JPH03172713A - 振動ジャイロ - Google Patents

振動ジャイロ

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Publication number
JPH03172713A
JPH03172713A JP1312661A JP31266189A JPH03172713A JP H03172713 A JPH03172713 A JP H03172713A JP 1312661 A JP1312661 A JP 1312661A JP 31266189 A JP31266189 A JP 31266189A JP H03172713 A JPH03172713 A JP H03172713A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrating body
vibrating
elements
gyro
piezoelectric element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1312661A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Nakamura
武 中村
Yoshiko Morishita
森下 好子
Keiichi Okano
恵一 岡野
Akira Mori
章 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP1312661A priority Critical patent/JPH03172713A/ja
Publication of JPH03172713A publication Critical patent/JPH03172713A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は振動ジャイロに関し、特に恒弾性金属材料か
らなる振動体に圧電素子が接着された振動ジャイロに関
する。
(従来技術) 第4図は従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図である
。この振動ジャイロlは、エリンバなどの恒弾性金属材
料からなる正3角柱状の振動体2を含み、振動体2の3
つの側面の中央には、短冊状の圧電素子3a、3bおよ
び3cが、それぞれ、接着剤で接着されている。この場
合、接着剤としてエポキシ系の接着剤が用いられ、その
接着剤を約180〜200℃の温度で硬化することによ
って、それぞれの圧電素子3a〜3cが振動体2に接着
される。
(発明が解決しようとする課題) ところが、上述の振動ジャイロ1では、恒弾性金属材料
からなる振動体2の熱膨張係数が約8〜10 x 10
−b/”cであり、圧電素子3a〜3cの熱膨張係数が
約2〜4 X 10−6/’Cであって、それらの熱膨
張係数の違いから、振動体の加工精度や圧電素子の形状
の誤差、接着位置のずれなどによって、圧電素子を接着
し常温に戻した場合、振動体2にそりやねじれな、どの
歪が生じてしまう。
この歪は、周囲の温度変化によって変化する。そのため
、この振動ジャイロは、温度変化によってドリフトなど
の特性が変化し不安定である。
それゆえに、この発明の主たる目的は、温度変化に対し
て特性が安定である、振動ジャイロを提供することであ
る。
(課題を解決するための手段) この発明は、恒弾性金属材料からなる多角柱状の振動体
と、この振動体の少なくとも3つの側面に接着されるそ
れぞれの圧電素子と、振動体の節点の近傍に取り付けら
れ振動体を支持するための支持部材とを含み、支持部材
の取付部から振動体の長手方向の少なくとも片側で振動
体に切欠部を形成した、振動ジャイロである。
(作用) 振動体と圧電素子との熱膨張係数の違いによって生じる
そりやねじれなどの歪は、振動体に形成された切欠部に
よって緩和される。
(発明の効果) この発明によれば、温度変化によって生しる歪が緩和さ
れるので、温度変化によるドリフトなどの特性が改善さ
れる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
(実施例) 第1A図はこの発明の一実施例を示す斜視図であり、第
1B図は第1A図のvAI B −I Bにおける断面
図である。
この振動ジャイロ10は、たとえばエリンバなどの恒弾
性金属材料からなるたとえば正3角柱状の振動体12を
含む。
この振動体12の3つの側面の中央には、それぞれ、圧
電素子14a、14bおよび14cが、たとえばエポキ
シ樹脂系の接着剤を約180〜200°Cで硬化するこ
とによって、接着される。すなわち、圧電素子14a、
14bおよび14Cは、それぞれ、圧電層16a、16
bおよび16Cの両本部に電極13a、  18bおよ
び18cと電極20a、20bおよび20Cとをそれぞ
れ形成したものであり、一方の電極18 a−18cが
振動体12に接着される。
さらに、この振動体12の1つの稜線部分には、1つの
節点の近傍に、たとえば振動体12の長手方向における
長さをLで表した場合その一端から0.224Lの部分
に、支持部材として支持棒22aが取り付けられる。同
様に、振動体12の同し稜線部分には、別の節点の近傍
に、たとえばその他端から0.224Lの部分に、支持
