JPH03207589A - 電子管用金属円筒部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、電子管用金属円筒部材の製造方法に関する
。

（従来の技術） 各種の電子管その真空容器、またはアノード、グリッド
等の各種電極、あるいは共振空胴、高周波導波管部など
は、金属円筒部材で構成される。例えば電子レンジ用マ
グネトロンのアノド構体を例にとって説明すると、この
アノード構体は、周知のようにアノード円筒の内側に放
射状に複数枚のアノードベインが並べられ、このアノー
ドベインの数に相当する共振空胴が構成されている。こ
れらは電気伝導度及び熱伝導度の良い銅（Ｃｕ）、アル
ミニウム（，ｌ）などが使用され得るが、一般的には耐
熱性の点から銅が使用される。

このようなマグネトロンアノード構体の製造方法は、通
常、長大な円筒素材をアノード円筒としての所要の長さ
に切断し、内外面や両開口端を所定の形状に切削等の加
工をしたうえ、内周壁にアノードベインをろう接する方
法である。しかしながら、このような円筒素材から加工
することは、円筒素材そのものの製造に多くの労力を要
すること、又、円筒素材の寸法精度が低いと改めてマグ
ネトロンアノード円筒として要求される内外径寸法に仕
上げなければならず、結果的に製品価格を不所望に高く
しているのが、現状である。

そこで、マグネトロンアノードを平板状素材を丸め成形
して両端部を突き合わせ接合して円筒状に形或すること
が、例えば米国特許第４．　５７０，　８４３号明細書
に記載されており、また既に実用化されている。これは
、平板状素材の製造が容易であり、又、所望の円筒直径
に作ることや、丸め加工の際に板厚の制御を同時に行な
い得るため、製品価格の低減にすこぶる有効である。即
ち従来の製造方法の概略工程は、第１７図（ａ）〜（ｋ
）に示すようになっており、まず同図（ａ）に示すよう
に長尺の平板条を所定の長さｌに切断して、平板状素材
１−を得る。この平板状素材１の板厚ｔ１は、製品であ
るアノード円筒の肉厚よりも極く僅か厚いものであり、
長さｌはその中立線円周長に対して同等もしくは極く僅
か長い寸法となるように切断され、各面が基本的に直角
に交わる六面体である。この平板状素材１から下記の各
工程を経て、アノード円筒を形成し、最後にアノードベ
インと同時にろう付け、固着し完成する。

各工程を順次説明すると、同図（ａ）に示すように、平
板状素材１を丸め成形する工程により、円筒２を得る。

この段階では、平板状素材１の両端面は完全に密着せず
、隙間Ｓ１が残る。次に同図（Ｃ）に示すように、しご
き成形（絞り成形）工程を経た後、常温まで冷却し、円
筒３を得る。このしごき成形により、合わせ目６の隙間
Ｓ３は極めて僅かな寸法となる。その後、同図（ｄ）に
示す圧縮工程において、円筒４に軸方向圧縮力を加え、
肉厚及び真円度を均等化して、同図（ｅ）に示す円筒５
を得る。尚、同図（ｄ）における符号７はポンチ、８は
固定グイ、９はダイ・アンド・ノックアウトをあらわし
ている。次に、同図（１）に示すように、円筒５の開口
端部や内外周面を所定の形状、寸法に切削加工する工程
に移る。次に、同図（ｇ）に示すように、円筒５に径方
向の外側に向け外力Ｗ２を加え、合わせ目１１に隙間Ｓ
４を生じさせ、同図（ｈ）に示すように、円筒１１の合
わせ目■０の内部を含めて脱脂・洗浄をする。次に、同
図（ｉ）に示すように、合わせ目１０にろう材１２を挿
入する。

ろう材１２挿人後、外力Ｗ２を除去することにより円筒
１■のスプリングバックカでろう材１２が保持される。

この状態を同図（ｊ）に示す。最後に、同図（ｋ）に示
すように、ろう付け工程を経る。

（発明が解決しようとする課題） ところが、この製造方法によれば、比較的高価な銀ろう
、又は金ろうを多量に要する。又、合わ５ せ目に僅かな隙間が残るど、ろう接が不完全になって真
空気密性に信頼性が乏しくなる。

