JPH03177380A - セラミックスコーティング部材及びその製法 - Google Patents
セラミックスコーティング部材及びその製法Info
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- JPH03177380A JPH03177380A JP31435689A JP31435689A JPH03177380A JP H03177380 A JPH03177380 A JP H03177380A JP 31435689 A JP31435689 A JP 31435689A JP 31435689 A JP31435689 A JP 31435689A JP H03177380 A JPH03177380 A JP H03177380A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、高い耐熱性のマグネシアコーティング荊を4
fl−るアルミナ部材及びその製法に関する。特に、耐
熱、耐食性の高くなるようにマグネシア:r−ディング
層を有するアルミナ部材及びその製法に関する。また、
チタン、インジウム等の溶融ルツボ、各種ガラスの溶融
ルツボ、金属溶融ルツボ、電子セラミックス焼成処理の
ためのルツボ又は耐火物サヤ卑として、好適なマグネシ
アコー−lイング欝を有するアルミナ部材及びその製法
に関す°る。
fl−るアルミナ部材及びその製法に関する。特に、耐
熱、耐食性の高くなるようにマグネシア:r−ディング
層を有するアルミナ部材及びその製法に関する。また、
チタン、インジウム等の溶融ルツボ、各種ガラスの溶融
ルツボ、金属溶融ルツボ、電子セラミックス焼成処理の
ためのルツボ又は耐火物サヤ卑として、好適なマグネシ
アコー−lイング欝を有するアルミナ部材及びその製法
に関す°る。
[従来の技術及び発明が解決しようとする問題点]アル
ミナ製のルツボやサヤ等は、高純度な金属の溶融や電子
セラミックス焼成の分野において、被溶融物、被焼成物
に対して、コンタミネーション等を起こすという欠点を
有するため、適切でなかった。このコンタミネーション
の問題を解決するものとして、マグネシアがあるが、マ
グネシア製品は高温強度が大きくなく、長期に使用する
と、「曲がり、rソリ」などが発生4゛る危険がある。
ミナ製のルツボやサヤ等は、高純度な金属の溶融や電子
セラミックス焼成の分野において、被溶融物、被焼成物
に対して、コンタミネーション等を起こすという欠点を
有するため、適切でなかった。このコンタミネーション
の問題を解決するものとして、マグネシアがあるが、マ
グネシア製品は高温強度が大きくなく、長期に使用する
と、「曲がり、rソリ」などが発生4゛る危険がある。
また、“7グネシア単独で使用すると、その強度を保持
するために、肉厚の製品とすることが、不可欠であり、
このため、工業的には、肉淳品をそのまま使用するが、
若しくは、高温強度の大きなアルミツ製品のしに肉薄の
マグネシア製品を重ねて使用していた。このように、マ
グネシア製品を使用する場合は、操炉上、手間のかかる
ものであり、またコストも高いものであった。
するために、肉厚の製品とすることが、不可欠であり、
このため、工業的には、肉淳品をそのまま使用するが、
若しくは、高温強度の大きなアルミツ製品のしに肉薄の
マグネシア製品を重ねて使用していた。このように、マ
グネシア製品を使用する場合は、操炉上、手間のかかる
ものであり、またコストも高いものであった。
これにより、高強度で、しかも−1ストの安いアルミナ
製品にマグネシアをコーティングした製品が開発できれ
ば、工業1二、大きなメリットが期待される。然し乍ら
、アルミナとマグネシアは熱膨張率が大きく異なってお
り、そのままコーディングしたり、接合したりすること
は、出来なかった。
製品にマグネシアをコーティングした製品が開発できれ
ば、工業1二、大きなメリットが期待される。然し乍ら
、アルミナとマグネシアは熱膨張率が大きく異なってお
り、そのままコーディングしたり、接合したりすること
は、出来なかった。
本発明は、耐熱性、耐食性のすぐれたマグネシア胃−j
イング層を持ったアルミナ部材及びその製造方法を提供
することを目的にする。また、本発明は、従来安価なア
