JPH03193106A

JPH03193106A - 液体の脱気・脱泡方法

Info

Publication number: JPH03193106A
Application number: JP1332552A
Authority: JP
Inventors: Shingo Yamauchi; 慎吾山内; Tetsuo Nomiyama; 野見山　徹雄; Sadao Kumazawa; 熊沢　貞夫
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1989-12-25
Filing date: 1989-12-25
Publication date: 1991-08-22
Anticipated expiration: 2014-10-12
Also published as: JP2961665B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）液体中に溶存している気体の除去（以下脱気という）、
及び液体中に混在する微細気泡を除去（以下脱泡という
）する方法及び装置に関する。

特に写真感光材料等の塗布液のように僅かな溶存気体や
混在微細気泡が塗布品質に影響を与える場合の塗布液を
脱気・脱泡するのに有効な方法及び装置に関する。

（従来の技術〕一般にある種の液体は、塗布に際しては該液体中に溶存
する気体及び混存する気泡を除去する必要がある。例え
ば写真感光材料用の感光性塗布液は、溶存気体及び気泡
が含まれたまま塗布装置により基材に塗布されると、該
塗布液中の溶存気体の析出や、混存している気泡によっ
て縦スジ、ピンホール等塗布面に気泡による故障を引き
起こし、基材に均一な感光膜を形成することが出来ない
ため、基材に塗布される前に該塗布液中に溶存する気体
及び含有される気泡を除去することが必要である。

従来これに対処する方法として、まず液中に溶存する気
体の除去（脱気と称する）を行なうための方法としては
、多数知られているが代表的な例は該液体を減圧下に置
、く方法であり、その例としては特公昭５１−３５２５
９号、特開昭５６−１４７６０５号、特開昭５６−７６
２１３号、特開昭４９−９７００３号、特開昭５０−１
５９４６９号等の公報に開示されている装置が知られて
いる。

また通気性高分子膜を用いる方法もあり、その例として
は、特開昭５１−２８２６１号、特開昭５４−１２３７
８５号、特開昭５５−１２１８０６号、特開昭５７−１
６５００７号、特開昭５８−８１４０４号等の公報に開
示されている方法あるいは装置が知られている。他方、
液体中に含有される気泡を除去する（脱泡と称する）方
法も多数知られている。このような脱泡処理を行なうた
めの装置としてば感光性塗布液を用いる場合は、従来特
公昭４７−６８３５号、特公昭５７−６３６５号、特開
昭５．３−１３９２４７号、特開昭５９−６９１０８号
、特開昭５９−９２００３号、特開昭５９−１５６４０
５号、特開昭６１−５０６０８号等の公報に開示されて
いる超音波脱泡装置が知られている。

また通気性高分子膜によって、脱気と脱泡を行なう方法
もあり、特開昭６．１７９１５号、特開昭６４−３８１
０５号等の公報に開示されている処理方法が知られてい
る。

その例としては第３図に示すように脱気・脱泡しようと
する液体２１を、ポンプ２３により配管２２及び通気性
高分子膜チューブ２４を通し排出口２５より処理装置外
に出す方法であり、その時酸膜チューブ２４の外側で減
圧室２６内を真空ポンプ２７により減圧する方法である
。減圧室２６内の圧は圧力検出器２８によって測定し真
空ポンプ２７によって調節する。

（発明が解決しようとする課題）しかしなから、前者の脱気方法のうち、該液体を減圧下
に置いて脱気する方法は、該液体中に溶存する気体を除
去することは出来ても、微細気泡が該液体中に発生、残
存するという現象がおきる。

