JPH0317504A - パターン検査用位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、表面に所定のパターンが形威された検査対象
物についてパターンを検査する際に、検査対象物を基準
位置に位置合わせするパターン検査用位′Ｉｌ決め装置
に関するものである．

【従来の技術】

従来より、プリント基板のように表面に所定のパターン
が形成された検査対象物について、パターンの形状を標
準試料と比較することにより、検査対象物のパターンが
所定形状に形成されているかどうかを検査するパターン
検査法が知られている．すなわち、検査対象物の基準位
置を決め、この基準位置と検査対象物に形或された各パ
ターンとの相対位置を検出し、標準試料における基準位
置と各パターンとの相対位置に一致するかどうかを検査
するのである．したがって、検査対象物の基準位置を正
確に決定することが、高い検査精度を得るための要因に
なる． 従来は、検査対象物の基準位置を決定するために、検査
対象物に基準孔を穿孔し、検査対象物を載せる検査テー
ブルに設けたビンを基準孔に通すようにしていた．

【発明が解決しようとする課′Ｉ！ｉ】上記従来楕戒で
は、検査対象物に基準孔を穿孔する作業が必要であり、
基準孔の位置精度により検査精度が支配されるから、基
準孔の穿孔過程が重要かつ面倒な作業過程であった．ま
た、基準孔を穿孔できなければ検査できず、検査対象物
に制限があった． 本発明は上記問題点の解決を目的とするものであり、基
準孔を不要としながらも検査対象物の基準位置を精度よ
く決定できるようにしたパターン検査用位置決め装置を
提供しようとするものである．

【課題を解決するための千段】

本発明では、上記目的を達成するために、表面に所定の
パターンを有する検査対象物が載置され検査対象物を任
意の方向に移動させる検査テーブルと、検査テーブルに
対向して定位置に配設され検査対象物の画像を撮像する
画像入力装置と、画像入力装置により撮像された画像を
表示するディスプレイ装置と、画像入力装置により撮像
された画像に画像処理を施して特定のパターンの画像に
おける少なくとも２方向の境界線を抽出する画像処理部
と、上記境界線を記憶しディスプレイ装置上に表示する
境界線記憶部とを具備しているのである。 また、表而に所定のパターンを有する検査対象物が載置
され検査対象物を任意の方向に移動させる検査テーブル
と、検査対象物のパターンを含む数値データを記憶した
検査対象形状記憶部と、検査テーブルに対向して配設さ
れ検査対象物の画像を撮像する画像入力装置と、画像入
力装置を保持し検査テーブルに対して画像入力装置を任
意の位置に移動させることができる可動フレームと、画
像入力装置により撮像された画像を表示するディスプレ
イ装置と、画像入力装置により撮像された画像に画像処
理を施して特定のパターンの画像における少なくとも２
方向の境界線を抽出する画像処理部と、上記境界線を記
憶しディスプレイ装置上に表示する境界線記憶部とを設
け、画像入力装置の視野内にあらかじめ設定されたパタ
ーンが位置するように上記数値データに基づいて可動フ
レームを駆動するようにしてもよい．

【作用】

請求項１の構成によれば、検査テーブルに対向して定位
置に配設された画像入力装置により検査対象物の画像を
撮像してディスプレイ装置に表示するとともに、特定の
パターンの画像における少なくとも２方向の境界線を抽
出してディスプレイ装置上に表示するから、ディスプレ
イ装置に表示されている検査対象物の特定のパターンの
２方向の境界線を基準線とし、他の検査対象物における
同一パターンをディスプレイ装置に表示しながらこの基
準線に位置を合わせれば、各検査対象物の位置合わせを
正確に行うことができることになり、基準孔を穿孔する
ことなく検査対象物の位置合わせが行えるのである． また、請求項２の構成によれば、請求項１の構成に加え
て、検査対象物のパターンを含む数値データを記憶した
検査対象形状記憶部と、画像入力装置を保持し検査テー
ブルに対して画像入力装置を任意の位置に移動させるこ
とができる可動フレームとを有し、画像入力装置の視野
内にあらがじめ設定されたパターンが位置するように数
値デー夕に基づいて可動フレームを駆動するようにして
いるから、基準位置を決めるパターンを画像入力装置の
視野に確実にとらえることができるのである．