そこで、合わせ目をろう接する代わりに、合わせ目をレ
ーザや電子ビームのような高エネルギビームで溶接する
方法が、例えば特開昭５６−１５６６３５号公報、特公
昭６０−３４７７９号公報等に開示されている。ところ
が、これらの製造方法によれば、マグネトロンアノード
の内外周に部分的に突出する溶接ビードが残り、肉厚が
不均一となって真円度が得られず、それを最終段階で切
削等で除去する必要がある。

この発明は、真空気密等の密着性に優れ、且つ内外周に
部分的な突起が残らず、肉厚が均一で真円度の高い高品
質な電子管用金属円筒部材の製造方法を提供することを
目的とする。

［発明の構或コ （課題を解決するための手段） この発明は、平板状の金属素材を丸め成形して円筒とし
、次にこれをしごき成形し、このしごき成形後の円筒部
品の合わせ目を高エネルギービ６ ムにより溶接し、その後、得られた円筒をその内周及び
外周を拘束しながらしごき成形を兼ねて軸方向に圧縮し
て素材に塑性流動を生じさせて成形することを特徴とす
る電子管用金属円筒部材の製造方法である。

（作用） この発明によれば、しごき成形後に合わせ目を高エネル
ギービームで溶接し、その後、圧縮成形するので、肉厚
が均一で真円度の高い高品質な電子管用金属円筒部材を
能率的に製造することができる。特に、ビーム溶接後に
しごき成形を兼ねて内外周を拘束しながら圧縮成形する
ので、電子管用金属円筒部材の内外周に部分的な突起や
凹みが殆ど残らない。

（実施例） 以下、図面を参照して、この発明を電子レンジ用マグネ
トロンのアノード構体の製法に実施した例を詳細に説明
する。

先ず、この発明によって完成する金属円筒部材、すなわ
ちマグネトロンアノード構体は、第１６図に示すように
構威され、アノード円筒２■の内周壁側に放射状に複数
枚のアノードベイン２２．２２・・・が接合固着されて
いる。この場合、アノード円筒２１は銅即ち無酸素銅、
或いは銅を主とする銅合金（単に銅と記す）からなり、
軸に沿って平行に延びる素材両端面合わせ目がレーザ或
いは電子ビームのような高エネルギービームによる溶接
で真空気密に接合されている。この接合部は内、外方に
突出することなく形成されており、ビーム溶接部を符号
Ｂで表わしている。

さて、この発明によるマグネトロンアノードの製造方法
は、第１図〜第■４図に示すように構成され、第１図は
全体の概略工程を示したもので、各工程の詳細な説明に
入る前に、この概略工程を順次説明する。

即ち、第１図（ａ）に示すように、先ず銅からなる長尺
の平板条を所定の長さβに切断して、板厚ｔ１の平板素
材２６を得る。

次に、同図（ｂ）に示すように、平板素材２６を丸め成
形する工程により、円筒２７を得る。この段階では、平
板素材２６の両端面２３ａは完全に密着せず、■字状隙
間Ｓ１が残る。

次に、同図（Ｃ）に示すように、しごき成形（絞り成形
）工程を経た後、常温まで冷却する。このしごき成形に
より、合わせ目２３の隙間８２が所定範囲（後述）にな
るようにする。

その後、同図（ｄ）に示すように、脱脂・洗浄を行ない
、円筒２７の全体に付着している加工油や異物を除去す
る。この時、合わせ目２３には隙間Ｓ２があるため、こ
の合わせ目２３の内部も同時に脱脂・洗浄される。

次に、同図（ｅ）に示すように、隙間Ｓ２をなくすため
に押圧力Ｗ１を加え、合わせ目２３を密着した状態でレ
ーザビーム照射し、局部的に銅を溶融させて接合した後
、冷却する。それにより合わせ目が気密接合された円筒
２７が得られる。

