JPH03222418A - シート貼付機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体ウェハを裏面研削するときに、素子形成
面を保護するためにシートをその素子形成面に貼付ける
シート貼付機に関する。

〔従来の技術〕

第５図は従来の一例を示すシート貼付機の斜視図、第６
図は第５図のシートとウェーハ部分を示す拡大平面図、
第７図は第５図のカッタ部分を拡大して示した部分断面
図である。このシート貼付機は、第５図に示すように、
粘着面を保護シートで覆われたシートを巻き取るシート
ロール１と、このシートより保護シートを剥し巻取る巻
取りロール１０と、ウェーハ５を保持する真空チャック
４と、シート３をウェーハ５の面に押し付け、ウェーハ
５にシート３を貼付ける貼付はローラ６と、シート３を
ウェーハの周辺にならって切断するカッタ７と、このカ
ッタ７を保持するホルタ１１及び支持具１２と、切り抜
かれた使用済シト９を巻取るシートロール８とを有して
いた。

次に、このシート貼付機の動作を説明する。ます、粘着
面に保護シートが貼付けられたシートを巻キ取るシート
ロールエよりシート３を送り、巻き取りロール１０によ
り保護シートを剥し、粘着面を下にしたシート３は、真
空チャック４で保持されたウェーハ５に送られる。

次に、貼付はローラ６を矢印の方向に移動し、シート３
をウェーハ５に押し伺け、貼付ける。次に、カッタ７が
下降し、第６図に示すように、ウェハ５のオリエンテー
ション１６の面に接する延長線１３よりも内側に１〜３
ｍｍ程度よったカッタ降下点１４にカッター７を下降さ
せ、ウェノ１５のオリエンテーションフラット１６に沿
ってカッター７を移動させ、オリエンテーラ３ン１６が
終る手前１〜３ｍｍ程度の変換点１５で、カッター７を
ウェハ５の円周に沿って移動させシート３を切断する。

ここで、第７図に示すように、ホルダ１１は、支持具１
２の軸受１７で支持されているので、ホルダー１１は軸
中心に振り子連動可能である。従って、上記のように、
カッター７を移動させた場合、ホルダー１１が微少に傾
いているためその自重で、カッタ７がウェーハ５の周辺
にかかり、カッタ７とウェーハ５の周辺を密着させるこ
とが可能となり、ウェーハ５の周辺に沿って、シート３
をならい切断することができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のシート貼付機は、カッターホルダーが振
り子運動がし得るので、軸受のがた等により、カッター
をシートにおとす毎に、その位置が微妙に変わるので、
オリフラ以外のウェハ周辺に幅０．５〜２ｍｍ長さ３ｍ
ｍ程度のシートの切れ残りが生じる場合がある。この幅
０．５　ｍｍ以上のシートの切れ残りが生じた場合、裏
面研削時に、研削面とウェーハとの間にシートの切り残
りが巻き込まれ、研削不良の原因となるという欠点があ
る。

本発明の目的は、かかる欠点を解消し、切れ残しのない
シート貼付機を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のシート貼付機は、粘着面を覆う保護シートを有
するシートを供給するシートロールと、前記シートより
保護シートを剥し巻き取る巻き取りロールと、供給され
たシートの粘着面をウェーハの素子形成面に押し付け、
ウェーハにシートを貼付ける貼付はローラと、前記ウェ
ーハの周縁に沿って移動することにより前記シートを切
り抜くカッタ部と、切抜かれたシートを巻き取る使用済
みシートロールとを備えるシート貼付機において、前記
カッタ部が前記ウェーハの周縁部に接触するとともに所
定の間隔を置いて取付けられる二枚の刃を有している。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すシート貼付機のカッタ
部の部分断面図、第２図は第１図のカッタ部とウェーハ
との相対位置を示す図である。このシート貼付機は、そ
のカッタ部を、第１図及び第２図に示すように、ホルダ
１１にウェーハの曲率に合わせた間隔１９をあけてカッ
タｌとカッタ２の２枚のカッタを取付けたことである。

