JPH03180778A - 信号波形検出装置の結晶保持構造 - Google Patents
信号波形検出装置の結晶保持構造Info
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- JPH03180778A JPH03180778A JP1318886A JP31888689A JPH03180778A JP H03180778 A JPH03180778 A JP H03180778A JP 1318886 A JP1318886 A JP 1318886A JP 31888689 A JP31888689 A JP 31888689A JP H03180778 A JPH03180778 A JP H03180778A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
電気光学効果を利用して高速度の電気信号波形を観測す
ることができる信号波形検出装置の結晶保持構造の改良
に関し、 ＬＳＩの入出力端子と電気光学結晶との接触を確実にし
、且つ平滑な光反射面を得ることを目的とし、 ＬＳｔテスタで駆動されているＬＳＩの端子電圧波形を
レーザと電気光学結晶を用いて測定する信号波形検出装
置において、一方の面にパフォーマンスボードを貫通す
るコンタクトピン（２２ａ）を介し被測定ＬＳＩの入出
力端子と導通可能なスプリングコンタクトピンを備え、
他方の面に光学結晶と接触し、且つ測定用レーザ光を反
射する電極を備えた保持板と、両面が平行に研磨された
電気光学結晶と、上記電気光学結晶と接触する面に透明
導電膜が設けられ、他方の面に無反射膜が設けられたガ
ラス板とを具備し、前記保持板と電気光学結晶とガラス
板とがガードリングによりＬＳＩテストヘッドのパフォ
ーマンスボードに固定されるように構成する。
ることができる信号波形検出装置の結晶保持構造の改良
に関し、 ＬＳＩの入出力端子と電気光学結晶との接触を確実にし
、且つ平滑な光反射面を得ることを目的とし、 ＬＳｔテスタで駆動されているＬＳＩの端子電圧波形を
レーザと電気光学結晶を用いて測定する信号波形検出装
置において、一方の面にパフォーマンスボードを貫通す
るコンタクトピン（２２ａ）を介し被測定ＬＳＩの入出
力端子と導通可能なスプリングコンタクトピンを備え、
他方の面に光学結晶と接触し、且つ測定用レーザ光を反
射する電極を備えた保持板と、両面が平行に研磨された
電気光学結晶と、上記電気光学結晶と接触する面に透明
導電膜が設けられ、他方の面に無反射膜が設けられたガ
ラス板とを具備し、前記保持板と電気光学結晶とガラス
板とがガードリングによりＬＳＩテストヘッドのパフォ
ーマンスボードに固定されるように構成する。
本発明は電気光学効果を利用して高速度の電気信号波形
を観測することができる信号波形検出装置の結晶保持構
造に関する。
を観測することができる信号波形検出装置の結晶保持構
造に関する。
ＬＳＩ等の半導体素子を製造、利用する上で、素子内外
の信号波形を正確に測定しておくことが、必要不可欠と
なっている。しかしながら、近年の素子の高速化に伴い
、従来のＬＳＩテスタなどを用いた電気的な測定方式で
は、正確な測定が難しくなって来ている。そのため、半
導体素子基板結晶の電気光学効果を用いた光学式の信号
波形測定方式が考案され、高速信号が計測できることが
確δ忍されている。（例えば、Ｊ、Ａ、Ｖａｌｄｍａｎ
ｉｓ ａｎｄＧ、Ｍｏｕｒｏｕ、”５ｕｂｐｉｃｏｓｅ
ｃｏｎｄ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ｓａｍｐｌｉｎｇ
：ｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓ ａｎｄ ａｐｐｌｉｃａｔｉ
ｏｎ” ＩＥＥＥ ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦＱＵＡＮＴＬ
ＩＭ ｔＥＬＥｃＴＲＯＮＩｃｓ、 ＶＯＬ、
ＱＥ−２２，ＰＰ、６９−７８ 等）また、本出願人
によって、検出用結晶の上に被検ＬＳＩを積載し、電気
信号の波形測定を行う検出方式が提案されているが、測
定精度および操作性の向上が要望されている。
の信号波形を正確に測定しておくことが、必要不可欠と
なっている。しかしながら、近年の素子の高速化に伴い
、従来のＬＳＩテスタなどを用いた電気的な測定方式で
