JPH03175509A - 弁装置 - Google Patents

弁装置

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JPH03175509A
JPH03175509A JP2302827A JP30282790A JPH03175509A JP H03175509 A JPH03175509 A JP H03175509A JP 2302827 A JP2302827 A JP 2302827A JP 30282790 A JP30282790 A JP 30282790A JP H03175509 A JPH03175509 A JP H03175509A
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JP
Japan
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valve
control mechanism
servo motor
pressure
fluid device
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JP2302827A
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English (en)
Inventor
Aydogan Cakmaz
アイドガン・カクマズ
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Daimler Benz AG
Original Assignee
Daimler Benz AG
Mercedes Benz AG
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60TVEHICLE BRAKE CONTROL SYSTEMS OR PARTS THEREOF; BRAKE CONTROL SYSTEMS OR PARTS THEREOF, IN GENERAL; ARRANGEMENT OF BRAKING ELEMENTS ON VEHICLES IN GENERAL; PORTABLE DEVICES FOR PREVENTING UNWANTED MOVEMENT OF VEHICLES; VEHICLE MODIFICATIONS TO FACILITATE COOLING OF BRAKES
    • B60T8/00Arrangements for adjusting wheel-braking force to meet varying vehicular or ground-surface conditions, e.g. limiting or varying distribution of braking force
    • B60T8/32Arrangements for adjusting wheel-braking force to meet varying vehicular or ground-surface conditions, e.g. limiting or varying distribution of braking force responsive to a speed condition, e.g. acceleration or deceleration
    • B60T8/34Arrangements for adjusting wheel-braking force to meet varying vehicular or ground-surface conditions, e.g. limiting or varying distribution of braking force responsive to a speed condition, e.g. acceleration or deceleration having a fluid pressure regulator responsive to a speed condition
    • B60T8/36Arrangements for adjusting wheel-braking force to meet varying vehicular or ground-surface conditions, e.g. limiting or varying distribution of braking force responsive to a speed condition, e.g. acceleration or deceleration having a fluid pressure regulator responsive to a speed condition including a pilot valve responding to an electromagnetic force