【実施例１】 第１図に示すように、検査テーブル１上に検査対象物で
あるプリント基板２が載置される．検査テーブル１は、
Ｘ−Ｙテーブルであって、プリント基板２を任意の位置
に平行移動させることができる．検査テーブル１の上方
にはＣＣＤカメラよりなる一対の画像入力装１ｆ３ａ，
３ｂが、プリント基板２を撮像できるように配置されて
いる．ここに、画像入力装置３ａ，３ｂの位置は固定さ
れている．また、画像入力装置３ａ，３ｂの水平方向お
よび垂直方向は、それぞれ検査テーブル１の移動方向で
あるＸ方向およびＹ方向に対応させるのが望ましい． 画像入力装置３ａ，３ｂの出力は、第２図に示すように
、画像処理部４に入力され、画像の濃淡などから微分演
算などによって、プリント基板２のパターンに対応する
部位と、パターン以外の部位とに分離する２値化処理が
施される．また、２値化処理により得られた２値化画像
のうち、所要のものに対しては、パターンの境界線を求
める境界線演算が施される．すなわち、境界線演算では
、第３図に示すように、プリント基板２上で適宜選択し
たガイドマークや回路パターンなどのパターンＰに対し
て、少なくとも２方向の境界線ｅ．　，ｅ２を抽出する
のであり、こうして抽出された境界線１．　，ｌ．は境
界線記憶部５に記憶される．ここに、境界線１＋　．１
２は、検査テーブル１の移動方向（Ｘ方向およびＹ方向
〉の２方向について抽出するのが望ましい． 以上のようにして画像入力装置３ａ，３ｂの出力を画像
処理部４を通して２値化した２値化画像と、境界線記憶
部５に記憶された境界線１．　，ｌ２とは、画像入力装
置３ａ，３ｂに対応して一対設けられたＣＲＴのような
ディスプレイ装１６　ａ　，　６ｂに表示される．ここ
に、境界線１．　，１２は、第３図に示すように、パタ
ーンＰを越えてディスブレイ装置６ａ，６ｂの画面一杯
まで延長される。 次に上記構成の装置の使用方法を説明する。まず、１枚
目のプリント基板２を検査テーブルｌにセットし、画像
入力装置３ａ，３ｂによりプリント基板２の表面に形成
されている適宜パターンＰを撮像する．ここに、画像入
力装置３ａ，３ｂの拡大倍率を大きく設定するとともに
分解能を高く設定し、５０〜１００ｕｚＰｉ！度の検査
精度が得られるように設定しておく．画像入力装置３ａ
．３ｂの出力は上述のように画像処理部４において２値
化処理が施されるとともに境界線演算が施され、境界線
ＩＩ．　，ｌ．は境界線記憶部５に記憶される。こうし
て得られたパターンＰの２値化画像と境界線１，　，ｌ
２とはディスプレイ装置６ａ．６ｂに表示され、プリン
ト基板２を検査テーブル１から外した後も境界線１．　
，１．は基準線としてディスプレイ装！６ａ，６ｂに表
示される．この状態で、検査テーブル１には、２枚目の
プリント基板２が載置される．プリント基板２は適宜位
置に配置され、１枚目のプリント基板２から境界線１．
，ｌ２を得たパターンＰと同一のパターンＰがディスプ
レイ装ｉｔ　６　ａ　，６ｂに表示されるように、プリ
ント基板２を移動させ、さらに、パターンＰの境界線が
ディスプレイ装置６ａ．６ｂに表示されている境界線１
．　，ｌ２に一致するように移動させる．ここで、プリ
ント基板２を移動させるには、検査テーブル１を移動さ
せればよい．また、パターンＰの境界線がディスプレイ
装ｆｆ６ａ，６ｂに表示されている境界ａｌｌ２に一致
したときに、境界線１＋．ｌｘの色が変化するようにす
れば、パターンＰが一致したがどうかが明瞭にわかり、
精度を高めることができる。

【実施例２】 本実施例では、画像入力装置３ａ，３ｂを可動フレーム
７に装着し、検査テーブル１のＸ方向およびＹ方向に画
像入力装置３ａ，３ｂを移動させることができるように
している．可動フレーム７は、第２図に示すように、モ
ータ等よりなるフレーム駆動部８により駆動されるので
あり、フレーム駆動部８は、検査対象物であるプリント
基板２のパターンＰに閏する数値データに従って動作す
る．すなわち、プリント基板２のパターンＰを含む数値
データが検査対象形状記憶部９にあらかじめ記憶されて
おり、この数値データに基づいて、所定のパターンＰを
撮像することができる位置に画像入力装置３ａ，３ｂを
移動させるのである．検査対象形状記憶部９に記憶され
る数値データは、別途に設けたキーボードより入力すれ
ばよい．以上の構成により、プリント基板２に形成され
ているパターンＰを画像入力装置３ａ，３ｂで確実にと
らえることができるのであり、画像入力装？１ｆ３ａ，
３ｂの視野にパターンＰが入らないという事態をｏｎｅ
できるのである．

