JPH0319231Y2 - - Google Patents
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- JPH0319231Y2 JPH0319231Y2 JP101186U JP101186U JPH0319231Y2 JP H0319231 Y2 JPH0319231 Y2 JP H0319231Y2 JP 101186 U JP101186 U JP 101186U JP 101186 U JP101186 U JP 101186U JP H0319231 Y2 JPH0319231 Y2 JP H0319231Y2
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- JP
- Japan
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- substrate
- mos
- region
- diffused
- mos fets
- Prior art date
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 9
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
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Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本考案は高耐圧MOS FETを用いたスイツチ
回路の集積度の向上に関するものである。
回路の集積度の向上に関するものである。
[従来の技術]
MOS FETを高耐圧化したい場合に、厚い高
比抵抗層の基板が必要であるため、拡散により電
気的に分離された領域を形成するのが難しい。従
つて、普通は高耐圧MOS FETはデイスクリー
トな部品になる。唯一、ソースと基板が同電位に
なるようなMOS FETにおいて、ソースが共通
のMOS FETを2個以上1チツプ上に集積化し
たものがあつた。
比抵抗層の基板が必要であるため、拡散により電
気的に分離された領域を形成するのが難しい。従
つて、普通は高耐圧MOS FETはデイスクリー
トな部品になる。唯一、ソースと基板が同電位に
なるようなMOS FETにおいて、ソースが共通
のMOS FETを2個以上1チツプ上に集積化し
たものがあつた。
第3図は、このような従来例のスイツチ回路の
構成断面図であり、第4図は第3図の等価回路図
である。
構成断面図であり、第4図は第3図の等価回路図
である。
これらの図で、1はp型基板、2は基板1上に
形成された絶縁性を有する酸化膜であり例えば二
酸化シリコン(SiO2)で構成されている。
形成された絶縁性を有する酸化膜であり例えば二
酸化シリコン(SiO2)で構成されている。
Q1及びQ2は基板1上に形成されたMOS
FETである。
FETである。
第1のMOS FETQ1において、3はp型領
域、4はn型領域であり、これらによりソース領
域を構成する。
域、4はn型領域であり、これらによりソース領
域を構成する。
5はソース電極であり、領域3,4上に形成さ
れている。
れている。
6はゲート電極であり、酸化膜2上に形成され
ている。
ている。
7はドレイン領域を構成するn型領域である。
8はn型領域7上に形成されたドレイン電極で
ある。
ある。
これらの電極5,6,8は例えばアルミニウム
で構成されている。
で構成されている。
9は高耐圧化のためのドリフトチヤネルであ
り、n-領域で構成されている。
り、n-領域で構成されている。
第2のMOS FETQ2も、p型領域3とソース
電極5を共通に用いて第1のMOS FETQ1と同
様な構成になつている。すなわち、各構成要素1
0,11,12,13,14はそれぞれ4,6,
7,8,9に対応している。
電極5を共通に用いて第1のMOS FETQ1と同
様な構成になつている。すなわち、各構成要素1
0,11,12,13,14はそれぞれ4,6,
7,8,9に対応している。
このような構成のスイツチ回路で、MOS
FETQ1のドレイン8から入力を与え、MOS
FETQ2のドレイン13から出力を取出す。ま
た、Q1とQ2のゲート6と11を共通に接続し