    • B60T8/3615Electromagnetic valves specially adapted for anti-lock brake and traction control systems
    • B60T8/3655Continuously controlled electromagnetic valves
    • B60T8/366Valve details
    • B60T8/3665Sliding valves
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00Control of fluid pressure
    • G05D16/20Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
    • G05D16/2006Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
    • G05D16/2013Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
    • G05D16/2024Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means the throttling means being a multiple-way valve
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8593Systems
    • Y10T137/86493Multi-way valve unit
    • Y10T137/86574Supply and exhaust
    • Y10T137/86622Motor-operated
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8593Systems
    • Y10T137/87169Supply and exhaust
    • Y10T137/87217Motor

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、接続される流体装置の圧力を制御する弁装置
の制御機構が、サーボモータにより、制御機構に作用す
る戻し力に抗して、流体装置を低圧だめに連通させる初
期位置から、制御機構により制御される接続部を介して
流体装置を圧力源に連通させるか又は低圧だめから遮断
する運転位置へ移動可能である、弁装置例えば比例弁に
関する。
〔従来の技術〕
比例弁として構成されるこのような弁装置は例えばドイ
ツ連邦共和国特許出願公開第3144362号明細書か
ら公知である。
このような弁装置は、例えば全輪駆動車両において、流
体で制御されるクラッチを適当に操作することによって
、付加接続可能な駆動車軸を主動力伝達系列に接続する
か又はこれから遮断するのに用いることができる。
特に車両がロック防止装置付き制動装置を持っている場
合、付加接続可能な車軸を主動力伝達系列から遮断可能
なことは重要である。即ちこのような装置は、一般に車
軸が互いに切離されており、即ち一方の車軸の車輪の回
転数が他方の車軸の回転数に全く無関係である場合にの
み、有効に動作することができ゛る。
これに関して使用される公知の弁装置は大きい信頼性を
持っているが、制御機構が全く動かないか又は動き難い
ことがあり、従って付加接続可能な駆動車軸を主動力伝
達系列から全く遮断できないか又は大きい遅れをもって
しか遮断できないという事態は、完全には避けられない
ウィン市シュリンガ社から1963年に発行されたH、
 Zoebl著” 0elhydraulik ”の2
61ページ、第315節から、一方又は他方の方向への
操作行程のため複動ピストン−シリンダ装置を圧力源に
接続するか、又はピストンがシリンダ内で動かないよう
に圧力源に対して遮断する、弁装置が公知である。シリ
ンダの接続口にはそれぞれ安全弁が設けられて、ピスト
ン−シリンダ装置内の最高圧力を規定する。しかしピス
トンの運動方向又はピストンの阻止を制御する弁の故障
の際、ピストンが望ましくない位置に留まることがある
〔発明が解決しようとする課題〕
さて本発明の課題は、最初に示した種類の弁装置におい
て、特に高い動作信頼性を保証し、特にサーボモータの
