JPH0547468Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、主として、ウエーハカセツト内に収
納したウエーハを、該ウエーハカセツトごと洗浄
液内に浸漬して洗浄する場合において、ウエーハ
カセツトを把持して移送するために用いるウエー
ハカセツトの把持装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、ウエーハカセツトを把持する場合には、
第４図に示すように、ウエーハカセツト１の両側
の張り出し部１ａ，１ａを引掛けて把持するのが
一般的であつた。

ところで、上記ウエーハカセツト１は内部に収
納するウエーハの径の違いによつて、その幅Ｗ及
び高さＨが異なるため、このようなウエーハカセ
ツト１をロボツト等の自動装置で把持する場合
に、把持しようとするウエーハカセツト１が設定
されたウエーハ径用のものと異なつていると、把
持するのに失敗するという問題がある。また、設
定されたウエーハ径用のウエーハカセツト１を把
持する場合であつても、確実に把持されないため
に、移送の際に落としたりするおそれがあつた。
さらに、上記従来の自動把持装置においては、洗
浄槽内にウエーハカセツト１がない状態であつて
も、有る場合と同様の動作を行なうために、動作
に無駄があり、タクトタイムが長くかかるという
問題がある。

本考案は、上記事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、ウエーハカセツトを把
持する前に、ウエーハカセツトの有無、種類等を
確認することができ、かつ把持が確実に行なわれ
ているか否かを確認できると共に、タクトタイム
の短縮を図ることができるウエーハカセツトの把
持装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本考案は、上下移
動自在の支持ロツドの上端に固定されたアーム本
体と、このアーム本体の側方に水平移動自在に設
けられた複数の水平ロツドと、これらの水平ロツ
ドにそれぞれ連結され、かつ各水平ロツドを水平
移動させる移動機構と、上記各水平ロツドの先端
に互いに接離自在に設けられ、かつウエーハカセ
ツトの両端面部をそれぞれ把持する一対の把持ア
ームと、上記アーム本体の側部に設置された検出
ボツクスと、この検出ボツクス内にその上方から
上下移動自在に挿入された鉤状の検出アームと、
この検出アームの先端部に設けられ、かつ上記ウ
エーハカセツトの上面に接触する検出ロツドと、
上記検出ボツクス内に設けられ、かつ上記検出ロ
ツドの位置を上記検出アームを介して検出する位
置検出手段とを備えたものである。

また、上記位置検出手段としては、検出アーム
の基端部に設けられた遮光板と、この遮光板の移
動通路に対向して設けられ、かつ遮光板を検出す
る複数の光センサーとから構成し、かつこの検出
ロツドのウエーハカセツトとの接触部は、少なく
ともウエーハカセツトの幅より大きく設定するの
が望ましい。

〔作用〕

本考案のウエーハカセツトの把持装置にあつて
は、支持ロツドによつてアーム本体を下降させた
際に、検出ロツドの下方にウエーハカセツトがあ
ると、検出ロツドがウエーハカセツトの上面に接
触して、上記アーム本体の側部に設置された検出
ボツクスに対して、上記検出ロツド及び検出アー
ムが上方に移動しこの移動した検出アームの位置
を位置検出手段によつて検出することにより、ウ
エーハカセツトの種類（大きさ）が所定のもので
あるかを確認した後、上記支持ロツドによつてア
ーム本体を昇降操作し、かつ移動機構によつて各
水平ロツドをそれぞれ水平移動し、一対の把持ア
ーム間を閉じてこれらの把持アームによつて上記
ウエーハカセツトの両端面部を把持して移送する
一方、上記検出ロツドの下方にウエーハカセツト
がない場合には、上記検出ボツクスに対して、上
記検出ロツド及び検出アームが下方位置にあるこ
とを上記位置検出手段によつて検出することによ
り、ウエーハカセツトがないことを確認すると共
に、上記各把持アームによるウエーハカセツトの
把持状態が不完全な状態で持ち上げようとする場
合には、上記検出ボツクスに対して、上記検出ロ
ツド及び検出アームが下方に移動することを上記
位置検出手段によつて検出することにより、移動
の途中で落下する等の不具合が未然に防止され
る。

〔実施例〕

以下、第１図ないし第７図に基づいて本考案の
一実施例を説明する。

図中符号１０は、上下移動自在に設けたロボツ
トの支持ロツドであり、この支持ロツド１０の上
端にアーム本体１１が固定されている。そして、
このアーム本体１１の内部には、上下に一対のシ
リンダ１２が設けられており、これらのシリンダ
１２のピストンロツドには、それぞれ、連結機構
１３を介して、一対ずつの水平ロツド１４，１５
が上下に配置して連結されている。そして、これ
らの水平ロツド１４，１５の先端には、それぞれ
取付部材１６を介して、略Ｕ字状の把持アーム１
７，１８が取付けられており、上記各シリンダ１
２を駆動することによつて、両把持アーム１７，
１８間が狭くなつて、両把持アーム１７，１８の
下部がウエーハカセツト１の両端面部１ｂに形成
された溝部１ｃに嵌め込まれるようになつてい
る。