ルミナ部材に高価なマグネシアを丁)−ティングするこ
とにより、安価なマグネシア1−ディング製品即ち、高
付加価値化されたアルミ−J一部材を提供することを目
的にする。また、本発Iす1は、キ゛ルンファーニチャ
ーの中で耐熱性、耐食性にすぐれたセッターを提供す゛
ることを]目的にする。従って、本発明は、−殻間に、
−I−ティング)5法において、熱膨張率の異なる材質
の濃度変化(a度勾配)を用いることにより、従来品の
クラックや剥離、ツレなどを除去し、安価に大<ttに
製造できる方法を提供す−ることを目的にする。
イング層を持ったアルミナ部材及びその製造方法を提供
することを目的にする。また、本発明は、従来安価なア
ルミナ部材に高価なマグネシアを丁)−ティングするこ
とにより、安価なマグネシア1−ディング製品即ち、高
付加価値化されたアルミ−J一部材を提供することを目
的にする。また、本発Iす1は、キ゛ルンファーニチャ
ーの中で耐熱性、耐食性にすぐれたセッターを提供す゛
ることを]目的にする。従って、本発明は、−殻間に、
−I−ティング)5法において、熱膨張率の異なる材質
の濃度変化(a度勾配)を用いることにより、従来品の
クラックや剥離、ツレなどを除去し、安価に大<ttに
製造できる方法を提供す−ることを目的にする。
E問題点を解決するための手段]
本発明の要旨とす−るものは、アルミナ基材表面に、微
粒子マグネシアと微粒子アルミナをa台面から所望数の
層で、マグネシア単味のコーティングWJ最上層までコ
ーティングを積層し、焼成した濃度傾斜マグネシアコー
ティング層をイ11−ることを特徴とするアルミナ部材
である。そして、アルミナ基材表面に、微粒子マグネシ
アと微粒子−アルミナを混合し、A1.O8/MgOの
モル比を順次大から小に変え、粘度を調整したスラリー
で、先ず、アルミナ基材表面にA 1t o −/ M
gOのモル比の大きな調整スラリーを塗布し、乾燥した
後、次に、少し小さいh1*os/ Mgoのモル比の
スラリーを塗布し、乾燥し、このように、順次、アルミ
ナ基材表面から所望数の層で、マグネシア単味のコーテ
ィング屑最上層まで調整スラリーを塗布した後、乾燥室
布屑を+1“するアルミナ基材全体を焼成することを特
徴とrるマグネシアコーティング層をイ■するアルミナ
部材の製法である。また、A 1 * Os / Mg
Oのモル比で濃度勾配をもって形成した−7グ不シアー
1ディング層でのfs度勾配は、−層当り10〜20%
づつ変化させ、即ち、該所望の層数は、5〜10が好適
である。また、−層当りの厚さは、10〜50ttmで
あり、コーティング層全体の厚さは、50〜300t1
mが好適である。また、焼成処理は、50〜250°C
/時間の昇温速度で昇温し、1400〜1600℃の温
度範囲に1時間保持4゛ることか好適である。
粒子マグネシアと微粒子アルミナをa台面から所望数の
層で、マグネシア単味のコーティングWJ最上層までコ
ーティングを積層し、焼成した濃度傾斜マグネシアコー
ティング層をイ11−ることを特徴とするアルミナ部材
である。そして、アルミナ基材表面に、微粒子マグネシ
アと微粒子−アルミナを混合し、A1.O8/MgOの
モル比を順次大から小に変え、粘度を調整したスラリー
で、先ず、アルミナ基材表面にA 1t o −/ M
gOのモル比の大きな調整スラリーを塗布し、乾燥した
後、次に、少し小さいh1*os/ Mgoのモル比の
スラリーを塗布し、乾燥し、このように、順次、アルミ
ナ基材表面から所望数の層で、マグネシア単味のコーテ
ィング屑最上層まで調整スラリーを塗布した後、乾燥室
布屑を+1“するアルミナ基材全体を焼成することを特
徴とrるマグネシアコーティング層をイ■するアルミナ
部材の製法である。また、A 1 * Os / Mg
Oのモル比で濃度勾配をもって形成した−7グ不シアー
1ディング層でのfs度勾配は、−層当り10〜20%
づつ変化させ、即ち、該所望の層数は、5〜10が好適
である。また、−層当りの厚さは、10〜50ttmで
あり、コーティング層全体の厚さは、50〜300t1
mが好適である。また、焼成処理は、50〜250°C
/時間の昇温速度で昇温し、1400〜1600℃の温
度範囲に1時間保持4゛ることか好適である。