は、正確な測定が難しくなって来ている。そのため、半
導体素子基板結晶の電気光学効果を用いた光学式の信号
波形測定方式が考案され、高速信号が計測できることが
確δ忍されている。（例えば、Ｊ、Ａ、Ｖａｌｄｍａｎ
ｉｓ ａｎｄＧ、Ｍｏｕｒｏｕ、”５ｕｂｐｉｃｏｓｅ
ｃｏｎｄ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ｓａｍｐｌｉｎｇ
：ｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓ ａｎｄ ａｐｐｌｉｃａｔｉ
ｏｎ” ＩＥＥＥ ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦＱＵＡＮＴＬ
ＩＭ ｔＥＬＥｃＴＲＯＮＩｃｓ、 ＶＯＬ、
ＱＥ−２２，ＰＰ、６９−７８ 等）また、本出願人
によって、検出用結晶の上に被検ＬＳＩを積載し、電気
信号の波形測定を行う検出方式が提案されているが、測
定精度および操作性の向上が要望されている。
第３図に従来の信号波形検出装置の概略構成を示す。こ
れは同図に示すように被測定ＬＳＩ １を動作させる
ための外部ＬＳＩ駆動機構２と、一方の面にＬＳＩ
ｌの入出力端子１ａに接触するスポット状電極３ａを、
他方の面にアース用の透明導電膜を有する薄板状の電気
光学結晶３と、レーザ発生機構４と、該レーザ発生機構
からのレーザ光５を電気光学結晶３のスポット状電極３
ａに入射させる光走査部６と、スポット状電極３ａから
の反射光を分岐するビームスプリッタ７と、分岐された
光を受光する受光部８と、これらを制御及び信号を処理
する制御部９等を具備し、図示なきＬＳＩテストヘッド
に配設されている。そして、外部ＬＳＩ駆動機構２によ
り駆動されているＬＳＩ １の端子電圧によって、電
気光学結晶３内に誘起される複屈折性の変化を反射往復
するレーザ光の偏光状態の変化（円偏光からダ円偏光と
なる）として観測し、この偏光状態の変化量から端子電
圧、ひいては信号波形を検出するようになっている。
れは同図に示すように被測定ＬＳＩ １を動作させる
ための外部ＬＳＩ駆動機構２と、一方の面にＬＳＩ
ｌの入出力端子１ａに接触するスポット状電極３ａを、
他方の面にアース用の透明導電膜を有する薄板状の電気
光学結晶３と、レーザ発生機構４と、該レーザ発生機構
からのレーザ光５を電気光学結晶３のスポット状電極３
ａに入射させる光走査部６と、スポット状電極３ａから
の反射光を分岐するビームスプリッタ７と、分岐された
光を受光する受光部８と、これらを制御及び信号を処理
する制御部９等を具備し、図示なきＬＳＩテストヘッド
に配設されている。そして、外部ＬＳＩ駆動機構２によ
り駆動されているＬＳＩ １の端子電圧によって、電
気光学結晶３内に誘起される複屈折性の変化を反射往復
するレーザ光の偏光状態の変化（円偏光からダ円偏光と
なる）として観測し、この偏光状態の変化量から端子電
圧、ひいては信号波形を検出するようになっている。
上記従来の信号波形検出装置では、パフォーマンスボー
ドを貫通するコンタクトピン（２２ａ ）の長さ誤差の
ため、電気光学結晶とコンタクトピンとの接触に関して
信頼性が低いという問題がある。
ドを貫通するコンタクトピン（２２ａ ）の長さ誤差の
ため、電気光学結晶とコンタクトピンとの接触に関して
信頼性が低いという問題がある。
結晶に接触した各ＬＳＩ入出力端子に光を走査したとき
、反射光が同じ経路を通って正確に戻ることを満足させ
るために、各端子の光反射面の高い平面度と平行性が要
求される。また電気光学結晶の種類により結晶への透明
導電膜の付着性が悪い場合があるという問題もある。
、反射光が同じ経路を通って正確に戻ることを満足させ
るために、各端子の光反射面の高い平面度と平行性が要
求される。また電気光学結晶の種類により結晶への透明
導電膜の付着性が悪い場合があるという問題もある。
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、ＬＳＩ入出力端子
と電気光学結晶との接触を確実にし、且つ平滑な光反射
面を得ることができる信号波形検出装置の結晶保持構造
を提供することを目的とする。
と電気光学結晶との接触を確実にし、且つ平滑な光反射
面を得ることができる信号波形検出装置の結晶保持構造
を提供することを目的とする。
上記目的を遠戚するために本発明の信号波形検出装置で