【発明の効果】

本発明の請求項ｌの構成によれば、表面に所定のパター
ンを有する検査対象物が載置され検査対象物を任意の方
向に移動させる検査テーブルと、検査テーブルに対向し
て定位置に配設され検査対象物の画像を撮像する画像入
力装置と、画像入力装置により撮像された画像を表示す
るディスプレイ装置と、画像入力装置により撮像された
画像に画像処理を施して特定のパターンの画像における
少なくとも２方向の境界線を抽出する画像処理部と、上
記境界線を記憶しディスプレイ装置上に表示する境界線
記憶部とを具備しているものであり、検査テーブルに対
向して定位置に配設された画像入力装置により検査対象
物の画像を撮像してディスプレイ装置に表示するととも
に、特定のパターンの画像における少なくとも２方向の
境界線を抽出してディスプレイ装置上に表示するから、
ディスプレイ装置に表示されている検査対象物の特定の
パターンの２方向の境界線を基準線とし、他の検査対象
物における同一パターンをディスプレイ装置に表示しな
がらこの基準線に位置を合わせれば、各検査対象物の位
置合わせを正確に行うことができることになり、基準孔
を穿孔することなく検査対象物の位置合わせが行えると
いう利点を有する． また、請求項２の構成によれば、請求項１の構成に加え
て、検査対象物のパターンを含む数値データを記憶した
検査対象形状記憶部と、画像入力装置を保持し検査テー
ブルに対して画像入力装置を任意の位置に移動させるこ
とができる可動フレームとを有し、画像入力装置の視野
内にあらかじめ設定されたパターンが位置するように数
値データに基づいて可動フレームを駆動するようにして
いるから、基準位置を決めるパターンを画像入力装置の
視野に確実にとらえることができるという効果を奏する
．

【図面の簡単な説明】

第ｌ図は本発明の実施例１を示す外観斜視図、第２図は
同上のブロック図、第３図は同上におけるディスプレイ
装置の表示状態の一例を示す動作説明図、第４図は本発
明の実施ｒＰ４２を示すブロック図である． １・・・検査テーブル、２・・・プリント基板、３ａ，
３ｂ・・・画像入力装置、４・・・画像処理部、５・・
・境界線記憶部、６ａ，６ｂ・・・ディスプレイ装置、
７・・・可動フレーム、８・・・フレーム駆動部、９・
・・検査対象形状記憶部．

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面に所定のパターンを有する検査対象物が載置
   され検査対象物を任意の方向に移動させる検査テーブル
   と、検査テーブルに対向して定位置に配設され検査対象
   物の画像を撮像する画像入力装置と、画像入力装置によ
   り撮像された画像を表示するディスプレイ装置と、画像
   入力装置により撮像された画像に画像処理を施して特定
   のパターンの画像における少なくとも２方向の境界線を
   抽出する画像処理部と、上記境界線を記憶しディスプレ
   イ装置上に表示する境界線記憶部とを具備して成ること
   を特徴とするパターン検査用位置決め装置。
2. （２）表面に所定のパターンを有する検査対象物が載置
   され検査対象物を任意の方向に移動させる検査テーブル
   と、検査対象物のパターンを含む数値データを記憶した
   検査対象形状記憶部と、検査テーブルに対向して配設さ
   れ検査対象物の画像を撮像する画像入力装置と、画像入
   力装置を保持し検査テーブルに対して画像入力装置を任
   意の位置に移動させることができる可動フレームと、画
   像入力装置により撮像された画像を表示するディスプレ
   イ装置と、画像入力装置により撮像された画像に画像処
   理を施して特定のパターンの画像における少なくとも２
   方向の境界線を抽出する画像処理部と、上記境界線を記
   憶しディスプレイ装置上に表示する境界線記憶部とを具
   備し、画像入力装置の視野内にあらかじめ設定されたパ
   ターンが位置するように上記数値データに基づいて可動
   フレームを駆動することを特徴とするパターン検査用位
   置決め装置。