た端子とソース電極6の間にオン・オフ制御のた
めの制御電圧を印加する。
FETQ1のドレイン8から入力を与え、MOS
FETQ2のドレイン13から出力を取出す。ま
た、Q1とQ2のゲート6と11を共通に接続し
た端子とソース電極6の間にオン・オフ制御のた
めの制御電圧を印加する。
[考案が解決しようとする問題点]
しかし、本出願人による昭和60年12月19日提出
の「スイツチ回路」の出願明細書に記載されてい
るように、MOS FETに流れる電流を制限して
破壊を防止するために、2個のMOS FETのソ
ースとソースの間に抵抗を入れた回路構成にする
必要がある。このように構成すると、実際の集積
回路では、MOS FETのソース領域と、基板と、
抵抗を構成する拡散領域から構成される寄生トラ
ンジスタがスイツチの動作を妨げるという問題点
があつた。
の「スイツチ回路」の出願明細書に記載されてい
るように、MOS FETに流れる電流を制限して
破壊を防止するために、2個のMOS FETのソ
ースとソースの間に抵抗を入れた回路構成にする
必要がある。このように構成すると、実際の集積
回路では、MOS FETのソース領域と、基板と、
抵抗を構成する拡散領域から構成される寄生トラ
ンジスタがスイツチの動作を妨げるという問題点
があつた。
本考案はこのような問題点を解決するためにな
されたものであり、2つのMOS FETのソース
とソースの間に電流制限用の抵抗を入れた回路接
続にしても、スイツチ回路を構成する集積回路に
おいてMOS FETと電流制限用の抵抗によつて
構成される寄生トランジスタの影響を受けること
がないスイツチ回路を実現することを目的とす
る。
されたものであり、2つのMOS FETのソース
とソースの間に電流制限用の抵抗を入れた回路接
続にしても、スイツチ回路を構成する集積回路に
おいてMOS FETと電流制限用の抵抗によつて
構成される寄生トランジスタの影響を受けること
がないスイツチ回路を実現することを目的とす
る。
[問題点を解決するための手段]
本考案は、
2個のMOS FETをソースどうしを接続し、
一方のMOS FETのドレインに入力を与え、他
方のMOS FETのドレインから出力を取り出す
とともに、2個のMOS FETのゲートの共通接
続点と、ソースの共通接続点の間にオン・オフ制
御のための制御電圧を与える回路接続になつたス
イツチ回路において、 p型またはn型の基板と、 該基板に形成されていて、基板の導電型と異な
る導電型チヤネルになつた2個のMOS FETと、 基板に形成されていて、基板の導電型と異なる
導電型の拡散領域で構成されていて、前記2個の
MOS FETのソース領域とソース領域の間に位
置している2個の拡散抵抗と、 基板面上に形成されていて、前記2個の拡散抵
抗を前記2個のMOS FETのソース領域とソー
ス領域の間に直列接続する電極と、 基板に形成されていて、基板の導電型と同一の
導電型で、前記2個の拡散抵抗の周囲を囲み、
MOS FETのソース領域と拡散抵抗の間を通つ
ていて、前記ソース領域、基板および拡散抵抗に
よつて構成される寄生トランジスタの動作を阻止
するバイアス防止用拡散領域、 を具備したことを特徴とするスイツチ回路であ
る。
一方のMOS FETのドレインに入力を与え、他
方のMOS FETのドレインから出力を取り出す
とともに、2個のMOS FETのゲートの共通接
続点と、ソースの共通接続点の間にオン・オフ制
御のための制御電圧を与える回路接続になつたス
イツチ回路において、 p型またはn型の基板と、 該基板に形成されていて、基板の導電型と異な
る導電型チヤネルになつた2個のMOS FETと、 基板に形成されていて、基板の導電型と異なる
導電型の拡散領域で構成されていて、前記2個の
MOS FETのソース領域とソース領域の間に位
置している2個の拡散抵抗と、 基板面上に形成されていて、前記2個の拡散抵
抗を前記2個のMOS FETのソース領域とソー
ス領域の間に直列接続する電極と、 基板に形成されていて、基板の導電型と同一の
導電型で、前記2個の拡散抵抗の周囲を囲み、
MOS FETのソース領域と拡散抵抗の間を通つ
ていて、前記ソース領域、基板および拡散抵抗に
よつて構成される寄生トランジスタの動作を阻止
するバイアス防止用拡散領域、 を具備したことを特徴とするスイツチ回路であ
る。
[実施例]
以下、図面を用いて本考案を説明する。