また通気性高分子膜を用いて脱気する方法においては、
発泡現象は見られないが、数１００μｍの混入気泡を除
去することは困難である。酸膜に接する形で膜チューブ
外へ徐々に拡散せしめられる効果を期待するにとどまる
。これら、該液体中に含有された気泡は、例えば感光性
塗布液の場合には、塗布装置により基材に塗布されると
均一な感光膜を形成することが出来ないという問題が起
こ又、後者の超音波脱泡装置による脱泡方法は、該感光
性塗布液中に含まれる気泡は除去できても、該液中に溶
存する気体を除去することは困難である。良好な脱気を
達成するためには高い超音波強度を利用して超音波キャ
ビテーションによる気泡の生成を促さねばならず、この
気泡を除去するための付加が増加することになり望まし
くない。これらの脱泡処理をなされた該感光性塗布液は
その中に溶存する気体が飽和あるいは、過飽和になって
おり、例えば該感光性塗布液の液温か上昇したり、剪断
力が加わると溶存していた気体が析出し、基材に塗布し
たときに均一な感光膜を形成することが出来ないという
問題が起こり得る。

このような事情から通気性高分子膜チューブの中を該液
体を通し、該チューブの外側を減圧にして該液体を処理
する際に該液体を加圧することで該液体中の微細気泡を
該液体中へ溶解消滅せしめ、脱気と脱泡を同時に行う方
法及び装置が前記の如く提案された。

しかしなからこれらの方法及び装置も数１００μｍの混
入気泡を該液体の加圧によって該液体中に溶解消滅せし
めて脱気するには非常に長い時間が必要である。このた
め、該通気性高分子膜チューブの容量を処理流量に対し
て十分に大きくすることで気泡の滞留時間を十分に大き
くすることが必要であり、それは設備の大型化、該チュ
ーブの耐圧性の面から望ましくない。特に気泡の滞留時
間を長くすることは、該液体自身の工程内滞留時間が長
くなることであり、特に写真用ハロゲン化銀乳剤の如く
写真性能の劣化や、液温の低下によるゲル化が引き起こ
される問題が生じる。

ゲル化を避けるため、該チューブの収納容器に保温ジャ
ケットをもうける方法もしられているが、該チューブの
外側は減圧されており、熱媒体からの熱供給は効果的で
ない。該チューブの内側を減圧し、外側に被処理液を通
す方法も知られているが、この際には該液体の単位処理
量に対する高分子膜チューブの面積低下による脱気効率
の低下が問題となる。

通常この種の脱気のために用いられる通気性高分子膜は
、撥水性の材質が多く用いられるが、これは高分子膜か
らの溶媒の透過を防ぐ目的で選択がなされる。しかし多
くの材質は非多孔質性の気体透過膜であり、溶媒の透過
はほとんど無視できるレベルであるし、操作条件によっ
て透過しない条件を選択することは容易である。このよ
うな場合、脱気に供される膜が撥水性であることは、該
液体と膜材質との接触を妨げることになり、実質的な接
触面積即ち脱気面積を制限してしまうことになる。

この結果、該チューブの表面積を有効に脱気に供するこ
とが出来ないため、不必要に多大な表面積を有するよう
な、言い換えれば長大なチューブを使用せざるを得ない
ことになる。

前述の問題点に指摘されたように、脱気と脱泡を速やか
に達成するためには該チューブを用いた脱気装置と超音
波による脱泡装置を用いることになり、それぞれの装置
が大きいものになることは、該液体の装置内滞留時間を
必要以上に長いものとし、例えば写真用感光性塗布液な
どでは写真特性の劣化等の問題を引き起こすことになる
。

本発明は以上のごとき事情に基づいてなされたものであ
って、その目的は数１００μｍの混入気泡も単時間で脱
泡し、通気性高分子膜チューブの長さも短くてすみ、写
真性能の劣化や液温の低下によるゲル化を避けることが
出来、しかも溶存気体及び微細気泡を含む液体を単一の
装置によって脱気と脱泡の両者を効率よく達成する方法
及びその装置を提供することにある。

〔課題を解決するだめの手段及び作用〕か−る本発明の
上記目的は（１）通気性高分子膜チューブを用いて液体の脱気・脱
泡を行う方法において、該通気性高分子膜デユープの内
側に該液体を圧送通液し、該チューブの外側に予め脱気
処理を施した液体を通液することを特徴とする液体の脱
気・脱泡方法。

