JPH03168494A - Ｔ字管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の分野〕 本発明は弁に関し、詳しくは穿孔によって金属の一体ブ
ロックに形成された構造に関する。該構造は主たる孔に
して、そこから多くの弁付きの分岐孔が枝別れする前記
主たる孔を具備する。該構造は必要とされる多くの溶接
を低減し、それが該構造を，半導体工業において生じる
ような超高純度用途のために特に有用なものとする。

【従来技術の説明１ 日本国特許第０２／　０８８４３１号には、１つ以上の
分岐孔と交差される主たる孔、即ち送給孔により、金属
の一体ブロックをマニホルドへと形成する方沫が説明さ
れる。各分岐孔には、弁をそこに位置付けたステムキャ
ビティが交差される。これら弁の特別形状は、分岐孔の
流路内に妨害となるオフセット或いは狭窄部を設けるの
ではなく．前記分岐孔がブロックを貫いて直線状に伸延
されるようなものである。

多くの用途において、直線の、障害物のない流路を有す
る弁は非常に望ましいものであるが、隔膜弁の如き別様
の弁を使用することが望ましい他の用途も依然存在する
。障害物のない直線状の孔を有する隔膜弁は知られてい
ない。従って、先の日本国特許が出願された時点におい
ては、オフセッ］・流れを有するその他形式の弁を金属
の一体ブロック内に形成し得ることは疑問とされていた
。

結局、それらその他形式の弁は使用され得るものである
ことが分った。

従って本願発明の１つの目的は、前述の如きマニホルド
内での前記その他形式の弁の使用を可能とすることであ
る。

インスティテユートオブエンバイロンメンタルサイエン
スが、その第９　ＩＣＣＣＥ　Ｐｒｏｃｅｅｄｔｎｇｓ
に於て発行した”ＵＬＳＩＩ造のための、汚染の無いガ
ス構或部品及び超クリーンガス供給システム”と題する
技術誌において、カンノ及びオーミ両氏が隔膜弁を使用
するブロックマニホルドを開発したことを報告している
。

本山製作所の広告にはブロック内を伸延する２つの弁も
また示される。

本発明はこれら刊行物に示される弁とは幾つかの重大な
点において異なるものである。

全てのＴ字管は第１及び第２の２つの部材から成り立つ
。該２つの部材の一方、即ち第１の部材は直線状であり
、他方の即ち第２の部材は前記一方の部材内で閉じてい
る。

本発明においては主たる孔、即ち給送ラインが直線状で
あり、分岐ラインが給送ライン内で閉じた第２の部材で
ある。これとは対照的に、前述の刊行物に示された弁に
おいては、給送ラインは閉じており、分岐ラインは直線
状である。この小さな差が、前記刊行物に示された弁を
給送ラインに沿って順次配置した分配システムを形成す
る上での障害となっている。

これら刊行物の弁が分配システムで使用することを意図
したものではないという証拠は、給送ラインの直径が分
岐ラインと同一であるという事実から導かれる。つまり
、分岐ラインの両端が開いた場合、そこでの流れは半分
となる。給送ラインは両方の分岐ラインに充満状態での
流れを供給するには不十分なものである。対照的に、本
発明においては給送ラインの直径は分岐ラインよりも大
きくそれにより，給送ラインはその下流の分岐ラインに
対し、該分岐ラインでの流量を過度に減少させることな
く供給可能である。

前述の刊行物には単一の弁ではなく一対の弁が示される
だけである。

更には、本発明の別態様においては２つの分岐ラインが
給送ラインから対向方向に伸延して交差部分を形成して
いる。給送ラインに対する障害物は無い。前記刊行物に
記截された弁を使用して交差部分を形成することは不可
能と考えられる。なぜなら粕送ラインは分岐ライン内で
閉じているからである。

斯くして、本発明は先に参照した刊行物に記載された弁
とは異なるＩＩＩＩ造を有し、またこうした構造上の相
違によって本発明の有用性は高められる。

米国特許第２，　５９８．　９６１号にはブロックに形
成されたマニボルドが示される。しかしここには弁は含
まれない。該マニホルドは庭の水撒きのためのものであ
り分岐ラインの直径は給送ラインの直径と同一であると
詔識される。