本発明によるアルミナ部材表面に−1−ティングする方
法は、第1図に示すように、アルミナ部材表面に数層の
アルミナ−マグネシアの混合物で濃度勾配をイfする〕
−ディング層を、それに相当する濃度の数種の濃度のス
ラリーで塗布することによる。
法は、第1図に示すように、アルミナ部材表面に数層の
アルミナ−マグネシアの混合物で濃度勾配をイfする〕
−ディング層を、それに相当する濃度の数種の濃度のス
ラリーで塗布することによる。
即し、閃示のように、−・層当りの塗布量は、10〜5
0μmの厚になるようにする。最適には、30μm厚で
ある。
0μmの厚になるようにする。最適には、30μm厚で
ある。
このような塗布層は、5〜10層とし、塗布スラリ−の
濃度の1層当りの変化は、10〜20%とする。即ち、
Al1.O,とZ T O* +7) モル比を10〜
20%づつ変えていき、塗布コーティング層を多層で形
成していく。
濃度の1層当りの変化は、10〜20%とする。即ち、
Al1.O,とZ T O* +7) モル比を10〜
20%づつ変えていき、塗布コーティング層を多層で形
成していく。
本発明に従い、アルミナ基材表面に、微粒子マグネシア
と微粒子アルミナを混合し、A1m01/MgOのモル
比を順次大から小に変え、粘度調整したスラリーで、先
ず、アルミナ基材表面にAltoz/ MgOのモル比
の大きな調整スラリーを塗布し、乾燥した後、次に、少
し小さいAi*os/ MgOのモル比のスラリーを塗
布し、乾燥し、このように、順次、アルミナ基材表面か
ら所望数の層で、マグネシア単味のコーティング層膜」
−層まで調整スラリーを塗布する。この室布用のスラリ
ー中のA 1 s o sの微粒子の径は、2〜20μ
の範囲であり、また、MgOの微粒子の径は、5〜44
μmの範囲である。また、スラリーに用いるバインダー
としては、PVA(ボリビ!;ルアル;1−ル)、アク
リル系、モルL1−ス系のバインダーの1種又は2種以
−1を用いる。バインダーの量は、1〜8重量%が好適
であり、更に、より好適には、3〜5重量%である。ま
た、スラリーの粘度は、100〜1000cpsとなる
ように、水、分散剤、バンダー等の量を選定して調整す
る。
と微粒子アルミナを混合し、A1m01/MgOのモル
比を順次大から小に変え、粘度調整したスラリーで、先
ず、アルミナ基材表面にAltoz/ MgOのモル比
の大きな調整スラリーを塗布し、乾燥した後、次に、少
し小さいAi*os/ MgOのモル比のスラリーを塗
布し、乾燥し、このように、順次、アルミナ基材表面か
ら所望数の層で、マグネシア単味のコーティング層膜」
−層まで調整スラリーを塗布する。この室布用のスラリ
ー中のA 1 s o sの微粒子の径は、2〜20μ
の範囲であり、また、MgOの微粒子の径は、5〜44
μmの範囲である。また、スラリーに用いるバインダー
としては、PVA(ボリビ!;ルアル;1−ル)、アク
リル系、モルL1−ス系のバインダーの1種又は2種以
−1を用いる。バインダーの量は、1〜8重量%が好適
であり、更に、より好適には、3〜5重量%である。ま
た、スラリーの粘度は、100〜1000cpsとなる
ように、水、分散剤、バンダー等の量を選定して調整す
る。
アルミナ部材表面に塗布する方法としては、スプレー塗
布、刷毛塗り、ディッピング法を用いることができる。
布、刷毛塗り、ディッピング法を用いることができる。
そして、全体の層厚は、50μm〜300μmにする。
即ら、全層厚は、50μm未満では、熱膨張を吸収する
ことができなく、割れる可能性がある。
ことができなく、割れる可能性がある。
また、全層厚が、30011mを超えると、コーティン
グ層が剥離する恐れがある。
グ層が剥離する恐れがある。
焼成処理条件は、昇温速度が50〜b
時間が好適であり、最適には、100〜b
1400〜1600℃(1)@囲テあり、より好適には
、1500〜1600℃である。
、1500〜1600℃である。
その焼成方法は、通常の大気炉で行なうが、焼成温度、
昇温速進は、特に、限定されるものではない。
昇温速進は、特に、限定されるものではない。
焼成工程は、通常の大気中で実施できるが、昇温速度は
特に限定されるものではない、焼結は、1450°Cの
