JPH03215960A - 容器開閉機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、容器に蓋体を取り付け且つ取り外すことによ
り容器を開放し閉鎖することができる容器開閉機構に関
し、特に、半導体製造設備の様に汚染物質の存在を極力
防止する必要がある場合に好適に使用できる容器開閉機
構に関する。

［従来の技術］ 容器を蓋体により開放或いは閉鎖するために、従来は、
容器開口部と蓋体とをヒンジで結合し、該ヒンジを中心
に蓋体を回動するのが一般的であった。

［発明が解決しようとする課題］ しかしヒンジを用いる場合は、その構造から摺動を伴わ
ざるを得ず、該摺動により容器の開閉動作の度に微細な
汚染物質が発生するという問題がある。特に半導体製造
設備におけるクリーンルームの様に非常に清浄化された
環境を必要とする場合は、微細な汚染物質の存在は製造
される半導体製品の品質に悪影響を及ぼし、製品の歩留
まりを悪化してしまう。

本発明は上記した従来技術の問題点に鑑みて提案された
もので、容器の開閉動作の際の摺動を無くし、微細な汚
染物質が発生することを防止することが出来る容器開閉
機構の提供を目的としている。

［課題を解決するための手段］ 本発明の容器開閉機構は、容器と蓋体と蓋体開閉手段と
を有しており、前記容器の開口周辺の縁部に磁性体を配
置し、前記蓋体の前記磁性体に対向する位置には磁石を
含んだ棒状の吸着手段が位置しており且つその他の位置
には磁性体が位置しており、前記蓋体開閉手段には導線
から成るコイルが前記吸着手段を受容する位置に設けら
れており且つ前記蓋体の磁性体に対向する位置には電磁
石が配置されている。

本発明の実施に際して、前記吸着手段は永久磁石を含ん
でいるのが好ましいが、電磁石を含ませる事も不可能で
はない。

また、前記コイルを構成する導線及び前記蓋体開閉手段
の電磁石は、必要な時に電流が流れるように制御手段を
介して電源に接続されているのが好ましい。

［作用］ 上記のような構成を有する本発明によれば、容器を蓋体
によって閉鎖するに際しては、蓋体の吸着手段に含まれ
る磁石が容器開口周辺に配置された磁性体をその磁力で
吸引し、以て蓋体が容器に吸着して開口部を覆って閉鎖
するのである。

一方、容器開口部を覆った蓋体を取り外して容器を開放
するためには、吸着手段が前記コイルへ受容されるよう
に蓋体を蓋体開閉手段に被せ、棒状の吸着手段の磁界を
打ち消す向きの磁界を発生するように該コイルに電流を
流す。これに先立って蓋が消磁により落下することを防
止するため、蓋体開閉手段の電磁石に電流を流してこれ
を励磁せしめ、蓋体の磁性体を吸引する。ここで、コイ
ルから発生した磁界により蓋体の吸着手段からの磁界は
消滅しているので、蓋体と容器開口周辺の磁性体との間
には最早吸引力は作用しておらず、蓋体のみが蓋体開閉
手段に吸引される。そして、蓋体開閉手段を容器から離
れる方向へ移動すれば、容器の開口から蓋体が取り外さ
れ、該容器が開放されるのである。

なお、再び容器を閉鎖するには、蓋体開閉手段に保持さ
れた状態で蓋体を容器開口に被せ、前記コイル及び蓋体
開閉手段の電磁石に流れる電流を遮断すれば良い。

この様に、本発明の容器開閉機構によれば容器の開閉は
磁力によって行われ、摺動現象を伴うヒンジの使用を必
要としない。そのため、摺動による微細な汚染物質の発
生が完全に防止され、容器周辺の環境の清浄状態が保た
れるのである。従って、特に半導体製造施設のクリーン
ルームに備え付けられた容器の開閉について、好適に用
いることが出来るのである。

［実施例］ 以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説明する。

第１図において、容器３は蓋体２で開口１４を覆うこと
により閉鎖され、蓋体２を開口１４から離隔することに
より開放される。第２図で詳細に示すように、この容器
３の開口１４周辺の縁部１５には、シール部材５及び複
数の磁性体４が配置されている。

再び第１−図において、蓋体２はその縁部において棒状
の吸着手段１を有しており、該吸着手段１５ は永久磁石を含んでいる。ここで吸着手段１は、蓋体２
が容器開口］４に被された時に前記磁性体４と当接する
位置に配置されている。この吸着手段１の近傍には案内
棒１３が配置されており、また、蓋体２の中央部には、
磁性体６が配置されている。