［発明が解決しようとする課題］ 解決しようとする課題は、金属の一体ブロック内にオフ
セット流れを有する等の形式の弁を形成出来ない点であ
る。

（発明の概要及び効果］ 本発明はステンレス鋼の如き剛性材料から成る一体ユニ
ットに形成した小型弁式Ｔ字管である，特定直径の給送
ラインが、Ｔ字管の直線セグメントを形成する一方、小
直径の分岐ラインが給送ライン内で閉じた構或とされる
。分岐ライン内の流れは該分岐ライン内の弁によって制
御される。第１具体例においてはブロックには弁の入り
口ポート及び出口ポートを画定する部分が含まれる。他
の具体例ではブロックには、弁座及び弁ステムキャビテ
ィの夫々を画定する部分が含まれる。

給送ラインがブロックを貫通して直線状に伸延すること
から、本発明のＴ字管は、単一の給送ラインから、多く
の分岐ラインが伸延する分配システムを構成するに際し
て使用するために特に好適である。そうした分配システ
ムは、本発明のＴ字管を給送ラインセクションと代替す
ることによって形成可能である。別様には、分配システ
ムは２本以上の本発明のＴ字管を連結して単一のブロッ
クとすることによって形成し得る。

給送ラインに、分岐ラインの多数の交差部分によって構
成される交差部分が含まれることから、分岐ライン中の
弁の開閉による他の分岐ラインへの流れの影響は、給送
ラインがもつと小さい場合に比べてずっと少ない。

ブロックを直線状に貫通して伸延する給送ラインを具備
することによる他の好ましい影響は、２本の本発明のＴ
字管を連結することによって、単一のブロックに弁式の
交差部分を形成し得ることである。

〔実施例の説明〕

本発明に従えば、Ｔ字管及び少なくとも弁の一部が金属
、好ましくはタイプ３１６Ｌステンレス鋼から成る一体
のブロック１２から加工される。ブロック１２には主た
る孔、即ち給送ラインｌ４が穿孔される。該給送ライン
１４はブロック１２を完全に貫いて形成される。

ブロック１２には弁１６の一部分もまた穿孔される。図
面に示される好ましい具体例においては、ステムキャビ
ティ２４が形成され、該ステムキャビティの端部もまた
弁座２６として作用する。弁１６は第２図では明瞭化の
ために取り外され点線で示されている。

通路２８が給送ラインｌ４を弁の入り口ポート１８に連
絡する。弁が開かれると第１の出口ポート２０及び第２
の出口ポート２２を通しての、流体の弁からの排出が可
能とされる。第１の出口ポート２０は第１の分岐ライン
孔３０に結合され、第２の出口ポートは２２第２の分岐
ライン孔３２に結合される。好ましい具体例においては
補助分岐ライン孔３４もまた設けられ、それが前記第１
の分岐ライン孔３０に結合される。

図面に示される好ましい具体例においては、分岐ライン
スタ１３８がブロック１２の一体部分として形成される
。該分岐ラインスタブ３８は第１の分岐ライン孔３０と
同中心であり且つ分岐ラインスタブとしての使用に適合
する長さ及び外径を有している。類似の給送ラインスタ
ブ３６が給送ライン１４の延長部を提供する。

第２図から容易に認識されるように、第１の分岐ライン
孔３０及び第２の分岐ライン孔３２は給送ライン１４の
軸Ａと直行する平面に配置される。第１の分岐ライン孔
３０の軸Ｂ，及びＢ２と、第２の分岐ライン孔３２とが
、給送ラインの軸Ａと交差せず，しかも軸Ｂ．及びＢ，
は同一直線を形成しない。こうした関係は先に言及され
た特許に記載されたものとは異なるものであり、それに
よりＴ一字構成での弁の広範囲の使用が可能とされる。

本発明に従えば、給送ライン１４の内測交差部分は第１
の分岐ライン孔３０及び第２の分岐ライン孔３２の何れ
をも越えて延長される。好ましい具体例においては給送
ラインの面積は分岐ラインのそれよりも１．５倍大きい
．ｉ．５（音という因子は全ての分岐ライン孔が同時に
開放されることが恐らく無い、一般的使用のために適し
た妥協値である。分岐ライン孔が同時的に使用される可
能性が大きい場合にはより大きな値が使用されるべきで
ある。