（２）該通気性高分子膜チューブの外側から脱気処理を
施した液体を通して通気性高分子膜に超音波振動を与え
ることを特徴とする請求項（１）記載の液体の脱気・脱
泡方法。

（３）当該予め脱気処理を施した液体が表面張力を予め
６０　ｄｙｎｅ／　ｃｒＱ以下に調整した後、通気性高
分子膜チューブを用いて脱気を行った水であることを特
徴とする請求項（１）又は（２）記載の液体の脱気脱泡
方法。

（４）通気性高分子膜チューブを用いた脱気・脱泡装置
において、脱気・脱泡しようとする液体を通液する第一
の通気性高分子膜チューブと、該第一のチューブを内蔵
する第一の脱気室のチューブの外側に通液可能に接続さ
れた第二の通気性高分子膜チューブと、該第二のチュー
ブを内蔵する第二の脱気室のチューブの外側に通気可能
に接続された減圧手段とを備えたことを特徴とする液体
の脱気・脱泡装置。

（５）前記第一〇脱気室の外壁に超音波振動子を布設し
たことを特徴とする請求項（４）記載の液体の脱気・脱
泡装置。

によって達成される。

本発明において、該チューブの外側に通液する０予め脱気処理を施した液体としては、通常、水を用いる
ことが多い。写真感光材料の塗布液の脱気・脱泡の場合
は純水（蒸留水）を用いることが望ましい。更に望まし
くは、予め表面張力を６０ｄｙｎｅ／　ｃｍ以下に調整
した後、通気性高分子膜チューブを用いて脱気を行った
水であることである。

蒸留水の表面張力は通常７７ｄｙｎｅ／　ｃｙｍである
が、これを６０　ｄｙｎｅ／　ｃｍ以下に下げることに
よって通気性高分子膜の該液体との接触が著しく良くな
り、飛躍的な脱気効率の向上を見出すことが出来る。

表面張力を調整するには、通常知られている界面活性剤
を適量使用すればよいが、特に写真用感光性塗布液の場
合では、アニオンスルホン酸系界面活性剤の如く写真性
能に悪影響を及ぼすことの少ない界面活性剤を選択する
。またこの界面活性剤は、該液体を基板上に塗布せしめ
るための塗れ剤として共用することも可能である。

上記による表面張力調整の処理を施すことで、通気性高
分子膜チューブによる脱気はその効率を格段に向上させ
るため、該チューブの表面積は最１小限度脱気を必要なレベルに保つためのものであればよ
く、脱気・脱泡装置そのものがコンパクトとなり、又、
写真感光材料塗布液の脱気・脱泡の場合該液体の装置内
滞留時間を写真性に変化を与えない程度の短時間に押さ
えることができる。

本発明は、脱気・脱泡しようとする液体を第一の通気性
高分子膜チューブの中を通液し、第一のチューブを内蔵
する第一の脱気室のチューブの外側に、予め脱気処理を
施した液体を通液する。

その予め脱気処理を施した液体は、第一の脱気室のチュ
ーブの外側に通液可能に接続された第二の通気性高分子
膜チューブの中を通り、そのとき第二〇脱気室のチュー
ブの外側に通気可能に接続された減圧手段によって脱気
される。この脱気・脱泡方法は、特開昭６１３８１０５
号、特開昭６４−３８１０６号等に示された方法によっ
て行フ。

本発明は予め脱気処理を施した液体が表面張力を予め６
０ｄｙｎｅ／Ｃｍ以下に調整した後、通気性高分子膜チ
ューブを用いて脱気を行うことにより、２前記第一〇脱気室のチューブ及び第二の脱気室のチュー
ブにおいて上記の作用を果すものである。