は、ＬＳＩテスタで駆動されているＬＳＩの端子電圧波
形をレーザと電気光学結晶を用いて測定する信号波形検
出装置における結晶保持構造であって、一方の面１０ａ
にパフォーマンスボードを貫通するコンタクトピン２２
ａを介し被測定ＬＳＩ ２３の入出力端子と導通可能な
スプリングコンタクトピン１６を備え、他方の面は平面
に研磨され電気光学結晶１１と接触し、且つ測定用レー
ザ光を反射する電極１８を備えた保持板１０と、両面が
平行に研磨された電気光学結晶１１と、前記電気光学結
晶１１と接触する面に透明導電膜１９が設けられ、他方
の面に無反射膜２０が設けられたガラス板１２とを具備
し、前記保持板１０と電気光学結晶１１とガラス板１２
とが重ねられてガードリング２４によりＬＳＩテストヘ
ッド２１のパフォーマンスボード２２に固定されている
ことを特徴とする。
は、ＬＳＩテスタで駆動されているＬＳＩの端子電圧波
形をレーザと電気光学結晶を用いて測定する信号波形検
出装置における結晶保持構造であって、一方の面１０ａ
にパフォーマンスボードを貫通するコンタクトピン２２
ａを介し被測定ＬＳＩ ２３の入出力端子と導通可能な
スプリングコンタクトピン１６を備え、他方の面は平面
に研磨され電気光学結晶１１と接触し、且つ測定用レー
ザ光を反射する電極１８を備えた保持板１０と、両面が
平行に研磨された電気光学結晶１１と、前記電気光学結
晶１１と接触する面に透明導電膜１９が設けられ、他方
の面に無反射膜２０が設けられたガラス板１２とを具備
し、前記保持板１０と電気光学結晶１１とガラス板１２
とが重ねられてガードリング２４によりＬＳＩテストヘ
ッド２１のパフォーマンスボード２２に固定されている
ことを特徴とする。
保持板１０はその一方の面１０ａに設けたスプリングコ
ンタクトピン１６によりＬＳＩの入出力端子の凹凸を吸
収することができる。また該保持板の他方の面、即ち電
気光学結晶１１と接触する面は、スプリングコンタクト
ピンが挿入されている孔に金属を充填した状態で研磨す
ることにより、平面が得られ、この金属部分に金を蒸着
することにより良好な光反射面が得られる。また透明導
電膜１９が形成されたガラス板１２はその透明導電膜１
９で電気光学結晶のアースをとることができる。
ンタクトピン１６によりＬＳＩの入出力端子の凹凸を吸
収することができる。また該保持板の他方の面、即ち電
気光学結晶１１と接触する面は、スプリングコンタクト
ピンが挿入されている孔に金属を充填した状態で研磨す
ることにより、平面が得られ、この金属部分に金を蒸着
することにより良好な光反射面が得られる。また透明導
電膜１９が形成されたガラス板１２はその透明導電膜１
９で電気光学結晶のアースをとることができる。
第１図及び第２図は本発明の実施例を示す図であり、第
１図は要部分解図、第２図はＬＳＩテストヘッドに組付
けられた状態を示す図である。
１図は要部分解図、第２図はＬＳＩテストヘッドに組付
けられた状態を示す図である。
第１図において、１０は保持板、１１は電気光学結晶、
１２はガラス板である。保持板１０は、絶縁板１３にＬ
ＳＩの入出力端子に対応した位置に孔が設けられ、液孔
に拡大図に示すようなスプリング１４で付勢されている
接触子１５を有するスプリングコンタクトピン１６が挿
入され、一方の面１０ａに接触子１５が突出するように
固定されている。また該保持板１０の他方の面１０ｂは
前記スプリングコンタクトピン１６が挿入された孔のス
プリングコンタクトピンの背後に金属１７が充填された
後、面１０ｂとともに平面に研磨され、さらに該金属１
７の研磨面に金が蒸着されてスポット状の電極１８が形
成されている。
１２はガラス板である。保持板１０は、絶縁板１３にＬ
ＳＩの入出力端子に対応した位置に孔が設けられ、液孔
に拡大図に示すようなスプリング１４で付勢されている
接触子１５を有するスプリングコンタクトピン１６が挿
入され、一方の面１０ａに接触子１５が突出するように
固定されている。また該保持板１０の他方の面１０ｂは
前記スプリングコンタクトピン１６が挿入された孔のス
プリングコンタクトピンの背後に金属１７が充填された
後、面１０ｂとともに平面に研磨され、さらに該金属１
７の研磨面に金が蒸着されてスポット状の電極１８が形
成されている。
また電気光学結晶１１は両面が平行に研磨されており、
ガラス板１２は、その一方の面に透明導電膜１９がコー
ティングされ、他方の面に無反射コーティング２０が施
されている。
