JPS5977226U - 半導体ウエ−ハのカセツト取扱い具 - Google Patents

半導体ウエ−ハのカセツト取扱い具

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Publication number
JPS5977226U
JPS5977226U JP17365382U JP17365382U JPS5977226U JP S5977226 U JPS5977226 U JP S5977226U JP 17365382 U JP17365382 U JP 17365382U JP 17365382 U JP17365382 U JP 17365382U JP S5977226 U JPS5977226 U JP S5977226U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact plate
plate
handling tool
cassette handling
semiconductor wafer
Prior art date
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Pending
Application number
JP17365382U
Other languages
English (en)
Inventor
正人 藤沢
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 三菱電機株式会社 filed Critical 三菱電機株式会社
Priority to JP17365382U priority Critical patent/JPS5977226U/ja
Publication of JPS5977226U publication Critical patent/JPS5977226U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例によるカセット取扱い具の
斜視図、第２図は第１図の取扱い具でカセットの長辺側
を保持した状態を示す斜視図、第３図は第１図の取扱い
具でカセットの短辺側を保持した状態を示す斜視図、第
４図はこの考案の他の実施例によるカセット取扱い具の
平面図、第５図はこの考案の異なる他の実施例によるカ
セット取扱い具の平面図である。 １・・・枠体、１ａ・・・中間辺部、ｌｂ、　　ｌｃ・
・・側辺部、　　−３・・・押圧手段をなすエアシリン
ダ、５・・・当板、８・・・取っ手、１１・・・スイッ
チ、１２・・・カセット、１３・・・半導体ウェーハ、
１５．２１・・・枠体、１５ａ、　　２１ａ−・・中間
片、１５ｂ、　　１５ｃ、　　２　ｌｂ。 ２１Ｃ・・・側辺部、１６・・・支持板、１７．３２・
・・支持棒、１８・・・押圧手段をなす圧縮ばね、１９
・・・エアシリング、２３・・・電磁石、２６・・・ス
イッチ。なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す
。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）コ字状をなし、中間辺部から１対の側辺部が。 対向して出されてあり、上記中間辺部に取っ手−が取付
    けられた枠体、上記１対の側辺部のうち少なくともその
    一方の側辺部の内方に配設され、上記他方の側辺部側と
    対向して前進後退可能に支持された当板、上記当板とこ
    れを支持する側辺部との間に介在され、上記当板を内方
    への前進押圧し、当板と対向する他方の上記側板又は−
    当板との間にカセット’ｏ＞両側辺を挾み付は保持する
    押圧手段を備えた半導体ウェーハのカセット取扱い具。
  2. （２）１対の側辺部のうち少なくとも一方の側辺部を他
    方の側辺部方向への移動調整可能に取付けたことを特徴
    とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の半導体ウェ
    ーハのカセット取扱い具。
JP17365382U 1982-11-15 1982-11-15 半導体ウエ−ハのカセツト取扱い具 Pending JPS5977226U (ja)

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JP17365382U JPS5977226U (ja) 1982-11-15 1982-11-15 半導体ウエ−ハのカセツト取扱い具

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JP17365382U JPS5977226U (ja) 1982-11-15 1982-11-15 半導体ウエ−ハのカセツト取扱い具

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Publication Number Publication Date
JPS5977226U true JPS5977226U (ja) 1984-05-25

Family

ID=30378242

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17365382U Pending JPS5977226U (ja) 1982-11-15 1982-11-15 半導体ウエ−ハのカセツト取扱い具

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6439639U (ja) * 1987-09-03 1989-03-09

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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