本発明において予め脱気処理を施した液体は、第一の通
気性高分子膜チューブ内を通す脱気・脱泡しようとする
液体の温度低下を防ぐため、第の脱気室のチューブを通
ず前、もしくは通した後節−のチューブ外側を通液せし
める前に必要な温度に調整されていることが望ましいが
、第一のチューブを収納する脱気室の外側容器に布設さ
れた保温ジャケットからの熱を第一のチューブ内の液体
に伝える熱伝導媒体として用いても良い。予め脱気処理
を施した液体は第一のチューブ外側を通液せしめる前に
脱気処理を施されているために、第一のチューブの内外
両側には溶存気体の濃度差が生しることになり、膜外側
を減圧することなく膜内側を通液せしめる液体の脱気を
達成することが出来る。脱気度は膜外側を通液せしめる
液体の脱気度を変化させることで必要なレベルに調整す
ることが出来る。

この結果、膜チューブ内を脱気・脱泡すべき液９体を通す際に、酸液の温度低下の懸念が無くなりゲル化
の心配をなくなるので、それによる脱気効率を阻害する
心配がなくなり、必要な滞留時間を満足できる膜チュー
ブ容量を充分に活用することが出来る。

本発明によれば、膜チューブ内に脱気・脱泡すべき液体
を通せるので、保温のために脱気・脱泡ずべき液体を膜
チューブ外を通す場合に比べ、単位体積の該液体光たり
の脱気に供される膜面積を十分にとることが出来る。さ
らに、膜チューブ外を通す際に問題となる該液体の膜チ
ューブ収納容器内デッドスペースでの滞留を皆無とする
ことが出来る。

上記の様に表面張力が６０　ｄｙｎｅ／　ｃｍ以下で脱
気された純水を用い、その純水が又、脱気・脱泡すべき
液体の保温効果を持つことによって、通気性高分子膜チ
ューブの表面積を脱気・脱泡及び保温に十分に活用する
ことが出来るので、該液体に含まれる気泡を液体内に溶
解するだけの時間も満足することが出来、単一の装置に
よって完全な脱気４・脱泡を行なうことが出来る。

しかしなから、特に写真用ハロゲン化銀乳剤の如く、溶
液状態で保存するとき経時によってその写真的特性が変
化する場合には、脱気・脱泡処理も出来るだけ速やかに
行なわれることが望ましい。

通常、通気性高分子膜チューブを用いた脱気・脱泡方法
では、脱泡は通気性高分子膜チューブを液体が通過する
間に、該液体に混入している気泡を該液体中に溶解せし
めた後脱気することによって達成される。しかし、この
気泡の溶解時間は加圧下においても相当の時間を要する
ことが知られている。

そこで本発明においては、第一の脱気室の外壁に超音波
振動子を布設した。超音波の作用を脱泡効果の促進に用
いることは、前記の如く良く知られているが、従来の通
気性高分子膜チューブ（膜チューブともいう）を用いた
脱気装置において超音波振動子を用いることは、該膜チ
ューブ外周が減圧状態であるので、振動子による超音波
を膜チューブ内の液体に有効に作用させることは困難で
５あった。

本発明においては、脱気室の膜チューブ外周が予め脱気
された液体で満されており、超音波は減衰することなく
有効に膜チューブ内の気泡へ伝えられる。さらに該膜チ
ューブ外周の液体は脱気されていることで外周の液体中
では超音波によるキャビテーションが起きにくく、キャ
ビテーションにより発生する微細気泡による超音波エネ
ルギーの減衰をも同時に防くことが出来る。これによっ
て脱気・脱泡速度を更に一段と速めることが出来る。

したがって本発明によれば、通気性高分子膜チューブに
よる脱気処理と、超音波、及び加圧による該液中への気
泡の溶解による脱泡が格段に促進されるので、脱気の促
進により気泡の溶解による該液体の溶存気体の補充があ
っても溶存気体の過飽和状態を生み出すこともない。こ
の過飽和状態はしばしば塗布工程において脱泡処理され
た液体中からの気泡の析出による製品の欠陥を引き起こ
すものである。

