JPH0320800Y2

JPH0320800Y2 -

Info

Publication number: JPH0320800Y2
Application number: JP1988016333U
Authority: JP
Priority date: 1988-02-12
Filing date: 1988-02-12
Publication date: 1991-05-07
Also published as: JPH01121900U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案は、Ｘ線回折装置のゴニオメータのカウ
ンタアームに載せて使用されるカウンタモノクロ
メータに関する。

［従来の技術］第４図にカウンタモノクロメータの基本的な構
成を示す。Ｘ線回折装置のゴニオメータにおい
て、受光スリツト１０の後ろに、モノクロメータ
結晶１２が配置され、さらに、モノクロメータ用
受光スリツト１４とカウンタ１６が配置される。
ターゲツト１８から発射されたＸ線は、発散スリ
ツト２０を通過して、試料２２で回折し、散乱防
止スリツト２４と受光スリツト１０を通過する。
通常は、受光スリツト１０の後ろにカウンタ１６
が配置されるのであるが、回折Ｘ線を単色化する
ために、ここにカウンタモノクロメータ２６が配
置される。カウンタモノクロメータ２６は、結晶
回転台とカウンタ回転台とを含み、結晶１２を
θ_M、カウンタ１６を2θ_Mで回転させている。

［考案が解決しようとする課題］カウンタモノクロメータをセツテイングするに
は、結晶回転台の角度調整、カウンタ回転台の角
度調整、さらには結晶移動台の前後調整などを実
施する必要があり、その作業はかなり面倒であ
る。そこで、このセツテイングを外部制御によつ
て自動化しようとする試みがある。このような自
動化を果たすには、カウンタモノクロメータの可
動部分を自動化に適した構成にする必要がある。

そこで、本考案の目的は、外部制御により自動
セツテイングが可能なカウンタモノクロメータを
提供することにある。

［課題を解決するための手段］上記目的を達成するために、本考案に係るカウ
ンタモノクロメータは次の構成要素を有する。

(a) ベース。

(b) 前記ベースに対して回転可能な結晶回転台。

(c) 前記結晶回転台に搭載されて前記結晶回転台
に対して直線移動可能な結晶移動台。

(d) 前記結晶移動台に取り付けられたモノクロメ
ータ結晶。

(e) 前記ベースに対して回転可能なカウンタ回転
台。

(f) 前記結晶回転台を回転駆動する第１モータ。

(g) 前記結晶移動台を直線駆動する第２モータ。

(h) 前記カウンタ回転台を回転駆動する第３モー
タ。

［作用］ベースはゴニオメータのカウンタアームに固定
される。結晶回転台は第１モータによつて回転駆
動され、その上の結晶移動台は第２モータによつ
て直線駆動される。一方、カウンタ回転台は第３
モータによつて回転駆動される。これら３個のモ
ータを外部信号によつて制御すれば、カウンタモ
ノクロメータのセツテイングが自動化できる。

これらのモータの種類としてはパルスモータを
利用するのが好ましい。

［実施例］次に、図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。

第１図は本考案の一実施例の正面図、第２図は
その平面図、第３図は第１図の左側から見た側面
図である。

第２図において、略扇形のベース２８には結晶
回転台３０（第１図参照）が回転可能に取り付け
られ、その上には結晶移動台３２が、アリ溝３４
によつて、直線移動可能に取り付けられている。
結晶移動台３２にはモノクロメータ結晶（この実
施例ではグラフアイトの湾曲結晶）が取り付けら
れる。また、ベース２８には、さらに、カウンタ
回転台３６が回転可能に取り付けられている。カ
ウンタ回転台３６にはカウンタ３７が載せられ
る。

第１図において、第１モータ３８の出力軸は、
ベルト車４０、タイミングベルト４２を介してベ
ルト車４４に結合され、ベルト車４４はウオーム
４６に固定されている。ウオーム４６はウオーム
ホイール４８（第２図をも参照）と噛み合う。ウ
オームホイール４８は結晶回転台３０に固定さ
れ、その結果、第１モータ３８によつて結晶回転
台３０が、第２図の矢印４９で示すように回転駆
動される。

