JPH03166322A - エッチング電極カバー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、集積回路や電子部品製造工程で用いられる平
行平板型ドライ・エッチング装置のエッチング電極カバ
ーに関するものである。

［従来の技術］ 平行平板型ドライ・エッチング装置を用いたドライ・エ
ッチング・プロセスにおいて、エッチング装置の冷却可
能な電極表面を必要な被覆材で被覆し、かつ該電極上に
設置した被エッチング試料を冷却する場合ミ被覆材の交
換を容易にするために、従来は被覆材を直接電極上に貼
らずに熱伝導性の良い金属板の主表面に被覆材を貼り付
けた電極カバーを用いていた。すなわち、電極の上に該
金属板の主表面を上にして置き、この金属板主表面を被
覆材で被覆し、金属板を介して試料の冷却をはかつてい
た。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、冷却電極上に金属板を戟置するだけでは、該冷
却電極と金属板の密着性が悪く、試料の冷却性は十分に
得られなかった。

本発明の目的は、平行平板型ドライ・エッチング装置の
冷却可能な電極上に戟置するだけで高い冷却性が得られ
るドライ・エッチング用電極カバーを提供することにあ
る。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、金属板と、該金属板主表面に貼着した電極被
覆材とで構成されるドライ・エッチング用電極カバーに
おいて、金属板主表面の反対面にはインジウム・シート
が着接されてなることを特徴とするエッチング電極カバ
ーである。

［作用］ 本発明のドライ・エッチング用電極カバーをドライ・エ
ッチング装置の冷却可能な電極上に戟置すると、電極表
面と電極カバーはインジウム・シートを介して接触する
。インジウム・シートは常温下で容易に変形する柔軟性
を有するので、電極表面に接触しているインジウム・シ
ート表面は、電極表面の凹凸に対応して変形する。その
ため、インジウム・シートと電極の密着性は、インジウ
ム・シートを介しない場合の金属板と電極の密着性より
も高くなる。その結果、金属板を介して電極と対向して
貼着した電極被覆材上に設置した試料に、高い冷却効果
を施すことができる。

［実施例］ 次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。

第１図は、本発明の一実施例を示すドライ・エッチング
用電極カバーの断面図である。

両面を研磨した無酸素銅よりなる金属板２の一方の表面
に両面テ〜プ３を貼り、さらに重ねて電極被覆材として
ポリプロピレン板４を貼った。金属板２の他方の表面に
は該金属仮２と同じ大きざのインジウム・シ一ト１を５
Ｋｇ／ｃｍ２程度の圧力で圧着して一体化した。

以上の実施例にあいては、電極被覆材にポリプロピレン
板、熱伝導支持金属板に銅板、貼着材に両面テープを用
いたが、本発明はこれらの材料に限定されず、電極被覆
材にアーデル・カバー等を、熱伝導支持金属板に銅板以
外の熱良導体金属板を、貼着材に接着剤を用いることも
できる。

［発明の効果］ 本発明によれば、エッチング電極カバーは変形容易なイ
ンジウム・シートを介して電極表面と接するので、電極
との密着性が良くなる。従って、電極上に置くだけで試
料に対する高い冷却効果が得られるドライ・エッチング
用電極カバーが実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すドライ・エツチング用
電極カバーの断面図である。 ］・・・インジウム・シート ２・・・金属板 ３・・・両面テープ ４・・・ポリプロピレン板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）金属板と、該金属板主表面に貼着した電極被覆材
   とで構成されるドライ・エッチング用電極カバーにおい
   て、金属板主表面の反対面にはインジウム・シートが着
   接されてなることを特徴とするエッチング電極カバー。