JPH03218046A - ２次元位置決め装置 - Google Patents
２次元位置決め装置Info
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- JPH03218046A JPH03218046A JP2323430A JP32343090A JPH03218046A JP H03218046 A JPH03218046 A JP H03218046A JP 2323430 A JP2323430 A JP 2323430A JP 32343090 A JP32343090 A JP 32343090A JP H03218046 A JPH03218046 A JP H03218046A
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- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 3
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
- B23Q1/4852—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair
- B23Q1/4866—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/33—Director till display
- G05B2219/33337—For each axis a processor, microprocessor
-
- G—PHYSICS
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- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37275—Laser, interferometer
-
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- G05B2219/41352—Alternative clamping dilation of piezo, caterpillar motion, inchworm
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- G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
- G05B2219/49278—Parallel link mechanism
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- G—PHYSICS
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- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
- G05B2219/49288—Three linear actuators to position x y table
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/13—Handlers utilizing parallel links
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ．産業上の利用分野
本発明は一般に位置決め装置に関し、より具体的にはプ
ラットホームを直交する２つの方向に高精度で移動させ
る装置に関する。
ラットホームを直交する２つの方向に高精度で移動させ
る装置に関する。
Ｂ．従来の技術
ある種の工業の応用分野では、加工物を直交する２つの
方向に沿って非常に高精度で移動させることが必要であ
る。たとえば、集積回路の製造では、ウェハを一連の異
なる位置へ移動させて、それらの各位置でウェハに対し
て多数の操作を行なう。ウェハ上の特定の、しばしば極
めて小さな領域で各操作を行なうことが重要であり、そ
のためには、ウェハをその一連の各位置で精密に位置決
めしなければならない。さらに、ウェハの移動中にウェ
ハに操作を行なうこともある。たとえば、ウェハ上に線
を引き、あるいはウェハ上の所定の、しばしば非常に細
い経路または線の上に材料を付着しまたそこから材料を
除去するため、リソグラフィ露光を行なう。これを行な
うには、ウェハ自体を所定の経路に沿って非常に高精度
で移動させることが重要である。
方向に沿って非常に高精度で移動させることが必要であ
る。たとえば、集積回路の製造では、ウェハを一連の異
なる位置へ移動させて、それらの各位置でウェハに対し
て多数の操作を行なう。ウェハ上の特定の、しばしば極
めて小さな領域で各操作を行なうことが重要であり、そ
のためには、ウェハをその一連の各位置で精密に位置決
めしなければならない。さらに、ウェハの移動中にウェ
ハに操作を行なうこともある。たとえば、ウェハ上に線
を引き、あるいはウェハ上の所定の、しばしば非常に細
い経路または線の上に材料を付着しまたそこから材料を
除去するため、リソグラフィ露光を行なう。これを行な
うには、ウェハ自体を所定の経路に沿って非常に高精度
で移動させることが重要である。
従来技術では、加工物を高精度で移動させるための種々
の装置が知られている。通常、こうした従来技術による
装置は、加工物を望み通りに移動させるため、多数の機
械部品、軸受、ガイドウェイ、リード・スクリューを含
む複雑な機械システムを使用している。こうした複雑な
機械システムは、比較的高価であり、その上、システム
の機械要素が使用するにつれて摩耗するに伴って、シス
テムの精度が低下する。
の装置が知られている。通常、こうした従来技術による
装置は、加工物を望み通りに移動させるため、多数の機
械部品、軸受、ガイドウェイ、リード・スクリューを含
む複雑な機械システムを使用している。こうした複雑な
機械システムは、比較的高価であり、その上、システム
の機械要素が使用するにつれて摩耗するに伴って、シス
テムの精度が低下する。
Ｃ．発明が解決すべき課題
本発明の目的は、２次元位置決め装置を改良することに
ある。
ある。
本発明の目的には、複雑な機械システムを必要とせずに
、加工物を所定のパターンで精密に移動させるのに使用
できる、２次元位置決め装置を提供することも含まれる
。
、加工物を所定のパターンで精密に移動させるのに使用
できる、２次元位置決め装置を提供することも含まれる
。
本発明の目的には、複雑な機械システムではな《て高精
度の位置センサを使って、加工物を所定のパターンで精
密に移動させることも含まれる。
度の位置センサを使って、加工物を所定のパターンで精
密に移動させることも含まれる。
本発明の目的には、プラットホームの移動中に、長さの
調節できるリンクを用いてその向きを一定に保つのを助
け、かつプラットホームの移動中にそのリンクの長さを
調節してプラットホームの向きを一定に保つのをさらに
助けるために使用される、平行四辺形構造を提供するこ
とも含まれる。
調節できるリンクを用いてその向きを一定に保つのを助
け、かつプラットホームの移動中にそのリンクの長さを
調節してプラットホームの向きを一定に保つのをさらに
助けるために使用される、平行四辺形構造を提供するこ
とも含まれる。
Ｄ．課題を解決するための手段
上記その他の目的は、移動可能なブラットホームと、プ