焼成でも、焼結体は、充分な特性を示tものであった。
特に限定されるものではない、焼結は、1450°Cの
焼成でも、焼結体は、充分な特性を示tものであった。
従って、より低温での焼結も可能であるが、再加熱収縮
等を考慮すると、1500℃以トの温度の焼成が望まし
い。
等を考慮すると、1500℃以トの温度の焼成が望まし
い。
[作用コ
本発明によるセラミックスコーティング層)あるアルミ
−を部材は、耐熱性、耐食性の4゛ぐれたマグネシアコ
ーティング層を、濃度勾配を付けて、最トの表面には−
7グネシア100%で、アルミナと接する而では、アル
ミナが90%になるマグネシアツーディング層をアルミ
ナ部材表面に形成したアルミナ部材を提供する。即ち、
高価で、耐熱性、耐食性のすぐれたコーティング層を、
強固に形成したアルミナ部材である。それにより、高付
加価値化されたアルミナ部材を提供し、キルンフY−ニ
チ勺−の中で耐熱性、耐食性にす−ぐれたセッターを提
供する。即ち、熱膨張率の異なる材質の濃度変化(濃度
勾配)を用いることにより、従来品のクラックや剥離、
ワレなどを除去し、安価に大量に製造できるものである
。第1図に示すように、アルミナ部材1の表面に、図示
のように、順次アルミナ:マグネシアの比率を変えてい
き、比率の順次に変えた層を多層にして、コーティング
して、焼成したものである。アルミナ部材表面に、上記
のように濃度を変化させたアルミナ−マグネシア混合ス
ラリーでコーティングして、焼成すると、アルミナ−マ
グネシアの間で、スピネル形成が部分的に進む、このた
め、Altos/ MgOモル比が、1以上では、Al
tos中にスごネルが分散した形の構造となり、逆にA
t、0./MgOMgOモル比以下では、MgO中にス
ピネル微粒子が分散した構造になる。いずれの構造でも
、強度の高い材料が、各層間に6花し、上下のAl2O
3基材と、MgO表面層を強固に結合させている0以上
のようなコーティング層の構造により、コーティング層
中の熱膨張率等の物理定数が、徐々に変わり、 その間に応力歪み等が吸収される機 構が生成し、熱衝撃等に耐性の高い二l−ティング層の
あるアルミナ部材が得られる。
−を部材は、耐熱性、耐食性の4゛ぐれたマグネシアコ
ーティング層を、濃度勾配を付けて、最トの表面には−
7グネシア100%で、アルミナと接する而では、アル
ミナが90%になるマグネシアツーディング層をアルミ
ナ部材表面に形成したアルミナ部材を提供する。即ち、
高価で、耐熱性、耐食性のすぐれたコーティング層を、
強固に形成したアルミナ部材である。それにより、高付
加価値化されたアルミナ部材を提供し、キルンフY−ニ
チ勺−の中で耐熱性、耐食性にす−ぐれたセッターを提
供する。即ち、熱膨張率の異なる材質の濃度変化(濃度
勾配)を用いることにより、従来品のクラックや剥離、
ワレなどを除去し、安価に大量に製造できるものである
。第1図に示すように、アルミナ部材1の表面に、図示
のように、順次アルミナ:マグネシアの比率を変えてい
き、比率の順次に変えた層を多層にして、コーティング
して、焼成したものである。アルミナ部材表面に、上記
のように濃度を変化させたアルミナ−マグネシア混合ス
ラリーでコーティングして、焼成すると、アルミナ−マ
グネシアの間で、スピネル形成が部分的に進む、このた
め、Altos/ MgOモル比が、1以上では、Al
tos中にスごネルが分散した形の構造となり、逆にA
t、0./MgOMgOモル比以下では、MgO中にス
ピネル微粒子が分散した構造になる。いずれの構造でも
、強度の高い材料が、各層間に6花し、上下のAl2O
3基材と、MgO表面層を強固に結合させている0以上
のようなコーティング層の構造により、コーティング層
中の熱膨張率等の物理定数が、徐々に変わり、 その間に応力歪み等が吸収される機 構が生成し、熱衝撃等に耐性の高い二l−ティング層の
あるアルミナ部材が得られる。
本発明により製造されるマグネシアコーティング層のア
ルミナ部材は、焼成処理のための支持体或いは耐火物と
して、その他、電気炉、ガス炉部の耐火材として不可決
な炉材及び電子材料等の焼成用のセッター材として、特
に、好適である。
ルミナ部材は、焼成処理のための支持体或いは耐火物と
して、その他、電気炉、ガス炉部の耐火材として不可決