次に、同図（ｆ）に示すように、しごき成形を兼ねた圧
縮威形工程において、円筒２７に軸方向圧縮力を加えて
塑性変形を生じさせ、開口端に必要な段差２７ａ，　２
７ｂを形成する。これによって肉厚及び９ 真円度が均等化される。尚、同図（１）における符号５
１はポンチ、５９は固定ダイ、６１はダイ・アンド・ノ
ックアウトである。

次に、同図（ｇ）　に示すように、円筒２７の開口端部
や内外周面を所定の形状、寸法に切削加工する工程に移
る。同図における符号７３は切削バイトをあらわしてい
る。その後、同図（ｈ）に示すように、円筒２７の全体
を洗浄する。最後に、同図（ｉ）に示すように、検査工
程に移る。

尚、こうして完或したアノード円筒にアノードベインを
固着すれば、マグネトロンアノード構体が得られる。

以下、各工程につき詳細に説明する。

先ず、第２図及び第３図に示すように、長尺の銅製平板
条２４を所定の長さｌとなるよう力ッタ２５により切断
して、平板素材２６を得る。この平板素材２６の板厚ｔ
１は、製品であるアノード円筒２１の肉厚よりも極く僅
か厚いものであり、長さｌはその中立線円周長に対して
同等もしくは極く僅か長い寸法となるように切断され、
各面が基本的に１０ 直角に交わる六面体である。

次に、丸め成形工程は、平板素材２６を第４図に示すよ
うに、数１０Ｋｇ以上の圧力で一方の芯金ロル３１１と
ポリウレタンゴムのような強弾性材からなる外周ロール
３２とが噛み合う丸め成形装置の各ロール３１．３２間
に挿入し丸め成形する。

外周ロール３２はショア硬度８０〜９５の材質が適当で
あり、これに矢印３３ａの如く回転駆動力が与えられる
。芯金ロール３１はアノード円筒２１の内径寸法より少
し小さい外径寸法をもつ硬質金属であり、これ自体には
回転駆動力は与えず外周ロール３２から伝達される力で
自在に矢印３３ｂの如く回転するようになっている。

この丸め戒形によって、第５図に示すように平板素材２
６はほぼ円筒状に成形される。この丸め成形で得られる
円筒２７は、両端面２３ａ付近は未だ直線状のままであ
る。

尚、第４図のように芯金ロール３１の外周に丸まってゆ
く段階で平板素材２６の外周に拘束力を与えれば、第４
図に示すよりも両端面２３ａの合わせ目１１ 付近はもっと真円に近く成形できるので、そのようにし
てもよい。

このように丸め成形で１次加工品即ち円筒２７を作るが
、その方法は上述の実施例に限定されず、例えば４方向
からのスライド金型で丸め成形しても良い。

次にしごき（絞り）戊形工程について説明する。

この工程は、第６図に示すようにしごき戊形装置を用い
て、例えば同図の場合１−ストロークで２段の連続しご
き戊形を行なう。この装置は、図の上方にポンチ４０が
上下動するように配設され、下方に一次加工品即ち円筒
２７を定位置にするためのガイド４１，第１のしごきダ
イ４２、ガイド４３、第２のしごきダイ４４、基台４５
が設置されている。ポンチ４０の外径寸法ｄ１は完威品
アノード円筒２１の内径寸法に略相当し、第１−のしご
きダイ４２の最小内径ｄ２、第２のしごきダイ４４の最
小内径ｄ３は順次小さくなる寸法である。

そして、各ダイの内径ｄ２、ｄ３、ポンチ４ｏの外径寸
法ｄ１は、一次加工品である円筒２７がポン１２ チ４０の外周に嵌まって各しごきダイを通ることによる
肉厚減少率即ち各しごきダイを通る前の肉厚に対する通
過後の肉厚減少分の比率（以下同じ）が、各々３％以下
となる寸法に設定されている。