ラットホームに接続された、プラットホームを第１の方
向に移動させるための第１の並進手段と、プラットホー
ムに接続された、プラットホームを第１の方向に直交す
る第２の方向に移動させるための第２の並進手段を含む
、２次元位置決め機構によって達成される。第１の並進
手段は、それぞれプラットホームにピボｙト式に接続さ
れた第１及び第２のリンクと、第１及び第２のリンクに
ピボット式に接続された、それらのリンクを第１の方向
に移動させるための第１の線形アクチュ工一夕を含む。
ラットホームに接続された、プラットホームを第１の方
向に移動させるための第１の並進手段と、プラットホー
ムに接続された、プラットホームを第１の方向に直交す
る第２の方向に移動させるための第２の並進手段を含む
、２次元位置決め機構によって達成される。第１の並進
手段は、それぞれプラットホームにピボｙト式に接続さ
れた第１及び第２のリンクと、第１及び第２のリンクに
ピボット式に接続された、それらのリンクを第１の方向
に移動させるための第１の線形アクチュ工一夕を含む。
第１及び第２のリンクと移動可能なプラットホームと線
形アクチュエータは、プラットホームの移動中にその向
きをほぼ一定に保つためのピボット式平行四辺形構造を
形成する。
形アクチュエータは、プラットホームの移動中にその向
きをほぼ一定に保つためのピボット式平行四辺形構造を
形成する。
位置決め機構はさらに、第１及び第２の並進手段に接続
された、プラットホームを第１の位置から第２の位置へ
移動させるようにそれらの並進手段を制御するための制
御手段を含むことが望ましい。この制御手段はまた、ブ
ラソトホームがある位置から次の位置へ移動する時、プ
ラットホームを所定の経路上を移動させるように並進手
段を制御することが好ましい。そのために、制御手段は
、プラットホームの移動中にその位置、特にその第１及
び第２の横縁部を監視するために、第１及び第２のプロ
セッサ・センサを使用する。この移動中にプラットホー
ムがあるべき位置にない場合、制御手段は補正信号を発
生し、それらの信号を第１及び第２の並進手段に送って
、プラットホームをあるべき位置へ移動させるようにそ
れらの並進手段を動作させる。
された、プラットホームを第１の位置から第２の位置へ
移動させるようにそれらの並進手段を制御するための制
御手段を含むことが望ましい。この制御手段はまた、ブ
ラソトホームがある位置から次の位置へ移動する時、プ
ラットホームを所定の経路上を移動させるように並進手
段を制御することが好ましい。そのために、制御手段は
、プラットホームの移動中にその位置、特にその第１及
び第２の横縁部を監視するために、第１及び第２のプロ
セッサ・センサを使用する。この移動中にプラットホー
ムがあるべき位置にない場合、制御手段は補正信号を発
生し、それらの信号を第１及び第２の並進手段に送って
、プラットホームをあるべき位置へ移動させるようにそ
れらの並進手段を動作させる。
さらに、上記の平行四辺形構造を用いても、プラットホ
ームの移動中にその向きが僅かに変わる、すなわち振れ
る傾向がある。この振れを補償し、または防止するため
、第１の並進手段の一方のリンクの長さを調節できるよ
うにし、かつ位置決め機構にさらに、プラットホームの
移動中に振れを感知し、振れを感知したときは、プラッ
トホームがその所望の向きに戻るようにこの調節可能な
リンクの長さを調節する手段を設けることが好ましい。
ームの移動中にその向きが僅かに変わる、すなわち振れ
る傾向がある。この振れを補償し、または防止するため
、第１の並進手段の一方のリンクの長さを調節できるよ
うにし、かつ位置決め機構にさらに、プラットホームの
移動中に振れを感知し、振れを感知したときは、プラッ
トホームがその所望の向きに戻るようにこの調節可能な
リンクの長さを調節する手段を設けることが好ましい。
本発明のその他の利益及び長所は、本発明の好ましい実
施例を特定し図示した添付の図面を参照しながら以下の
詳細な説明を読めば、明らかになるはずである。
施例を特定し図示した添付の図面を参照しながら以下の
詳細な説明を読めば、明らかになるはずである。
Ｅ．実施例
図に、位置決め装置１０を示す。位置決め装置１０は一
般に、プラットホーム１２、第１並進千段１４、第２Ｍ
進手段１６を含み、さらに制御手段２０を含むことが好
ましい。より具体的に述べると、第１並進手段１４は、
第１リンク２２、第２リンク２４、線形アクチュエータ
２６を含み、第１ｆ２進手段１６は、リンク３０と線形
アクチュエータ３２を含み、制御手段２０は、センサ３
４、３６とプロセッサ４０，４２を含む。図に示した本
発明の実施例では、第１並進手段１４はさらにリンク制
御装置４４を含み、制御手段２ｏはさらにホスト・プロ
セッサ４６、センサ５０、プロセッサ５２を含む。
般に、プラットホーム１２、第１並進千段１４、第２Ｍ
進手段１６を含み、さらに制御手段２０を含むことが好
ましい。より具体的に述べると、第１並進手段１４は、
第１リンク２２、第２リンク２４、線形アクチュエータ
２６を含み、第１ｆ２進手段１６は、リンク３０と線形
アクチュエータ３２を含み、制御手段２０は、センサ３
４、３６とプロセッサ４０，４２を含む。図に示した本
発明の実施例では、第１並進手段１４はさらにリンク制
御装置４４を含み、制御手段２ｏはさらにホスト・プロ
セッサ４６、センサ５０、プロセッサ５２を含む。
プラットホーム１２は、加工物または他の物体゛を保持
し、図にＸ軸とｙ軸で表されている直交する２つの方向
に移動できるように支持されている。
し、図にＸ軸とｙ軸で表されている直交する２つの方向
に移動できるように支持されている。
この２つの方向を、それぞれＸ方向及びｙ方向と呼ぶ。
プラットホームは、適切な任意の形状と寸法をとること
ができるが、一般に平らな長方形または正方形であり、
プラットホーム上にそれに対して固定した位置に加工物
を固《保持するための何らかの適当な手段（図示せず）
を備えることができる。また、プラットホームは受け入
れられるどんな方式で支持してもよく、たとえばより大
きな平面状支持表面５４の上方にプラットホームを配置
し、その表面の上方を移動できるように空気軸受または
滑り軸受で支持してもよい。
ができるが、一般に平らな長方形または正方形であり、
プラットホーム上にそれに対して固定した位置に加工物
を固《保持するための何らかの適当な手段（図示せず）
を備えることができる。また、プラットホームは受け入
れられるどんな方式で支持してもよく、たとえばより大
きな平面状支持表面５４の上方にプラットホームを配置
し、その表面の上方を移動できるように空気軸受または
滑り軸受で支持してもよい。
第１並進手段１４は、プラットホームをＸ方向など第１
の方向に移動できるように接続され、第２並進手段１６
は、プラットホームをｙ方向など第１の方向と直交する
第２の方向に移動できるように接続される。より具体的
に言うと、第１のリンク２２と第２のリンク２４は、そ
れぞれプラットホーム２２ａと２４ａにピボット式に接
続され、また線形アクチュエータ２２ｂと２４ｂにピボ
ット式に接続され、リンク３０は３０ａでプラットホー
ムにピボット式に接続され、また３０ｂで線形アクチュ
エータにピボット式に接続される。アクチュエータ２６
は、図を見るとわかるように、リンク２２及び２４をＸ
方向に上下に移動させ、したがってプラットホームを同
様にＸ方向に移動させるように動作することができる。
の方向に移動できるように接続され、第２並進手段１６
は、プラットホームをｙ方向など第１の方向と直交する
