JPH0319354A - 横形拡散、ｃｖｄ装置のボート移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体処理装置の一つである横形拡散装置、
横形ＣＶＤ装置に使用されるウェーハ用ボートの移載装
置に関するものである．［従来の技術Ｊ 横形拡散装置、横形ＣＶＤ装置は、近年スベ一スの有効
利用及び装置の小形化を図る為、ウェーハが装填された
ボートな多段に保持して該ウェーハを処理する、多段横
造へと推移している． この為、鰻上段の高さが２ｍ以上となってしまい、人手
ではボートをセットすることが困難となっており、又作
業能率の−１上もあり、ボートの移載をポート移載装置
により行っている．従来のボート移載装置を、第４図に
於いて略述する． 図中１は加熱炉、２はクリーンベンチ、３はボート装入
装置、４はボート移載装置である。

ボート装入装置３はクリーンベンチ２内に多段に設けら
れており、石英製のフォーク５の基端を支持するスライ
タ６が加熱炉１に対して水平方向に近接離反し、フォー
ク５を加熱炉１内に出入させ、フォーク５先端に保持さ
れた石英製のボート７を加熱炉１内に装入し、又加熱炉
１から取出す構成である。

前記ボート７はクリーンベンチ２の床而に設けられたボ
ート受台８にｔＩｉ置される櫟になっており、．図示し
ないウェーハ移載機によりカセット（図示せず）からボ
ート７へ、又ボート７からカセットへとウェーハ９が移
載される．前記ボート移載装置４は、ウェーハ９が装填
されたボート７を前記ボート受台８がら、フォーク５へ
、フォーク５からボート受台８へと移載するものである
． 加熱炉１の（則方に昇降ブロック１０か垂直方向に昇降
自在に設けられ、該昇降ブロック１０はスクリューロッ
ド１１と昇降ステッピングモータ１２により昇降され且
所要の位置で停止される様になっている，又、前記昇降
ブロック１０には、基板１３がｕｆｆけられ、該基板１
３に横行ブロック１４が水平方向に活動自在に設けられ
、図示しないモータによりスクリューロンド１５が回転
されることで該横行ブロック１４は前記フォーク５に対
して近接離反する様になっている． 該横行ブロック１４にはアーム１６が固着され、更に該
アーム１６には一対の石英製フィンガピーム１７が固着
されており、該フィンガビーム１７によって前記ボート
７を把持する様になっている．而して、前記昇降ブロッ
ク１０の昇降動、該横行ブロック１４の検行動の組合せ
で、フィンガビーム１７でボート７を把持、持上げ、フ
ォーク５とボート受台８間の移載を行う櫟になっている
．［発明が解決しようとする課題】 上記した従来のボート移栽装置に於いて、ボートの移栽
を繰返し行っていると、停止位置検出用のボテンショメ
ー夕に検出誤差を生じることがあった，更に検出誤差が
累積することで、前記フィンガビーム１７のフォーク５
に対する停止位置がずれてしまい、フィン力ビーム１７
とフォーク５との接触、或は衝突か発生ずる。

従って、作業者が定期的に目視によりフィンガビーム１
７とフォーク５との位置関係を点検し、誤差が生じてい
れば、修正するという作業を行っていた． 然し、点検を怠った場合、或は点検時期か不適正であっ
た場合には、フィンガビーム１７とフォーク５、ボート
７とが衝突してしまい、高価なフィンガビーム、ウエー
ハ、石英ボート石英フォークを破損してしまうことがあ
った．本発明は、上記実情に鑑みなしたものであり、フ
ィンガアームの停止位置に誤差が生じたとしても、ウェ
ーハ、石英ボート、石英フォーク等の損傷事故が発生し
ない様にしたものである．［課題を解決するための手段
］ 本発明は、多段に設けられたボート装入装置と、ボート
受白との間のボートの移載を行うボート移０装置に於い
て、ボートを把持するフィンガピームにロッドを出入自
在に設けると共に該ロッドを突出方向に付勢し、該ロッ
ドの先端に石英製接触子を設け、前記フィンガビームに
該ロッドの移動を検知するセンサを設けたことを特徴と
するものである． Ｃ作　　用１ ボート移載装置で位置検出に誤検知かありフィンガの停
止位置にずれが生じると、フィン力の移載動作中にフィ
ンガ先端の接触子がポート或は装置の他の横或物に接触
する。この接触で接触子を介してロッドか押込まれ、セ
ンサは接触子とボート等の接触を検知する． ［実　施　酬］ 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する， 第１図、第２図に於いて第４図中で示したものと同一の
ものには同符号を付してある，フィン力ピーム１７にフ
ィンガビーム長手方向に一致させてロッド１８を摺動自
在に嵌合させ、該ロッド１８の先端に石英製の円板１９
を固着する。