部材として別の支持棒22bが取り付けられる。この場
合、これらの支持棒22aおよび22bは、振動体12
の幅方向に延びるように溶接される。
また、振動体12には、支持棒22aおよび22bの取
付部のそれぞれの両側において振動体12を周回するよ
うにして、切欠部24がそれぞれ形成される。
この振動ジャイロ10では、振動体12と圧電素子14
a−14Cとの熱膨張係数の違いから温度変化によって
生じるそりやねじれなどの歪が、振動体12に形成され
た切欠部24によって緩和される。したがって、この振
動ジャイロ10では、温度変化によるドリフトなどの特
性が改善される。
なお、この振動ジャイロ10では、2つの圧電素子14
aおよび14bが検出用として用いられ、また、それら
の2つの圧電素子14aおよび14bあるいは他の圧電
素子14Cが駆動用に用いられる。
そして、回転角速度を測定するためには、2つの圧電素
子14aおよび14b間に生じる電圧を測定すればよい
。なぜなら、圧電素子14aおよび14b間に生じる電
圧は、この振動ジャイロ10をその軸を中心として回転
した場合、その回転角速度に応じて変化するからである
第2図は第1A図および第1B図に示す実施例の変形例
を示す断面図である。第1A図および第1B図に示す実
施例では、切欠部24が振動体12を周回するようにそ
れぞれ形成されているが、この実施例では、切欠部24
が振動体12の3つの角部のみにそれぞれ形成されてい
る。この実施例のように、切欠部24を振動体12の角
部のみに形成しても、その切欠部24で温度変化による
歪を緩和することができる。
第3図は第2図に示す実施例の変形例を示す断面図であ
る。この実施例では、特に、振動体12の支持棒22a
および22bの取付部と同じ稜線部分を含む角部のみに
、切欠部24がそれぞれ形成されている。この実施例の
ように、振動体12の1つの角部に切欠部24を形成し
ても、温度変化による歪を緩和することができる。
なお、上述の各実施例では支持棒の取付部のそれぞれの
両側で振動体に切欠部がそれぞれ形成されているが、振
動体の長手方向に間隔を隔てて切欠部を多数形成したり
、一方の支持棒の取付部の片側のみに切欠部を形成した
りしても、温度変化による歪を緩和することができる。
また、上述の各実施例では支持棒が振動体の稜線部分に
取り付けられているが、支持棒は、振動体の側面に沿っ
て取り付けられてもよい。
さらに、上述の各実施例では振動体が正3角柱状に形成
されているが、振動体はたとえば4角柱状、5角柱状あ
るいは6角柱状など他の多角柱状に形成されてもよい。
この場合、振動体の少なくとも3つの側面に圧電素子を
それぞれ接着し、振動体の節点の近傍に支持部材を取り
付け、支持部材の取付部から振動体の長手方向の少なく
とも片側で振動体に切欠部を形成すればよい。
【図面の簡単な説明】
第1A図はこの発明の一実施例を示す斜視図であり、第
1B図は第1A図の線IB−IBにおける断面図である
。 第2図は第1A図および第1B図に示す実施例の変形例
を示す断面図である。 第3図は第2図に示す実施例の変形例を示す断面図であ
る。 第4図は従来の振動ジャイロを示す斜視図である。 図において、10は振動ジャイロ、I2は振動体、14
a、14bおよび14Cは圧電素子、22aおよび22
bは支持棒、24は切欠部を示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  恒弾性金属材料からなる多角柱状の振動体、前記振動
    体の少なくとも3つの側面に接着されるそれぞれの圧電
    素子、および 前記振動体の節点の近傍に取り付けられ前記振動体を支
    持するための支持部材を含み、 前記支持部材の取付部から前記振動体の長手方向の少な
    くとも片側で前記振動体に切欠部を形成した、振動ジャ
    イロ。
JP1312661A 1989-11-30 1989-11-30 振動ジャイロ Pending JPH03172713A (ja)

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JP1312661A JPH03172713A (ja) 1989-11-30 1989-11-30 振動ジャイロ

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5574221A (en) * 1993-10-29 1996-11-12 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Angular acceleration sensor
US5574219A (en) * 1994-04-26 1996-11-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric vibrator
US6092417A (en) * 1996-12-27 2000-07-25 Canon Kabushiki Kaisha Gyrosensor
CN102230806A (zh) * 2011-04-26 2011-11-02 中国科学院软件研究所 一种陀螺仪温度漂移补偿方法

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