JPH03211801A - 厚膜用抵抗ペーストの製造方法 - Google Patents
厚膜用抵抗ペーストの製造方法Info
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- JPH03211801A JPH03211801A JP2006409A JP640990A JPH03211801A JP H03211801 A JPH03211801 A JP H03211801A JP 2006409 A JP2006409 A JP 2006409A JP 640990 A JP640990 A JP 640990A JP H03211801 A JPH03211801 A JP H03211801A
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Landscapes
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は厚膜用抵抗ペーストの改良された製造方法に関
する。
する。
ハイブリットIC、チップ抵抗、抵抗ネットワーク等の
電子部品に利用されている厚膜用抵抗ペーストは特公昭
56−28363 、特公昭57−38163に示され
ているように、Ru0zとガラスを反応させてパイロク
ロア型結晶を析出させるものが知られており、酸化ルテ
ニウム、パイロクロア型導電粉末、ガラスフリフト、添
加剤、ビヒクル等を三本ロール混練機で混練し、均一混
合することによって作られているのが、−a的な方法で
ある。
電子部品に利用されている厚膜用抵抗ペーストは特公昭
56−28363 、特公昭57−38163に示され
ているように、Ru0zとガラスを反応させてパイロク
ロア型結晶を析出させるものが知られており、酸化ルテ
ニウム、パイロクロア型導電粉末、ガラスフリフト、添
加剤、ビヒクル等を三本ロール混練機で混練し、均一混
合することによって作られているのが、−a的な方法で
ある。
しかしながら上記のような三本ロール混練機による混合
方法では、長時間混練してもサブミクロン以下であるパ
イロクロア型導電粉末の二次粒子や凝集粒子からなる凝
集体を単粒子に解きながら、ガラスマトリックス中に単
粒子を均一分散させることは極めて困難であり、不均一
な凝集体の分散になりがちである。この不均一分散のた
めにセラミック基板上に焼成された抵抗体の抵抗温度係
数(TCR)、電流ノイズ、静電耐圧、短時間過負荷等
の電気特性の安定したものが得られないという問題があ
った。
方法では、長時間混練してもサブミクロン以下であるパ
イロクロア型導電粉末の二次粒子や凝集粒子からなる凝
集体を単粒子に解きながら、ガラスマトリックス中に単
粒子を均一分散させることは極めて困難であり、不均一
な凝集体の分散になりがちである。この不均一分散のた
めにセラミック基板上に焼成された抵抗体の抵抗温度係
数(TCR)、電流ノイズ、静電耐圧、短時間過負荷等
の電気特性の安定したものが得られないという問題があ
った。
本発明の目的は、上記問題を解消するために、パイロク
ロア型導電粉末の凝集粒子の凝集を解き、ガラスマトリ
ックス中に、単粒子を均一分散させることの出来る厚膜
用抵抗ペーストの製造方法を提供することにある。
ロア型導電粉末の凝集粒子の凝集を解き、ガラスマトリ
ックス中に、単粒子を均一分散させることの出来る厚膜
用抵抗ペーストの製造方法を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために、パイロクロア型導
電粉末と無機ガラス質フリットを混合し、850〜95
0℃で熱処理後、ペースト化する点に特徴がある。
電粉末と無機ガラス質フリットを混合し、850〜95
0℃で熱処理後、ペースト化する点に特徴がある。
本発明で用いることのできるパイロクロアQ、 !電粉
末は平均粒径0.1〜0.01μmのPbJuzOb−
xBizRuzO7,BiPbRuzO5,s、Pbz
rr、、O,、等のものであり、無機ガラス質フリット
としては平均粒径1〜5pmのPbO5in2A n
203 BzO3,PbO5iOz120ff−B2
03−RO(Rはアルカリ土類金属)等のものが挙げら
れる。上記の材料を所望する成分組成の混合比(パイロ
クロア型導電粉末が10〜60−t%)でデジタル天秤
等でそれぞれの粉末を精秤し、ボールミル、V字型混合
機等の混合機に入れ混合する。
末は平均粒径0.1〜0.01μmのPbJuzOb−
