JPH03185626A - 磁気ディスクの磁性膜塗布方法 - Google Patents

磁気ディスクの磁性膜塗布方法

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JPH03185626A
JPH03185626A JP32249589A JP32249589A JPH03185626A JP H03185626 A JPH03185626 A JP H03185626A JP 32249589 A JP32249589 A JP 32249589A JP 32249589 A JP32249589 A JP 32249589A JP H03185626 A JPH03185626 A JP H03185626A
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Japan
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temp
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spindle
temperature
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JP32249589A
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Shigeto Mishima
三島 茂斗
Takeshi Nagaya
長屋 健
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Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は磁気ディスクの磁性膜塗布方法にかかり、特に
均一な膜厚を得るのに好適な磁気ディスクの磁性膜塗布
方法に関する。
[従来の技術] 従来技術としては、特開昭57−27439号公報及び
特開昭60−89824号公報に開示されているように
、磁気ディスク基板の回転数と塗料塗布後の放置時間等
を制御して、目的の膜厚になるように制御するものが知
られている。
[発明が解決しようとする課題] 上記した従来技術においては、磁気ディスク基板の温度
について配慮されておらず、磁性膜の薄膜化に伴い、製
造された磁気ディスクにおける膜厚不良の発生が増大し
、生産性が低下するという問題点があった。
本発明は上記した従来技術の問題点に鑑みなされたもの
で、磁性膜塗布厚の精度を向上させて磁気ディスクの生
産性を向上させることが可能な磁気ディスクの磁性膜塗
布方法を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明の磁気ディスクの磁性膜塗布方法は、回転する磁
気ディスク基板上に磁性膜を形成するための塗料を塗布
する磁気ディスクの磁性膜塗布方法に適用されるもので
あり、特に上記磁気ディスク基板の温度を、磁気ディス
ク基板を回転させるスピンドルの温度及び磁気ディスク
基板の雰囲気の温度を一定値に制御しつつ、塗料を塗布
することを特徴としている。
[作用] 本発明によれば、磁気ディスク基板を回転させるスピン
ドルの温度と基板の雰囲気温度とによって一定値に制御
される。したがって、磁気ディスク基板の温度が高い場
合には、塗布された塗料の粘性は高く、逆に磁気ディス
ク基板の温度が低い場合には、塗布された塗料の粘性は
低くなる。したがって、磁気ディスク基板の回転による
塗料の振切り状態及び拡散状態が磁気ディスク基板の温
度によって微妙に変化し、膜厚に有意差が生じる。
したがって、磁気ディスク基板の温度を一定に制御する
ことにより、磁気ディスク基板上の塗料の粘性が一定に
なり、磁気ディスク基板毎の膜厚のバラツキがなくなり
、均一な膜厚の磁気ディスクを量産することが可能にな
る。
[実施例] 以下添付の図面に示す実施例を用いて、さらに詳細に本
発明について説明する。
第1図は、本発明の一実施例を示す説明図である。第1
図に示すように、磁気ディスク用のアルミ基板1をスピ
ンドル2に把持する。スピンドル2はモータ3の回転駆
動力をベルト4を介して受け、回転可能に形成されてい
る。チャンバ5は、アルミ基板1の回転に伴ってその外
周から飛散する塗料を捕捉するものである。アルミ基板
lの両側には、塗料を塗布するノズル6が配置され、図
示されていない油圧シリンダを駆動源とし、矢印で示す
ようにアルミ基板1の径方向に移動可能な構造になって
いる。また、アルミ基板1の温度を制御するために、上
部に空気供給ユニット7を配置し、常時温度制御した空
気を供給し、アルミ基板lの雰囲気温度を制御する。こ
の空気供給ユニット7は、チャンバ5の内部に設けても
良い。また、スピンドル2の温度は、スピンドル2自体
の摩擦トルクで制御する。ここで、摩擦トルクとは、停
止状態にあるスピンドル2を回転させるために必要なト
ルクを言い、スピンドル2のボールベアリング等による
発熱と経験的に等価な値である。
この摩擦トルクを大きくするとスピンドル2の温度が高
くなり、アルミ基板1の温度を高い値に制御することが
できる。
第2図は、第1図に示す実施例において得られるアルミ
基板lの塗布厚とアルミ基板1の温度との関係の一例を
示す図である。これによれば、塗布膜厚は0025μm
/degの割合で変化する。
第3図はスピンドル2の摩擦トルクとアルミ基板上の温
度との関係を示す。第3図から明らかなように、アルミ
基板1の温度は、0.03deg/ g c mの割合
で変化する。
なお、スピンドル2の温度を制御する方法としては、例
えばスピンドル2の内部に温度制御した水や浦等を循環
させる方法や、スピンドル2の外部に温度制御した空気
や水を吹き付けるようにしても良い。
[発明の効果] 本発明によれば、塗布膜厚の安定制御ができ、基板毎の
膜厚のバラツキが縮小できるので、膜厚精度の向上を図
ることができ、磁気ディスクの生産性を向上させる効果
がある。
また、塗布装置の違いに起因するスピンドル回転数及び
塗布時間等の塗布条件の差が小さくなり、塗布装置の調
整が容易になる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す説明図、第2図は第
1図に示す実施例を実行して製造されるアルミ基板1の
塗布厚とアルミ基板1の温度の関係を示す図、第3図は
第1図に示すスピンドルの摩擦トルクとアルミ基板の温
度との関係を示す図である。 1・・・アルミ基板、2・・・スピンドル、3・・・モ
ータ、4・・・ベルト、5・・・チャンバ、6・・・ノ
ズル1.7・・・空気供給ユニット。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、回転する磁気ディスク基板上に磁性膜を形成するた
    めの塗料を塗布する磁気ディスクの磁性膜塗布方法にお
    いて、上記磁気ディスク基板の温度を、磁気ディスク基
    板を回転させるスピンドルの温度及び磁気ディスク基板
    の雰囲気の温度を一定値に制御しつつ、塗料を塗布する
    ことを特徴とする磁気ディスクの磁性膜塗布方法。
JP32249589A 1989-12-14 1989-12-14 磁気ディスクの磁性膜塗布方法 Expired - Lifetime JPH0711862B2 (ja)

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JP32249589A JPH0711862B2 (ja) 1989-12-14 1989-12-14 磁気ディスクの磁性膜塗布方法

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JPH03185626A true JPH03185626A (ja) 1991-08-13
JPH0711862B2 JPH0711862B2 (ja) 1995-02-08

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ID=18144283

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JP (1) JPH0711862B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1571444A2 (en) 2004-01-27 2005-09-07 Ngk Spark Plug Co., Ltd Gas detecting system

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1571444A2 (en) 2004-01-27 2005-09-07 Ngk Spark Plug Co., Ltd Gas detecting system

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JPH0711862B2 (ja) 1995-02-08

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