フィンガビーム１７の内部には空洞部２０を形成させ、
該空洞部２０に圧縮スプリング２１をロンドか神通した
状態で収納させ、又マイクロスイッチ２２をロッド１８
に対峙させて設ける。該ロッド１８にスプリング受２３
、ストツバ２４をそれぞれ設４−１、前記圧縮スフ゜リ
ング２１でロッド１８を突出方向に付勢させると共にス
トソバ２４により突出方向の規制をする． 前記ロッド１８のマイクロスインチ２２と対峙する面に
、ロッド突出位置では該マイクロスイッチ２２のアクチ
ュエータアーム２５と干渉しない様に突起２６を設ける
． ここで、前記圧縮スプリング２１は引込んだロッド１８
を復帰、突出させるに充分な力を有するか、外力が加わ
った場合に円滑に且充分小さな外力であっても撓む様に
バネ定数、初期反力等を設定しておく． 前記マイクロスイッチ２２は第３図に示される様にボー
ト移載装置の制御装置２７に接続され、該制御装置２７
はボート移載装置の各モータを駆動ずるモータ駆動部２
８へ駆動停止信号を発する様になっている． 以下、作動を説明する， 昇降位置検出用のセンサで誤検知があり、フォーク５と
フィンガビーム１７とが干渉する櫟な位ｙ１関係になっ
たとする． 横行ブロック１４がフォーク５側に移動されるとフィン
ガビーム１７がフォーク５に接触する以前に、前記円板
１９がフォーク５に接触する．更に横行ブロック１４が
フォーク５側に移動されると、円板１９、ロンド１８を
介して前記圧縮スプリング２１に圧縮方向の力が付加さ
れ、該圧縮スプリング２１が撓み、ロッド１８と件に円
板１９が後退する．従って、フォーク５を傷付けること
がない． 更に、円板１９、ロッド１８が後退するとロヅド１８に
設けた突起２６が、マイクロスイッチ２２のアクチュエ
ータアーム２５を押上げ、マイクロスイッチ２２を作動
させる． このマイクロスイッチ２２の作動信号は、前記制御装置
２７に入力され、制御装置２７はマイクロスイッチから
の信号かあると、前記モータ駆動部２８１＼停止信号を
発し、モータを停止させる。

この停止の状態では、円板１９、ロッド１８が若干押込
れた状態であり、フォーク５に作用する力は圧縮スプリ
ング２１の撓み分だけで、フォーク５に損傷を与えるこ
とはない．又、円板１９は石英製であるので接触により
フォーク等を汚染することがない． 前記制御装置２７はモータを停止させた状態を維持した
だけでもよく、警告灯、ブザー等の警報器２９を動作さ
せ、作業者にボート移載装置４の異常を知らせる櫟にし
てもよい． 尚、ボート受台８上のボート７を把持する動作で位置関
係がずれた場合でも同様に円板１９が押込れ、マイクロ
スイッヂ２２の動作でモータが停止することは前述した
場合と同様である．尚、上記実施例に於いては、ロッド
の進退をマイクロスイッチで検出したが、フォトセンサ
、或はリードスイッチ等で検出する様にしてもよく、円
板に代え、多角形板、或は半球、直方体の形状のものを
用いてもよい． ［発明の効果］ 以上述べた如く本発明によれは、簡単な構成により、ボ
ート移載装置によるフォーク、ボート，ウエーハの損傷
を防止することができ、ランニングコスト低減に寄与す
ると共にフォーク、ボートを破損した場合の復元作業を
する必要がないので、稼動率の向上を図ることができる
．

【図面の簡単な説明】

第ｌ図は、本発明の一実施例の要部を示す斜視図、第２
図は第ｌ図のＡ−Ａ矢視図、第３図は該実施例に於ける
概略ブロック図、第４図は従来のボート移載装置の斜視
図である．３はボート装入装置、４はボート移栽装慢、
５はフォーク、８はボート受台、９はウエーハ１８はロ
ッド、１９は円板、２２はマイクロスイッチを示す． 特　　許　　出　　願　　人 圓ＷＡ電気株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）多段に設けられたボート装入装置と、ボート受台と
   の間のボートの移載を行うボート移載装置に於いて、ボ
   ートを把持するフィンガビームにロッドを出入自在に設
   けると共に該ロッドを突出方向に付勢し、該ロッドの先
   端に石英製接触子を設け、前記フィンガビームに該ロッ
   ドの移動を検知するセンサを設けたことを特徴とする横
   形拡散、ＣＶＤ装置のボート移載装置。