JPH03177379A - セラミックスコーティング部材及びその製法 - Google Patents
セラミックスコーティング部材及びその製法Info
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- JPH03177379A JPH03177379A JP31435589A JP31435589A JPH03177379A JP H03177379 A JPH03177379 A JP H03177379A JP 31435589 A JP31435589 A JP 31435589A JP 31435589 A JP31435589 A JP 31435589A JP H03177379 A JPH03177379 A JP H03177379A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 67
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 60
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 13
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 9
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 9
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 4
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 3
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003134 ZrOx Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical compound [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006255 coating slurry Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 230000009970 fire resistant effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 1
- 238000003303 reheating Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、高強度のジルコニアコーデイング層をイf#
るアルミナ部材及びその製法に関する。特に、耐熱、耐
食性の高くなるようにジルコニアコ−テング層を有する
アルミナ部材及びその製法に関する。また、チタン、イ
ンジウム等の溶融ルツボ、各種ガラスの溶融ルツボ、金
属溶融ルツボ、’+lC/・セラミックス焼成外環のた
めのルツボ又は耐火物サヤ等として、好適なシルコニア
コ−j・イング層をイf、するアルミナ部材及びその製
法に1臭1#′る。
るアルミナ部材及びその製法に関する。特に、耐熱、耐
食性の高くなるようにジルコニアコ−テング層を有する
アルミナ部材及びその製法に関する。また、チタン、イ
ンジウム等の溶融ルツボ、各種ガラスの溶融ルツボ、金
属溶融ルツボ、’+lC/・セラミックス焼成外環のた
めのルツボ又は耐火物サヤ等として、好適なシルコニア
コ−j・イング層をイf、するアルミナ部材及びその製
法に1臭1#′る。
[従来の技術及び発明が解決しようとする問題点]アル
ミ−j製のルツボやサヤ等は、高純度な金属の溶融や電
子セラミックス焼成の分野において、被溶融物、被焼成
物に対して、コンタミネーション竿を起こぜという欠点
を有するため、適切でなか−)たが、この:lンタミネ
ーションの問題を解決−4るものとして、ジル:1ニア
ルツボがある。このジル=+ 、’ニア製品は噴く、高
価である、二とから、E梁間利用に制限があった。この
ため、従来は、ジルーI−;アーI−1イング層のアル
ミナ部材を使用していた。
ミ−j製のルツボやサヤ等は、高純度な金属の溶融や電
子セラミックス焼成の分野において、被溶融物、被焼成
物に対して、コンタミネーション竿を起こぜという欠点
を有するため、適切でなか−)たが、この:lンタミネ
ーションの問題を解決−4るものとして、ジル:1ニア
ルツボがある。このジル=+ 、’ニア製品は噴く、高
価である、二とから、E梁間利用に制限があった。この
ため、従来は、ジルーI−;アーI−1イング層のアル