第３図には金属製の単一ブロック４２における弁付きの
減圧用の交差部分が例示される。第２図におけるように
、給送ライン孔４４が図面の平面と直行方向に伸延され
る。分岐ライン孔４６及び４８は弁５０によって制御さ
れ、一方、分岐ライン孔５２及び５４は弁５６によって
制御される。

分岐ライン孔４６及び４８の一方と分岐ライン孔５２及
び５４の一方とを、用途に応じてパージ孔として作用さ
せ得る。

第４図には減圧用の多数のＴ字管を金属製の単一ブロッ
クに形成した状態が例示される。こうした方策は、分岐
ラインを接近状態で隔設可能である場合に適している。

給送ライン６４はブロック６２を貫いて伸延され、分岐
ライン孔６６、６８、７０、７２、７４、７６が給送ラ
イン孔の軸と直行する平面に配置される。

ある用途においては分岐ラインは第５図に示されるよう
に給送ライン８０に沿って広い間隔で配置される。こう
した状態ではＴ字管８２、８４及び８６は第１図及び第
２図のそれと比較し得るものであり、給送ラインのセク
ション８８及び９０によって連結可能である。

本発明のＴ字管が、給送ラインが分岐ライン孔よりも大
きいことによって分配システムでの使用のだめに特に良
く適合することを理解されよう。

以上本発明を具体例を参照して説明したが、本発明の内
で種々の変更をなし得ることを銘記されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従うＴ字管の側面図である。 第２図は第１図をＩｍ　２　−　２で切断した断面図で
ある。 第３図は本発明に従うＴ字管の別態様の第２図と同様の
断面図である。 第４図は本発明の１様相に従う、単一ブロックに形成さ
れた分配システムの該略図である。 第５図は給送ラインに沿って個別のＴ字管を隔設して形
成した分配システムの該略図である。 尚、図中主な部分の名称は以下の通りである。 １２：ブロック ｌ４：給送ライン １６；弁 ２０：第１の出口ポート ２２；第２の出口ポート ２４：ステムキャビティ ２６：弁座 ２８：通路 ３０：第１の分岐ライン孔 ３２：第２の分岐ライン孔 ３４：補助分岐ライン孔 ３８：分岐ラインスタブ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、剛性材料から成るブロックと、 該ブロックを貫いて伸延する主たる孔と、 前記ブロックに於て画定される入り口ポート及び出口ポ
   ートを具備する弁と、 前記主たる孔を前記弁の入り口ポートと連結する、前記
   ブロック内の通路と、 前記ブロック内を前記弁の出口ポートへと伸延する分岐
   孔とを含み、 前記主たる孔の面積が前記分岐孔の面積よりも１．５倍
   大きくされているＴ字管。 ２、主たる孔はそこに沿って軸Ａを有し、分岐孔は該軸
   Ａと直行する平面において軸Ｂを有している請求の範囲
   第１項記載のＴ字管。 ３、ブロック内を分岐孔に向かって伸延する補助分岐孔
   を含む請求の範囲第１項記載のＴ字管。 ４、ブロックに対し、主たる孔と同中心に固着されその
   延長部を形成する主たるスタブを含む請求の範囲第１項
   記載のＴ字管。 ５、ブロックは主たる孔と同中心の且つ主たるスタブと
   して使用するために適合された中空の一体突出部を含ん
   でいる請求の範囲第１項記載のＴ字管。 ６、ブロックに固着され、分岐孔と同軸で且つその延長
   部を形成する分岐スタブを含んでいる請求の範囲第１項
   記載のＴ字管。 ７、ブロックは分岐孔と同中心で且つ分岐スタブとして
   使用するために適合する中空の一体突出部を含んでいる
   請求の範囲第１項記載のＴ字管。 ８、弁はブロックの対応部分によって画定される弁座を