第２の方向に移動できるように接続される。より具体的
に言うと、第１のリンク２２と第２のリンク２４は、そ
れぞれプラットホーム２２ａと２４ａにピボット式に接
続され、また線形アクチュエータ２２ｂと２４ｂにピボ
ット式に接続され、リンク３０は３０ａでプラットホー
ムにピボット式に接続され、また３０ｂで線形アクチュ
エータにピボット式に接続される。アクチュエータ２６
は、図を見るとわかるように、リンク２２及び２４をＸ
方向に上下に移動させ、したがってプラットホームを同
様にＸ方向に移動させるように動作することができる。
同様に、アクチュエータ３２は、図を見るとわかるよう
に、リンク３０をｙ方向に左右に移動させ、したがって
プラットホームをｙ方向に移動させるように動作するこ
とができる。リンク２２及び２４が上下に移動してプラ
ットホームを移動させるとき、リンク３０は旋回点３０
ａと３０ｂの周りで旋回し、旋回点３０ｂが固定した位
置に留まる場合は、リンク３０はプラットホームをやは
りｙ方向に移動させる。同様に、リンク３０が移動して
プラットホームをｙ方向に移動させるとき、リンク２２
及び２４がそれぞれ接続２２ｂ及び２４ｂの周りで旋回
し、接続２２ｂ及び２４ｂが固定した位置に留まる場合
は、リンク２２及び２４はプラットホームをＸ方向に移
動させる。
に、リンク３０をｙ方向に左右に移動させ、したがって
プラットホームをｙ方向に移動させるように動作するこ
とができる。リンク２２及び２４が上下に移動してプラ
ットホームを移動させるとき、リンク３０は旋回点３０
ａと３０ｂの周りで旋回し、旋回点３０ｂが固定した位
置に留まる場合は、リンク３０はプラットホームをやは
りｙ方向に移動させる。同様に、リンク３０が移動して
プラットホームをｙ方向に移動させるとき、リンク２２
及び２４がそれぞれ接続２２ｂ及び２４ｂの周りで旋回
し、接続２２ｂ及び２４ｂが固定した位置に留まる場合
は、リンク２２及び２４はプラットホームをＸ方向に移
動させる。
上記の配置構成を用いる場合、リンク２２と２４、移動
可能なプラットホーム１２及び線形アクチュエータ２６
は、プラットホームの移動中にその向きをほぼ一定に維
持する、ピボット式の平行四辺形構造を形成する。詳し
く述べると、プラットホームの向きは、プラットホーム
の中央縦軸１２ａなどプラットホーム上に固定された軸
と、図のＸ軸などプラットホームが位置する環境に対し
て固定されたままの別の軸との間の角度と考えることが
できる。この２本の軸は、図のように互いに平行であり
、リンク２２、２４とプラットホーム１２と線形アクチ
ュエータ２６によって形成される平行四辺形構造が、プ
ラットホームの移動中、これらの軸をほぼ平行に保つ。
可能なプラットホーム１２及び線形アクチュエータ２６
は、プラットホームの移動中にその向きをほぼ一定に維
持する、ピボット式の平行四辺形構造を形成する。詳し
く述べると、プラットホームの向きは、プラットホーム
の中央縦軸１２ａなどプラットホーム上に固定された軸
と、図のＸ軸などプラットホームが位置する環境に対し
て固定されたままの別の軸との間の角度と考えることが
できる。この２本の軸は、図のように互いに平行であり
、リンク２２、２４とプラットホーム１２と線形アクチ
ュエータ２６によって形成される平行四辺形構造が、プ
ラットホームの移動中、これらの軸をほぼ平行に保つ。
物体を１０ナノメートルの精度で所期の位置に移動する
ことのできる線形アクチュエータが利用可能であり、そ
のようなアクチュエータを本発明で使用できる。本発明
の図示した実施例では、線形アクチュエータ２６は、可
動部材５６、電動モ−夕６０、モータ制御装置６２、及
び接続部材６４を含み、アクチュエータ３２は、可動部
材ｅ６、電動モータ７０、及びモータ制御装置７２を含
む。
ことのできる線形アクチュエータが利用可能であり、そ
のようなアクチュエータを本発明で使用できる。本発明
の図示した実施例では、線形アクチュエータ２６は、可
動部材５６、電動モ−夕６０、モータ制御装置６２、及
び接続部材６４を含み、アクチュエータ３２は、可動部
材ｅ６、電動モータ７０、及びモータ制御装置７２を含
む。
可動部材５６はＸ方向に線形移動できるように支持され
、接続部材８４を介してリンク２２、２４に接続され、
これらのリンクをＸ方向に移動させる。モータ６０は、
可動部材５６に接続され、この部材を図に示すように上
下に移動させる。制御装置６２は、モータ６０に接続さ
れ、制御装置に送られる信号に応答してモータが可動部
材５６を選択的に移動させるようにこのモータを制御す
る。
、接続部材８４を介してリンク２２、２４に接続され、
これらのリンクをＸ方向に移動させる。モータ６０は、
可動部材５６に接続され、この部材を図に示すように上
下に移動させる。制御装置６２は、モータ６０に接続さ
れ、制御装置に送られる信号に応答してモータが可動部
材５６を選択的に移動させるようにこのモータを制御す
る。
可動部材６６はｙ方向に線形移動できるように支持され
、リンク３０に接続され、このリンクをｙ方向に移動さ
せる。モータ７０は、可動部材６６に接続され、この可
動部材を図に示すように左右に移動させる。制御装置７
２はモータ７０に接続され、制御装置に送られる信号に
応答してモータが可動部材６６を選択的に移動させるよ
うにこのモータを制御する。
、リンク３０に接続され、このリンクをｙ方向に移動さ
せる。モータ７０は、可動部材６６に接続され、この可
動部材を図に示すように左右に移動させる。制御装置７
２はモータ７０に接続され、制御装置に送られる信号に
応答してモータが可動部材６６を選択的に移動させるよ
うにこのモータを制御する。
さらに、モータ６０と７０は、それぞれ出力シャフトを
有するサーボ・モータを含むことが好ましく、制御装置
６２と７２はそれぞれ、制御手段２０からその制御装置
に送られる信号に応答してモータの出力シャフトを時計
回りまたは反時計回りの方向に回転させるように関連す
るモータを動作させる。
有するサーボ・モータを含むことが好ましく、制御装置
６２と７２はそれぞれ、制御手段２０からその制御装置
に送られる信号に応答してモータの出力シャフトを時計
回りまたは反時計回りの方向に回転させるように関連す
るモータを動作させる。
装置１０内では、他の多数のタイプの線形アクチュエー
タも使用できる。たとえば、これらのアクチュエータは
、油圧シリンダまたは空気圧シリンダ、及び送られてく
る信号に応答してシリンダのロッドを伸ばすまたは引っ
込める制御装置を含むことができる。
タも使用できる。たとえば、これらのアクチュエータは
、油圧シリンダまたは空気圧シリンダ、及び送られてく
る信号に応答してシリンダのロッドを伸ばすまたは引っ
込める制御装置を含むことができる。
制御装置２０は、第１及び第２の並進手段１４及び１６
に接続され、プラットホーム１２を一連の位置に移動さ
せるようにこれらの並進手段を制御する。制御装置は、
そうするだけでなく、プラットホームがこの一連の位置
を移動するとき、プラットホームが所定の経路を移動す
るようにも並進手段を制御する。そうするため、制御手
段は、プラットホームがある位置から別の位置に移動す
るとき、プラットホームの位置を監視し、プラットホー
ムがあるべき位置にない場合は補正信号を生成してそれ
を第１及び第２の並進手段、より詳し《はその制御装置
６２及び７２に送り、プラットホームをあるべき位置へ
と移動させるようにこれらの並進手段を操作する。
に接続され、プラットホーム１２を一連の位置に移動さ
せるようにこれらの並進手段を制御する。制御装置は、