そして、この二枚のカッタはウェーハ５上のオリエンテ
ーション以外の外周縁に常に接触するようにしたことで
ある。それ以外は、従来例と同じである。

第３図は第１図のカッタ部のウェーハ上のシートを切断
る状態を説明するためのカッタ部とウェーハとの相対位
置を示す図である。このシート貼付機の動作は従来と同
じであるが、カッタ部がウェーハ上のシートを切断する
状態が異なる。

すなわち、第３図に示すように、まず、カッタ部が下降
し、下降位置２０にてカッタ７ａで切込ませ、オリエン
テーション１６が始まる直線部から変換位置２１の位置
（カッタ２・１８がオリエンテーションフラット１６の
終端から１〜３ｍｍ手前に来た点）までの切断範囲２３
０間をカッタ部を移動させカッタ２・１８で切断する。

次に、変換後の位置２２からウェーハ５の円形部分の範
囲は、カッタドアａ及びカッタ２・１８をウェーハ５の
周縁部に同時になられせ移動し、カッタドアａで荒切り
し、カッタ２・１８で仕上げ切断を行いながら切抜くこ
とである。このように、二枚刃にすることにより、切残
しなくシート３を切り取ることが出来た。

第４図は本発明の他の実施例のシート貼付機のカッタ部
を示す部分断面図である。前述のカッタ部は、ホルダ１
１に二枚のカッタを固定した構造であるが、例えば、第
４図に示すように、各々別のホルダ２４及び２５に独立
してカッタドアａとカッタ２・１８とを取付け、独立に
振子運動が出来るように各ホルダ２４及び２５を軸受け
を介して支持具に取付ければ、前述の実施例のように、
二個のカッターの間隔を精密にとる必要がないので、よ
り製作が容易であるという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ウェーハの円形部の周縁
側面に同時にその刃面が接触するとともに互いに間隔を
明けて保持される二枚のカッタを設けることによって、
ウェーハに貼付けられたシートがウェーハの周縁よりは
み出すことなく、完全にシートを切除くことの出来るシ
ート貼付機が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すシート貼付機のカッタ
部の部分断面図、第２図は第１図のカッタ部とウェーハ
との相対位置を示す図、第３図は第１図のカッタ部のウ
ェーハ上のシートを切断する状態を説明するためのカッ
タ部とウェーハとの相対位置を示す図、第４図は本発明
の他の実施例のシート貼付機のカッタ部を示す部分断面
図、第５図は従来の一例を示すシート貼付機の斜視図、
第６図は第５図のシートとウェーハ部分を拡大して示し
た拡大平面図、第７図は第５図のカッタ部を拡大して示
した部分断面図である。 １．８・・・・・・シートロール、２・・・・・・繰出
シローラ、３・・・・・・シート、４・・・・・・真空
チャック、５・・・・・・ウェーハ、６・・・・・・貼
付はローラ、７・・・・・・カッタ、７ａ・・・・・・
カッタｌ、９・・・・・・使用済シート、１０・・・・
・・巻取りロール、１１・・・・・・ホルダ、１２・・
・・・・支持具、１３・・・・・・延長線、１４・・・
・・・下降点、１５・・・・・変換点、１６・・・・・
・オリエンテーションフラット、１７・・・・・・軸受
、１８・・・・・・カッタ２．１９・・・・・・間隔、
２０・・・・・下降位置、２１・・・・・・変換位置、
２２・旧・・変換後の位置、２３・・印・切断範囲。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 粘着面を覆う保護シートを有するシートを供給するシー
   トロールと、前記シートより保護シートを剥し巻き取る
   巻き取りロールと、供給されたシートの粘着面をウェー
   ハの素子形成面に押し付け、ウェーハにシートを貼付け
   る貼付けローラと、前記ウェーハの周縁に沿って移動す
   ることにより前記シートを切り抜くカッタ部と、切抜か
   れたシートを巻き取る使用済みシートロールとを備える
   シート貼付機において、前記カッタ部が前記ウェーハの
   周縁部に接触するとともに所定の間隔を置いて取付けら
   れる二枚の刃を有することを特徴とするシート貼付機。