尚、ポンチ４０にはストッパ部４６．４７が設けられて
いる。好ましい例としては、第１のしごきダイ４２での
しごき率が約２％、第２のしごきダイ４４でのしごき率
が約３％となるように設定されている。

そして、先ず図のように円筒２７がガイド４１の内側に
置かれ、次にポンチ４０が下降して円筒２７がポンチ４
０の外周に嵌まり、ストッパ部４６で押されて一緒に２
個のしごきダイ４２．４４を１ストロークで連続的に通
り、点線で示す如くしごき成形品２７が得られる。軸方
向に僅かにしごかれた肉は、ポンチ４０のもう１つのス
トッパ部４７までの外周に残る。

このしごき成形により第７図に示すように、円筒２７の
素材両端面の合わせ目２３のＶ字状隙間Ｇを少しずつ埋
めるように、第７図（ｆｌ）に矢印４８の如く両側から
素材が塑性流動され、また軸方向にも塑性流動が生じる
。そして順次、同図（ｂ）の如く１３ 中立線まで内周面側から隙間が狭められてゆき、最終的
にＶ字状隙間Ｇがなくなって密着させられる。しごき威
形装置から取出した円筒２７は、素材中に残っているス
プリングバック力で合わせ目２３が同図（Ｃ）に示す如
く所定寸法（０．０３〜０．３５ｍｍの範囲）の隙間Ｓ
２だけ開く。

このしごき戒形によって加工品は数１０℃以上に高温と
なるので、油冷や自然冷却で室温付近まで冷却する。尚
、このしごき成形は、第６図の装置と方法によることに
限定されず、例えば１．ストロクで１段のしごきダイを
通すしごき威形を２回以上行なっても良いし、或いは１
ストロークで３段以上のしごきダイを連続して通す多段
しごき、或いはこれらの組み合わせによる方法であって
も良い。

上記のようなしごき成形後、円筒２７の脱脂・洗浄を行
ない、円筒２７の全体に付着している加工油や異物を除
去する。上記しごき成形により、円筒２７の両端面合わ
せ目２３が少し開いて、所定寸法（０．　０３〜０．　
３５ｍｍの範囲）の隙間Ｓ２が生じるので、１４ この隙間Ｓ２を利用して合わせ目の内部も同時に脱脂・
洗浄できる。

次に、第８図および第９図に示すように、円筒２７の合
わせ目２３にレーザビーム２８を照射して局部的に銅を
溶融させて接合を行ない、気密溶接された円筒２７を得
る。そのため、溶接すべき複数個の円筒２７．２７・・
・を互いに端面を密着させて縦列に配置する。そして、
押え治具４９の２つのアーム４９ａ４９ｂにより押圧力
Ｗ１を加えて合わせ目２３を密着させる。押え治具４９
は、ストッパ面４９ｃにより円筒２７を過度に押付けな
いようになっている。こうして、各円筒の合わせ目２３
は、一直線に並べられる。なお、円筒の内側には溶接時
に円筒素材の溶融物が円筒内面に不所望に付着しないよ
うに、受皿５０が設置されている。

そして第９図（ａ）に示すように、レーザビーム２８を
円筒の軸２、すなわち合わせ目の長平方向の面に対して
斜めに照射する。例えば、軸２に対する垂直線Ｘに対し
、およそ２０度の角度θで照射するように設定する。そ
れによって、レーザビーム１５ の素材表面で反射したビームがレーザ発振器に戻ってし
まうことを防止できる。したがって、発振器の正確なパ
ワーコントロールが保証できる。なお、レーザビームは
、波長が比較的長い炭酸ガス（ＣＯ２）レーザが銅素材
の場合とくに好適である。