６すなわち本発明は、溶存気体及び微細気泡を含む液体を
通気性高分子膜チューブによって脱気・脱泡を行なう処
理方法において、該チューブの外側に予め表面張力を５
　Ｑ　ｄｙｎｅ／　ｃｍ以下に調整した後脱気処理を施
した液体を通液し、該液体によって脱気・脱泡すべき液
体を保温することで、また同時に該チューブを収納する
脱気室の外壁に布設された超音波振動子を働かすことに
よって、効率的な脱気・脱泡を達成するとともに、該混
入した気泡や、過飽和状態の液体から析出した気泡によ
る製品の欠陥を未然に防ぐことが出来るものである。

本発明における通気性高分子膜チューブの材質は写真用
ハロゲン化銀乳剤に用いられる添加剤の溶媒を考慮する
と、ポリ四フッ化エチレンの樹脂が最も好ましい。

次に、本発明の実施態様を図を用いて説明する。

第１図は本発明の液体の脱気・脱泡方法の一実施例を示
すフローシートである。第１図において、脱気・脱泡し
ようとする液体１は配管２を通ってポンプ３によって第
１の通気性高分子膜チューブ４の内側に圧送通液され、
排出口５より脱気・脱泡装置外に出る。第１の通気性高
分子膜チューブ４を内蔵する第１の脱気室６の膜チュー
ブ４の外側には、予め脱気・脱泡処理を施した液体７が
通液され排出口８より排出される。予め脱気・脱泡処理
を施した液体７はその原液９を第２の通気性高分子膜チ
ューブ１０の中を通して供給ポンプ１１で第１の脱気室
６の膜チューブ４の外側に給液されるが、該予め脱気・
脱泡処理を施した液体７は第２の通気性高分子膜チュー
ブ１０を内蔵する第２０脱気室１２の膜チューブ１０の
外側に通気可能に接続された減圧手段である真空ポンプ
１３によって第２の脱気室１２は減圧され、脱気・脱泡
される。

脱気・脱泡しようとする液体１は第１の通気性高分子膜
チューブ４内を通っている間に液体中に溶解された気体
及び気泡を第１の脱気室６のチューブ４の外側を通され
た予め表面張力を６０ｄｙｎｅ／　ｃ＋ｎ以下に調整さ
れ、かつ脱気・脱泡された液体８１の温度に近い温度に調整された液体７と通気性高分子
膜チューブ４を隔て一接することにより、液体１内の溶
解した気体及び気泡は液体７の方に移り、液体１は先に
説明したように脱気・脱泡されて排出口５より糸外に出
る。

第２図は本発明の液体の脱気・脱泡装置で第１の脱気室
外壁に超音波振動子を布設した１実施例のフローシート
を示す。超音波振動子１４は第１の脱気室の外壁に布設
されている外は第１図と同様の符号で示す構成になって
いる。

超音波振動子を布設することにより第１図で示した第１
の通気性高分子膜チューブ４より短い長さのチューブを
用いて、更に迅速に脱気・脱泡を行うことが出来る。

〔実　施　例〕

本発明の処理方法、及び装置を感光材料用塗布液に適用
した例について説明する。但し本発明は本実施例に限定
されるものではない。

感光材料用塗布液において問題となる溶存気体は空気で
あるが、溶存空気の評価については、市９販の溶存酸素計を用いて、脱気装置での処理前と処理後
の溶存酸素の変化量を調べることで脱気された程度を評
価した。

脱気度−（溶存酸素変化量）／（脱気前の溶存酸素量）
上式によって脱気度を定義し、膜チューブの脱気性能の
目安とした。また、脱泡性能については、超音波を利用
した気泡検出器（実開昭６２−１９７６１３号）により
該装置への流入前と流入後において、液体中に混入して
いる気泡の数を比較した。

以下、第２図の実験装置を用いて写真用塗布液の処理を
実施した結果を示す。

（実施例−１）写真用塗布液は、第１表に示すような組成と物性を持つ
ものを用いたが、この実施例は本発明の範囲を限定する
ものではない。本発明ば写真用ノ＼ロゲン化銀乳剤を含
む塗布液においても同等の効０第表脱気・脱泡装置として第２図に示すような装置を用いた
。