な炉材及び電子材料等の焼成用のセッター材として、特
に、好適である。
次に、本発明によるマグネシアコーティング層の作成方
法について説明するが、本発明は、次の実施例に限定さ
れるものではない。
法について説明するが、本発明は、次の実施例に限定さ
れるものではない。
[実施例]
9011mの正方形で厚5mで、気孔率20〜25%の
アルミナ部材の表面に対して、次の濃度のスラリーを調
整して、塗布する。
アルミナ部材の表面に対して、次の濃度のスラリーを調
整して、塗布する。
即ち、(1)A1.Os/MgOのモル比で、8:2、
■Al2O3/MgOのモル比−6:4、(3)A1.
0B/MgOのモル比=4:6、(4)Al、03/M
gOのモル比=2=8、(5)MgO中味と変化させた
各モル比のA1.Os/MgOの微粒子−を含有するス
ラリーを調整し、順次、アルミナ部材表面に塗布する。
■Al2O3/MgOのモル比−6:4、(3)A1.
0B/MgOのモル比=4:6、(4)Al、03/M
gOのモル比=2=8、(5)MgO中味と変化させた
各モル比のA1.Os/MgOの微粒子−を含有するス
ラリーを調整し、順次、アルミナ部材表面に塗布する。
その各スラリーは、ポリビニルアルコールをバfンダー
として、3重量%を添加して、調整した。調整したスラ
リーの粘度は、200〜500cpS程度にした。その
スラリーをスプレーガンでアルミナ部材表面に吹き付け
て行く、第1層が乾燥したら、次の第2層と順次、Mg
oa度の高いスラリーを吹き付けていく。1層当りのス
プレーガンによる漿布量は、30μmJFi、になる程
度にした。そして、第4層のスラリーを塗布した後に、
MgO単味の層を150I1m厚に塗布し、乾燥した後
に、塗布したアルミナ部材を焼成処理した。
として、3重量%を添加して、調整した。調整したスラ
リーの粘度は、200〜500cpS程度にした。その
スラリーをスプレーガンでアルミナ部材表面に吹き付け
て行く、第1層が乾燥したら、次の第2層と順次、Mg
oa度の高いスラリーを吹き付けていく。1層当りのス
プレーガンによる漿布量は、30μmJFi、になる程
度にした。そして、第4層のスラリーを塗布した後に、
MgO単味の層を150I1m厚に塗布し、乾燥した後
に、塗布したアルミナ部材を焼成処理した。
焼成する時の昇温速度は、100”C/時間で、焼結の
ため、1600”Cに1時間保持した。
ため、1600”Cに1時間保持した。
得られたマグネシア:J−ティングされたアルミナ部材
に対して、次のように評価試験を行なった。即ち、加熱
−冷却のサイクルを30回行なって、判定した。150
0℃−室温のサイクルを20回行なった場合でも、剥離
、クラック等の異常は発生しなかった。
に対して、次のように評価試験を行なった。即ち、加熱
−冷却のサイクルを30回行なって、判定した。150
0℃−室温のサイクルを20回行なった場合でも、剥離
、クラック等の異常は発生しなかった。
[発明の効果]
本発明によるマグネシアコーティング層のアルミナ部材
及びその製造法は、次のような顕著な技術的な効果が得
られるものである。
及びその製造法は、次のような顕著な技術的な効果が得
られるものである。
第1に、以上の説明で明らかなように、安価なアルミナ
部材に高価なマグネシアコーティング層を施すことによ
り、高い付加価値を与えたアルミナ部材を得ることがで
きる。
部材に高価なマグネシアコーティング層を施すことによ
り、高い付加価値を与えたアルミナ部材を得ることがで
きる。
第2に、本発明の濃度勾配を用いた多層(マルチ)コー
ティング層により、マグネシアコーティング層部分の剥
離やツレがない耐熱性、耐熱衝撃性、耐食性にすぐれた
セラミックス部材が提供された。
ティング層により、マグネシアコーティング層部分の剥
離やツレがない耐熱性、耐熱衝撃性、耐食性にすぐれた
セラミックス部材が提供された。
第3に、マグネシア単味の材料に比べて、炉操業性、取
り扱いの面で大きなメリットのあるマグネシアコーディ
ング法を提供した。
り扱いの面で大きなメリットのあるマグネシアコーディ
ング法を提供した。
第1図は、本発明により作成されるマグネシア:1−テ
ィング層の形態を示す断面説明図である。
