JPH03199951A - 表面分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は分析データ収集装置、特に電子線マイクロアナ
ライザ（ＥＰＭＡ）等の表面分析装置に用いる分析デー
タ収集装置に関する。

［従来技術］ 電子線マイクロアナライザは直径数十オングストローム
に絞った電子ビームで試料上を走査しつつ、ビームが通
過するとき、各試料点から生じる種々の情報を電気的に
検出し、走査に同期させて、ブラウン管上に画像として
取り出すとともに、定性、定量分析ができるようにした
ものである。

電子ビームで照射された試料部からは、各種のシグナル
が生じ、そのいずれを取り出して結像に用いるかにより
、二次電子像、反射電子像、吸収電子像、起電力像、ル
ミネッセンス像、Ｘ線像、オージェ電子像などが観測で
きる。

この電子線マイクロアナライザを用いて分析データを収
集する場合、微小領域を分析するときは、電子ビームを
掃引することにより線データ、面データを収集し、数ｍ
ｍの広範囲を分析するときには、試料ステージを移動さ
せることにより分析データを収集している。従来の試料
ステージスキャンによるデータ収集装置を第４図により
説明すると、第４図において、駆動用パルス発生回路１
の出力パルスがパルスモータ駆動回路２に入力され、モ
ータ３が駆動されて試料ステージが移動される。一方、
これと同時に電子ビームが試料に照射され、試料からの
Ｘ線がＸ線検出器４により検出されて検出信号がＸ線デ
ータ計数回路５に入力される。そして、パルスモータ駆
動用パルスによりＸ線データ計数回路５の検出データが
ＣＰＵ６に入力され、表示装置７にマツプ表示されると
ともに画像メモリに記憶される。このとき、Ｘ線データ
計数回路５はＣＰＵ６により検出データが取り込まれる
と同時に、自動的にリセットされる。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のような分析装置において、パルスモータの高速駆
動時には、加減速領域が必要であり、その範囲では、モ
ータ駆動パルスのパルス間隔が一定でないため、上記の
ような分析データ収集装置では、データを収集すること
できなかった。

また、パルスモータの駆動用パルスの時間間隔が正確で
ない場合や、手動エンコーダからのパルスによってパル
スモータを駆動する場合のようにパルスの間隔が一定で
ない場合には、正確なデータを収集することができなか
った。

本発明は上記のような従来技術の欠点を解消するために
創案されたものであり、パルスモータ駆動用パルスの時
間間隔が一定でない場合にも、正確に分析データを収集
することができる分析データ収集装置を提供することを
目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明における分析データ
収集装置は、パルスモータ駆動用パルス発生手段と、こ
のパルス発生手段の出力パルスのパルス間隔を測定する
手段と、試料からの検出信号を計数する手段と、上記パ
ルス間隔測定手段と上記検出信号計数手段の出力が入力
される演算処理回路とを有する。

［作用］ 上記のように構成された分析データ収集装置では、パル
スモータ駆動用パルスの発生される毎にパルス間隔測定
手段の測定出力と、検出信号計数手段の出力とが演算処
理回路に入力され、検出信号計数出力がパルス間隔によ
り補正されて分析データとして出力される。

［実施例］ 実施例について第１図の本発明の分析データ収集装置の
ブロック図、第２図のパルスモータ駆動パルスの波形図
により説明する。第１図において、モータ３は電子線マ
イクロアナライザの試料用ステージに接続され、Ｘ線検
出器４は試料からのＸ線信号を検出する。一方、駆動用
パルス発生回路１からのパルスはパルスモータ駆動回路
２に入力されるとともに、パルス間隔測定回路８とＸ線
データ計数回路５にも入力される。

この分析データ収集装置の動作を第２図のパルスモータ
駆動パルスの波形図とともに説明する。

駆動用パルス発生回路１からのパルスをパルスモータ駆
動回路２に入力することによりモータ３を駆動し、試料
ステージを移動しながら細く収束した電子ビームを試料
表面に照射する。そして、試料表面より得られたＸ線信
号はＸ線検出器４により検出され、Ｘ線データ計数回路
５に入力される一方、パルス発生回路１の出力はパルス
間隔測（５） 定回路８とＸ線データ計数回路５にも入力され、パルス
発生回路１からのパルス毎にパルス間隔測定回路８から
の測定値とＸ線データ計数回路５の出力がＣＰＵ６に取
り込まれる。そして、ＣＰＵ６によりＸ線データ計数回
路５のカウント数Ｎｉとパルス間隔測定回路８の出力Ｔ
ｉとから、基準パルス間隔Ｔ。により補正された検出出
力Ｎ　ｆｆ１Ｎ”Ｔｏ　”Ｎｉ／Ｔｔにより演算され、
表示装置７に画像表示されるとともに、画像メモリに記
憶される。

第３図は本発明の他の実施例であり、モータ３が分光結
晶１２に接続されている。この実施例の動作を説明する
と、電子ビームを試料１１に照射することにより試料１
１からＸ線が発生し、このＸ線は分光結晶１２に入射す
る。この分光結晶１２により特定の波長のＸ線だけが選
別されてＸ線検出器４に到達し、検出器４の出方が計数
回路により計数される。そして、モータ３によって分光
結晶１２を回転駆動することにより、検出されるＸ線の
波長が掃引され、Ｘ線スペクトルを検出す（６） ることかできる。このとき、第１図の実施例と同様にモ
ータ３の駆動パルスのパルス間隔を測定し、このパルス
間隔によってＸ線計数回路の計数データを補正すること
により、パルス間隔の変動があっても正確にＸ線スペク
トルを求めることができる。

なお、上記第１の実施例ではＸ線検出データを収集する
場合について説明したが、二次電子像、反射電子像、ル
ミネッセンス像、オージェ電子像などのデータ収集にも
、本発明の分析データ収集装置を適用することができ、
更に、電子ビームを用いた表面分析装置に限ることなく
イオンビームを用いた表面分析装置等にも適用すること
ができる。

［発明の効果コ 以上説明したように、本発明によれば、モータ駆動用パ
ルスのパルス間隔が一定でなくとも分析データを正確に
収集することができ、また、モータの加減速時にもデー
タを収集することができるので、広範囲のデータを収集
することができる。

更に、分析装置の利用者がピークサーチ等をマニュアル
で行っているときも、容易に分析データを得ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の分析データ収集装置を示すブロック図
、第２図はパルスモータ駆動用パルスの波形図、第３図
は本発明の分析データ収集装置の他の実施例を示すブロ
ック図、第４図は従来の分析データ収集装置を示すブロ
ック図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）パルスモータ駆動用パルス発生手段と、このパル
   ス発生手段の出力パルスのパルス間隔を測定する手段と
   、試料からの検出信号を計数する手段と、上記パルス間
   隔測定手段と上記検出信号計数手段の出力が入力される
   演算処理回路とを有し、検出信号計数出力をパルス間隔
   で補正することを特徴とする分析データ収集装置。