JPS63243855A - 荷電粒子分析装置 - Google Patents
荷電粒子分析装置Info
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- JPS63243855A JPS63243855A JP62080252A JP8025287A JPS63243855A JP S63243855 A JPS63243855 A JP S63243855A JP 62080252 A JP62080252 A JP 62080252A JP 8025287 A JP8025287 A JP 8025287A JP S63243855 A JPS63243855 A JP S63243855A
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- Japan
- Prior art keywords
- sample
- image pickup
- analysis
- light
- electron beam
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は、試料を励起線で励起し、励起された試料から
放出される光やＸ線等を用いて試料の組成及び構造の分
析を自動で行う装置に関する。
放出される光やＸ線等を用いて試料の組成及び構造の分
析を自動で行う装置に関する。
口、従来の技術
造岩鉱物や複合化合物などは複数の酸化物などの異なっ
た多くの相より構成されており、これらの各々の相を識
別し、それぞれの相に関して正確な定量分析を行うこと
により試料の組成や構造の分析を行っているが、定量分
析の精度を向ヒさせるために、試料表面における形状情
報を少なくする必要があり、そのために試料表面を研磨
している。しかし、表面を研磨された試料において表面
の光学観察による相の識別は困難となる場合が多い、従
って、相の識別のために試料をＴｌ１Ｉ！ｉ！切片にし
て、透過偏光観察により特定の相を識別する方法が取ら
れている。
た多くの相より構成されており、これらの各々の相を識
別し、それぞれの相に関して正確な定量分析を行うこと
により試料の組成や構造の分析を行っているが、定量分
析の精度を向ヒさせるために、試料表面における形状情
報を少なくする必要があり、そのために試料表面を研磨
している。しかし、表面を研磨された試料において表面
の光学観察による相の識別は困難となる場合が多い、従
って、相の識別のために試料をＴｌ１Ｉ！ｉ！切片にし
て、透過偏光観察により特定の相を識別する方法が取ら
れている。
しかし、上記の識別方法において、従来は各相の色を分
析者が目視観察することにより相の識別を行っているた
めに、分析者によって判断が異なる場合が生じ、分析効
率及び精度が安定化しない、そのために分析の自動化を
阻害されていると云う問題がある。
析者が目視観察することにより相の識別を行っているた
めに、分析者によって判断が異なる場合が生じ、分析効
率及び精度が安定化しない、そのために分析の自動化を
阻害されていると云う問題がある。
ハ１発明が解決しようとする問題点
本発明は、相の識別を分析者の目視観察にたよらず、試
料から放出される蛍光を検出し、その検比信号により相
を判別して分析位置の自動設定を行えるようにすること
により、分析の精度向上と自動化を泥進することを目的
とする。
料から放出される蛍光を検出し、その検比信号により相
を判別して分析位置の自動設定を行えるようにすること
により、分析の精度向上と自動化を泥進することを目的
とする。
二１問題点解決のための手段
励起線で試料を励起し、励起された試料から放出される
光やＸ線等を用いて試料の組成及び構造の分析を行う荷
電粒子分析装置において、励起された試料から放出され
る光を分光・検出する手段と、同分光・検出手段で得ら
れた分光測光データと分析位置を記憶する手段と、同記
憶手段に記憶されたデータに基づき試料を移動させるか
又は励起線を偏向させる手段を設けた。
光やＸ線等を用いて試料の組成及び構造の分析を行う荷
電粒子分析装置において、励起された試料から放出され
る光を分光・検出する手段と、同分光・検出手段で得ら
れた分光測光データと分析位置を記憶する手段と、同記
憶手段に記憶されたデータに基づき試料を移動させるか
又は励起線を偏向させる手段を設けた。
ホ １ヤ用
Ｚｎ、Ｃｄ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｙ等の酸化物や硫化物、その
他殆どの半導体は電子ビームによって励起された時に光
（カソードルミネッセンス）を出す。この発光は分子に
よって異なることが分かっており。本発明はこの光を試
料全面で測定することにより、試料の各相の分布情報を
入手し、得られた各相の分布情報によって分析点を選択
し、試「Ｉを分析点に自動設置できるようにするもので
ある。
他殆どの半導体は電子ビームによって励起された時に光
（カソードルミネッセンス）を出す。この発光は分子に
よって異なることが分かっており。本発明はこの光を試
料全面で測定することにより、試料の各相の分布情報を
入手し、得られた各相の分布情報によって分析点を選択
し、試「Ｉを分析点に自動設置できるようにするもので
ある。
へ、実施例
第１図に本発明の一実施例を示す。第１図において、Ｅ
は電子銃１から照射される電子ビーム、２はその電子ビ
ームＥをＸＹ方向に偏向させる１縛向レンズ、３は電子
ビームＥを試料Ｓに集光させる対物レンズ、４は試料Ｓ
を保持する試料ホルダー、５は試料Ｓを任意の設定位置
に設置させるために上下左右に移動可能な試料ステージ
、６は試料ステージ５を駆動させるステージ駆動部、Ｒ
は電子ビームＥの照射によって励起された試料Ｓから放
出されるＸ線、７はＸ線を分光する分光結晶、８は分光
された特性Ｘ線のみを検出器９に入射するように規制す
