JPS61270044A - ３軸移動ステ−ジ - Google Patents
３軸移動ステ−ジInfo
- Publication number
- JPS61270044A JPS61270044A JP60110522A JP11052285A JPS61270044A JP S61270044 A JPS61270044 A JP S61270044A JP 60110522 A JP60110522 A JP 60110522A JP 11052285 A JP11052285 A JP 11052285A JP S61270044 A JPS61270044 A JP S61270044A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- move
- stage
- deltatheta
- deltax
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
- B23Q1/4804—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair
- B23Q1/4809—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は３軸移動ステージに係る。
従来の３軸移動ステージの一例を第４図（ａ）に示すよ
うに、移動ステージ１に３本の圧電素子２が弾性ヒンジ
３を介して固定されている。
うに、移動ステージ１に３本の圧電素子２が弾性ヒンジ
３を介して固定されている。
移動ステージ１は、４本の細い支持棒４でベース１１上
に支えられているため、圧電素子２を伸縮させることに
よシＸＹ平面内の移動を可能としている。
に支えられているため、圧電素子２を伸縮させることに
よシＸＹ平面内の移動を可能としている。
しかし、可動支点が弾性ヒンジを介して接続されている
ため、３本の圧電素子の動きはお互いに干渉し合うこと
Ｋなシ、第４図（ｂ）で模似化したように、ΔＸの移動
をすると ａｙ１＋ａｙ！ の干渉がおこυ、この量を
常にフィードバックした補正計算を行なう必要があり、
位置決めに多大な時間を要する不具合があるとともに、
圧電素子の特性上微小量の設定は可能のものの、大きな
移動量を得ることが困難であった。
ため、３本の圧電素子の動きはお互いに干渉し合うこと
Ｋなシ、第４図（ｂ）で模似化したように、ΔＸの移動
をすると ａｙ１＋ａｙ！ の干渉がおこυ、この量を
常にフィードバックした補正計算を行なう必要があり、
位置決めに多大な時間を要する不具合があるとともに、
圧電素子の特性上微小量の設定は可能のものの、大きな
移動量を得ることが困難であった。
本発明は上記の事情に基づきなされたもので、位置決め
時間の短縮化と微小変位から大変位までを制御し得るこ
とを目的としている。
時間の短縮化と微小変位から大変位までを制御し得るこ
とを目的としている。
本発明の３軸移動ステージは、積載台に弾性ヒンジを固
定し、そのヒンジを長手方向に自由な支持をするガイド
によυ、モータの回転を利用して積載台を平面内で移動
せしめることを特徴とする。
定し、そのヒンジを長手方向に自由な支持をするガイド
によυ、モータの回転を利用して積載台を平面内で移動
せしめることを特徴とする。
本発明は、駆動させるモータの組み谷せとその回転量に
よシ予め設定できるので、特にフイードバック回路を必
要としない。高精度な位置決めを必要とする場合はフィ
ードバック回路を設けることも可能であるが、補正計算
の必要はなく、位置決め時間は短い。また、駆動源にモ
ータの回転を利用するため、大きな移動量を得ることが
できる。
よシ予め設定できるので、特にフイードバック回路を必
要としない。高精度な位置決めを必要とする場合はフィ
ードバック回路を設けることも可能であるが、補正計算
の必要はなく、位置決め時間は短い。また、駆動源にモ
ータの回転を利用するため、大きな移動量を得ることが
できる。
第１図（ａ）および第１図（ｂ）は本発明の一実施例の
平面図および側面図である。第１図（ａ）において、積
載台５は弾性ヒフシロを介してガイド７に支持され、モ
ータ８が接続している。
平面図および側面図である。第１図（ａ）において、積
載台５は弾性ヒフシロを介してガイド７に支持され、モ
ータ８が接続している。
第２図は弾性ヒンジの拡大図で長手方向９に対しては剛
性を下げず、その直角方向に柔とする切欠１０を設けで
ある。
性を下げず、その直角方向に柔とする切欠１０を設けで
ある。
以下、上記構成の本発明３軸移動ステージの作動につい
て説明する。第３図において、Ｘ軸に△Ｘ移動させるに
は、ガイド７Ａを反時計方向に、ガイド７Ｂを時計方向
にそれぞれΔθ０回転せる。
て説明する。第３図において、Ｘ軸に△Ｘ移動させるに
は、ガイド７Ａを反時計方向に、ガイド７Ｂを時計方向
にそれぞれΔθ０回転せる。
とモータの回転角度によシ決まる。すなわち、弾性ヒン
ジ６の長ざをｌとすれば、Δｘ＝ｌ・Δθ と近似でき
る。分解能０．３６°／パルス（１０００パルスで１回
転）のステッピングモータを使用し、ｌ＝ １０ ｗ
、 ａ＝’−、！：した場合、Δｘは６．３μｓ／パ
ルスの微小移動からモータが１回転すれば６．３ｕの移
動も可能となシ、発明の目的を達する。
ジ６の長ざをｌとすれば、Δｘ＝ｌ・Δθ と近似でき
る。分解能０．３６°／パルス（１０００パルスで１回
転）のステッピングモータを使用し、ｌ＝ １０ ｗ
、 ａ＝’−、！：した場合、Δｘは６．３μｓ／パ
ルスの微小移動からモータが１回転すれば６．３ｕの移
動も可能となシ、発明の目的を達する。
なお、Ｙ軸、Ｘ軸も同様にガイド７Ａ、 ７Ｂ、 ’ｉ
。
。
７Ｄの組み合せでコントロールできる。
特に図示しないが、ガイドとモータの減速用に歯車等を
利用するとパラクララシー等で精度の低下をまねく場合