そこで、レーザビームのパワーは、同図（ｂ）に示すよ
うに、円筒の端面よりも外側でオンし、各円筒２７を矢
印Ｒの如く移動する。そして、最初の円筒の端部ａにさ
しかかった時、レーザパヮーを一時的に大きくし、その
後次第に小さくし、この円筒の後部を溶接する間は一定
のパワーを維持するようにコントロールする。そしてレ
ーザビームの照射位置が隣りの円筒の端面ｂにさしかか
った時、再びレーザパヮーを大きくし、同様にコントロ
ールする。最後の円筒の端面ｅを経た後にパワーをオフ
する。それによって、互いに密着させているとはいえ、
熱伝導が少なくて温度が低い後段の円筒の溶接初期の端
部付近も、十分な溶け込みが得られ、合わせ目の全体を
完全に融接すること１６ ができる。レーザビームの焦点Ｐは、好ましくは、円筒
の合わせ目の表面からわずかな寸法Ｑだけ素祠の内部に
位置するように照射する。

一例として、銅素材の肉厚が約２　＋ｎ＋ｎ，直径が３
８ｍｎ＋，軸方向長さが２８ｍｍの円筒の場合で、ＣＯ
２レーザのビーム焦点Ｐの大きさは約０．２乃至０．４
ｍｍの範囲の直径、ビーム出力は３〜６ｋＷの範囲、さ
らに、円筒の移動速度は毎秒５〜ＩＯｃｍの範囲の速度
が適当である。合わせ目を溶接した各円筒は、その溶接
部分で繋がってしまうが、密着した端面ｂ，ｃ，ｄ・・
・を捩じることにより簡単に分離することができる。こ
うして、第ｌＯ図に示す溶接状態の円筒２７が得られる
。この接合部Ｂの横断面を観察すると、同図に模式的に
示すように、外周面から内周面に連続した溶融層２９が
認められ、物理的、機械的に安定な接合層が得られる。

尚、図示のように接合部Ｂの内、外周には溶接肉による
僅かな凸ビード３０が生じる。あるいは、溶接条件や合
わせ目への加圧力の条件によっては、凹みビードが生じ
る場合もある。

１７ なお、ビーム溶接に用いる高エネルギービームは、レー
ザに限らず、熱線ビームや電子ビーム等でもよい。レー
ザや熱線ビーム溶接の場合は、円筒素材の酸化及び溶融
接合部（内部）への空気等の巻き込みを防ぐため、真空
又は不活性ガス雰囲中で行う必要がある。なおまた、ビ
ーム照射は円筒２７の内外面のどちらからでもよい。

次に、第１ｔ図及び第１２図に示す装置及び手順による
圧縮成形工程を経て、第１３図に示す両開口端面の内周
に所定形状の円筒状段差２７ａ，　２７ｂを有するアノ
ード円筒２７を得る。

即ち、第１１図は威形直前の状態を示し、第１２図は成
形終了状態を示している。この圧縮成形装置は、円柱状
のボンチ５１、長尺のダイ５２、被成形品であるしごき
成形済みの円筒２７を案内するガイド５３を有している
。ポンチ５１は所定の外径寸法Ｄ，を有する主要円柱部
５４を有し、先端部から円筒２７の高さ寸法Ｈ。よりも
大きい高さ寸法Ｈ５の位置に一体形成された２段のスト
ッパ部５５．　５６を有シている。主要円柱部５４の外
径寸法Ｄいは、完成品１８ アノード円筒２１の内径寸法と同等になっている。

ストッパ部５５．　５６は、主要円柱部５４の外径寸法
Ｄ，に対して少なくとも２段階に外径寸法が拡大する円
柱部であり、第１のストッパ部５５は後述するように円
筒２７の一方の開口端部内周の円周状段差２７ａを圧縮
成形工程で作るための段部である。