適当な制御の際、流体装置の圧力除去を特に高い信頼性
で行なうのを可能にすることである。
〔課題を解決するための手段〕
この課題を解決するため本発明によれば、流体装置から
又は制御+機構により制御される流体装置と圧力源との
接続部から低圧だめへ至る通路が、安全逃し弁により制
御可能であり、この安全逃し弁の弁体が伝達素子として
サーボモー夕と制御機構との間に設けられ、サーボモー
タが戻し力に抗して制御機構に作用すると、弁体がサー
ボモータにより閉鎖位置へ押される。
本発明は、制御機構の戻し力に抗して作用するサーボモ
ータの操作力を安全逃し弁の弁体を介して制御機構へ伝
達して、互いに逆向きに作用子る操肋と戻し力を安全逃
し弁へ閉鎖するように作用させるという考えに基いてい
る。それにより、制御機構が全く動かないか又は動き難
い場合、制御機構の初期位置に対応する位置へ戻るよう
に操作されると、安全逃し弁が自動的に開かれる。
〔実施態様〕
本発明の特に好ましい実1M態様によれば、安全逃し弁
により制御される通路が制御機構を貫通し、安全逃し弁
の弁体が通路の低圧側端部に設けられる安全逃し弁の弁
座と相互作用することができる。このように弁座を制御
される弁は。
誤動作に対して特に高い安全性を与えることができる。
原理的には、安全逃し弁の弁体をサーボモータの従動又
は操作部材に結合するか、又はサーボモータの一部とし
て構成して、制御機構が全く動かないか又は動き難い場
合、サーボモータが制御機構の初期位置に対応する位置
へ戻ろうとする時に、弁体をサーボモータにより能動的
に閉鎖位置から引離すことができる。
その代わりに、安全逃し弁の弁体がサーボモータの従動
又は操作部材とは別個に設りられて、流体装置の圧力に
より開放方向へ作用を受けると、有利である。従って制
御機構が全く動かないか又は動き難いため、この制御機
構が全壬曇サーボモータの従動又 は操作部材に追従できないと、サーボモータが制wJ機
構の初期位置に対応する位置へ戻される場合、弁体が制
御機構とサーボモータとの間で荷重を除かれ、流体装置
の圧力により押開かれる。
場合によっては制御機構が異なる流体装置又は流体装置
の複数の異なる部分に属する複数の管路を制御し、制御
機構の初期位置においてこれらの管路がすべて低圧だめ
に接続され、戻し力に抗する制御機構の移動の際、これ
らの管路が順次低圧だめから遮断されて圧力源に接続さ
れ、低圧だめへ至る通路が、制御機構の位置に応じて管
路の1つ又は複数と圧力源とに連通して制御機構により
制御される接続部から分岐しているようにすることがで
きる。
この構成では、既に制御機構により低圧だめに接続され
て流体装置へ至る管路に対して、制′a機構が全く動か
ないか又は動き難い時にも、安全逃し弁による圧力除去
が不要である。従って安全逃し弁により制御されて低圧
だめへ至る通路は、制御機構のそのつどの位置において
圧力源に連通ずる管路又は流体装置にのみ接続されてい
る。
複数の流体装置を制御することができるこのような弁装
置は、例えば付加接続可能な駆動車軸及び複数の差動ロ
ック装置を持つ全輪駆動車両に適しており、まず付加接
続可能な駆動車軸を主動力伝達系列に接続し、それから
場合によって中央差動装置のロック装置及び車軸差動製
付加接続されている駆′動車軸を主動力伝達系列から切
離す可能性を与える。制御機構が全く動かないか又は動
き難い時にも、この切離しは保証される。
〔実施例〕
図面に示された実施例について本発明を以下に説明する
第1図に示す実施例では、弁ハウジング!内に段付き穴
2が設けられ、その長い中間部分は軸線方向間隔をおい
て2つの環状溝3及び4を持っている。環状溝3へ開口
する接続口5は圧力源又はポンプの吐出側へ通じている
。環状溝4から出る管路6を介して、この環状溝4が低
圧だめに接続されている。管路6に対して並列に管路7
が設けられて、第1図において環状段部8の右に続く穴
2の錦の狭い範囲を低圧だめに接続している。
環状溝3と4との間で穴2から半径方向通路9が出て、
図示しない流体装置へ通じている。
第1図において穴2の左端は、図示したように半径方向
通路9又はこれに接続される流体装置に接続されるか、
又は接続口5又はこれに接続される圧力源又はポンプの
吐出側に接続されている。
環状溝3及び4を持つ穴2の中間部分には、制御機構と
してのピストン状摺動体10が摺動可能に案内されてい
る。この摺動体10は直径の減少した中間部分10’を
持ち、それにより摺動体10の周囲に環状環11’及び
12’を持つ2つの環状段部11及び12が形成される
。環状段部11及び12又は環状環11’及び12’の
軸線方向間隔は、穴2の内側にある環状溝3及び4の互
いに近い方の側面の環状環3′及び4′の軸線方向間隔
