械装置の精度および信頼
性を向上させることができ、さらに、貯気室7の容積を
調整することにより、コンプレッサーの圧力を増加させ
た場合においてら振動を確実に防止することができる。
次に、第5図は本発明の第2実施例を示すものて、軸受
本体21、エアチャンバー22、溝23およびリンク状
溝24の変形例を示している。この図に示すように、各
構成要素の形状については、前記実施例に限定されるも
のではなく、適宜変更を加えることかできる。
本体21、エアチャンバー22、溝23およびリンク状
溝24の変形例を示している。この図に示すように、各
構成要素の形状については、前記実施例に限定されるも
のではなく、適宜変更を加えることかできる。
次に第6図および第7図は本発明の第3実施例を示す図
である。この図に示す静圧軸受は、前記1例のものにス
ペーサーの第2のスロットル孔の調整手段を付加し、こ
れによって、空気の供給量を調整し得るようにしたもの
で、その余の構成要素は前記実施例とほぼ同一である。
である。この図に示す静圧軸受は、前記1例のものにス
ペーサーの第2のスロットル孔の調整手段を付加し、こ
れによって、空気の供給量を調整し得るようにしたもの
で、その余の構成要素は前記実施例とほぼ同一である。
図中符号32は入気孔であり、孔人気32には第2のス
ロットル孔381を有するスペーサー38が取り付けら
れている。入気孔32の反対側には通し孔33が形成さ
れ、通し孔33には、コック39が例えば螺合されてい
る。コック39には、貯気室37を貫通して第2のスロ
ットル孔381に臨むニードル部材30が取り付けられ
ており、コック39を通し孔33内で移動させることに
より、第2のスロットル孔381からの流入空気量を調
整することができるようになっている。なお、図中符号
9は、通し孔33内を気密に保つためのソール部材であ
る。
ロットル孔381を有するスペーサー38が取り付けら
れている。入気孔32の反対側には通し孔33が形成さ
れ、通し孔33には、コック39が例えば螺合されてい
る。コック39には、貯気室37を貫通して第2のスロ
ットル孔381に臨むニードル部材30が取り付けられ
ており、コック39を通し孔33内で移動させることに
より、第2のスロットル孔381からの流入空気量を調
整することができるようになっている。なお、図中符号
9は、通し孔33内を気密に保つためのソール部材であ
る。
次に、第8図ないし第1O図は本発明の第4実施例を示
す図である。
す図である。
これらの図に示す静圧軸受は、前記実施例と同様に、エ
アチャンバー(凹部)42、溝43およびリンク状溝(
環状溝)44を有している。また、軸受本体41には、
入気孔45が形成され、大気孔45内には、軸線方向へ
摺動自在なスペーサー46か嵌合されている。これによ
って、入気孔45の内側に貯気室450が構成されてい
る。スペーサ−46には、ねし孔461か形成されてい
る。
アチャンバー(凹部)42、溝43およびリンク状溝(
環状溝)44を有している。また、軸受本体41には、
入気孔45が形成され、大気孔45内には、軸線方向へ
摺動自在なスペーサー46か嵌合されている。これによ
って、入気孔45の内側に貯気室450が構成されてい
る。スペーサ−46には、ねし孔461か形成されてい
る。
一方、軸受本体41には、入気孔45の入口を覆うシー
ルブロック49が取り付けられ、シールブロック49に
は、入気孔45と外部とを連通させる孔495が形成さ
れている。ソールブロック49には、一端部が上記ねし
孔461に螺合されたねじ部材47が、回転自在に取り
付けられている。
ルブロック49が取り付けられ、シールブロック49に
は、入気孔45と外部とを連通させる孔495が形成さ
れている。ソールブロック49には、一端部が上記ねし
孔461に螺合されたねじ部材47が、回転自在に取り
付けられている。
このねし部材47は、スナップリング491.492に
よって軸線方向への移動が阻止されている。
よって軸線方向への移動が阻止されている。
この構成のもとに、ねじ部材47を回転させることによ
りスペーサー46を軸線方向へ移動させることができる
ようになっている。なお、シールブロック49はボルト
490によって軸受本体41に取り付けられている。
りスペーサー46を軸線方向へ移動させることができる
ようになっている。なお、シールブロック49はボルト
490によって軸受本体41に取り付けられている。
また、スペーサー46の内部には、室464が形成され
、室464と貯気室450とは第2のスロットル孔46
3によって連通されている。また、室464と大気孔4
5の外側とは、第1O図に示すように、連通孔465に
よって連通させられており、これによって、入気孔45
の外側と貯気室450とが、連通孔465、室464お
よび第2のスロットル孔463を介して連通している。
、室464と貯気室450とは第2のスロットル孔46
3によって連通されている。また、室464と大気孔4
5の外側とは、第1O図に示すように、連通孔465に
よって連通させられており、これによって、入気孔45
の外側と貯気室450とが、連通孔465、室464お
よび第2のスロットル孔463を介して連通している。