第1図は本考案にかかるスイツチ回路の一実施
例の構成断面図、第2図は第1図の等価回路図で
ある。図で、第3図及び第4図と同一のものは同
一符号を付ける。
例の構成断面図、第2図は第1図の等価回路図で
ある。図で、第3図及び第4図と同一のものは同
一符号を付ける。
MOS FETQ1及びQ2のソース領域を構成す
るp型領域は15と16のように別々に設けら
れ、またソース電極も17と18のように別々に
設けられている。
るp型領域は15と16のように別々に設けら
れ、またソース電極も17と18のように別々に
設けられている。
19及び20はn型の拡散抵抗である。これら
の抵抗19及び20はp型領域21で基板1と接
続し、他端はMOS FETQ1及びQ2のソースに
夫々接続されている。
の抵抗19及び20はp型領域21で基板1と接
続し、他端はMOS FETQ1及びQ2のソースに
夫々接続されている。
p型領域21は、基板の板面方向には第1図の
破線で示すように拡がつていて、抵抗19と20
を基板上で囲んでいる。このp型領域21は、請
求範囲でいうバイアス防止用拡散領域に相当す
る。
破線で示すように拡がつていて、抵抗19と20
を基板上で囲んでいる。このp型領域21は、請
求範囲でいうバイアス防止用拡散領域に相当す
る。
22は拡散抵抗19及び20の中間接続点Sに
接続された電極であり、例えばアルミニウムで形
成されている。
接続された電極であり、例えばアルミニウムで形
成されている。
第2図のR21,R22は、基板1の寄生抵抗であ
る。
る。
高耐圧素子では、通常基板は高い比抵抗を必要
とする。例えば、耐圧が1000V級の場合は、比抵
抗は100Ωcm程度になる。従つて、基板の厚さを
500μmとすれば、基板のシート抵抗は2kΩ/□
となり、第1図の一点鎖線で示す領域Bの幅Wに
対しMOS FETまでの距離Lを同程度以上とれ
ば、寄生抵抗R21は容易に数kΩになる。R11,
R12(拡散抵抗17及び18に相当する抵抗)が
10〜100Ω程度であれば、これと並列接続された
寄生抵抗R21,R22は無視できる。
とする。例えば、耐圧が1000V級の場合は、比抵
抗は100Ωcm程度になる。従つて、基板の厚さを
500μmとすれば、基板のシート抵抗は2kΩ/□
となり、第1図の一点鎖線で示す領域Bの幅Wに
対しMOS FETまでの距離Lを同程度以上とれ
ば、寄生抵抗R21は容易に数kΩになる。R11,
R12(拡散抵抗17及び18に相当する抵抗)が
10〜100Ω程度であれば、これと並列接続された
寄生抵抗R21,R22は無視できる。
このようなスイツチ回路で、MOS FETQ1の
ソース8に入力が与えられ、MOS FETQ2のソ
ース13からは出力が取出される。また、MOS
FETQ1,Q2のゲートの共通接続点と拡散抵抗
19,20の中間接続点Sの間にオン・オフ制御
のための制御電圧が印加される。これら共通接続
点と中間接続点の間にはシヤント抵抗とコンデン
サ(図示せず)が並列接続されている。
ソース8に入力が与えられ、MOS FETQ2のソ
ース13からは出力が取出される。また、MOS
FETQ1,Q2のゲートの共通接続点と拡散抵抗
19,20の中間接続点Sの間にオン・オフ制御
のための制御電圧が印加される。これら共通接続
点と中間接続点の間にはシヤント抵抗とコンデン
サ(図示せず)が並列接続されている。
なお、基板1、MOS FETQ1,Q2、拡散抵
抗19,20、領域21の導電型(p型、n型)
は実施例と逆であつてもよい。
抗19,20、領域21の導電型(p型、n型)
は実施例と逆であつてもよい。
また、p型領域21で囲む領域内に拡散抵抗の
他にコンデンサ、FET等を集積化してもよい。
他にコンデンサ、FET等を集積化してもよい。
[効果]
本考案に係るスイツチ回路によれば、拡散抵抗
19,20はp型領域21で囲まれているため、
夫々の領域における基板電位が一定になり、領域
4,12と基板1と拡散抵抗19,20で構成さ
れるnpn接合の寄生トランジスタが順バイアスさ
れて動作するのが防止される。これによつて、2
つのMOS FETのソースとソースの間に電流制
限用の抵抗を入れてMOS FETの破壊を防止す
る回路構成にしても、スイツチ回路を構成する集
積回路で、MOS FETと、基板と、電流制限用
の抵抗とによつて構成される寄生トランジスタが