脱気・脱泡装置の使用及び条件（ａ）第１の脱気室６通気性高分子膜チューブ４材質；ポリ四フッ化エチレン樹脂製内径１．４ｍｍ、肉厚０．２ｍｍ、長さ５ｍ。

脱気・脱泡しようとする液体ｌ（チューブ内液体）第１表のゼラチン水溶液、流量３００ｃｃ／ｍｉｎ〜６００　ｃｃ／ｍｉｎ予め脱
気・脱泡処理を施した液体７（チュー１ブ外液体）第２の脱気室によって処理された温い純水。

超音波振動子１４超音波周波数４０ｋＨｚ、２個対向配置（ｂ）第２の脱
気室１２通気性高分子膜チューブ１０材質；ポリ四フッ化エチレン樹脂製内径０．４ｍｍ、肉厚Ｑ、２ｍｍ、長さ５ｍ膜チューブ
内液体（原液）９純水（４０°Ｃ）、流量６００　ｃ　ｃ／ｍｉｎ膜チュ
ーブ外真空度：　ｌ　Ｏ０Ｔｏｒｒ±５　Ｔｏｒｒ上記
条件において、ゼラチン水溶液の脱気度、及び処理前後
の気泡個数を確認した。また、脱気温水側についてもあ
らかじめ脱気度を確認した。

第２表には、第２の脱気室の減圧度と得られた脱気温水
の脱気度の関係を示した。また、第３表には脱気・脱泡
システムを用いた結果を示した。

水準は左側に示した二つが比較例であり、通気性高分子
膜チューブの外側を減圧処理した従来のも２のである。それに対し右側の二つが本発明の実施例であ
り、膜チューブ外に第２の脱気室によって脱気処理され
た脱気温水を通液したものである。

第２表３第２表からは減圧度１００Ｔｏｒｒで調製された脱気温
水は２３％の脱気度となっている。

第３表を見ると、本発明の脱気温水を用いた実施例は脱
気度においては真空減圧法に比して若干低いが、明らか
に飽和状態以下に脱気されており、しかもゼラチン溶液
６００　ｃ　ｃ／ｍｉｎを脱気しうることにより明らか
に脱気効率が２倍以上に上アたことが判る。又、気泡個
数が超音波により速かに消滅していることが判る。

また、この装置を通過した高分子水溶液の液温度は、通
過せしめる前と何ら変化のないことも確認された。

（実施例−２）次に純水の表面張力による脱気度の比較について、純水
への界面活性剤の量を変えて表面張力を調整し、それを
第２の脱気室を通した結果の脱気度について比較した（
第４表）。

（Ｃ）第２の脱気室の使用条件。

通気性高分子膜チューブ１０材質；ポリ四フッ化エチレン樹脂製４内径０．４Ｍ、肉厚０．２閣。

長さ５ｍ、１５０本結束膜チューブ内液体（原液９）界面活性剤水溶液（液温２０度）流量２００　ｃ　ｃ／ｍｉｎ膜チューブ外真空度１００Ｔｏｒｒ±５　Ｔｏｒｒ、　２００ＴｏｒｒＶ±
５Ｔｏｒｒ　。

（なお表面張力の測定はリング法によった）第　　　４
　　　表第４表に示されるように、界面活性剤を含まない純水で
は、膜外が１００Ｔｏｒｒまで減圧されてぃても２０％
程度の脱気度でしかない。ところが、ごくわずかの界面
活性剤を添加することによって、３０％以上の脱気度を
得ることができる。特に減圧度がそれほど高くない領域
における効果は著しく、２００Ｔｏｒｒでの例を見れば
、表面張力の効果は倍はどの脱気効果を生み出す。

６０　ｄｙｎｅ／　ｃｍ以下の表面張力では、それ以上
に表面張力を低下せしめても、例えば４０　ｄｙｎｅ／
ｃｍの場合初期の脱気効率向上効果に比して大きい効果
はみられない。