さらに、スペーサー46の内部には、上記第2のスロッ
トル孔463と同一軸線上にねじ孔462が形成されて
いる。
トル孔463と同一軸線上にねじ孔462が形成されて
いる。
一方、シールブロック49には、上記ねじ孔462と同
一軸線上に調整バー48が回転自在に取り付けられてい
る。調整バー48は、スナップリング493,494に
より軸線方向への移動が阻止されている。調整バー48
には、ニードル部材481か調整バー48に対して軸線
方向へ摺動自在に嵌合されている。ニードル部材481
の基端部は、第10図に示すように断面矩形とされ、こ
れによって、調整バー48との相対的な回転が阻止され
ている。また、ニードル部材481の先端部は基端部よ
りも大径とされ、この部分は上記ねじ孔462に螺合さ
れている。さらに、ニードル部材481の先端はテーパ
状とされ、その尖鋭な先端は上記第2のスロットル孔4
63に臨んでいる。
一軸線上に調整バー48が回転自在に取り付けられてい
る。調整バー48は、スナップリング493,494に
より軸線方向への移動が阻止されている。調整バー48
には、ニードル部材481か調整バー48に対して軸線
方向へ摺動自在に嵌合されている。ニードル部材481
の基端部は、第10図に示すように断面矩形とされ、こ
れによって、調整バー48との相対的な回転が阻止され
ている。また、ニードル部材481の先端部は基端部よ
りも大径とされ、この部分は上記ねじ孔462に螺合さ
れている。さらに、ニードル部材481の先端はテーパ
状とされ、その尖鋭な先端は上記第2のスロットル孔4
63に臨んでいる。
このような構成により、ニードル部材481は、ねじ部
材47を回転させてもスペーサー46との相対位置は変
化しない一方、調整バー48を回転させることによって
相対的に移動し、これによって、第2のスロットル孔4
63の開口面積を調整し得るようになっている。
材47を回転させてもスペーサー46との相対位置は変
化しない一方、調整バー48を回転させることによって
相対的に移動し、これによって、第2のスロットル孔4
63の開口面積を調整し得るようになっている。
この上うな静圧軸受においても前記実施例と同様の効果
を得ることができる。
を得ることができる。
[発明の効果]
以上説明したようにこの発明の静圧軸受においては、負
荷を支えるための空気膜が凹部よりも広い環状溝の範囲
まで広がるから、凹部が小さいにも拘わらず大きさな負
荷を支えることができる。
荷を支えるための空気膜が凹部よりも広い環状溝の範囲
まで広がるから、凹部が小さいにも拘わらず大きさな負
荷を支えることができる。
したがって、負荷能力を低下させることなく振動の発生
を有効に防止することができる。また、スペーサーを移
動させて貯気室の容積を変更することにより、コンプレ
ッサー等から供給される空気の脈動を鎮静させることが
できるので、振動の発生をより有効に防止することがで
きる等の優れた効果を得ることができる。
を有効に防止することができる。また、スペーサーを移
動させて貯気室の容積を変更することにより、コンプレ
ッサー等から供給される空気の脈動を鎮静させることが
できるので、振動の発生をより有効に防止することがで
きる等の優れた効果を得ることができる。
第1図ないし第4図は本発明の一実施例を示す図であっ
て、第1図は静圧軸受を示す平面図、第2図は第1図の
2−2線断面図、第3図は第1図に示す静圧軸受の側断
面図、第4図は静圧軸受の中央からの距離と支え得る応
力との関係を本発明と従来技術とで比較した線図、第5
図は本発明の第2実施例の静圧軸受を示す平面図、第6
図は本発明の第3実施例の静圧軸受を示す側断面図、第
7図は第6図に示す静圧軸受の作用を説明するための側
断面図、第8図は本発明の第4実施例の静圧軸受を示す
平面図、第9図は第8図の9−9線断面図、第10図は
第9図の10−10線断面図、第11図は従来の静圧軸
受の一例を示す側断面図である。 1.21,31.41 ・・・軸受本体、2・ 軸受
平面(負荷面)、3,22.42・・エアチャンバー(
凹部)、4,421・・・第1のスロットル孔、5,2
3.43・・・・・・溝、6.44.24 ・・ リ
ング状溝(環状溝)、7.37,450・・ 貯気室、
8,38・・・・・スペーサー 81.381 463
・・・・・・第2のスロットル孔、12,32.45・
・・・・入気孔、30.481・・・・・・ニードル部
材、47・・・・・・ねじ部材、48 ・・・調整バー
462・・・・・・ねじ孔。
て、第1図は静圧軸受を示す平面図、第2図は第1図の
2−2線断面図、第3図は第1図に示す静圧軸受の側断
面図、第4図は静圧軸受の中央からの距離と支え得る応
力との関係を本発明と従来技術とで比較した線図、第5
図は本発明の第2実施例の静圧軸受を示す平面図、第6
図は本発明の第3実施例の静圧軸受を示す側断面図、第
7図は第6図に示す静圧軸受の作用を説明するための側
断面図、第8図は本発明の第4実施例の静圧軸受を示す
平面図、第9図は第8図の9−9線断面図、第10図は
第9図の10−10線断面図、第11図は従来の静圧軸
受の一例を示す側断面図である。 1.21,31.41 ・・・軸受本体、2・ 軸受