るスリット、９は分光された特性Ｘ線を検出するＸ線検
出器で、分光結晶７とスリット８とＸ線検出器９とを所
定の位置関係を維持させながら波長走査できるよう設置
して分光器Ａｔ！０：構成し、試料Ｓから放出されたＸ
線を分光検出を行う。１０はその分光器Ａの波長走査駆
動を行う分光器駆動部である。凹面鏡１１と凸面鏡１２
と４５度ミラー】３によってカソードルミネッセンス光
学系Ｂを構成し、試料Ｓを透過した光を窓１４を通して
真空装置外部に取り出す。装置外に収り出した光をレン
ズ１５でカラー撮像管１６に結像させて撮像する。電子
ビームによる試料面走査とカラー撮像管１６の走査とを
同期させて撮像管で撮像された撮像信号をＣＰＵ １７
に記憶させる。記憶させた撮像信号をＣＲＴ１９に映出
する。ＣＲＴ１９に映出した映像上において分析点をラ
イトペン２０で指示することにより、ＣＰＵ１７は指示
された分析点が電子ビームＥの焦点に設置されるように
試料ステージ駆動部６によりＸＡｅ＋ステージ５を駆動
する。
は電子銃１から照射される電子ビーム、２はその電子ビ
ームＥをＸＹ方向に偏向させる１縛向レンズ、３は電子
ビームＥを試料Ｓに集光させる対物レンズ、４は試料Ｓ
を保持する試料ホルダー、５は試料Ｓを任意の設定位置
に設置させるために上下左右に移動可能な試料ステージ
、６は試料ステージ５を駆動させるステージ駆動部、Ｒ
は電子ビームＥの照射によって励起された試料Ｓから放
出されるＸ線、７はＸ線を分光する分光結晶、８は分光
された特性Ｘ線のみを検出器９に入射するように規制す
るスリット、９は分光された特性Ｘ線を検出するＸ線検
出器で、分光結晶７とスリット８とＸ線検出器９とを所
定の位置関係を維持させながら波長走査できるよう設置
して分光器Ａｔ！０：構成し、試料Ｓから放出されたＸ
線を分光検出を行う。１０はその分光器Ａの波長走査駆
動を行う分光器駆動部である。凹面鏡１１と凸面鏡１２
と４５度ミラー】３によってカソードルミネッセンス光
学系Ｂを構成し、試料Ｓを透過した光を窓１４を通して
真空装置外部に取り出す。装置外に収り出した光をレン
ズ１５でカラー撮像管１６に結像させて撮像する。電子
ビームによる試料面走査とカラー撮像管１６の走査とを
同期させて撮像管で撮像された撮像信号をＣＰＵ １７
に記憶させる。記憶させた撮像信号をＣＲＴ１９に映出
する。ＣＲＴ１９に映出した映像上において分析点をラ
イトペン２０で指示することにより、ＣＰＵ１７は指示
された分析点が電子ビームＥの焦点に設置されるように
試料ステージ駆動部６によりＸＡｅ＋ステージ５を駆動
する。
試料面を電子ビームで走査する代わりに、電子ビームを
固定しておき試料ステージ５を駆動して試料面走査を行
い、試料ステージの位置データをアドレスとして１色分
解された光検出信号を記憶させ、この記憶データをカラ
ー表示して、玉料のように位置指定してもよい。或はこ
れらのカラーデータから、特定の蛍光ピークを自動検索
して分析位置を自動指定するようにしてもよい。
固定しておき試料ステージ５を駆動して試料面走査を行
い、試料ステージの位置データをアドレスとして１色分
解された光検出信号を記憶させ、この記憶データをカラ
ー表示して、玉料のように位置指定してもよい。或はこ
れらのカラーデータから、特定の蛍光ピークを自動検索
して分析位置を自動指定するようにしてもよい。
以上の構成において測定動産の一例を説明する、第２図
にＣＰＵ１７のフローチャートを示す。
にＣＰＵ１７のフローチャートを示す。
電子ビームＥによって励起された試料Ｓから放出される
光をカソードルミネッセンス光学４Ｂで撮像管１６でｔ
ｉ像しくア）、撮像した撮像信号をＣＰＵ１７で画像処
理し、試料Ｓを構成する相（分析）の判定表示を行う（
イ）３判定表示された相から定量分析を行う相（分析位
置）をライトペン２０等によって指定する（つ）。指定
した相（分析位置）に試料Ｓを移動又は電子ビームを偏
向させて定量分析を行う。その定量分析の結果の表示・
記録を行う。
光をカソードルミネッセンス光学４Ｂで撮像管１６でｔ
ｉ像しくア）、撮像した撮像信号をＣＰＵ１７で画像処
理し、試料Ｓを構成する相（分析）の判定表示を行う（
イ）３判定表示された相から定量分析を行う相（分析位
置）をライトペン２０等によって指定する（つ）。指定
した相（分析位置）に試料Ｓを移動又は電子ビームを偏
向させて定量分析を行う。その定量分析の結果の表示・
記録を行う。
第１実施例ではカラー撮像管を使用することにより、あ
らゆる波長の光を一度に検出するようにしているが、分
光器と光検出器とによって各波長苺の検出信号を入手す
ることにより、試料を構成する相を分析しても同様の効
果が発揮される。
らゆる波長の光を一度に検出するようにしているが、分
光器と光検出器とによって各波長苺の検出信号を入手す
ることにより、試料を構成する相を分析しても同様の効
果が発揮される。
ト 効果
本発明によれば、カソードルミネッセンス光学系の分光
測定又はカラー撮像によって試料の分析位置の指定が容
易になり、分析位置設定が自動化されることにより、そ
の後の定量分析も含めてオンライン自動分析が可能とな
る。このことにより分析能率の大幅向上と分析精度への
個人差の影響を除去することが可能になった。
測定又はカラー撮像によって試料の分析位置の指定が容
易になり、分析位置設定が自動化されることにより、そ
の後の定量分析も含めてオンライン自動分析が可能とな
る。このことにより分析能率の大幅向上と分析精度への
個人差の影響を除去することが可能になった。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図はＣＰ Ｉ
Ｊのフローチャー１−である。 １・・電子銃、２・収束レンズ、３・・・対物レンズ、
Ｅ−電子銃から照射される電子ビーム、Ｓ・・・試料、
・１・・・試料ボルダ−１５・・・試料ステージ、６・
・・ステージ駆動部、Ｒ・・Ｘ線、７・・・分光結晶、