順バイアスされてスイツチ動作を妨げることを防
止できる。
19,20はp型領域21で囲まれているため、
夫々の領域における基板電位が一定になり、領域
4,12と基板1と拡散抵抗19,20で構成さ
れるnpn接合の寄生トランジスタが順バイアスさ
れて動作するのが防止される。これによつて、2
つのMOS FETのソースとソースの間に電流制
限用の抵抗を入れてMOS FETの破壊を防止す
る回路構成にしても、スイツチ回路を構成する集
積回路で、MOS FETと、基板と、電流制限用
の抵抗とによつて構成される寄生トランジスタが
順バイアスされてスイツチ動作を妨げることを防
止できる。
第1図は本考案にかかるスイツチ回路の一実施
例の構成断面図、第2図は第1図の等価回路図、
第3図はスイツチ回路の従来例の構成断面図、第
4図は第3図の等価回路図である。 1……基板、Q1,Q2……MOS FET、1
9,20……拡散抵抗、21……p型領域。
例の構成断面図、第2図は第1図の等価回路図、
第3図はスイツチ回路の従来例の構成断面図、第
4図は第3図の等価回路図である。 1……基板、Q1,Q2……MOS FET、1
9,20……拡散抵抗、21……p型領域。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 2個のMOS FETをソースどうしを接続し、
一方のMOS FETのドレインに入力を与え、他
方のMOS FETのドレインから出力を取り出す
とともに、2個のMOS FETのゲートの共通接
続点と、ソースの共通接続点の間にオン・オフ制
御のための制御電圧を与える回路接続になつたス
イツチ回路において、 p型またはn型の基板と、 該基板に形成されていて、基板の導電型と異な
る導電型チヤネルになつた2個のMOS FETと、 基板に形成されていて、基板の導電型と異なる
導電型の拡散領域で構成されていて、前記2個の
MOS FETのソース領域とソース領域の間に位
置している2個の拡散抵抗と、 基板面上に形成されていて、前記2個の拡散抵
抗を前記2個のMOS FETのソース領域とソー
ス領域の間に直列接続する電極と、 基板に形成されていて、基板の導電型と同一の
導電型で、前記2個の拡散抵抗の周囲を囲み、
MOS FETのソース領域と拡散抵抗の間を通つ
ていて、前記ソース領域、基板および拡散抵抗に
よつて構成される寄生トランジスタの動作を阻止
するバイアス防止用拡散領域、 を具備したことを特徴とするスイツチ回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP101186U JPH0319231Y2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP101186U JPH0319231Y2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62114459U JPS62114459U (ja) | 1987-07-21 |
JPH0319231Y2 true JPH0319231Y2 (ja) | 1991-04-23 |
Family
ID=30778517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP101186U Expired JPH0319231Y2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0319231Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8207580B2 (en) * | 2009-05-29 | 2012-06-26 | Power Integrations, Inc. | Power integrated circuit device with incorporated sense FET |
-
1986
- 1986-01-08 JP JP101186U patent/JPH0319231Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62114459U (ja) | 1987-07-21 |
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