そうするだけでなく、プラットホームがこの一連の位置
を移動するとき、プラットホームが所定の経路を移動す
るようにも並進手段を制御する。そうするため、制御手
段は、プラットホームがある位置から別の位置に移動す
るとき、プラットホームの位置を監視し、プラットホー
ムがあるべき位置にない場合は補正信号を生成してそれ
を第１及び第２の並進手段、より詳し《はその制御装置
６２及び７２に送り、プラットホームをあるべき位置へ
と移動させるようにこれらの並進手段を操作する。
より具体的に言うと、プラットホーム移動中ある時間ご
とに、センサ３４と３６がプラットホームの実際の位置
を感知し、その実際位置を表す信号をブロセソサ４０及
び４２に送る。プロセッサ４０及び４２は、プラットホ
ームの実際の位置をそのときの所期の位置と比較し、こ
れら２つの位置が異なる場合は、制御信号を生成してそ
れを線形アクチュエータ２６と３２に送り、プラットホ
ームを所期の位置へ移動させるようにこれらのアクチュ
エータを操作する。
とに、センサ３４と３６がプラットホームの実際の位置
を感知し、その実際位置を表す信号をブロセソサ４０及
び４２に送る。プロセッサ４０及び４２は、プラットホ
ームの実際の位置をそのときの所期の位置と比較し、こ
れら２つの位置が異なる場合は、制御信号を生成してそ
れを線形アクチュエータ２６と３２に送り、プラットホ
ームを所期の位置へ移動させるようにこれらのアクチュ
エータを操作する。
さらに具体的には、プラットホームの移動中ある時間ご
とに、好まし《は規則的間隔で、センサ３６がプラット
ホームの左横縁部１２ｂの実際の位置を感知し、その実
際位置を示す信号をプロセ，サ４２に送る。プロセッサ
４２は、その時点でのプラットホームの左横縁部の所期
の位置を決定する。縁部１２ｂの感知された実際位置が
所期の位置より左にある場合、プロセッサ４２は、リン
ク３０を右へ引っ張り、それによってプラットホームを
右へ引っ張るようにモータ制御装置７２にモータ７０を
動作させる信号を生成して、それを制御装置に送る。し
かし、縁部１２ｂの感知された実際位置が所期の位置よ
り右にある場合は、プロセッサ４２は、リンク３ｏを左
へ押し、それによってプラットホームを左へ押すように
モータ制御装置７２にモータ７０を動作させる信号を生
成して、それを制御装置に送る。
とに、好まし《は規則的間隔で、センサ３６がプラット
ホームの左横縁部１２ｂの実際の位置を感知し、その実
際位置を示す信号をプロセ，サ４２に送る。プロセッサ
４２は、その時点でのプラットホームの左横縁部の所期
の位置を決定する。縁部１２ｂの感知された実際位置が
所期の位置より左にある場合、プロセッサ４２は、リン
ク３０を右へ引っ張り、それによってプラットホームを
右へ引っ張るようにモータ制御装置７２にモータ７０を
動作させる信号を生成して、それを制御装置に送る。し
かし、縁部１２ｂの感知された実際位置が所期の位置よ
り右にある場合は、プロセッサ４２は、リンク３ｏを左
へ押し、それによってプラットホームを左へ押すように
モータ制御装置７２にモータ７０を動作させる信号を生
成して、それを制御装置に送る。
同様に、プラットホームの移動中ある時間ごとに、好ま
しくはやはり規則的間隔で、センサ３４がプラットホー
ムの上横縁部１２ｃの実際の位置を感知し、縁部１２ｃ
の実際位置を示す信号をプロセッサ４０に送る。プロセ
ッサ４０は、それらの時点でのプラットホームの上横縁
部の所期の位置を決定する。縁部１２ｃの感知された実
際位置が所期の位置より上である場合、プロセッサ４０
は、プラットホームを下へ引っ張るようにアクチュエー
タ２６にリンク２２と２４を引っ張らせる信号を生成し
て、それを線形アクチュエータ２６、より詳しくは制御
装置６２に送る。一方、縁部１２ｃの感知された実際位
置が所期の位置より下である場合は、プロセッサ４０は
、プラットホームを上方に押すようにアクチュエータに
リンク２２と２４を押させる信号を生成して、それを線
形アクチュエータ２８、より詳しくは制御装置６２に送
る。
しくはやはり規則的間隔で、センサ３４がプラットホー
ムの上横縁部１２ｃの実際の位置を感知し、縁部１２ｃ
の実際位置を示す信号をプロセッサ４０に送る。プロセ
ッサ４０は、それらの時点でのプラットホームの上横縁
部の所期の位置を決定する。縁部１２ｃの感知された実
際位置が所期の位置より上である場合、プロセッサ４０
は、プラットホームを下へ引っ張るようにアクチュエー
タ２６にリンク２２と２４を引っ張らせる信号を生成し
て、それを線形アクチュエータ２６、より詳しくは制御
装置６２に送る。一方、縁部１２ｃの感知された実際位
置が所期の位置より下である場合は、プロセッサ４０は
、プラットホームを上方に押すようにアクチュエータに
リンク２２と２４を押させる信号を生成して、それを線
形アクチュエータ２８、より詳しくは制御装置６２に送
る。
プラットホーム１２がある位置から別の位置に移動する
間に、プラットホームの所期の位置が、Ｘ方向でもｙ方
向でも変化することがあり、通常は実際に変化する。し
たがって、プロセッサ４０と４２はそれぞれ、プラット
ホーム移動中のプラットホームの所期の座標のデータ、
具体的には上横縁部１２ｃの所期のＸ座標と左横縁部１
２ｂの所期のｙ座標を決定する手段を含むことが好まし
い。
間に、プラットホームの所期の位置が、Ｘ方向でもｙ方
向でも変化することがあり、通常は実際に変化する。し
たがって、プロセッサ４０と４２はそれぞれ、プラット
ホーム移動中のプラットホームの所期の座標のデータ、
具体的には上横縁部１２ｃの所期のＸ座標と左横縁部１
２ｂの所期のｙ座標を決定する手段を含むことが好まし
い。
゛たとえば、所与の方程式に従って所期の座標値を決定
するようにプロセッサをプログラミングしてもよく、ま
た所与の期間中の様々な時点での所期の座標値を決定す
るためのルソクアノプ・テーブルをプロセッサに設けて
もよい。ホスト・コンピュータ４６を使って、所期の座
標値を決定するのに必要なデータまたはプログラムをプ
ロセッサ４０及び４２に送る。各プロセッサは、プラッ
トホームの移動中にプロセッサが時間を記録するために
使用できるタイミング信号を発生するクロック手段を含
むことが好ましい。また、ホスト・コンピュータなど別
の装置からこうしたタイミング信号をプロセッサに送っ
てもよい。
するようにプロセッサをプログラミングしてもよく、ま
た所与の期間中の様々な時点での所期の座標値を決定す
るためのルソクアノプ・テーブルをプロセッサに設けて
もよい。ホスト・コンピュータ４６を使って、所期の座
標値を決定するのに必要なデータまたはプログラムをプ
ロセッサ４０及び４２に送る。各プロセッサは、プラッ
トホームの移動中にプロセッサが時間を記録するために
使用できるタイミング信号を発生するクロック手段を含
むことが好ましい。また、ホスト・コンピュータなど別
の装置からこうしたタイミング信号をプロセッサに送っ
てもよい。
センサ３４及び３６は、適切な位置感知装置を含むこと
ができるが、各センサに干渉計を設け、各センサを支持
表面５４上に固く固定することが好ましい。物体の位置
を２ナノメートル以下の精度で感知することのできる干
渉計が利用可能であり、そのような装置が本発明で使用
できる。同様に、プロセッサ４０及び４２は、適切など
の処理装置でもよい。センサ３４とプロセッサ４０、及
びセンサ３６とプロセッサ４２として使用できるセンサ
／処理装置が市販されており、適切なセンサ／処理装置
として、ヒューレット・パッカード社の５５２７システ