xBizRuzO7,BiPbRuzO5,s、Pbz
rr、、O,、等のものであり、無機ガラス質フリット
としては平均粒径1〜5pmのPbO5in2A n
203 BzO3,PbO5iOz120ff−B2
03−RO(Rはアルカリ土類金属)等のものが挙げら
れる。上記の材料を所望する成分組成の混合比(パイロ
クロア型導電粉末が10〜60−t%)でデジタル天秤
等でそれぞれの粉末を精秤し、ボールミル、V字型混合
機等の混合機に入れ混合する。
混合方法としては例えば、エチルアルコールもしくはイ
ソプロパツール等の有機溶剤を適当量加えて50〜11
00rp、48時間以上の湿式混合を行うのが好適であ
る。50rpm未満の回転数では、均一混合するのに長
時間かかり非能率的であり、1100rpを越える回転
数では、遠心力によりボールがポット内壁に引き付けら
れ常にポット内壁ムこ接して、ボールでの混合効果が低
下する。
ソプロパツール等の有機溶剤を適当量加えて50〜11
00rp、48時間以上の湿式混合を行うのが好適であ
る。50rpm未満の回転数では、均一混合するのに長
時間かかり非能率的であり、1100rpを越える回転
数では、遠心力によりボールがポット内壁に引き付けら
れ常にポット内壁ムこ接して、ボールでの混合効果が低
下する。
混合時5間48時間未満では、十分に均一混合が出来な
いので、48時間以上は必要である。尚、有機溶剤等を
使用しない、乾式混合ではボール上に、粉末が付着凝集
して混合作用が著しく低下するので湿式混合の方が望ま
しい。また、不純物の混入を防止するためにボールミル
はポット、ボール共に耐摩耗性の優れている安定化ジル
コニアを使用するのが望ましく、混合後、このスラリー
状になった混合粉末を容器に移して有機溶割分を温度6
0〜120°Cの乾燥炉中で加熱蒸発させ固形粉末にす
る。乾燥温度60℃未満では、有機溶剤の乾燥が遅く作
業性が良くなく、120℃を越えると有機溶剤が発火の
恐れがあり安全上好ましくない。固形粉末をアルミナル
ツボに入れて、温度850〜950°Cで1時間以上、
竪型炉、マツフル炉等の酸化雰囲気の電気炉中で熱処理
することが必要であるが熱処理温度850℃未満では、
パイロクロア型導電粉末と無機ガラス質フリットとの漏
れが不十分であり、950℃を越えるとパイロクロア型
導電粉末が一部分解して良い電気特性が得られない。熱
処理時間1時間未満では、ガラス流動時間が短くてパイ
ロクロア型導電粉末の一次粒子と無機ガラス質フリット
との拡散が不十分であり、1時間以上は必要である。上
述したごとく、パイロクロア型導電粉末と無機ガラス質
フリットの画成分間の拡散を十分進行させて、安定化さ
せることが出来る。得られた混合物を空気または水で冷
却し、アルミナルツボより取り出した後、ロールクラッ
シャー、播潰機、スタンプミル等で粒径10μm程度に
粗粉砕し、更に、前述したボールミルで平均粒径2μm
程度に湿式微粉砕することによりパイロクロア導電単粒
子がガラスマトリックス中に均一に分散した抵抗被膜形
成用組成物の粉末を得ることが可能である。
いので、48時間以上は必要である。尚、有機溶剤等を
使用しない、乾式混合ではボール上に、粉末が付着凝集
して混合作用が著しく低下するので湿式混合の方が望ま
しい。また、不純物の混入を防止するためにボールミル
はポット、ボール共に耐摩耗性の優れている安定化ジル
コニアを使用するのが望ましく、混合後、このスラリー
状になった混合粉末を容器に移して有機溶割分を温度6
0〜120°Cの乾燥炉中で加熱蒸発させ固形粉末にす
る。乾燥温度60℃未満では、有機溶剤の乾燥が遅く作
業性が良くなく、120℃を越えると有機溶剤が発火の
恐れがあり安全上好ましくない。固形粉末をアルミナル
ツボに入れて、温度850〜950°Cで1時間以上、
竪型炉、マツフル炉等の酸化雰囲気の電気炉中で熱処理
することが必要であるが熱処理温度850℃未満では、
パイロクロア型導電粉末と無機ガラス質フリットとの漏
れが不十分であり、950℃を越えるとパイロクロア型
導電粉末が一部分解して良い電気特性が得られない。熱
処理時間1時間未満では、ガラス流動時間が短くてパイ
ロクロア型導電粉末の一次粒子と無機ガラス質フリット
との拡散が不十分であり、1時間以上は必要である。上
述したごとく、パイロクロア型導電粉末と無機ガラス質
フリットの画成分間の拡散を十分進行させて、安定化さ
せることが出来る。得られた混合物を空気または水で冷
却し、アルミナルツボより取り出した後、ロールクラッ
シャー、播潰機、スタンプミル等で粒径10μm程度に