ミナ部材を使用していた。
I!1IF−)、ジルニオニアは、2700℃に近い融
点をイfし、耐食外も4ぐれているために、耐熱、耐火
材料又は低熱仏導性材料として使用されてきた。
点をイfし、耐食外も4ぐれているために、耐熱、耐火
材料又は低熱仏導性材料として使用されてきた。
従)て、そのジル:+ 、=、アをシーライング層とし
てイずするアルミナ部材は、望ましい材料ではあるがジ
ル−11,ア:I−−rインゲ層をアルミ・夕部材表面
ング4る技術は、部材の表面に、コーティングす゛へき
物質の微粒子−のスプレーをスプレーガンで均一に塗布
するものであった。
てイずするアルミナ部材は、望ましい材料ではあるがジ
ル−11,ア:I−−rインゲ層をアルミ・夕部材表面
ング4る技術は、部材の表面に、コーティングす゛へき
物質の微粒子−のスプレーをスプレーガンで均一に塗布
するものであった。
また、従来品は、熱膨張率の異なるセラミックスを接合
したため、熱間使用時に表面クラックやワレが発生し、
長時間使用することが出来なかった。このために、熱膨
張率を緩和する材料を両者の間に、挾んで接合している
ものもあるが、実用的でない。
したため、熱間使用時に表面クラックやワレが発生し、
長時間使用することが出来なかった。このために、熱膨
張率を緩和する材料を両者の間に、挾んで接合している
ものもあるが、実用的でない。
本発明辻、耐熱性、耐食性の1ぐれたジル:1ニア;l
−ディングアルミナ部材及びその製法を提供4−ること
を目的にする。また、本発明は、従来安価なアルミ−+
部材に高価なジル:1ニアを:1−ティングIることに
より、安価なジル=1.−ア:I−デイング製品即ち、
高付加価値化されたアルミナ部材を提供することを目的
にする。また、本発明は、キルンソγ−ニチャーの中で
耐熱性、耐食性にすぐれたセッターを提供#−ることを
目的にする。
−ディングアルミナ部材及びその製法を提供4−ること
を目的にする。また、本発明は、従来安価なアルミ−+
部材に高価なジル:1ニアを:1−ティングIることに
より、安価なジル=1.−ア:I−デイング製品即ち、
高付加価値化されたアルミナ部材を提供することを目的
にする。また、本発明は、キルンソγ−ニチャーの中で
耐熱性、耐食性にすぐれたセッターを提供#−ることを
目的にする。
従って、本発明は、−殻内に、:1−ティング方法にお
いて、熱膨張率の異なる材質の濃度変化(濃度勾配)を
用いることにより、従来品のクラックや剥離、ツレなど
を除太し、安価に大量に製造できる方法を提供すること
を目的にする。
いて、熱膨張率の異なる材質の濃度変化(濃度勾配)を
用いることにより、従来品のクラックや剥離、ツレなど
を除太し、安価に大量に製造できる方法を提供すること
を目的にする。
[問題点を解決するための手段]
本発明の要旨とするものは、アルミナ基材表面に、微粒
子ジル:]:;アと微粒子アルミナを混合し、Al2O
3/ZrO2rO,のモル比を順次大から小に変え、粘
度を調整したスラリーで、順次、アルミナ基材表面から
所望数の層で、ジルコニア単味のコーティング最り層ま
でコーディングを積層し、焼成した濃度傾斜ジルコニア
コーティング層を有することを特徴とするアルミータ部
材である。そして、アルミツ基材表面に、微粒子ジルコ
ニアと微粒子アルミ“夕を混合し、AltOs /Zr
O*のモル比を順次大から小に変え、粘度を調整したス
ラリーで、先ず、アルミナ基材表面にAl2O3/Zr
OZr0tのモル比の大きな調整スラリーを塗布し、乾
燥した後、次に、少し小さいA1+Os/Zr0tのモ
ル比のスラリーを塗布し、乾燥し、このように、順次、
アルミナ基材表面から所望数の層で、ジルコニア単味の
;】−ティング層最上層まで調整スラリーを塗布した後
、乾燥漿布層をイイするアルミナ基材全体を焼成するこ
とを特徴とするジルコニアコーティング層を有するアル
ミナ部材の製法である。また、 Al2O3/ZrO2
rO*のモル比で濃度勾配をもって形成したジルコニア
7’J −5イング層での濃度勾配は、−層当り10〜
20%づつ変化させ、即ち、該所望の暦数は、5〜10
が好適である。
子ジル:]:;アと微粒子アルミナを混合し、Al2O
3/ZrO2rO,のモル比を順次大から小に変え、粘
度を調整したスラリーで、順次、アルミナ基材表面から
所望数の層で、ジルコニア単味のコーティング最り層ま
でコーディングを積層し、焼成した濃度傾斜ジルコニア
コーティング層を有することを特徴とするアルミータ部
材である。そして、アルミツ基材表面に、微粒子ジルコ
ニアと微粒子アルミ“夕を混合し、AltOs /Zr