ィング層の形態を示す断面説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、アルミナ基材表面に、微粒子マグネシアと微粒子ア
ルミナを混合し、Al_2O_3/MgOのモル比を順
次大から小に変え、各々粘度を調整したスラリーで、順
次、アルミナ基材表面から所望の層数で、マグネシア単
味のコーティング最上層までコーティング層を積層し、
焼成した濃度傾斜を持つマグネシアコーティング層を有
することを特徴とするアルミナ部材。 2、アルミナ基材表面に、微粒子マグネシアと微粒子ア
ルミナを混合し、Al_2O_3/MgOのモル比を順
次大から小に変え、各々粘度を調整したスラリーで、先
ず、アルミナ基材表面にAl_2O_3/MgOのモル
比の大きな調整スラリーを塗布し、乾燥した後、次に、
少し小さいAl_2O_3/MgOのモル比のスラリー
を濃度を変えて、各層塗布し、乾燥し、このように、順
次、アルミナ基材表面から所望の層数で、マグネシア単
味のコーティング最上層まで調整スラリーを塗布した後
、乾燥塗布層を有するアルミナ基材全体を50〜 250℃/時間の昇温速度で昇温し、1400〜160
0℃の焼成温度に1時間保持することにより焼成するこ
とを特徴とするアルミナ部材の製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31435689A JPH03177380A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | セラミックスコーティング部材及びその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31435689A JPH03177380A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | セラミックスコーティング部材及びその製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03177380A true JPH03177380A (ja) | 1991-08-01 |
Family
ID=18052346
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31435689A Pending JPH03177380A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | セラミックスコーティング部材及びその製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03177380A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002080270A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-03-19 | Kyocera Corp | 耐食性部材 |
JP2002356387A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-12-13 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 耐プラズマ性部材 |
-
1989
- 1989-12-05 JP JP31435689A patent/JPH03177380A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002080270A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-03-19 | Kyocera Corp | 耐食性部材 |
JP2002356387A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-12-13 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 耐プラズマ性部材 |
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