粗粉砕し、更に、前述したボールミルで平均粒径2μm
程度に湿式微粉砕することによりパイロクロア導電単粒
子がガラスマトリックス中に均一に分散した抵抗被膜形
成用組成物の粉末を得ることが可能である。
上記のようにして得られた本発明の抵抗被膜形成用組成
物の粉末を用いて厚膜用抵抗ペーストを作る製法は常法
に従って行えばよく、前記粉末を有機ビヒクルと共に混
練機等で均一に分散される様に混練し、ペースト化する
ことができる。更に、コノペーストを基板上にスクリー
ン印刷後、乾燥、焼成することにより厚膜抵抗体を得る
ことができる。
物の粉末を用いて厚膜用抵抗ペーストを作る製法は常法
に従って行えばよく、前記粉末を有機ビヒクルと共に混
練機等で均一に分散される様に混練し、ペースト化する
ことができる。更に、コノペーストを基板上にスクリー
ン印刷後、乾燥、焼成することにより厚膜抵抗体を得る
ことができる。
以下に、本発明の一実施例について説明する。
パイロクロア型導電材料として平均粒径0.05pmの
Pb2Ruz06゜、粉末を25−1%、無機ガラス貿
フリットとして平均粒径2μmのPbOSiO□A i
! 203 8z(hガラスフリット(軟化点温度63
5℃)を75wt%をデジタル天秤で精秤して、充填ジ
ルコニアボール(直径ioms)が浸る程度にエチルア
ルコールを加え、ジルコニア製ボールミルで回転数11
00rp、72時間、湿式混合し、混合後のスラリー状
の粉末を別容器に移して、アルコール分を温度100″
Cのオーブン中で加熱弾発させた。得られた固体粉末を
アルミナルツボに入れて、温度850℃の電気炉で2時
間、熱処理し、その後空気または水で冷却させて、この
熱処理物を1.5時間メノウ乳鉢播漬機で粒度10μm
程度に粗粉砕し、その後、回転数1100rp、72時
間、ジルコニア製ボールミル中で平均粒度2μmに湿式
微粉砕を行ない、微粉砕した熱処理物を70−t%、有
mビヒクルとしてエチルセルローズのターピネオール溶
液を30−t%を加えて三本ロール混練機で混練を行い
、得られたペーストを96%アルミナ基板上にスクリー
ン印刷を行ない、最高温度125°Cで25分間、電気
炉で乾燥後、空気雰囲気式ヘルド炉でピーク温度850
°C、ピーク時間9分間で焼成させ、厚膜抵抗体を作っ
た。
Pb2Ruz06゜、粉末を25−1%、無機ガラス貿
フリットとして平均粒径2μmのPbOSiO□A i
! 203 8z(hガラスフリット(軟化点温度63
5℃)を75wt%をデジタル天秤で精秤して、充填ジ
ルコニアボール(直径ioms)が浸る程度にエチルア
ルコールを加え、ジルコニア製ボールミルで回転数11
00rp、72時間、湿式混合し、混合後のスラリー状
の粉末を別容器に移して、アルコール分を温度100″
Cのオーブン中で加熱弾発させた。得られた固体粉末を
アルミナルツボに入れて、温度850℃の電気炉で2時
間、熱処理し、その後空気または水で冷却させて、この
熱処理物を1.5時間メノウ乳鉢播漬機で粒度10μm
程度に粗粉砕し、その後、回転数1100rp、72時
間、ジルコニア製ボールミル中で平均粒度2μmに湿式
微粉砕を行ない、微粉砕した熱処理物を70−t%、有
mビヒクルとしてエチルセルローズのターピネオール溶
液を30−t%を加えて三本ロール混練機で混練を行い
、得られたペーストを96%アルミナ基板上にスクリー
ン印刷を行ない、最高温度125°Cで25分間、電気
炉で乾燥後、空気雰囲気式ヘルド炉でピーク温度850
°C、ピーク時間9分間で焼成させ、厚膜抵抗体を作っ
た。
なお、厚膜抵抗体の平均膜厚は12μmであった。
パイロクロア型導電粉末と無機ガラス質フリットを混合
せず、熱処理も行なわない以外は実施例と同様にして厚
膜抵抗体を作成し比較例とした。電気特性はR(シート
抵抗値)、CV(抵抗値の変動係数) 、TCP (抵
抗温度係数)、電流ノイズについて、測定を25試料づ
つ行なった。尚、電極は金ペースト(住人(、−541
0)を使用し、抵抗体の評価パターンはl X l *
sで行った。結果を第1表に示す。
せず、熱処理も行なわない以外は実施例と同様にして厚
膜抵抗体を作成し比較例とした。電気特性はR(シート
抵抗値)、CV(抵抗値の変動係数) 、TCP (抵
抗温度係数)、電流ノイズについて、測定を25試料づ
つ行なった。尚、電極は金ペースト(住人(、−541
0)を使用し、抵抗体の評価パターンはl X l *
sで行った。結果を第1表に示す。
第1表
実施例で得られた粉末を約l刀倍の倍率で透過電子顕微