ガイド５３は、アノード円筒２７をスムースに挿入させ
るなだらかな中央孔５７を有している。

被成形円筒２７の外径寸法をＤ８とする。又、この状態
で円筒２７の内部に、ポンチ５１の主要円柱部５４が緩
く嵌合できる内径寸法になっている。

ダイ５２は、装置基台５８の上に固定ダイ５９が設けら
れ、その中心の徐々に内径が僅かに縮小する成形用孔６
０の底部に、可動グイとなるダイ・アンド・ノックアウ
ト６１が押上シリンダ６２により上下可能に密嵌合され
ている。固定ダイ５９の上に、ガイド５３が同軸的に設
置されている。この固定ダイ５９の成形用孔６０の形状
と内径寸法Ｄｂは、完成品アノード円筒２１の外周形状
と外径寸法を定めるように構成され、且つ被成形円筒２
７の外径寸法Ｄ８よ１９ りも僅か小さい寸法となっている。

又、成形用孔６０の上端即ちガイド５３に面する部分は
、曲面６０ａになっている。固定ダイ５９の底部孔６３
の内側に装着されているダイ・アンド・ノックアウト６
１は、円筒２７の下端面を保持してポンチ５１と共に拘
束して圧縮成形する。又、これは、成形終了状態の円筒
２７を上方に押出して、固定ダイ５９から外す機能を有
している。そのため、ダイ・アンド・ノックアウト６１
の上端部には、内側にポンチ５ｌの先端部を密に受入れ
る短い円筒状の受部６４が設けられている。そのため、
この受部６４の内径寸法Ｄ５は、ポンチ５｛の外径寸法
ＤＩ，と同等か極く僅か大きい寸法になっている。

受部６４の外周には、外径寸法Ｄ，が成形用孔６ｏの内
径寸法Ｄ５と受部６４の内径寸法Ｄ５とのほぼ中間の直
径寸法を有し、所定深さの円周状段部６５が形威されて
いる。尚、ダイ・アンド・ノックアウト６ｌの中心部分
には、通気孔６１ａが形威されている。又、このダイ・
アンド・ノックアウト６１は、圧縮成形時には基台５８
上に保持され、成形終了時２０ に押上げシンリダ６２により上方に押上げられてシリン
ダー２７を排除するようになっている。

さて圧縮成形において、被成形円筒２７は、ポンチ５１
の主要円柱部５４の外周に嵌められ、第１のストッパ部
５５に係止されて下降し、固定ダイ５９の成形用孔６０
に挿入される。この成形用孔６０を通過する間、円筒２
７は軸方向にしごかれて肉厚が僅かに減少する。同時に
この円筒２７は、内外周面がポンチ５１及び固定ダイ５
９によって挾持され拘束されながら、その両開口端部の
一方がポンチ５１のストッパ部５５で、他方がダイ・ア
ンド・ノックアウト６１の受部６４の間に挾まれ、軸方
向の圧縮力を受ける。

このように円筒２７は、その内外周面及び両開口端部が
ポンチ５１及び固定ダイ５９によって挾持され拘束され
たうえ、更にボンチ５１の下降により素材に塑性流動が
生じ、圧縮戒形される。そして、第１２図に示すように
ポンチ５１のストッパ部５５及びダイ・アンド・ノック
アウト６１の受部６４が、被成形素材つまり円筒２７に
軸方向に所定寸法圧入され食い込まされる。

２１ この圧縮成形の完了後、ポンチ５１を図の上方に抜くと
共に、押上げシンリダ−６２を上方に押上げて、第１３
図に示す圧縮成形された円筒２７を取出す。

前述したように、このしごき成形を兼ねた圧縮成形によ
り、溶接肉による凸ビードが解消されて全周に均等な肉
厚となり、且つ真円度が向上した円筒が得られる。又、
ポンチ５１のストッパ部５５で一方の開口端部に円周状
段差２７ａが、又、ダイ・アンド・ノックアウト６１の
受部６４で他方の開口端部に円周状段差２７ｂが同時に
形成された円筒２７が得られる。