は、モータをガイド兼用としても良い。
利用するとパラクララシー等で精度の低下をまねく場合
は、モータをガイド兼用としても良い。
第１図（ａ）は本発明一実施例の平面図、第１図価）は
第１図（ａ）に示す本発明の側面図、第２図は第１図（
ａ）に示す実施例の弾性ヒンジの斜視図、第３図
１は第１図に示す積載台の移動を説明する平面図、第４
図（ａ）は従来の３軸移動ステージの斜視図、第４図（
ｂ）は第４図（ａ）に示す従来例の移動法を説明する模
式図である。 ５・・・積載台、６・・・弾性ヒンジ、７・・・ガイド
、８・・・モータ。 代理人弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）第
１ 図 第 ２ 図 第３図 （ａ、） （ｂ） 第 ４ 図
第１図（ａ）に示す本発明の側面図、第２図は第１図（
ａ）に示す実施例の弾性ヒンジの斜視図、第３図
１は第１図に示す積載台の移動を説明する平面図、第４
図（ａ）は従来の３軸移動ステージの斜視図、第４図（
ｂ）は第４図（ａ）に示す従来例の移動法を説明する模
式図である。 ５・・・積載台、６・・・弾性ヒンジ、７・・・ガイド
、８・・・モータ。 代理人弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）第
１ 図 第 ２ 図 第３図 （ａ、） （ｂ） 第 ４ 図
Claims (1)
- 積載台に弾性を有するヒンジを固定し、そのヒンジを長
手方向に自由な支持をするガイドを有し、モータの回転
を利用して、積載台を平面内に移動せしめることを特徴
とする３軸移動ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60110522A JPS61270044A (ja) | 1985-05-24 | 1985-05-24 | ３軸移動ステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60110522A JPS61270044A (ja) | 1985-05-24 | 1985-05-24 | ３軸移動ステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61270044A true JPS61270044A (ja) | 1986-11-29 |
Family
ID=14537930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60110522A Pending JPS61270044A (ja) | 1985-05-24 | 1985-05-24 | ３軸移動ステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61270044A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0437741A2 (en) * | 1990-01-16 | 1991-07-24 | International Business Machines Corporation | A two-dimensional positioning apparatus |
| EP0469956A1 (en) * | 1990-07-20 | 1992-02-05 | Nicotec Co., Ltd. | Plane motion mechanism |
| EP1544911A2 (de) * | 2003-12-17 | 2005-06-22 | Erich Dipl.-Ing. Thallner | Justiervorrichtung |
-
1985
- 1985-05-24 JP JP60110522A patent/JPS61270044A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0437741A2 (en) * | 1990-01-16 | 1991-07-24 | International Business Machines Corporation | A two-dimensional positioning apparatus |
| EP0437741A3 (en) * | 1990-01-16 | 1991-09-18 | International Business Machines Corporation | A two-dimensional positioning apparatus |
| US5059090A (en) * | 1990-01-16 | 1991-10-22 | International Business Machines Corp. | Two-dimensional positioning apparatus |
| EP0469956A1 (en) * | 1990-07-20 | 1992-02-05 | Nicotec Co., Ltd. | Plane motion mechanism |
| EP1544911A2 (de) * | 2003-12-17 | 2005-06-22 | Erich Dipl.-Ing. Thallner | Justiervorrichtung |
| EP1544911A3 (de) * | 2003-12-17 | 2005-11-23 | Erich Dipl.-Ing. Thallner | Justiervorrichtung |
| US7246445B2 (en) | 2003-12-17 | 2007-07-24 | Erich Thallner | Alignment device |
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