   具備している請求の範囲第１項記載のＴ字管。 ９、弁はブロックの対応部分によって画定される弁ステ
   ムキャビティを具備している請求の範囲第１項記載のＴ
   字管。 １０、剛性材料から成るブロックと、 該ブロックを貫いて伸延する主たる孔と、 前記ブロックに於て画定される入り口ポート及びＮ個の
   出口ポートを具備する弁にして、前記Ｎ個は１以上であ
   る弁と、 前記主たる孔を前記弁の入り口ポートとを連結する、前
   記ブロック内の通路と、 前記ブロック内を前記Ｎ個の弁の出口ポートへと伸延す
   るＮ個の分岐孔とを含み、 前記主たる孔の面積が前記Ｎ個の分岐孔の面積よりも１
   ．５倍大きくされているＴ字管。 １１、主たる孔はそこに沿って軸Ａを有し、Ｎ個の分岐
   孔は、その全てが該軸Ａと直行する平面に配置される軸
   Ｂ＿１〜Ｂ＿Ｎを有している請求の範囲第１０項記載の
   Ｔ字管。 １２、ブロック内をＮ個の分岐孔に向って伸延する補助
   分岐孔を含む請求の範囲第１０項記載のＴ字管。 １３、ブロックに対し、主たる孔と同中心に固着されそ
   の延長部を形成する主たるスタブを含む請求の範囲第１
   ０項記載のＴ字管。 １４、ブロックは主たる孔と同中心の且つ主たるスタブ
   として使用するために適合された中空の一体突出部を含
   んでいる請求の範囲第１０項記載のＴ字管。 １５、ブロックに固着され、Ｎ個の分岐孔の１つと同軸
   で且つその延長部を形成する分岐スタブを含んでいる請
   求の範囲第１項記載のＴ字管。 １６、ブロックはＮ個の分岐孔の１つと同中心で且つ分
   岐スタブとして使用するために適合する中空の一体突出
   部を含んでいる請求の範囲第１０項記載のＴ字管。 １７、弁はブロックの対応部分によって画定される弁座
   を具備している請求の範囲第１０項記載のＴ字管。 １８、弁はブロックの対応部分によって画定される弁ス
   テムキャビティを具備している請求の範囲第１０項記載
   のＴ字管。 １９、剛性材料から成るブロックと、 該ブロックをその軸Ａに沿って貫いて伸延する主たる孔
   と、 前記ブロックの対応部分によって画定される入り口ポー
   ト及び出口ポートを具備する第１の弁と、 前記主たる孔と前記第１の弁の入り口ポートとを連結す
   る、前記ブロック内の第１の通路と、前記第１の弁の出
   口ポートへと前記ブロック内を伸延する第１の分岐孔に
   して、前記主たる孔の面積が該第１の分岐孔の面積より
   も１．５倍の大きさである前記第１の分岐孔と、 前記ブロックの対応部分によって画定される入り口ポー
   ト及び出口ポートを具備する第２の弁と、 前記主たる孔と前記第２の弁の入り口ポートとを連結す
   る、前記ブロック内の第２の通路と、前記第２の弁の出
   口ポートへと前記ブロック内を伸延する第２の分岐孔に
   して、前記主たる孔の面積が該第２の分岐孔の面積より
   も１．５倍の大きさである前記第２の分岐孔と、 前記第１の分岐孔が、前記主たる孔の軸Ａと直行する平
   面に配置される軸Ｂ＿１を有し、 前記第２の分岐孔が、前記主たる孔の軸Ａと直行する平
   面に配置される軸Ｂ＿２を有している減圧弁。 ２０、第１の分岐孔の軸Ｂ＿１及び第２の分岐孔の軸Ｂ
   ＿２は平行である請求の範囲第１９項記載の減圧弁。 ２１、第１の分岐孔の軸Ｂ＿１の配置される面は第２の
   分岐孔の軸Ｂ＿２の配置される面と同一である請求の範
   囲第１９項記載の減圧弁。 ２２、第１の分岐孔の軸Ｂ＿１及び第２の分岐孔の軸Ｂ
   ＿２は平行である請求の範囲第２１項記載の減圧弁。 ２３、第１の分岐孔の軸Ｂ＿１及び第２の分岐孔の軸Ｂ
   ＿２は一致する請求の範囲第２１項記載の減圧弁。