上記のような圧縮成形工程を経た円筒２７は、方或いは
両方の開口端に、僅かながら余分の素材肉からなるパリ
或いは凹凸状面が生じる。これを切削してアノ−ド円筒
として要求される形状に仕上げる。そのために、切削工
程を経る。即ち、第１４図に示すように、円筒２７をチ
ャックで保持しながら、高速回転を与えて円周方向の切
削加工を施す。切削装置の円筒状ホルダ７１の先端に設
けたチャック７２に被加工円筒２７を保持させ、高速回
転さ２２ せながら、切削パイ｝　７３．　７４で所要形状に切削
する。このようにして、第１５図に示すような端部形状
３４．３５に、又、内、外周面にテーパ面３６．　３７
を形威し、アノード円筒２１を得る。

尚、内、外周のテーパ面３６．３７は、しごき成形を兼
ねた圧縮成形工程で形威してもよい。そのため、ダイス
又はポンチにテーパ面を設けておけばよい。

最後に、このアノード円筒２１の内周壁に、所定枚数の
アノードベイン２２をろう接又はビーム溶接などにより
接合・固着すれば、第１６図に示すマグネトロンアノー
ド構体が得られる。

以上説明した実施例は、金属円筒部材が銅の場合である
が、それに限らずその他の金属材料による所定長さの円
筒部材であってもよい。

［発明の効果］ この発明によれば、平板素材から肉厚が均等で真円度の
よい金属円筒部材、又はマグネトロンアノードを製造す
ることができる。特に、内外周に部分的な突起などの溶
接ビードが残らない金属円２３ 筒を容易に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係る金属円筒部材の製造
方法を示すひ概略工程図、第２図は長尺材料の切断工程
を示す断面図、第３図は平板状素材を示す斜視図、第４
図は丸め戊形工程の一例を示す概略断面図、第５図はそ
れにより得られる円筒の一例を示す横断面図、第６図は
しごき成形工程の一例を示す縦断面図、第７図（ａ），
　（ｂ），　（Ｃ）はしごき成形工程での円筒の各形状
例を示す横断面図、第８図はビーム溶接工程の一例を示
す横断面図、第９図（ａ），　（ｂ）はその溶接工程を
模式的に示す半断面図およびビームパワーのコントロー
ル図、第１０図はそれにより得られる円筒の接合部を拡
大して示す横断面図、第１１図は圧縮威形工程における
戒形前の状態を示す縦断面図、第１２図は圧縮成形工程
における成形完了状態を示す縦断面図、第１３図はそれ
により得られる円筒を示す半縦断面図、第１４図は切削
工程の一例を示す各々要部縦断面図、第１５２４ 図はそれにより得られるアノード円筒を示す半縦断面図
、第１６図はこの発明の製造方法により完或したマグネ
トロンアノードを示す斜視図、第ｌ７図は従来の金属円
筒部材の製造方法における全体の概略工程を示す斜視図
及び断面図である。 ２１・・・アノード円筒、 ２３・・・合わせ目、 ２Ｇ・・・平板素材、 ２７・・・金属円筒、 ２８・・・高エネルギービーム、 Ｂ・・・溶接部。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）平板状の金属素材を丸め成形して円筒とし、次に
   これをしごき成形し、このしごき成形後の円筒部品の合
   わせ目を高エネルギービームにより溶接し、その後、得
   られた円筒をその内周及び外周を拘束しながら軸方向に
   圧縮して素材に塑性流動を生じさせて成形することを特
   徴とする電子管用金属円筒部材の製造方法。
2. （２）請求項１記載のビーム溶接工程は、複数個の被溶
   接円筒部品を互いに端部を密着して縦列配置し、直線状
   に並んだ各合わせ目を連続的にビーム溶接し、その後個
   々の円筒部品に分離する電子管用金属円筒部材の製造方
   法。
3. （３）請求項１記載のビーム溶接工程は、高エネルギー
   ビームを合わせ目の長手方向の面に対して斜めに照射す
   る電子管用金属円筒部材の製造方法。
4. （４）請求項２記載のビーム溶接工程は、各円筒部品の
   合わせ目に照射する高エネルギービームのパワーを、各
   円筒部品ごとの初期には大きく、後期にはそれよりも小
   さく制御する電子管用金属円筒部材の製造方法。