また、上記アーム本体１１の側部には、検出ボ
ツクス１９が設置されている。そして、この検出
ボツクス１９の内部には、上下にガイド２０が配
置されており、このガイド２０には、鉤状の検出
アーム２１の基端部２１ａが上下に摺動自在に嵌
め込まれている。この検出アーム２１の先端部に
は、検出ロツド２２が取付けられている。さら
に、上記検出アーム２１の基端部２１ａに取付け
た調整機構２３と、検出ボツクス１９の上部に取
付けた支持部材２４との間には、上記検出アーム
２１を下方に付勢するバネ２５が配置されてお
り、上記調整機構２３によつてその付勢力が調整
されるようになつている。

また、上記検出アーム２１の基端部２１ａに
は、遮光板２６が取付けられる一方、この遮光板
２６の移動通路に対向して、３個の光センサー２
７が設けられている。そして、上記遮光板２６が
各光センサー２７の溝内に嵌入することにより、
３種類の径の異なるウエーハ収納用（例えば４イ
ンチ、５インチ、６インチ収納用）のウエーハカ
セツト１の検出が行なわれるようになつている。

なお、上記検出ロツド２２の形状としては、洗
浄液の外部からの汚染を極力防止する必要がある
場合には、第５図に示すように、Ｌ字状のものと
し、できるだけ洗浄液内に浸漬する部分を少なく
するために、下部水平部（ウエーハカセツトの上
端との接触部）の長さを短く設定する。また、検
出の確実性を増すためには、第６図あるいは第７
図に示すように、ウエーハカセツトの両上端をと
もに検出できるようにし、鉤状、あるいは逆Ｔ字
状、または、Ｕ字状等に形成してもよい。そし
て、これらの検出ロツド２２及び把持アーム１
７，１８には、それぞれ四ふつ化エチレン樹脂が
被覆されている。

上記のように構成されたウエーハカセツトの把
持装置を用いて、ウエーハカセツト１を把持する
場合には、まず、把持しようとするウエーハカセ
ツト１が所定の径のウエーハ収納用のものである
かを確認するために、把持アーム１７，１８間を
広げた状態で、アーム本体１１を所定高さに下降
させる。この場合、検出ロツド２２の下方にウエ
ーハカセツト１があれば、該ウエーハカセツト１
の上端に検出ロツド２２の下部が接触することに
より、検出ロツド２２がアーム本体１１に対して
所要長だけ上昇して、遮光板２６が３個の光セン
サー２７のうち１つの溝部に嵌入する。この結
果、各光センサー２７のうちいずれかの光センサ
ー２７から検出信号が発せられるから、把持しよ
うとするウエーハカセツト１が所定の径のウエー
ハ収納用のものであるかが確実に確認される。そ
して、所定の径のウエーハ収納用のウエーハカセ
ツト１ではなかつた場合には、図示されていない
制御装置が警報を発して、把持操作を中断する。

一方、所定の径のウエーハ収納用のウエーハカ
セツト１であることが確認されると、アーム本体
１１を昇降させて、一対の把持アーム１７，１８
の下端を該ウエーハカセツト１の両端面部１ｂに
形成された溝部１ｃの位置に合わせた後に、一対
のシリンダ１２，１２を用いて、一方の把持アー
ム１７を後退させ、かつ他方の把持アーム１８を
前進させて、両把持アーム１７，１８の下部を上
記各溝部１ｃに嵌め込む。これにより、両把持ア
ーム１７，１８によつてウエーハカセツト１が挾
持されるから、アーム本体１１を上昇させること
により、該ウエーハカセツト１を持ち上げ、次い
で、所定方向に水平移動させる。

また、この場合、両把持アーム１７，１８によ
るウエーハカセツト１の把持が不完全な場合に
は、バネ２５によつて付勢されている検出アーム
２１が、検出ロツド２２とともに、アーム本体１
１に対して下方に移動するから、この動きが光セ
ンサー２７によつて検知されて異常状態が報知さ
れる。従つて、上記ウエーハカセツト１が不完全
な把持状態のまま吊り上げられることがなく、移
動の途中で落下する等の不具合が未然に防止され
る。

さらに、アーム本体１１を所定高さ下降させた
際に、検知ロツド２２の下方にウエーハカセツト
１がない場合には、該検知ロツド２２はアーム本
体１１に対して上下に移動しないから、各光セン
サー２７は遮光板２６を検知しない。従つて、制
御装置はウエーハカセツト１がないと判断して、
把持操作を行わないで、次の処理に移る。