O*のモル比を順次大から小に変え、粘度を調整したス
ラリーで、先ず、アルミナ基材表面にAl2O3/Zr
OZr0tのモル比の大きな調整スラリーを塗布し、乾
燥した後、次に、少し小さいA1+Os/Zr0tのモ
ル比のスラリーを塗布し、乾燥し、このように、順次、
アルミナ基材表面から所望数の層で、ジルコニア単味の
;】−ティング層最上層まで調整スラリーを塗布した後
、乾燥漿布層をイイするアルミナ基材全体を焼成するこ
とを特徴とするジルコニアコーティング層を有するアル
ミナ部材の製法である。また、 Al2O3/ZrO2
rO*のモル比で濃度勾配をもって形成したジルコニア
7’J −5イング層での濃度勾配は、−層当り10〜
20%づつ変化させ、即ち、該所望の暦数は、5〜10
が好適である。
また、−層当りの厚さは、10〜50μmであり、従っ
て、:コーティング層全体の厚さは、50〜300μm
が好適である。また、焼成処理は、50〜250℃/時
間の昇温速度で昇温し、1400〜1600℃の温度範
囲に1時間保持することが好適である。
て、:コーティング層全体の厚さは、50〜300μm
が好適である。また、焼成処理は、50〜250℃/時
間の昇温速度で昇温し、1400〜1600℃の温度範
囲に1時間保持することが好適である。
本発明によるアルミナ部材表面にコーティングする方法
は、第1図に示すように、アルミナ部材表面に数層のア
ルミナ−ジルコニアの混合物で濃度勾配を有するコーテ
ィング層を、それに相当する濃度の数種の濃度のスラリ
ーを用いて塗布することによる。
は、第1図に示すように、アルミナ部材表面に数層のア
ルミナ−ジルコニアの混合物で濃度勾配を有するコーテ
ィング層を、それに相当する濃度の数種の濃度のスラリ
ーを用いて塗布することによる。
即ち、図示のように、−層当りの塗布量は、10〜50
μmの厚になるようにする。最適には、30μm厚であ
る。
μmの厚になるようにする。最適には、30μm厚であ
る。
このような塗布層は、5〜10層とし、塗布スラリーの
濃度の1層当りの変化は、10〜20%とする。即ち、
AltosとZ r Otのモル比を10〜20%づつ
変えていき、塗布コーティング層を多層で形成していく
。
濃度の1層当りの変化は、10〜20%とする。即ち、
AltosとZ r Otのモル比を10〜20%づつ
変えていき、塗布コーティング層を多層で形成していく
。
本発明に従い、アルミナ基材表面に、微粒子−ジルコニ
アと微粒子アルミサを混合し、Al2O3/ZrOZr
O。
アと微粒子アルミサを混合し、Al2O3/ZrOZr
O。
のモル比を順次大から小に変え、粘度調整したスラリー
で、先ず、アルミナ基材表面にA1*Os/ZrO*の
モル比の大きな調整スラリーを塗布し、乾燥した後、次
に、少し小さいAl2O3/ZrO2のモル比のスラリ
ーを令イaし、乾燥し、このように、順次、アルミナ基
材表面から所望数の層で、ジル1ニア単味のコーティン
グ層最上層まで調整スラリーを塗布する。この塗布用の
スラリー中のA1 a o nの微粒子の径は、1.5
〜44μの範囲であり、また、lro *の微粒子の径
は、2〜20μmの範囲である。:また、スラリーに用
いるバインダーとしては、PVA(ポリビニルアルコー
ル)、アクリル系、セルI】−ス系のバインダーの1種
又は2種以上を用いる。バインダーの割合は、好適には
1〜8重量%、より好適には、3〜5重量%の範囲でで
ある。また、スラリーの粘度は、100〜1000cp
sとなるように、水、分散剤、バング−専の量を選定し
て調整する。
で、先ず、アルミナ基材表面にA1*Os/ZrO*の
モル比の大きな調整スラリーを塗布し、乾燥した後、次
に、少し小さいAl2O3/ZrO2のモル比のスラリ
ーを令イaし、乾燥し、このように、順次、アルミナ基
材表面から所望数の層で、ジル1ニア単味のコーティン
グ層最上層まで調整スラリーを塗布する。この塗布用の
スラリー中のA1 a o nの微粒子の径は、1.5
〜44μの範囲であり、また、lro *の微粒子の径
は、2〜20μmの範囲である。:また、スラリーに用
いるバインダーとしては、PVA(ポリビニルアルコー
ル)、アクリル系、セルI】−ス系のバインダーの1種
又は2種以上を用いる。バインダーの割合は、好適には
1〜8重量%、より好適には、3〜5重量%の範囲でで
ある。また、スラリーの粘度は、100〜1000cp
sとなるように、水、分散剤、バング−専の量を選定し
て調整する。
アルミナ部材表面に塗布する方法としては、スプレー塗
布、刷毛塗り、ディッピング法を用いることができる。
布、刷毛塗り、ディッピング法を用いることができる。
