JPH03209710A - ウェハーキャリアの認識方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ウェハーキャリアの認識方法に関する。

［従来の技術］ 従来の技術と しては、 ウェハーキャリアに文字 や突起物等の認識記号によりにより認識情報をもたせ、
ウェハーキャリアを認識する方法が知られていた。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、前述の従来技術では、認識情報の内容を変更す
るのが容易でない、また認識記号の種類の変更が容易で
ない、という課題を有していた。

そこで、本発明は従来のこのような課題を解決するため
に、必要に応じて認識記号の種類が容易に変更でき、か
つ、必要に応じて認識情報の変更が容易に行えるウェハ
ーキャリアの認識方法を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明のウェハーキャリアの認識方法は、ウェハーを収
容するウェハーキャリアの識別方法において、ウェハー
キャリアに液晶パネル及び前記液晶パネルの駆動回路を
取り付け、前記液晶パネルに認識記号を表示し、前記認
識記号を種類に合わせて読み取ることによりウェハーキ
ャリアを認識することを特徴とする特 ［実施例］ 以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図においてウェハーキャリア３の上部に第４図で示す
回路構成の液晶パネルｌと液晶駆動回路２が取り付けら
れている。この液晶パネル１には第２図及び第３図で示
すような英文字やバーコード等の認識記号４が表示され
る。本実施例では認識記号の切り賛え用に押しボタン５
を用いである。通常は認識記号としてバーコードを表示
し、装置や搬送ロボットにおいてはバーコードリーダー
を用いて認識情報を読む。人間が見る場合は押しボタン
５を押すことにより認識記号が英文字に変わり認識情報
を人間が読み取ることができる。

また認識情報の変更用に本実施例ではＲ８−２３２Ｃを
用いる。Ｒ５−２３２Ｃコネクタ６を用いて外部コンビ
ュウターと液晶駆動回路２を接続し外部コンピューター
より新たな認識情報を送り込む事により認識情報を変更
する。

第４図の回路構成で、認識情報の変更をする場合には、
情報入力回路から認識情報を入力する。

認識記号を変更する場合には、表示選択回路から認識記
号を選択する。

認識情報は記憶・表示回路により記憶され、さらに選択
された認ｆｌ証号に応じて液晶パネルに表示される。

［発明の効果］ 本発明のウェハーキャリアの認識方法は、以上説明した
ように、ウェハーキャリアに取り付けた液晶パネルと液
晶駆動回路により認識情報を表示することにより、必要
に応じて認識記号の種類が容易に変更でき、かつ、必要
に応じて認識情報の変更が容易に行うことができるとい
う効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェハーキャリアの認識方法の実施例
を示す図。 第２図は認識記号に英文字を用いた例を示す図。 第３図は認識記号にバーコードを用いた例を示す図。 第４図は本発明のウェハーキャリアの回路校正を示す図
。 ・液晶パネル ・液晶駆動回路 ・ウェハーキャリア ・認識記号 ・押しボタンスイッチ ・Ｒ３−２３２Ｃコネクタ ・外部コンピュータ 以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ウェハーを収容するウェハーキャリアの認識方法にお
   いて、ウェハーキャリアに液晶パネル及び前記液晶パネ
   ルの駆動回路を取り付け、前記液晶パネルに認識記号を
   表示し、前記認識記号を種類に合わせて読み取ることに
   よりウェハーキャリアを認識することを特徴とするウェ
   ハーキャリアの認識方法。