ガラス板１２は、その一方の面に透明導電膜１９がコー
ティングされ、他方の面に無反射コーティング２０が施
されている。
この保持板１０、電気光学結晶１１、及びガラス板１２
は第２図に示すようにＬＳＩテストヘッドに組付けられ
る。
は第２図に示すようにＬＳＩテストヘッドに組付けられ
る。
第２図において、２１はＬＳＩテストヘッドであり、該
ＬＳＩテストヘッドにはパフォーマンスボード２２が取
り付けられており、該パフォーマンスボード上には被測
定ＬＳＩ ２３が載置されている。またガラス板１２の
透明導電膜が形成された面には電気光学結晶１１が載置
され、その上には保持板ＩＯがその電極１８を電気光学
結晶１１に接触するようにして載置されており、これら
が重ねられた状態で金属製のガードリング２４により保
持され、金属製のスペーサ２５を介してパフォーマンス
ボード２２に取り付けられている。そして保持板１０の
スプリングコンタクトピン１６がパフォーマンスボード
を貫通するコンタクトピン２２ａに接触し、ガラス板１
２の透明導電膜１９はガードリング２４、スペーサ２５
を介してパフォーマンスボード２２のアースに接続され
ている。
ＬＳＩテストヘッドにはパフォーマンスボード２２が取
り付けられており、該パフォーマンスボード上には被測
定ＬＳＩ ２３が載置されている。またガラス板１２の
透明導電膜が形成された面には電気光学結晶１１が載置
され、その上には保持板ＩＯがその電極１８を電気光学
結晶１１に接触するようにして載置されており、これら
が重ねられた状態で金属製のガードリング２４により保
持され、金属製のスペーサ２５を介してパフォーマンス
ボード２２に取り付けられている。そして保持板１０の
スプリングコンタクトピン１６がパフォーマンスボード
を貫通するコンタクトピン２２ａに接触し、ガラス板１
２の透明導電膜１９はガードリング２４、スペーサ２５
を介してパフォーマンスボード２２のアースに接続され
ている。
このように構成された本実施例は、光走査部２６により
保持板１０の電極１８を走査して被測定ＬＳＩ ２３の
信号波形の検出を行なうとき、該電極１８は平面度が良
いためレーザ光の正確な反射を行なうことができる。ま
た該電極１８と電気的に接続しているスプリングコンタ
クトピン１６はその伸縮性によりパフォーマンスボード
を貫通するコンタクトビン２２ａの凹凸をカバーして良
好な接触を行なうことができる。さらにガラス板１２の
透明導電膜１９は電気光学結晶１１の光入射面のアース
をとることができ、透明導電膜の形成が困難な電気光学
結晶に対処することができる。
保持板１０の電極１８を走査して被測定ＬＳＩ ２３の
信号波形の検出を行なうとき、該電極１８は平面度が良
いためレーザ光の正確な反射を行なうことができる。ま
た該電極１８と電気的に接続しているスプリングコンタ
クトピン１６はその伸縮性によりパフォーマンスボード
を貫通するコンタクトビン２２ａの凹凸をカバーして良
好な接触を行なうことができる。さらにガラス板１２の
透明導電膜１９は電気光学結晶１１の光入射面のアース
をとることができ、透明導電膜の形成が困難な電気光学
結晶に対処することができる。
以上説明したように本発明によれば、ＬＳＩ人出力出力
ビン晶との接触を確実にし、かつ平滑な光反射面を得る
ことが出来、電圧信号波形を高い精度で測定することが
できる。
ビン晶との接触を確実にし、かつ平滑な光反射面を得る
ことが出来、電圧信号波形を高い精度で測定することが
できる。
第１図は本発明の実施例の要部分解図、第２図は本発明
の実施例がＬＳＩテストヘッドに組付けられた状態を示
す図、 第３図は従来の信号波形検出装置の概略構成を示す図で
ある。 図において、 １０は保持板、 １１は電気光学結晶、 １２はガラス板、 １３は絶縁板、 １４はスプリング、 １５は接触子、 １６はスプリングコンタクトビン、 １７は金属、 １８は電極、 １９は透明導電膜、 ２０は無反射膜、 ２１はＬＳＩテストヘッド、 ２２はパフォーマンスボード、 ２３は被測定ＬＳＩ、 ２４はガードリング、 ２５はスペーサ、 ２６は光走査部 を示す。 第１図 保持板 電気光学結晶 ガラス板 絶縁板 スプリング 接触子 スプリングコンタクトピン 金属 電極 透明導電膜 無反射膜 に組付けられた状態を示す図 第 図 ２６・・・光走査部 従来の信号波形検出装置の概略構成を示す図第 図
の実施例がＬＳＩテストヘッドに組付けられた状態を示