なお、本実施例において、ウエーハカセツト１
の両端面部１ｂを挾持するようにした理由は、径
の異なるウエーハ収納用のウエーハカセツト１で
も、その長さＬが等しく、両把持アーム１７，１
８間の把持幅を一定とすることができるからであ
る。また、本実施例においては、一対の把持アー
ム１７，１８によつて１個のウエーハカセツト１
を把持するように説明したが、一度に把持するウ
エーハカセツト１は複数個でもよい。この場合に
は、各水平ロツド１４，１５を延長して、これら
の水平ロツド１４，１５に一定間隔で一対ずつの
把持アーム１７，１８を取付ければよい。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案は、上下移動自在
の支持ロツドの上端に固定されたアーム本体と、
このアーム本体の側方に水平移動自在に設けられ
た複数の水平ロツドと、これらの水平ロツドにそ
れぞれ連結され、かつ各水平ロツドを水平移動さ
せる移動機構と、上記各水平ロツドの先端に互い
に接離自在に設けられ、かつウエーハカセツトの
両端面部をそれぞれ把持する一対の把持アーム
と、上記アーム本体の側部に設置された検出ボツ
クスと、この検出ボツクス内にその上方から上下
移動自在に挿入された鉤状の検出アームと、この
検出アームの先端部に設けられ、かつ上記ウエー
ハカセツトの上面に接触する検出ロツドと、上記
検出ボツクス内に設けられ、かつ上記検出ロツド
の位置を上記検出アームを介して検出する位置検
出手段とを備えたものであるから、支持ロツドに
よつてアーム本体を下降させた際に、検出ロツド
の下方にウエーハカセツトがあると、検出ロツド
がウエーハカセツトの上面に接触して、上記アー
ム本体の側部に設置された検出ボツクスに対し
て、上記検出ロツド及び検出アームが上方に移動
しこの移動した検出アームの位置を位置検出手段
によつて検出することにより、ウエーハカセツト
の種類（大きさ）が所定のものであるかを確認し
た後、上記支持ロツドによつてアーム本体を昇降
操作し、かつ移動機構によつて各水平ロツドをそ
れぞれ水平移動し、一対の把持アーム間を閉じて
これらの把持アームによつて上記ウエーハカセツ
トの両端面部を把持して移送する一方、上記検出
ロツドの下方にウエーハカセツトがない場合に
は、上記検出ボツクスに対して、上記検出ロツド
及び検出アームが下方位置にあることを上記位置
検出手段によつて検出することにより、ウエーハ
カセツトがないことを確認すると共に、上記各把
持アームによるウエーハカセツトの把持状態が不
完全な状態で持ち上げようとする場合には、上記
検出ボツクスに対して、上記検出ロツド及び検出
アームが下方に移動することを上記位置検出手段
によつて検出することにより、移動の途中で落下
する等の不具合が未然に防止される。従つて、ウ
エーハカセツトの有無、種類等を円滑に確認する
ことができ、かつ把持が確実に行なわれているか
否かを確認できると共に、タクトタイムの短縮を
図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本考案の一実施例を示す
もので、第１図は側面図、第２図は平面図、第３
図は把持アームとウエーハカセツトとの関係を示
す説明図、第４図はウエーハカセツトの一例を示
す斜視図、第５図ないし第７図は検出ロツドの下
部の形状を示すもので、第５図はＬ字状の検出ロ
ツドの説明図、第６図は鉤状の検出ロツドの説明
図、第７図は逆Ｔ字状の検出ロツドの説明図であ
る。 １……ウエーハカセツト、１ｂ……端面部、Ｗ
……幅、１０……支持ロツド、１１……アーム本
体、１２……シリンダ、１４，１５……水平ロツ
ド、１７，１８……把持アーム、１９……検出ボ
ツクス、２１……検出アーム、２２……検出ロツ
ド、２６……遮光板（位置検出手段）、２７……
光センサー（位置検出手段）。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 上下移動自在の支持ロツドの上端に固定され
   たアーム本体と、このアーム本体の側方に水平
   移動自在に設けられた複数の水平ロツドと、こ
   れらの水平ロツドにそれぞれ連結され、かつ各
   水平ロツドを水平移動させる移動機構と、上記
   各水平ロツドの先端に互いに接離自在に設けら
   れ、かつウエーハカセツトの両端面部をそれぞ
   れ把持する一対の把持アームと、上記アーム本
   体の側部に設置された検出ボツクスと、この検
   出ボツクス内にその上方から上下移動自在に挿
   入された鉤状の検出アームと、この検出アーム
   の先端部に設けられ、かつ上記ウエーハカセツ
   トの上面に接触する検出ロツドと、上記検出ボ
   ツクス内に設けられ、かつ上記検出ロツドの位
   置を上記検出アームを介して検出する位置検出
   手段とを具備したことを特徴とするウエーハカ
   セツトの把持装置。 ２ 上記位置検出手段は、検出アームの基端部に
   設けられた遮光板と、この遮光板の移動通路に
   対向して設けられ、かつ遮光板を検出する複数
   の光センサーとから構成されたことを特徴とす
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエー
   ハカセツトの把持装置。 ３ 上記検出ロツドの、ウエーハカセツトとの接
   触部は、少なくともウエーハカセツトの幅より
   大きく設定されたことを特徴とする実用新案登
   録請求の範囲第２項記載のウエーハカセツトの
   把持装置。