ムやジゴ（Ｚｙｇｏ） コーポレーシｅ冫のＡｘｉｏ
ｎ ２ − ２ ０がある。
ができるが、各センサに干渉計を設け、各センサを支持
表面５４上に固く固定することが好ましい。物体の位置
を２ナノメートル以下の精度で感知することのできる干
渉計が利用可能であり、そのような装置が本発明で使用
できる。同様に、プロセッサ４０及び４２は、適切など
の処理装置でもよい。センサ３４とプロセッサ４０、及
びセンサ３６とプロセッサ４２として使用できるセンサ
／処理装置が市販されており、適切なセンサ／処理装置
として、ヒューレット・パッカード社の５５２７システ
ムやジゴ（Ｚｙｇｏ） コーポレーシｅ冫のＡｘｉｏ
ｎ ２ − ２ ０がある。
上述のように、プラットホーム１２とリンク２２、２４
と線形アクチュエータ２６によって形成される平行四辺
形構造は、プラットホームが移動するとき、プラットホ
ームの向きがほぼ一定のままとなることを保証する。し
かし、接続点２２ａと２２ｃの中心間の間隔が接続点２
４ａと２４ｂの中心間の間隔とぴったり等しくない場合
、プラットホームの移動中にプラットホームの向きが僅
かに回転または振れる傾向がある。この振れを補償また
は防止するため、第１の並進手段１４のリンク２２は長
さが調節できるようになっており、装置１０は、制御装
置４４、センサ５０、プロセッサ５２を含めて、プラッ
トホーム１２の移動中に振れを検出し、振れを感知した
とき、プラットポー゛ムがその所期の向きに戻るように
リンク２２の長さを調節する手段を含む。
と線形アクチュエータ２６によって形成される平行四辺
形構造は、プラットホームが移動するとき、プラットホ
ームの向きがほぼ一定のままとなることを保証する。し
かし、接続点２２ａと２２ｃの中心間の間隔が接続点２
４ａと２４ｂの中心間の間隔とぴったり等しくない場合
、プラットホームの移動中にプラットホームの向きが僅
かに回転または振れる傾向がある。この振れを補償また
は防止するため、第１の並進手段１４のリンク２２は長
さが調節できるようになっており、装置１０は、制御装
置４４、センサ５０、プロセッサ５２を含めて、プラッ
トホーム１２の移動中に振れを検出し、振れを感知した
とき、プラットポー゛ムがその所期の向きに戻るように
リンク２２の長さを調節する手段を含む。
さらに具体的に述べると、図に示すように、リンク２２
は、長さがほぼ一定な第１及び第２のセクション２２ｃ
及びｄと、長さが調節可能な第３ノセクション２２ｅを
含む。リンク・セクション２２ｃの一端は線形アクチュ
エータ２６上にピボット式に取り付けられ、その他端は
第３のセクショ７２２ｅの第１の端部に固定されている
。セクショ７２２ｅの第２の端部はリンク・セクション
２２ｄの一端に固定され、その他端はプラットホーム１
２上にピボット式に取り付けられる。中間セクション２
２ｅは、圧電変換器などのアクチュエータを含み、その
長さは変換器の両端間に印加される電圧差の関数となる
。
は、長さがほぼ一定な第１及び第２のセクション２２ｃ
及びｄと、長さが調節可能な第３ノセクション２２ｅを
含む。リンク・セクション２２ｃの一端は線形アクチュ
エータ２６上にピボット式に取り付けられ、その他端は
第３のセクショ７２２ｅの第１の端部に固定されている
。セクショ７２２ｅの第２の端部はリンク・セクション
２２ｄの一端に固定され、その他端はプラットホーム１
２上にピボット式に取り付けられる。中間セクション２
２ｅは、圧電変換器などのアクチュエータを含み、その
長さは変換器の両端間に印加される電圧差の関数となる
。
制御装置４４は、リンク２２に接続され、その長さを調
節する。図に示した本発明の実施例では、とれは、圧電
セクション２２ｅの両端間に可変電圧差を印加すること
によって行なう。可変電圧は、センサ５０とプロセッサ
５２によって生成される信号に応答して、制御装置４４
からアクチュエータ２２ｅに供給される。
節する。図に示した本発明の実施例では、とれは、圧電
セクション２２ｅの両端間に可変電圧差を印加すること
によって行なう。可変電圧は、センサ５０とプロセッサ
５２によって生成される信号に応答して、制御装置４４
からアクチュエータ２２ｅに供給される。
本発明の実施には他の型式の伸張式リンクを使用するこ
ともでき、他の型式の制御装置を使ってこのリンクの長
さを伸張または調節することもできる。たとえば、リン
ク２２は伸張可能な油圧シリンダまたは空気圧シリンダ
としてもまたそうしたシリンダを含むものとしてもよく
、プロセッサ５２から制御弁に送られる信号に応答して
伸張式シリンダを制御するのに使用される制御装置４４
は、油圧式または空気圧式制御弁でよい。
ともでき、他の型式の制御装置を使ってこのリンクの長
さを伸張または調節することもできる。たとえば、リン
ク２２は伸張可能な油圧シリンダまたは空気圧シリンダ
としてもまたそうしたシリンダを含むものとしてもよく
、プロセッサ５２から制御弁に送られる信号に応答して
伸張式シリンダを制御するのに使用される制御装置４４
は、油圧式または空気圧式制御弁でよい。
リンク・セクション２２ｃ及びｄ１ならびにリンク２４
及び３０と接続メンバ６４は、アルミニウムや剛性プラ
スチックなど適切などんな材料製のものでもよく、また
リンクは受け入れられるどんな方法で定位置に接続して
もよい。
及び３０と接続メンバ６４は、アルミニウムや剛性プラ
スチックなど適切などんな材料製のものでもよく、また
リンクは受け入れられるどんな方法で定位置に接続して
もよい。
センサ５０及びプロセッサ５２は、センサ３４及び３６
とプロセッサ４０及び４２と非常によく似た方式で動作
して、プラットホーム１２の所期の位置からの偏位を検
出し、そのような偏位が検出された場合に、プラットホ
ームが所期の向きに戻るようにアクチュエータにリンク
２２の長さを調節させる信号を生成して、それを制御装
置４４に送る。
とプロセッサ４０及び４２と非常によく似た方式で動作
して、プラットホーム１２の所期の位置からの偏位を検
出し、そのような偏位が検出された場合に、プラットホ
ームが所期の向きに戻るようにアクチュエータにリンク
２２の長さを調節させる信号を生成して、それを制御装
置４４に送る。
具体的には、センサ５０もプラットホーム５４上に固く
固定した干渉計とすることが好ましく、センサ５０は、
プラットホームの移動中ある時間ごとに、プラットホー
ムの上横縁部１２ｃの実際位置を感知し、その実際位置
を示す信号を制御装置５２に送る。プロセッサ５２は、
それらの時点でのプラットホームの上横縁部の所期の位
置を決定する。縁部１２ｃの感知された実際位置が所期
の位置より上である場合、プロセッサ５２は、プラット
ホームの上総部が反時計回りに回転するようにアクチュ
エータ２２ｅにリンク２２を引っ込めさせる信号を生成
して、それを制御装置４４に送る。しかし、縁部Ｌ２ｃ
の感知された実際位置が所期の位置より下である場合は
、プロセッサ５２は、プラットホームの上総部が時計回
りに回転するようにアクチュエータ２２ｅにり冫ク２２
を伸張させる信号を生成して、それを制御装置４４に送
る。
固定した干渉計とすることが好ましく、センサ５０は、
プラットホームの移動中ある時間ごとに、プラットホー
ムの上横縁部１２ｃの実際位置を感知し、その実際位置
を示す信号を制御装置５２に送る。プロセッサ５２は、
それらの時点でのプラットホームの上横縁部の所期の位
置を決定する。縁部１２ｃの感知された実際位置が所期
の位置より上である場合、プロセッサ５２は、プラット