そして、全体の層厚は、50μm〜300μmにする。
即も、全層厚は、50μm未満では、熱膨張を吸収する
ことができなく、割れる可能性がある。
ことができなく、割れる可能性がある。
また、全層厚が、300μmを超えると、コーデイング
層が剥離する恐れがある。
層が剥離する恐れがある。
焼成処理条件は、昇温速度が50〜250℃/時間が好
適であり、最適には、100〜b/時間の範囲である。
適であり、最適には、100〜b/時間の範囲である。
焼成温度は、1400〜1600℃の範囲であり、より
好適には、1450〜1500℃である。
好適には、1450〜1500℃である。
その焼成方法は、通常の大気炉で行なうが、焼成温度、
昇温速度は、特に、限定されるものではない。
昇温速度は、特に、限定されるものではない。
焼成工程は、通常の大気中で実施できるが、昇温速度は
特に限定されるものではない、焼結は比較的に低温で進
行し、1450°Cの焼成でも、焼結体は、充分な特性
を示すものであった。従って、より低温での焼結も可能
であるが、再加熱収縮等を考慮すると、1400°C以
七の焼成が望ましい。
特に限定されるものではない、焼結は比較的に低温で進
行し、1450°Cの焼成でも、焼結体は、充分な特性
を示すものであった。従って、より低温での焼結も可能
であるが、再加熱収縮等を考慮すると、1400°C以
七の焼成が望ましい。
[作用]
本発明によるヒラミックス−I−ティング層のあるアル
ミナ部材は、耐熱性、耐食性のすぐれたジル;1ニアコ
ーデイング層を、濃度勾配を付けて、最上の表面にはジ
ルコニア100%で、アルミナと接する面では、アルミ
ナが90%になるジルコニアコーティング層を、アルミ
ナ部材表面に形成したアルミナ部材を提供する。即ち、
高価で、耐熱性、耐食性のすぐれたジルコニアコーティ
ング層を、強固に形成したアルミナ部材である。それに
より、高付加価値化されたアルミナ部材を提供し、キル
ンファーニチャ−の中で耐熱性、耐食性に1ぐれたセッ
ターを提供する。即ち、熱膨張率の異なる材質の濃度変
化(濃度勾配)を用いることにより、従来品のクラック
や剥離、ワレなどを除去し、安価に大量に製造できるも
のである。第1図に示すように、アルミナ部材1の表面
に、図示のように、順次アルミナ:ジルコニアの比率を
変えでいき、比率の順次に変えた層を多層にしで、=1
−ディングして、焼成したものである。それにより、コ
ーデイング層中の熱膨張率等の物理定数が、徐々に変わ
り、その間に応力歪み等が吸収される機構が生成し、熱
衝撃等耐性の高いコーデイング層のあるアルミナ部材が
得られる。
ミナ部材は、耐熱性、耐食性のすぐれたジル;1ニアコ
ーデイング層を、濃度勾配を付けて、最上の表面にはジ
ルコニア100%で、アルミナと接する面では、アルミ
ナが90%になるジルコニアコーティング層を、アルミ
ナ部材表面に形成したアルミナ部材を提供する。即ち、
高価で、耐熱性、耐食性のすぐれたジルコニアコーティ
ング層を、強固に形成したアルミナ部材である。それに
より、高付加価値化されたアルミナ部材を提供し、キル
ンファーニチャ−の中で耐熱性、耐食性に1ぐれたセッ
ターを提供する。即ち、熱膨張率の異なる材質の濃度変
化(濃度勾配)を用いることにより、従来品のクラック
や剥離、ワレなどを除去し、安価に大量に製造できるも
のである。第1図に示すように、アルミナ部材1の表面
に、図示のように、順次アルミナ:ジルコニアの比率を
変えでいき、比率の順次に変えた層を多層にしで、=1
−ディングして、焼成したものである。それにより、コ
ーデイング層中の熱膨張率等の物理定数が、徐々に変わ
り、その間に応力歪み等が吸収される機構が生成し、熱
衝撃等耐性の高いコーデイング層のあるアルミナ部材が
得られる。
本発明により製造されるジルコニアコーティングアルミ
ナ部材は、焼成処理のための支持体或いは耐火物として
、その他、電気炉、ガス炉等の耐火材として不可欠な炉
材及び電子材料等の焼成用のセッター材として、特に、
好適である。
ナ部材は、焼成処理のための支持体或いは耐火物として
、その他、電気炉、ガス炉等の耐火材として不可欠な炉
材及び電子材料等の焼成用のセッター材として、特に、
好適である。
次に、本発明によるジルコニアコーティング層の作成)
j法について説明するが、本発明は、次の実施例に限定
されるものではない。
j法について説明するが、本発明は、次の実施例に限定
されるものではない。
[実施例]
901111の正方形で115mmで、気孔率20〜2
5%のアルミナ部材の表面に対して、次の濃度のスラリ
ーを調整して、塗布する。
5%のアルミナ部材の表面に対して、次の濃度のスラリ