８・・・スリッＩ・、９・・・Ｘ線検出器、１０・・・
分光器駆動部、１１・・凹面鏡、１２・・凸面鏡、１３
・・・４５度ミラー、１４ ・窓、１５・・・レンズ、
１６・・・カラー撮像管、１７・・・・・中央制御装置
（ＣＰＵ）、１８・・・偏向回路、Ａ・・分光器、Ｂ・
・・カソードルミネッセンス光学系。 第２図
Ｊのフローチャー１−である。 １・・電子銃、２・収束レンズ、３・・・対物レンズ、
Ｅ−電子銃から照射される電子ビーム、Ｓ・・・試料、
・１・・・試料ボルダ−１５・・・試料ステージ、６・
・・ステージ駆動部、Ｒ・・Ｘ線、７・・・分光結晶、
８・・・スリッＩ・、９・・・Ｘ線検出器、１０・・・
分光器駆動部、１１・・凹面鏡、１２・・凸面鏡、１３
・・・４５度ミラー、１４ ・窓、１５・・・レンズ、
１６・・・カラー撮像管、１７・・・・・中央制御装置
（ＣＰＵ）、１８・・・偏向回路、Ａ・・分光器、Ｂ・
・・カソードルミネッセンス光学系。 第２図
Claims (1)
- 励起線で試料を励起し、励起された試料から放出される
光やＸ線等を用いて試料の組成及び構造の分析を行う荷
電粒子分析装置において、励起された試料から放出され
る光を分光・検出する手段と、同分光・検出手段で得ら
れた分光測光データと分析位置を記憶する手段と、同記
憶手段に記憶されたデータに基づき試料を移動させるか
又は励起線を偏向させる手段を設けたことを特徴とする
荷電粒子分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62080252A JPS63243855A (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | 荷電粒子分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62080252A JPS63243855A (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | 荷電粒子分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63243855A true JPS63243855A (ja) | 1988-10-11 |
Family
ID=13713122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62080252A Pending JPS63243855A (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | 荷電粒子分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63243855A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0615123A1 (en) * | 1992-09-28 | 1994-09-14 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for surface analysis |
| US5594246A (en) * | 1994-04-11 | 1997-01-14 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for x-ray analyses |
| US5877498A (en) * | 1992-09-28 | 1999-03-02 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for X-ray analyses |
| JP2016191574A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 被膜損傷検知方法及び被膜損傷検知装置 |
-
1987
- 1987-03-31 JP JP62080252A patent/JPS63243855A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0615123A1 (en) * | 1992-09-28 | 1994-09-14 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for surface analysis |
| EP0615123A4 (en) * | 1992-09-28 | 1995-04-19 | Hitachi Ltd | SURFACE ANALYSIS METHOD AND DEVICE. |
| US5481109A (en) * | 1992-09-28 | 1996-01-02 | Hitachi, Ltd. | Surface analysis method and apparatus for carrying out the same |
| US5877498A (en) * | 1992-09-28 | 1999-03-02 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for X-ray analyses |
| US5594246A (en) * | 1994-04-11 | 1997-01-14 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for x-ray analyses |
| JP2016191574A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 被膜損傷検知方法及び被膜損傷検知装置 |
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