にほぼ等しい。後述するように、環状環11’及び12
’の軸線方向間隔は環状環3′及び4′の軸線方向間隔
より少し大きくても、また少し小さくてもよい。
摺動体10又は環状溝3及び4を持つ穴2の部分は次の
ように大きさを定められている。即ち摺動体10が初期
位置をとり、第1図において摺動体10の右側端面が穴
2の環状段部8に当たっている時、環状溝4内に形成さ
れる弁ハウジング側環状空間と環状段部11及び12の
間に形成される摺動体側環状空間とが、環状環4′及び
12’の間に形成される幅の広い環状間隙を介して絞り
作用なしに互いに連通ずるようになっている。
なお摺動体10が左方へ移動されて、環状溝3内に形成
される弁ハウジング側環状空間と環状段部11及び12
の間に形成される摺動体側環状空間とが、環状環3′及
び 11’の間に形成される環状間隙を介して絞りなく
互いに連通ずることができる。
摺動体IO内にはこの摺動体10の右側@面へ開口する
軸線方向盲穴13が設けられて、半径方向穴14を介し
て環状段部11及び12の間の摺動体側環状空間に連通
している。
摺動体10の右側端面における軸線方向盲穴13の開口
は、玉状弁体16用弁座15を形成している。摺動体1
0の左側端面へ荷重をかける戻しはね17により、摺動
体10が右方へ、玉状弁体!6用支持片として構成され
るサーボモータ即ち電磁石19の押し棒状従動又は操作
部材18に抗して押されるので、弁体I6は通常は軸線
方向盲穴13の開口を閉鎖する閉鎖位置に保持される。
玉状弁体16が摺動体10と従動又は操作部材18との
間に力伝達部材として設けられて、電磁石19により発
生されて戻しばね17の力に抗して作用する保持又は操
作力を摺動体10へ伝達する。
電磁石19が適当に給電されると、その従動又は操作部
材18は第1図において左方へ移動されるか、又は左方
へ移動した位置に保たれる。
電磁石19の電流が充分減少されるか又は遮断されると
、従動又は操作部材18は戻しばね17により右方へg
端位置へ押され、その際通常は摺動体10が戻しばね1
7により適当に更に押され、それに応じて弁体16が弁
座15上に載る閉鎖位置に留まる。
電磁石19の従動又は操作部材18が高い信頼性で非可
逆的でないようにするため、従動又は操作部材18の支
持用に玉軸受21が設けられている。
第11Jに示す弁装置は次のように動作する。
環状段部11及び12の間に形成される摺動体側環状空
間が環状溝3にある弁ハウジング側環状空間又は環状溝
4にある弁ハウジング側環状空間のみに連通する位置を
摺動体10がとると、流体装置へ至る半径方向通路9は
ff続口に接続される圧力源又はポンプの吐出側に接続
されるか、又は低圧だめへ至る管路6に接続される。
その際半径方向通路9と接続口5との間又は半径方向通
路9と管路6との間の接続通路は、瑠動体側環状稜11
’と弁ハウジング側環状稜3′との間又は摺動体側環状
環12’と弁ハウジング側環状稜4′との間の環状間隙
の幅に応じて、大きく又は小さく絞られる。
第1図に示すようにサーボモータ環状段部11及び12
の軸線方向間隔が、環状溝3及び4の互いに近い力の側
面にある弁ハウジング側環状稜3′及び4′の軸線方向
間隔より少し小さいと、半径方向通路9に接続される6
1体装置が圧力源又はポンプの吐出側の接続口5と低圧
だめに至る管路6とに対して遮断される中間位置を、摺
動体10はとることができる。この中間位置に対する摺
動体10の移動距離の大きさに応じて、半径方向通路9
と接続口5又は管路6との間の大きく又は小さく絞られ
る接続が行なわれる。
第1図の図示とは異なり、摺動体側環状段部11及び1
2又は摺動体側環状稜11′及び12’の軸線方向間隔
が、環状溝3及び4の互いに近い方の側面にある弁ハウ
ジング側環状稜3′及び4′の軸線方向間隔より少し大
きい場合、摺動体側環状段部II及び12の間に形成さ
れる摺動体側環状空間が両方の環状溝3及び4にある両
方の弁ハウジング側環状空間に連通ずる中間位置を、摺
動体10はとることができる。この中間位置において、
摺動体側環状段部11及び12の間従って流体装置に至
る半径方向通路9に圧力が現われて、管路6にある低圧
だめの圧力の低い値と接続口5にある圧力源又はポンプ
の吐出側の高い値との間にある値をとる。その際半径方
向通路9における圧力の値は、摺動体10の移動により
敏感に調整される。なぜならば摺動体10の移動の際、
環状稜3’、11’及び、i’、12’の間の環状間隙
のそれぞれ1つが狭くされ、それぞれ他方の環状間隙が
広くされ、即ち一方の環状間隙の絞り作用が高められ、
他方の環状間隙の絞り作用が低減されるからである。
既に上述したように、摺動体10が戻しばね17により
電磁石19の従動又は操作部材18へ向かって荷重をか