第３図によく示されているように、結晶移動台
３２の上方には第２モータ５０が配置されてい
る。このモータの出力軸は、ベルト車５２とタイ
ミングベルト５４を介して、ベルト車５６に結合
される。ベルト車５６はセツトねじ５８に固定さ
れており、セツトねじ５８は、結晶回転台３０に
固定された垂直プレート６０に回転可能に支持さ
れるとともに、結晶移動台３２に噛み合つてい
る。セツトねじ５８が、第３図の左方向から見て
時計方向に回転すると、セツトねじ５８は結晶移
動台３２に入り込んでいき、結晶移動台３２を矢
印６２の方向に移動させる。セツトねじ５８が逆
に反時計方向に回転すると、セツトねじ５８は結
晶移動台３２から抜けてくる。このとき、結晶移
動台３２は、圧縮コイルばね６４に押されて、矢
印６６の方向に移動する。以上のように、第２モ
ータ５０によつて結晶移動台３２が直線駆動され
る。

第１図に戻つて、第３モータ６８はカウンタ回
転台３６に固定されている。このモータの出力軸
は、ベルト車７０とタイミングベルト７２を介し
て、ベルト車７４に結合される。ベルト車７４は
ウオーム７６に固定されている。ウオーム７６は
円弧状のウオームホイール部分７８（第２図をも
参照）と噛み合う。ウオームホイール部分７８は
ベース２８に固定されている。したがつて、第３
モータ６８が回転すると、ウオーム７６がウオー
ムホイール部分７８と噛み合いながら移動し、カ
ウンタ回転台３６が矢印７９に示すように回転駆
動される。

第１モータ３８と第２モータ５０と第３モータ
６８は、それぞれ、パルスモータであり、精密な
速度制御および位置制御が可能である。したがつ
て、カウンタモノクロメータを外部信号によつて
制御して自動セツテイングすることができる。例
えば、カウンタでの検出強度をパルスモータにフ
イードバツクして、ピーク位置を探すことができ
る。本考案に使用するパルスモータは、１回転
1000パルスのものであり、最終的に、結晶回転台
とカウンタ回転台は１パルス当たり1000分の2.5゜
だけ回転し、結晶移動台は１パルス当たり1000分
の0.5mmだけ移動する。

また、このようなカウンタモノクロメータをＸ
線回折装置に取り付けると次の利点がある。この
カウンタモノクロメータは、パルスモータ制御な
ので手動の場合と比較して微小角度測定が可能で
あり、試料の簡単な蛍光分析が可能になる。Ｘ線
回折装置において、試料の蛍光分析も可能になる
と、次の理由により非常に便利である。Ｘ線回折
装置で測定される回折図形のバツクグラウンド
は、主に、試料からの蛍光Ｘ線で構成されてい
る。このバツクグラウンドを本モノクロメータで
分光することにより（簡易的蛍光分析）、回折の
光学系で元素情報を得ることが可能になる。この
簡単な蛍光分析結果を、回折測定で得た測定結果
に加味することにより、回折データの同定分析の
精度を飛躍的に向上させることができる。

［考案の効果］以上説明したように本考案は、結晶回転台と結
晶移動台とカウンタ回転台とをモータ駆動できる
ように構成したことにより、外部信号によつてカ
ウンタモノクロメータを自動的にセツテイングで
きる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の正面図、第２図は
その平面図、第３図はその左側面図、第４図はカ
ウンタモノクロメータの基本構成図である。２８……ベース、３０……結晶回転台、３２…
…結晶移動台、３６……カウンタ回転台、３８…
…第１モータ、５０……第２モータ、６８……第
３モータ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】次の構成要素を有する、Ｘ線回折装置用カウン
タモノクロメータ。 (a) ベース。 (b) 前記ベースに対して回転可能な結晶回転台。 (c) 前記結晶回転台に搭載されて前記結晶回転台
に対して直線移動可能な結晶移動台。 (d) 前記結晶移動台に取り付けられたモノクロメ
ータ結晶。 (e) 前記ベースに対して回転可能なカウンタ回転
台。 (f) 前記結晶回転台を回転駆動する第１モータ。 (g) 前記結晶移動台を直線駆動する第２モータ。 (h) 前記カウンタ回転台を回転駆動する第３モー
タ。