ホームの上総部が反時計回りに回転するようにアクチュ
エータ２２ｅにリンク２２を引っ込めさせる信号を生成
して、それを制御装置４４に送る。しかし、縁部Ｌ２ｃ
の感知された実際位置が所期の位置より下である場合は
、プロセッサ５２は、プラットホームの上総部が時計回
りに回転するようにアクチュエータ２２ｅにり冫ク２２
を伸張させる信号を生成して、それを制御装置４４に送
る。
プロセッサ５２は、プラットホームの移動中に所期の座
標値、具体的にはプラットホーム１２の上縁部Ｌ２ｃの
Ｘ座標を決定する手段を備えている。所与の方程式に従
って所期の座標値を決定するようにプロセッサ５２をプ
ログラミングすることができ、また所与の期間中の様々
な時点で所期の座標値を決定するためのルックアノプ・
テーブルをプロセッサに設けることもでき、またホスト
・コンピュータ４６を使って所期の座標値を決定するの
に必要なデータまたはプログラムをプロセッサ５２に送
ってもよい。プラットホームの移動中にプロセッサが時
間を記録するのに使用できるタイミング信号を発生する
クロック手段をプロセッサに設けることができ、またホ
スト・コンピュータなど他の装置からプロセッサにこれ
らのタイミング信号を送ることもできる。
標値、具体的にはプラットホーム１２の上縁部Ｌ２ｃの
Ｘ座標を決定する手段を備えている。所与の方程式に従
って所期の座標値を決定するようにプロセッサ５２をプ
ログラミングすることができ、また所与の期間中の様々
な時点で所期の座標値を決定するためのルックアノプ・
テーブルをプロセッサに設けることもでき、またホスト
・コンピュータ４６を使って所期の座標値を決定するの
に必要なデータまたはプログラムをプロセッサ５２に送
ってもよい。プラットホームの移動中にプロセッサが時
間を記録するのに使用できるタイミング信号を発生する
クロック手段をプロセッサに設けることができ、またホ
スト・コンピュータなど他の装置からプロセッサにこれ
らのタイミング信号を送ることもできる。
本明細書で開示した本発明が前記の諸目的を満たすこと
は明らかであるが、当業者なら多数の修正及び実施例を
当然考えつくはずである。本発明の真の趣旨及び範囲内
に含まれるそうした修正及び実施例はすべてカバーされ
るものである。
は明らかであるが、当業者なら多数の修正及び実施例を
当然考えつくはずである。本発明の真の趣旨及び範囲内
に含まれるそうした修正及び実施例はすべてカバーされ
るものである。
Ｆ．発明の効果
本発明により、複雑な機械システムを必要とせずに、加
工物を所定のパターンで精密に移動させるのに使用でき
る２次元位置決め装置が得られる。
工物を所定のパターンで精密に移動させるのに使用でき
る２次元位置決め装置が得られる。
図は、本発明による位置決め装置を一般的に示す図であ
る。 １０・・・・位置決め装置、１２・・・・プラットホー
ム、１４、１６・・・・並進手段、２０・・・・制御手
段、２２、２４、３０・・・・リンク、２６、３２・・
・・アクチュエータ、３４、３６、５０・・・・センサ
、４０、４２、５２・・・・プロセッサ、４４・・・・
リンク制御装置、４６・・・・ホスト・プロセッサ。
る。 １０・・・・位置決め装置、１２・・・・プラットホー
ム、１４、１６・・・・並進手段、２０・・・・制御手
段、２２、２４、３０・・・・リンク、２６、３２・・
・・アクチュエータ、３４、３６、５０・・・・センサ
、４０、４２、５２・・・・プロセッサ、４４・・・・
リンク制御装置、４６・・・・ホスト・プロセッサ。
Claims (19)
- （１）所与の向きを有する可動式プラットホームと、上
記プラットホームを第１の方向に移動させるようにプラ
ットホームに接続された、 （ａ）それぞれプラットホームにピボット式に接続され
た第１及び第２のリンクと （ｂ）上記第１及び第２のリンクを上記第１の方向に移
動させるようにそれらのリンクにピボット式に接続され
た第１の線形アクチュエータとを含む第１の並進手段と
、 上記プラットホームを上記第１の方向と直交する第２の
方向に移動させるようにプラットホームに接続された第
２の並進手段とを含み、 上記第１及び第２のリンクと可動式プラットホームと第
１線形アクチュエータが、プラットホームの移動中にそ
の向きを実質的に一定に保つためのピボット式平行四辺
形構造を形成するという、２次元位置決め装置。 - （２）さらに、第１及び第２の並進手段に接続された、
プラットホームを第１の位置から第２の位置に移動させ
るように上記並進手段を制御するための制御手段を含む
、請求項（１）に記載の位置決め装置。 - （３）上記第１リンクが、長さが調節可能であり、第１
のリンクの長さを調節するように第１リンクに接続され
たリンク・アクチュエータを含み、上記制御手段が、プ
ラットホームが所与の向きに戻るように上記第１リンク
の長さを調節するようにリンク・アクチュエータに接続
された、プラットホームの所与の向きからの偏位を感知
するための振れ制御手段を含む ことを特徴とする、請求項（２）に記載の位置決め装置
。 - （４）上記制御手段が、プラットホームを上記第１の位
置から上記第２の位置へと所定の経路上を移動させるよ
うに上記第１及び第２の並進手段を制御する ことを特徴とする、請求項（２）に記載の位置決め装置
。 - （５）上記第２並進手段が、 プラットホームにピボット式に接続された第３のリンク
と、 上記第３リンクを第２の方向に移動させるように上記第
３リンクにピボット式に接続された第２の線形アクチュ
エータと を含むことを特徴とする、請求項（２）に記載の位置決
め装置。 - （６）上記第１線形アクチュエータが、 （ａ）第１の電動モータと、 （ｂ）上記第１の電動モータを上記第１及び第２のリン
クに接続する手段と、 （ｃ）上記第１の電動モータの動作を制御するように上
記第１の電動モータに接続された第１の制御装置を含み
、 上記第２線形アクチュエータが、 （ａ）第２の電動モータと、 （ｂ）上記第２の電動モータを上記第３のリンクに接続
する手段と、 （ｃ）上記第２の電動モータの動作を制御するように上
記第２の電動モータに接続された第２の制御装置を含む ことを特徴とする、請求項（５）に記載の位置決め装置
。 - （７）上記制御手段が、 第１の方向でプラットホームの位置を感知して、第１の
方向でのプラットホームの位置が所期の位置と異なる場
合は第１の補正信号を生成し、上記第１の補正信号を上
記第１の制御装置に送って、上記第１及び第２のリンク
とプラットホームを上記第１の方向で上記の所期の位置
に移動させるように上記第１の電動モータを動作させる
第１の手段と、 第２の方向でプラットホームの位置を感知して、第２の
方向でのプラットホームの位置が所期の位置と異なる場
合は第２の補正信号を生成し、上記第２の補正信号を上
記第２の制御装置に送って、上記第３のリンクとプラッ
トホームを上記第２の方向で上記の所期の位置に移動さ
せるように上記第２の電動モータを動作させる第２の手
段とを含むことを特徴とする、請求項（６）に記載の位
置決め装置。 - （８）上記制御手段が、 第１の方向でプラットホームの位置を感知して、第１の
方向でのプラットホームの位置が所期の位置と異なる場
合は第１の補正信号を生成し、上記第１の補正信号を上
記第１の並進手段に送って、プラットホームを上記第１
の方向で上記の所期の位置に移動させるように、上記第
１の並進手段を動作させる第１の手段と、 第２の方向でプラットホームの位置を感知して、第２の
方向でのプラットホームの位置が所期の位置と異なる場
合は第２の補正信号を生成し、上記第２の補正信号を上