けられ、しかも第1図に示す例では、半径方向通路9に
存在する流体圧力が戻しはね17を援助するように摺動
体10の第1図における左側端面へ作用するので、弁座
15と弁体16により形成される弁は通常開じている。
従って通常は摺動体10が従動又は操作部材18の運動
に追従する。
しかし摺動体10が動き難くなるか又は全く動かなくな
ると、摺動体10は第1図において行方への従動又は操
作部材18の運動にもはや追従できない。これは、この
ような場合電磁石19がその従動又は操作部材18を右
方へ移動させるように付勢されると、弁体16が荷重を
除かれることを意味している。従って弁座15及び弁体
16により形成される弁が、摺動体10にある半径方向
穴14及び軸線方向盲穴13を介して弁体16へ作用す
る半径方向通路9の圧力により1IIN開かれて、半径
方向通路9が摺動体i。
に設けられる穴13及び14を介して、摺動体10の右
側にある弁ハウジング側穴2の部分従って低圧だめへ至
る管路7に接続されるa それに応じて、摺動体10が動かない時に電磁石19の
従動又は操作部材18が右方へ動く場合にも、半径方向
通路9に接続される流体装置が圧力を除かれる。
従って弁座15及び弁体16により形成される弁は、半
径方向通路9に接続される流体装置用の安全逃し弁の機
能を持ち、摺動体10が動かない時にも、この流体装置
を圧力なしにすることができる。
第1図に示す弁装置により、全輪駆動車両において付加
接続可能な駆動車軸を主動力伝達系列に接続するのに用
いられるクラッチの圧力を制御する場合、摺動体10が
動き難いか全く動かないため、この摺動体10が電磁石
19の従動又は操作部材18の第1図において右方への
移動に追従できない時にも、このクラッチを圧力なしに
して、開離することができる。
第1図による装置とは異なり、摺動体10の左側にある
弁ハウジング側穴2の部分を圧力源又はポンプの吐出側
の接続口5に接続して、圧力源又はポンプの吐出側の圧
力を、戻しばね17を援助するように摺動体10の左側
端面へ常に作用させることも可能である。
更に摺動体!0の左側の穴2の終端部分を常に圧力なし
にして、戻しはね17のみによって摺動体10を第1図
において右方へ押すことも可能である。
第1図では、玉状の弁体!6が従動又は操作部材18と
は別個に設けられている。弁体16を従動又は操作部材
18に結合するか又はこの従動又は操作部材18の一部
とすることも、原理的には可能である。それにより安全
逃し弁IL16の機能は全く変らない。
第2図では弁装置が変更されて、流体装置又はその一部
に接続される複数の管路9aないし9bが、摺動体10
の左方への移動の際順次圧力源又はポンプの吐出側の接
続口5に接続され、摺動体10の右方への移動の際逆の
順序で低圧だめの管路6に接続されるようにすることが
できる。
摺動体10は、環状段部11及び12の間に設けられて
弁ハウジング側穴2の内径より小さい直径の中間部分を
持っている。これらの環状段部11及び12の間におい
て穴2内に残る環状空間が、摺動体10の適当な移動の
際圧力源又はポンプの吐出側の接続口5に連通されるか
、流体装置のすべての管路9aないし9Cに連通される
ことができるように、環状段部11及び12の軸線方向
間隔が定められている。これに反し摺動体10が第2図
において右方へ移動されて、摺動体10の左側端面に近
い方の環状段部22の右側に管路9aないし9Cが位置
し、圧力源又はポンプの吐出側の接続口5がなおこの環
状段部22の右側にあると、すべての管路9aないし9
Cが弁ハウジング側穴2の範囲を介して、摺wJ体10
の左側で穴2から低圧だめへ分岐する管路6に接続され
る。
摺動体10が前記両方の位置の間にある位置をとり、す
べての管路9aないし9Cが圧力源又はポンプの吐出側
の接続口5に接続されるか、又は低圧だめへ至る管路6
に接続されている場合、管路の一部例えば第2図におい
て管路9a及び9bが圧力源又はポンプの吐出側の接続
口5に接続され、管路の他の部分例えば第2図において
管路9Cが低圧だめへ至る管路6に連通ずる。
その際環状段部11及び12の間にある摺動体10の部
分が弁ハウジング穴2への管路9aないし9cの開口に
どの程度型なるかに応じて、低圧だめの管路6への接続
又は低圧だめ又はポンプの吐出側の接続口5への接続が
大きく又は小さく絞られる。
摺動体側環状段部11及び22の軸線方向間隔は摺動体
10の移動方向における管路9aないし9cの直径より
小さくされて、摺動体10の任意の位置で管路9aない
し9Cの各々が低圧だめの管路6又は圧力源又はポンプ
の吐出側の接続口5に接続されるようにする。
摺動体10が動き難いか又は全く動かないため、電磁石