鏡で観察すると、パイロクロア型導電粉末の凝集粒子が
ほぐれ、数百人の単粒子が一個一個ガラスマトリックス
中に均一に分散していることが観察され、凝集粒子の極
めて少ない粉末が得られた。また、焼成中に複合酸化物
としてのパイロクロア型導電粒子が高温ガラス流動によ
って分解作用を受けていないことがX線回折分析の解析
によって石育認された。
鏡で観察すると、パイロクロア型導電粉末の凝集粒子が
ほぐれ、数百人の単粒子が一個一個ガラスマトリックス
中に均一に分散していることが観察され、凝集粒子の極
めて少ない粉末が得られた。また、焼成中に複合酸化物
としてのパイロクロア型導電粒子が高温ガラス流動によ
って分解作用を受けていないことがX線回折分析の解析
によって石育認された。
以上詳述した如く本発明によれば、厚膜抵抗体の電気特
性であるCV、TCP、電流ノイズ等ノ特性が優れたも
のが得られる。
性であるCV、TCP、電流ノイズ等ノ特性が優れたも
のが得られる。
Claims (1)
- パイロクロア型導電粉末と無機ガラス質フリットを混
合し、850〜950℃で熱処理後、ペースト化するこ
とを特徴とする厚膜用抵抗ペーストの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006409A JPH03211801A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 厚膜用抵抗ペーストの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006409A JPH03211801A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 厚膜用抵抗ペーストの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03211801A true JPH03211801A (ja) | 1991-09-17 |
Family
ID=11637573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006409A Pending JPH03211801A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 厚膜用抵抗ペーストの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03211801A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020019669A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | 住友金属鉱山株式会社 | 抵抗体用組成物と抵抗ペースト、及び抵抗体 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62117301A (ja) * | 1985-11-16 | 1987-05-28 | 株式会社住友金属セラミックス | 抵抗体を有する電子回路基板 |
JPS62151894A (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-06 | 富士通株式会社 | カラ−多階調表示装置 |
-
1990
- 1990-01-17 JP JP2006409A patent/JPH03211801A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62117301A (ja) * | 1985-11-16 | 1987-05-28 | 株式会社住友金属セラミックス | 抵抗体を有する電子回路基板 |
JPS62151894A (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-06 | 富士通株式会社 | カラ−多階調表示装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020019669A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | 住友金属鉱山株式会社 | 抵抗体用組成物と抵抗ペースト、及び抵抗体 |
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