記第２の並進手段に送って、プラットホームを上記第２
の方向で上記の所期の位置に移動させるように、上記第
２の並進手段を動作させる第２の手段と を含むことを特徴とする、請求項（２）に記載の位置決
め装置。 - （９）上記第１の手段が、 （ａ）プラットホームの上記第１の方向での位置を感知
する第１のセンサと、 （ｂ）上記第１の方向でのプラットホームの所期の位置
を決定する第１のプロセッサを含み、上記第２の手段が
、 （ａ）プラットホームの上記第２の方向での位置を感知
する第２のセンサと、 （ｂ）上記第２の方向でのプラットホームの所期の位置
を決定する第２のプロセッサを含む ことを特徴とする、請求項（８）に記載の位置決め装置
。 - （１０）上記プラットホームが第１及び第２の側部を有
し、 上記第１センサがプラットホームの上記第１側部の位置
を感知し、 上記第２センサがプラットホームの上記第２側部の位置
を感知する ことを特徴とする、請求項（９）に記載の位置決め装置
。 - （１１）上記第１及び第２の方向でのプラットホームの
所期の位置が、所与の期間中に変化し、 上記第１プロセッサが、上記期間中に上記第１の方向で
のプラットホームの所期の位置を決定する手段を含み、 上記第２プロセッサが、上記期間中に上記第２の方向で
のプラットホームの所期の位置を決定する手段を含む ことを特徴とする、請求項（９）に記載の位置決め装置
。 - （１２）上記第１リンクの長さが調節可能であり、上記
第１の並進手段がさらに、上記第１リンクの長さを調節
するように上記第１リンクに接続されたリンク制御装置
を含む ことを特徴とする、請求項（１）に記載の位置決め装置
。 - （１３）さらに、プラットホームが所与の向きに戻るよ
うに上記第１リンクの長さを調節すべくリンク制御装置
を動作させるようにリンク制御装置に接続された、プラ
ットホームの所与の向きからの偏位を感知するための振
れ制御手段を含む ことを特徴とする、請求項（１２）に記載の位置決め装
置。 - （１４）上記振れ制御手段が、 所与の方向でのプラットホームの位置を感知する振れセ
ンサと、 上記所与の方向でのプラットホームの所期の位置を決定
するプロセッサとを含む ことを特徴とする、請求項（１３）に記載の位置決め装
置。 - （１５）上記所与の位置でのプラットホームの上記の所
期の位置が所与の期間中に変化し、 上記プロセッサが、上記期間中に上記所与の方向でのプ
ラットホームの所期の位置を決定する手段を含む ことを特徴とする、請求項（１４）に記載の位置決め装
置。 - （１６）上記プラットホームが第１の側部を有し、上記
振れ制御手段が、上記第１側部の位置を感知し、プラッ
トホームの上記第１側部の位置が所期の位置と異なると
きには振れ補正信号を生成して、それをリンク制御装置
に送る ことを特徴とする、請求項（１４）に記載の位置決め装
置。 - （１７）振れ制御装置が、プラットホームの上記第１側
部の所期の位置を決定するプロセッサを含むことを特徴
とする、請求項（１８）に記載の位置決め装置。 - （１８）プラットホームの上記第１側部の所期の位置が
所与の期間中に変化し、 上記プロセッサが、上記所与の期間中にプラットホーム
の上記第１側部の所期の位置を決定する手段を含む ことを特徴とする、請求項（１７）に記載の位置決め装
置。 - （１９）上記第１リンクが、 （ａ）プラットホームにピボット式に接続された第１の
セクションと、 （ｂ）上記第１線形アクチュエータにピボット式に接続
された第２のセクションと、 （ｃ）上記リンクの上記第１及び第２のセクションに接
続され、上記第１のセクションと第２のセクションの間
を延びる、長さの調節可能な圧電セクションを含み、 上記リンク制御装置が、上記圧電セクションの両端間に
可変電圧電位を印加して上記圧電セクションの長さを変
化させるように上記第１リンクに電気的に接続されてい
る ことを特徴とする、請求項（１７）に記載の位置決め装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/466,089 US5059090A (en) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | Two-dimensional positioning apparatus |
| US466089 | 1990-01-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03218046A true JPH03218046A (ja) | 1991-09-25 |
| JPH0574227B2 JPH0574227B2 (ja) | 1993-10-18 |
Family
ID=23850416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2323430A Granted JPH03218046A (ja) | 1990-01-16 | 1990-11-28 | ２次元位置決め装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5059090A (ja) |
| EP (1) | EP0437741A3 (ja) |
| JP (1) | JPH03218046A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009052985A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Akita Prefecture | 位置決め機構 |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5170678A (en) * | 1990-04-30 | 1992-12-15 | Walter W. Wawrzyniak | Index table assembly |
| US5509777A (en) * | 1993-03-25 | 1996-04-23 | Leland D. Blatt | Mechanical side shift and tip apparatus |
| US7365513B1 (en) | 1994-04-01 | 2008-04-29 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
| US6989647B1 (en) | 1994-04-01 | 2006-01-24 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
| US5874820A (en) | 1995-04-04 | 1999-02-23 | Nikon Corporation | Window frame-guided stage mechanism |
| US5528118A (en) | 1994-04-01 | 1996-06-18 | Nikon Precision, Inc. | Guideless stage with isolated reaction stage |
| US6246204B1 (en) | 1994-06-27 | 2001-06-12 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US5623853A (en) * | 1994-10-19 | 1997-04-29 | Nikon Precision Inc. | Precision motion stage with single guide beam and follower stage |