ーを調整して、塗布する。
即ち、(1) A 1 t Os /ZrOxのモル比
で、9:1、(2)A1.o、/ZrO,のモル比==
8:2、(3) A 1 t Os /Z rOtのモ
ル比暑7:3、(4)A1*Ox/ZrO,のモル比−
6:4、(5)A1.O,/ZrO,のモル比=5:5
、(6)Al、On/ZrO*のモル比夕4:6、(7
)A1.On/ZrO*のモル比雪3ニア、(8) A
1 * Os / ZrOsのモル比−2:8、(9
)Al2O3/ZrOZrO,のモル比−1:9と変化
させた各モル比のA1.O,/ZrO,の微粒子を含有
I°るスラリーを調整し、順次、アルミナ部材表面に塗
布する。
で、9:1、(2)A1.o、/ZrO,のモル比==
8:2、(3) A 1 t Os /Z rOtのモ
ル比暑7:3、(4)A1*Ox/ZrO,のモル比−
6:4、(5)A1.O,/ZrO,のモル比=5:5
、(6)Al、On/ZrO*のモル比夕4:6、(7
)A1.On/ZrO*のモル比雪3ニア、(8) A
1 * Os / ZrOsのモル比−2:8、(9
)Al2O3/ZrOZrO,のモル比−1:9と変化
させた各モル比のA1.O,/ZrO,の微粒子を含有
I°るスラリーを調整し、順次、アルミナ部材表面に塗
布する。
その各スラリーは、ポリビニルアルコールをバインダー
として、3重量%を添加して、調整した。調整したスラ
リーの粘度は、200〜500cps程度にした。その
スラリーをスプレー カンでアルミナ部材表面に吹き付
けて行く、第1層が乾燥したら、次の第2層と順次、Z
r0t!度の高いスラリーを吹き付けていく、1層当り
のスプレーガンによる塗布量は、30μm/!Xになる
程度にした。そして、第9層のスラリーを塗布した後に
、ZrO,単味の層を30〜5011m厚に塗布し、乾
燥した後に、塗4i したアルミナ部材を焼成処理した
。
として、3重量%を添加して、調整した。調整したスラ
リーの粘度は、200〜500cps程度にした。その
スラリーをスプレー カンでアルミナ部材表面に吹き付
けて行く、第1層が乾燥したら、次の第2層と順次、Z
r0t!度の高いスラリーを吹き付けていく、1層当り
のスプレーガンによる塗布量は、30μm/!Xになる
程度にした。そして、第9層のスラリーを塗布した後に
、ZrO,単味の層を30〜5011m厚に塗布し、乾
燥した後に、塗4i したアルミナ部材を焼成処理した
。
焼成Cる時の1ft温速度は、100’C/時間で、焼
結のため、1500°Cに1時間保持した。
結のため、1500°Cに1時間保持した。
得られたジル:Iニア:1−ティングされたアルミナ部
材に対して、次のように評価試験を行なった。即ち、加
熱−冷却のサイクルを30同行なって、判定した。15
00℃〜室温のサイクルを30回行なった場合でも、剥
離、クラック等の異常は発生しなかった。
材に対して、次のように評価試験を行なった。即ち、加
熱−冷却のサイクルを30同行なって、判定した。15
00℃〜室温のサイクルを30回行なった場合でも、剥
離、クラック等の異常は発生しなかった。
[発明の効果]
本発明によるジルコニアコーティング層のアルミナ部材
及びその製法は、次のような顕著な技術的な効果が得ら
れるものである。
及びその製法は、次のような顕著な技術的な効果が得ら
れるものである。
第1に、以上の説明で明らかなように、安価なアルミナ
部材に高価なジルコニア:】−ディング層を施すことに
より、高い付加価値を学えたアルミナ部材を得ることが
できる。
部材に高価なジルコニア:】−ディング層を施すことに
より、高い付加価値を学えたアルミナ部材を得ることが
できる。
第2に、本発明の濃度勾配を用いた多W(フルプ″)−
1−ディング層により、ジルコニアコーティング層部分
の剥離やワしがない耐熱性、耐熱f7gj性、耐食外に
すぐれたセラミックス部材が提供された。
1−ディング層により、ジルコニアコーティング層部分
の剥離やワしがない耐熱性、耐熱f7gj性、耐食外に
すぐれたセラミックス部材が提供された。
第3に、ジルコニア単味の材料に比べて、重量が半分で
、熱容駿も半分となり、炉操業性、取り扱いの廂で大き
なメリットのあるジルコニアコーティング法を提供した
。
、熱容駿も半分となり、炉操業性、取り扱いの廂で大き
なメリットのあるジルコニアコーティング法を提供した
。
4、關、彎ηN藪。
第1図は、本発明により作成されるジルコニアティング
層の形態を示す断面説明図である。
層の形態を示す断面説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、アルミナ基材表面に、微粒子ジルコニアと微粒子ア