平面(負荷面)、3,22.42・・エアチャンバー(
凹部)、4,421・・・第1のスロットル孔、5,2
3.43・・・・・・溝、6.44.24 ・・ リ
ング状溝(環状溝)、7.37,450・・ 貯気室、
8,38・・・・・スペーサー 81.381 463
・・・・・・第2のスロットル孔、12,32.45・
・・・・入気孔、30.481・・・・・・ニードル部
材、47・・・・・・ねじ部材、48 ・・・調整バー
462・・・・・・ねじ孔。
Claims (4)
- (1)負荷面を有する軸受本体を具備し、さらに上記軸
受本体に、上記負荷面に設けられ負荷物との間にエアチ
ャンバーを構成し得る凹部と、この凹部に連通し外周側
へ延在する溝と、この溝の外周端どうしを連通させる環
状溝と、外部の空気供給源に接続されるとともに上記凹
部に第1のスロットル孔を介して連通する入気孔と、こ
の入気孔にその軸線方向へ移動可能に嵌合されることに
より入気孔の内部に貯気室を構成するとともに、この貯
気室と入気孔の外側とを連通させる第2のスロットル孔
を有するスペーサーとを備えたことを特徴とする静圧軸
受。 - (2)前記軸受本体に、先端部が前記第2のスロットル
孔に臨み、軸線方向へ移動可能になされることによって
同スロットル孔の開口面積を変化させるニードル部材を
設けたことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
静圧軸受。 - (3)前記ニードル部材は、前記貯気室を貫通して前記
第2のスロットル孔に臨んでいることを特徴とする特許
請求の範囲第2項に記載の静圧軸受。 - (4)前記スペーサーは、前記軸受本体に回転可能かつ
軸線方向への移動を阻止された状態で設けられたねじ部
材に螺合されることにより軸線方向へ移動可能になされ
るとともに、軸線を上記ねじ部材と平行になされ前記入
気孔の外部側へ開口するねじ孔と、このねじ孔と同軸と
され前記貯気室と連通する第2のスロットル孔とを具備
し、上記ねじ孔には、前記ニードル部材が基端部を上記
入気孔の外部側へ向けて螺合され、かつ、このニードル
部材は、上記軸受本体に回転可能かつ軸線方向への移動
を阻止された状態で設けられた調整バーに、軸線方向へ
の相対移動が可能で相対回転が阻止された状態で嵌合さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第2項または
第3項に記載の静圧軸受。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1880990A JPH03223519A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 静圧軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1880990A JPH03223519A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 静圧軸受 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03223519A true JPH03223519A (ja) | 1991-10-02 |
Family
ID=11981918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1880990A Pending JPH03223519A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 静圧軸受 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03223519A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007092974A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Psc Kk | スラスト気体軸受機構 |
JP2011510229A (ja) * | 2008-01-14 | 2011-03-31 | ユーピーエム リミテッド | 静圧型空気軸受 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61282622A (ja) * | 1985-06-08 | 1986-12-12 | Omron Tateisi Electronics Co | 静圧空気軸受 |
JPS621126A (ja) * | 1978-03-27 | 1987-01-07 | デイスコビジヨン アソシエイツ | 情報担持記録体 |
-
1990
- 1990-01-29 JP JP1880990A patent/JPH03223519A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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