19の従動又は操作部材18の第2図において右方への
移動に追従できないと、安全逃し弁15.16が第1図
について述べたのと同じように開かれるので、すべての
管路9aないし9cが圧力を除かれる。摺動体10が動
かないため、管路9aないし9cが低圧だめへ至る管路
6に連通できない場合、安全逃し弁15.16が開かれ
るため、摺動体側側の穴13及び14を介して低圧だめ
へ至る管路7への通路が形成される。
第2図に示す構成とは異なり、弁ハウジング側穴2への
管路、通路又は接続口5+ 6t 9aないし9cの開
口範囲に、場合によっては第1図の環状溝3及び4のよ
うに環状溝をそれぞれ設けることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明により比例弁として構成されて流体装置
を圧力源へ制御可能に接続しかつ圧力を制御可能に除く
ことができる弁装置の断面図、第2図は複数の流体装置
へ順次に制御可能に圧力を作用させるか又はこれらの流
体装置から順次に制御可能に圧力を除くことができる弁
装置の断面図である。 5・・・圧力源(接続口)  6・・・低圧だめ(管路
)   9.9a〜9C・・・流体装置(管路)10・
・・制御機構(ピストン状摺動体)   15.16・
・・安全逃し弁(弁座及び弁体)   17・・・戻し
力(戻しはね)19・・・サーボモーフ(電磁石)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 接続される流体装置の圧力を制御する弁装置の制御
    機構が、サーボモータにより、制御機構に作用する戻し
    力に抗して、流体装置を低圧だめに連通させる初期位置
    から、制御機構により制御される接続部を介して流体装
    置を圧力源に連通させるか又は低圧だめから遮断する運
    転位置へ移動可能であるものにおいて、流体装置(9、
    9aないし9c)から又は制御機構(10)により制御
    される流体装置と圧力源(5)との接続部から低圧だめ
    へ至る通路(13、14)が、安全逃し弁(15、16
    )により制御可能であり、この安全逃し弁の弁体(16
    )が伝達素子としてサーボモータ(19)と制御機構(
    10)との間に設けられ、サーボモータ(19)が戻し
    力(17)に抗して制御機構(10)に作用すると、弁
    体(16)がサーボモータ(19)により閉鎖位置へ押
    されることを特徴とする、弁装置。 2 通路(13、14)が制御機構(10)を貫通し、
    弁体(16)が通路(13、14)の低圧側端部に設け
    られる安全逃し弁(15、16)の弁座(15)と相互
    作用することを特徴とする、請求項1に記載の弁装置。 3 弁体(16)がサーボモータ(19)の従動又は操
    作部材(18)に結合されていることを特徴とする、請
    求項1又は2に記載の弁装置。 4 弁体(16)がサーボモータ(19)の従動又は操
    作部材(18)とは別個に設けられて、流体装置の圧力
    により開放方向へ作用を受けることを特徴とする、請求
    項1又は2に記載の弁装置。 5 制御機構(10)が異なる流体装置又は流体装置の
    複数の異なる部分に属する複数の管路(9aないし9c
    )を制御し、制御機構(10)の初期位置においてこれ
    らの管路がすべて低圧だめ(6)に接続され、戻し力(
    17)に抗する制御機構(10)の移動の際、これらの
    管路が順次低圧だめ(6)から遮断されて圧力源(5)
    に接続され、低圧だめへ至る通路が、制御機構(10)
    の位置に応じて管路(9aないし9c)の1つ又は複数
    と圧力源(5)とに連通して制御機構により制御される
    接続部から分岐していることを特徴とする、請求項1な
    いし4の1つに記載の弁装置。 6 サーボモータ(19)が非可逆的でないことを特徴
    とする、請求項1ないし5の1つに記載の弁装置。 7 サーボモータ(19)の従動又は操作部材(18)
    がころがり素子(21)により支持されていることを特
    徴とする、請求項6に記載の弁装置。 8 制御機構(10)としてピストン状摺動体が設けら
    れていることを特徴とする、請求項1ないし7の1つに
    記載の弁装置。 9 制御機構(10)として設けられるピストン状摺動
    体が、戻し力を発生するため流体装置又は圧力源の圧力
    を受ける端面を持っていることを特徴とする、請求項1
    ないし8の1つに記載の弁装置。
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