蓋体２の容器３と反対の側（第１図では左側）には、蓋
体２を容器開口１４に被せ或いは離隔せしめるための蓋
体開閉手段７が設けられている。

この蓋体開閉手段７は移動部材１６により矢印Ｂ方向へ
移動可能である。そして、その縁部上の前記複数の吸着
手段１に対応する箇所には、導線１，７から成る複数の
コイル９が配置されており、該導線１７は図示しない制
御手段を介して電源に接続されている。また、コイル９
の近傍には、前記案内棒１３を収容するように配置され
た案内孔１２が穿孔されている。さらに、蓋体開閉手段
７の中央部であって前記蓋体２の磁性体６と対向する箇
所には、導線１８を巻装した電磁石８が設けられている
。なお、導線１８も図示しない制御手段６ を介して電源に接続されている。

第３図で示すように、吸着手段１は永久磁石１０と磁性
体材料製の管１１とから成っている。なお、符号１９は
永久磁石１０を管１１内に収容しておくための栓部材を
示している。

この実施例により容器３の開口１４を閉鎖ずるためには
、蓋体２の吸着手段１が容器縁部の磁性体４に当接する
ように被せれば良い。吸着部材１の永久磁石１０が磁性
体４を磁力により吸引するので蓋体２は矢印Ａ方向の吸
引力を受けて容器３に固定され、シール部材５により容
器３の内部は外部に対して密封される。

その状態で、蓋体２を容器３から離隔するためには、先
ず移動部材１−６により蓋体開閉手段７を蓋体２に被せ
るように移動し（第１−図中右方向）、案内孔１２に案
内棒１３が挿入され且つ吸着手段１がコイル９に挿入さ
れるようにせしめる。蓋体２が容器３に被せられ、吸着
手段１がコイル９に挿入されると第３図に示す状態とな
り、磁性体（磁石１０）をコイル９で巻いた電磁石が構
成される。

次に、図示しない制御手段により導線１７に電流を流せ
ば、永久磁石１０の磁界とは逆方向の磁界が発生する。

ここで、導線１７に流す電流は、磁石１０をコイル９で
巻いた電磁石の磁界が永久磁石１０の磁界とその強さが
等しく且つ向きが反対となるように、図示しない制御手
段によって設定される。その結果、導線１７に電流を流
すと吸着手段１と磁性体４との間に作用していた吸引力
は消滅する。これと同時に、導線１８に電流を流し電磁
石８を励磁させる。電磁石８の磁力は蓋体２の磁性体６
に作用して、蓋体２を蓋体開閉手段７に吸引せしめる。

この状態で移動部材１６により蓋体開閉手段７を容器３
から離隔ずる方向（第１図中左方向）へ移動させれば、
蓋体２は容器開口１４から離隔し、容器３が開放される
のである。

再び蓋体２で容器開口１４を覆うためには、蓋体２を蓋
体開閉手段７に吸引させた状態で移動部材１−６により
容器３に向けて移動し、容器開口１−４に被せる。そし
て、導線１７への通電を遮断すれば、磁石１０をコイル
９で巻いた電磁石の磁界は消滅して吸着手段１の永久磁
石１０の磁力が再び磁性体４を吸引する。これと同時に
導線１８への通電も遮断して電磁石８の磁界を消滅させ
れば、蓋体２は蓋体開閉手段７から分離可能となる。そ
して、移動部材１６により蓋体開閉手段７を容器３から
離隔すれば、吸着手段１が磁性体４を吸弓するので蓋体
２は容器開口１４を覆った状態で残留するのである。

［発明の効果］ 本発明の効果を以下に列挙する。

（１）　容器の開閉は磁力によって行われ、摺動現象を
伴うヒンジの使用を必要としないので、摺動による微細
な汚染物質の発生が完全に防止され、容器周辺の環境の
清浄状態が保たれる。

（２）　半導体製造施設のクリーンルームの様に、厳格
な清浄度が要求される環境においても好適に用いること
が出来る。

（３）　構造が煩雑では無いので、製造コストが不当に
高くなる恐れがない。

９ （４）　機械的な可動機構が比較的少ないので、機械部
分の作動による汚染物質発生量を極力抑えることが可能
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す側面図、第２図は第１
図のＩＩ−ＩＩ線矢視図、第３図は第１図の実施例の部
分拡大断面図である。 １・・・吸着手段　　２・・・蓋体　　３・・・容器　
　４、６・・・磁性体　　７・・・蓋体開閉部材　８・
・・電磁石９・・・コイル　　１４・・・容器開口　　
１５・・・開口縁部　　１６・・・移動部材 １０ 特開乎 ３ ２１５９６０　（４）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 容器と蓋体と蓋体開閉手段とを有しており、前記容器の
   開口周辺の縁部に磁性体を配置し、前記蓋体の前記磁性
   体に対向する位置には磁石を含んだ棒状の吸着手段が位
   置しており且つその他の位置には磁性体が位置しており
   、前記蓋体開閉手段には導線から成るコイルが前記吸着
   手段を受容する位置に設けられており且つ前記蓋体の磁
   性体に対向する位置には電磁石が配置されていることを
   特徴とする容器開閉機構。