〔発明の効果〕

以上述べたように、通気性高分子膜チューブの内側を脱
気・脱泡の対象の液体、該膜チューブの外側を脱気・脱
泡処理を施した液体を通液せしめることによって、該脱
気・脱泡対象液体内の数１００μｍの混入気泡も十分に
脱気・脱泡することが出来る。

尚、該膜チューブの外側を通す液体が表面張力を予め６
０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下に調整した後、通気性高分子膜チ
ューブを用いて脱気を行った水とすることによって、通
気性高分子膜チューブの長さも短くすることが可能であ
る。

更にその水の温度を脱気・脱泡対象液体に適した温度に
することによって、写真感光材料の場合は写真性能の劣
化や液温の低下によるゲル化を避けることができる。

又、更に該第一のチューブを内蔵する第１の脱気室の外
壁に超音波振動子を布設することによって、混入してい
る微細気泡をも速やかに溶解消滅せしめることができる
ので、通気性高分子膜チューブの長さを更に短くするこ
とが出来、写真性能の劣化や液温の低下によるゲル化を
十分避けることが出来る。

また脱気と脱泡が同時に行なわれることにより、多数の
微細気泡を溶解消滅せしめても、該液体は溶存空気過飽
和状態にならず、圧力の変化や液温度の変化による気泡
の液中からの再析出の心配がない。とくに写真用ハロゲ
ン化銀感光材料に用いる塗布液のように基材上に塗布さ
れた際に気泡の存在が重大な品質欠陥となる場合に、本
脱気・脱７潮力法及びその装置を用いることで、基材上に塗布され
た感光膜を均一なものとすることができる。

以上の如く、本発明の液体の脱気・脱泡方法及び装置を
用いることによって、脱気・脱泡すべき液体の、効率的
な脱気・脱泡を達成し、該液体の必要滞留時間を短縮化
することで脱気装置の大型化を防ぎ、本発明の効果をよ
り高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の概略説明図、第２図は本発
明の他の一実施例を示す概略図、第３図は従来の通気性
高分子膜チューブを用いた脱気装置である。１・・脱気・脱泡しようとする液体２・・配管３・・ポンプ４・・第１の通気性高分子膜チューブ５・・排出口６・・第１の脱気室７・・予め脱気・脱泡処理を施した液体８・排出口・原液・・第２の通気性高分子膜チューブ・・供給ポンプ・・第２の脱気室・・真空ポンプ・・超音波振動子・・脱気・脱泡しようとする液体・・配管・・ポンプ・・通気性高分子膜チューブ・・排出口・・減圧室・・真空ポンプ・・圧力検出器９

Claims

【特許請求の範囲】

（１）通気性高分子膜チューブを用いて液体の脱気・脱
泡を行う方法において、該通気性高分子膜チューブの内
側に該液体を圧送通液し、該チューブの外側に予め脱気
処理を施した液体を通液することを特徴とする液体の脱
気・脱泡方法。
（２）該通気性高分子膜チューブの外側から脱気処理を
施した液体を通して通気性高分子膜に超音波振動を与え
ることを特徴とする請求項（１）記載の液体の脱気・脱
泡方法。
（３）当該予め脱気処理を施した液体が表面張力を予め
６０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下に調整した後、通気性高分子膜
チューブを用いて脱気を行った水であることを特徴とす
る請求項（１）又は（２）記載の液体の脱気・脱泡方法
。
（４）通気性高分子膜チューブを用いた脱気、脱泡装置
において、脱気・脱泡しようとする液体を通液する第一
の通気性高分子膜チューブと、該第一のチューブを内蔵
する第一の脱気室のチューブの外側に通液可能に接続さ
れた第二の通気性高分子膜チューブと、該第二のチュー
ブを内蔵する第二の脱気室のチューブの外側に通気可能
に接続された減圧手段とを備えたことを特徴とする液体
の脱気・脱泡装置。
（５）前記第一の脱気室の外壁に超音波振動子を布設し
たことを特徴とする請求項（４）記載の液体の脱気・脱
泡装置。