す図、 第３図は従来の信号波形検出装置の概略構成を示す図で
ある。 図において、 １０は保持板、 １１は電気光学結晶、 １２はガラス板、 １３は絶縁板、 １４はスプリング、 １５は接触子、 １６はスプリングコンタクトビン、 １７は金属、 １８は電極、 １９は透明導電膜、 ２０は無反射膜、 ２１はＬＳＩテストヘッド、 ２２はパフォーマンスボード、 ２３は被測定ＬＳＩ、 ２４はガードリング、 ２５はスペーサ、 ２６は光走査部 を示す。 第１図 保持板 電気光学結晶 ガラス板 絶縁板 スプリング 接触子 スプリングコンタクトピン 金属 電極 透明導電膜 無反射膜 に組付けられた状態を示す図 第 図 ２６・・・光走査部 従来の信号波形検出装置の概略構成を示す図第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ＬＳＩテスタで駆動されているＬＳＩの端子電圧波
形をレーザと電気光学結晶を用いて測定する信号波形検
出装置における結晶保持構造であって、 一方の面（１０ａ）にパフォーマンスボードを貫通する
コンタクトピン（２２ａ）を介し被測定ＬＳＩ（２３）
の入出力端子と導通可能なスプリングコンタクトピン（
１６）を備え、他方の面に電気光学結晶（１１）と接触
し、且つ測定用レーザ光を反射する電極（１８）を備え
た保持板（１０）と、両面が平行に研磨された電気光学
結晶（１１）と、上記電気光学結晶（１１）と接触する
面に透明導電膜（１９）が設けられ、他方の面に無反射
膜（２０）が設けられたガラス板（１２）とを具備し、
前記保持板（１０）と電気光学結晶（１１）とガラス板
（１２）とが重ねられてガードリング（２４）によりＬ
ＳＩテストヘッド（２１）のパフォーマンスボード（２
２）に固定されていることを特徴とする信号波形検出装
置の結晶保持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1318886A JPH03180778A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 信号波形検出装置の結晶保持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1318886A JPH03180778A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 信号波形検出装置の結晶保持構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03180778A true JPH03180778A (ja) | 1991-08-06 |
Family
ID=18104064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1318886A Pending JPH03180778A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | 信号波形検出装置の結晶保持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03180778A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06324124A (ja) * | 1993-05-14 | 1994-11-25 | Nec Corp | 実装ボード検査装置 |
| JPH06331710A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Nec Corp | 実装ボード解析装置 |
-
1989
- 1989-12-11 JP JP1318886A patent/JPH03180778A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06324124A (ja) * | 1993-05-14 | 1994-11-25 | Nec Corp | 実装ボード検査装置 |
| JPH06331710A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Nec Corp | 実装ボード解析装置 |
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