ルミナを混合し、Al_2O_3/ZrO_2のモル比
を順次大から小に変え、各々粘度を調整したスラリーで
、順次、アルミナ基材表面から所望の層数で、ジルコニ
ア単味のコーティング最上層までコーティング層を積層
し、焼成した濃度傾斜を持つジルコニアコーティング層
を有することを特徴とするアルミナ部材。 2、アルミナ基材表面に、微粒子ジルコニアと微粒子ア
ルミナを混合し、Al_2O_3/ZrO_2のモル比
を順次大から小に変え、各々粘度を調整したスラリーで
、先ず、アルミナ基材表面に Al_2O_3/ZrO_2のモル比の大きな調整スラ
リーを塗布し、乾燥した後、次に、少し小さい Al_2O_3/ZrO_2のモル比のスラリーを塗布
し、乾燥し、このように、順次、アルミナ基材表面から
所望の層数で、ジルコニア単味のコーティング最上層ま
で調整スラリーを順次変えて、各層塗布した後、乾燥塗
布層を有するアルミナ基材全体を、50〜250℃/時
間の昇温速度で昇温し、1400〜1600℃の焼成温
度に1時間保持することにより、焼成することを特徴と
するアルミナ部材の製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31435589A JPH03177379A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | セラミックスコーティング部材及びその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31435589A JPH03177379A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | セラミックスコーティング部材及びその製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03177379A true JPH03177379A (ja) | 1991-08-01 |
Family
ID=18052333
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31435589A Pending JPH03177379A (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | セラミックスコーティング部材及びその製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03177379A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5804324A (en) * | 1995-01-18 | 1998-09-08 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Setting member for heating material |
EP2017240A1 (en) * | 2002-08-30 | 2009-01-21 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd | Jig for calcining electronic component |
-
1989
- 1989-12-05 JP JP31435589A patent/JPH03177379A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5804324A (en) * | 1995-01-18 | 1998-09-08 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Setting member for heating material |
EP2017240A1 (en) * | 2002-08-30 | 2009-01-21 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd | Jig for calcining electronic component |
EP2213636A1 (en) * | 2002-08-30 | 2010-08-04 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Jig for calcining electronic component |
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