| US6008500A (en) * | 1995-04-04 | 1999-12-28 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame |
| TW318255B (ja) | 1995-05-30 | 1997-10-21 | Philips Electronics Nv | |
| US5760564A (en) * | 1995-06-27 | 1998-06-02 | Nikon Precision Inc. | Dual guide beam stage mechanism with yaw control |
| DE19531676C1 (de) * | 1995-08-29 | 1996-11-14 | Hesse Gmbh | Vorrichtung zum Führungstoleranzausgleich bei Mehrachsenpositionierern |
| US5906468A (en) * | 1995-09-22 | 1999-05-25 | Bell & Howell Postal Systems Inc. | Pivotal tray unloading apparatus |
| US5769574A (en) * | 1996-03-29 | 1998-06-23 | Feinsod; Stephen S. | Method and apparatus for precision boring of pocket-holes |
| DE10359273A1 (de) | 2003-12-17 | 2005-07-21 | Erich Thallner | Justiervorrichtung |
| US7898204B2 (en) * | 2007-01-05 | 2011-03-01 | Active Precision, Inc. | High-speed substrate manipulator |
| US8601619B2 (en) * | 2009-03-27 | 2013-12-10 | Astir Technologies, Llc | Body transfer system with yaw control |
| US9228917B1 (en) | 2009-04-17 | 2016-01-05 | Arrowhead Center, Inc. | Six degrees of freedom free-motion test apparatus |
| US8353199B1 (en) | 2009-04-17 | 2013-01-15 | Arrowhead Center, Inc. | Multi-degree-of-freedom test stand for unmanned air vehicles |
| WO2012089852A1 (es) * | 2010-12-30 | 2012-07-05 | Ideko, S. Coop. | Mesa de guiado para máquina herramienta |
| TWI472397B (zh) * | 2012-02-10 | 2015-02-11 | 中原大學 | Two - legged mobile platform structure |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US893068A (en) * | 1906-08-15 | 1908-07-14 | Linen Thread Company | Mechanical movement. |
| US2244215A (en) * | 1938-02-19 | 1941-06-03 | Participations Eau Soc Et | Free piston machine |
| US2521895A (en) * | 1945-08-23 | 1950-09-12 | Ferguson Harry Inc | Earth boring attachment for tractors |
| US3376755A (en) * | 1966-08-24 | 1968-04-09 | Collins Radio Co | Mechanical movement |
| FR2190187A5 (ja) * | 1972-06-22 | 1974-01-25 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | |
| US3948467A (en) * | 1974-01-19 | 1976-04-06 | Dornier Gmbh | Device for position stabilization |
| JPS5481576A (en) * | 1977-12-09 | 1979-06-29 | Fujitsu Ltd | Device to determine the position of a slide table |
| CH633740A5 (fr) * | 1980-01-25 | 1982-12-31 | Charmilles Sa Ateliers | Machine-outil comprenant une table mobile. |
| US4400985A (en) * | 1981-04-22 | 1983-08-30 | Bond Irvin D | Straight line link mechanism |
| JPS5972727A (ja) * | 1982-10-19 | 1984-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置合わせ用テ−ブル |
| DD229387A1 (de) * | 1984-12-07 | 1985-11-06 | Vta Leipzig Paul Froehlich Veb | Hubvorrichtung, insbesondere fuer gabelstapler |
| JPS61270044A (ja) * | 1985-05-24 | 1986-11-29 | Toshiba Corp | ３軸移動ステ−ジ |
| IL77654A (en) * | 1986-01-20 | 1991-03-10 | Dov Rosenthal | Electric positioning apparatus |
-
1990
- 1990-01-16 US US07/466,089 patent/US5059090A/en not_active Expired - Fee Related
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009052985A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Akita Prefecture | 位置決め機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| JPH0574227B2 (ja) | 1993-10-18 |
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