JPH03163739A - 非点状態、フォーカス状態モニタ方式 - Google Patents
非点状態、フォーカス状態モニタ方式Info
- Publication number
- JPH03163739A JPH03163739A JP1303832A JP30383289A JPH03163739A JP H03163739 A JPH03163739 A JP H03163739A JP 1303832 A JP1303832 A JP 1303832A JP 30383289 A JP30383289 A JP 30383289A JP H03163739 A JPH03163739 A JP H03163739A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- astigmatism
- image
- focus state
- focus
- directions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 6
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 abstract description 27
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 13
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/153—Correcting image defects, e.g. stigmators
- H01J2237/1532—Astigmatism
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、透過型電子顕微鏡において、電子ビームに非
点を生じているか否か、フォーカスがとれているか否か
を判断するための非点状態、フォーカス状態モニタ方式
に関する。
点を生じているか否か、フォーカスがとれているか否か
を判断するための非点状態、フォーカス状態モニタ方式
に関する。
［従来の技術コ
透過型電子顕微鏡においては、非点無しに、且つフォー
カスが合った状態で試料の観察、あるいは写真撮影を行
うことができるように、非点収差補正機構とフォーカス
合わせ機構が設けられるのが一般的である。
カスが合った状態で試料の観察、あるいは写真撮影を行
うことができるように、非点収差補正機構とフォーカス
合わせ機構が設けられるのが一般的である。
［発明が解決しようとする課題コ
しかしながら、非点収差補正機構あるいはフォーカス合
わせ機構が設けられているとしても、実際に、非点の有
無、フォーカスが合っているか否かを確認し、最終的な
非点収差補正あるいはフォーカス調整はオペレータが像
を直接観察することによって行われることが多く、オペ
レータの経験と熟練を必要とし、一般的には極めて難し
い操作である。即ち、透過型電子顕微鏡においては、フ
ォーカス点付近では像のコントラストが低下するので、
蛍光板上での像観察が困難であり、また、近年、ＴＶカ
メラで撮像した像をモニタ上で観察できるシステムも採
用されているが、当該システムにおいては、モニタのコ
ントラスト調整、輝度調整が適切に行われていないと非
点収差に起因する像の劣化の程度を見分けることは困難
であるため、モニタの調整に熟練を要するという問題が
生じていた。
わせ機構が設けられているとしても、実際に、非点の有
無、フォーカスが合っているか否かを確認し、最終的な
非点収差補正あるいはフォーカス調整はオペレータが像
を直接観察することによって行われることが多く、オペ
レータの経験と熟練を必要とし、一般的には極めて難し
い操作である。即ち、透過型電子顕微鏡においては、フ
ォーカス点付近では像のコントラストが低下するので、
蛍光板上での像観察が困難であり、また、近年、ＴＶカ
メラで撮像した像をモニタ上で観察できるシステムも採
用されているが、当該システムにおいては、モニタのコ
ントラスト調整、輝度調整が適切に行われていないと非
点収差に起因する像の劣化の程度を見分けることは困難
であるため、モニタの調整に熟練を要するという問題が
生じていた。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、非点が
発生しているか否か、およびフォーカスが合っているか
否かを容易に判断することができる非点状態、フォーカ
ス状態モニタ方式を提供することを目的とするものであ
る。
発生しているか否か、およびフォーカスが合っているか
否かを容易に判断することができる非点状態、フォーカ
ス状態モニタ方式を提供することを目的とするものであ
る。
［課題を解決するための手段コ
上記の目的を達成するために、本発明の非点状態、フォ
ーカス状態モニタ方式は、試料の投影像を撮像して得た
画像データの互いに方向を異にする複数の直線方向の波
形を表示することを特徴とする。
ーカス状態モニタ方式は、試料の投影像を撮像して得た
画像データの互いに方向を異にする複数の直線方向の波
形を表示することを特徴とする。
［作用および発明の効果］
本発明によれば、モニタ上に撮像して得た画像データの
波形を互いに方向を異にする複数の直線方向の波形につ
いて表示するので、゛表示された波形から非点の有無、
およびフォーカスが合っているか否かを容易に判断する
ことができる。具体的には、いくつかの方向の波形、例
えば、像の縦方向、横方向および斜め方向の波形を表示
したときに、全ての方向の波形が同じようなフォーカス
状態であれば非点は生じていないと判断することができ
、また、ある方向の波形はフォーカスが合っており、他
の方向の波形はフォーカスが合っていない状態であれば
、非点が生じていると判断することができる。
波形を互いに方向を異にする複数の直線方向の波形につ
いて表示するので、゛表示された波形から非点の有無、
およびフォーカスが合っているか否かを容易に判断する
ことができる。具体的には、いくつかの方向の波形、例
えば、像の縦方向、横方向および斜め方向の波形を表示
したときに、全ての方向の波形が同じようなフォーカス
状態であれば非点は生じていないと判断することができ
、また、ある方向の波形はフォーカスが合っており、他
の方向の波形はフォーカスが合っていない状態であれば
、非点が生じていると判断することができる。
このように、本発明によれば、熟練を要することなく、
且つ短時間で非点収差の発生状況およびフォーカス状態
を把握することができるものである。
且つ短時間で非点収差の発生状況およびフォーカス状態
を把握することができるものである。
［実施例］
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係る非点状態、フォーカス状態モニタ
方式の一実施例の構戚を示す図であり、図中、１は透過
型電子顕微鏡、２は撮像装置、３は制御装置、４は画像
メモリ、５は画像モニタ、６は波形モニタ、７は操作摘
みを示す。
方式の一実施例の構戚を示す図であり、図中、１は透過
型電子顕微鏡、２は撮像装置、３は制御装置、４は画像
メモリ、５は画像モニタ、６は波形モニタ、７は操作摘
みを示す。
第１図において、透過型電子顕微鏡１としては通常のも
のが使用され、試料（図示せず）の投影像は撮像装置２
により撮像される。該撮像装置２は、通常のテレビジロ
ンカメラで構成し、゛蛍光板（図示せず）上の投影像を
撮像してもよく、また、蛍光板に代えてＣＯＤ等の撮像
素子を多数配設し？センサを配置し、これにより試料の
像を直接撮像してもよいものである。制御装置３は、以
下に述べる本発明に係る非点状態、フォーカス状態七二
夕方式の処理を行うと共に、第１図に示す各装置の動作
を統括して管理するものである。画像メモリ４は撮像装
置２で取り込まれ■画像データを格納するものである。
のが使用され、試料（図示せず）の投影像は撮像装置２
により撮像される。該撮像装置２は、通常のテレビジロ
ンカメラで構成し、゛蛍光板（図示せず）上の投影像を
撮像してもよく、また、蛍光板に代えてＣＯＤ等の撮像
素子を多数配設し？センサを配置し、これにより試料の
像を直接撮像してもよいものである。制御装置３は、以
下に述べる本発明に係る非点状態、フォーカス状態七二
夕方式の処理を行うと共に、第１図に示す各装置の動作
を統括して管理するものである。画像メモリ４は撮像装
置２で取り込まれ■画像データを格納するものである。
なお、該画像メモリ４に格納される画像データはデジタ
ルデータであるので、撮像装置２の出力であるアナログ
ビデオ信号は、適当な箇所、例えば、撮像装置２の出力
段あるいは制御装置３の入力段等でＡ／Ｄ変換回路によ
りデジタル化される。画像モニタ５は撮像装置２で撮像
された試料の投影像をそのまま表示するためのものであ
り、波形モニタ６は画像メモリ４に格納された画像デー
タを指定された所定の方向から読み出したときの波形が
表示されるものである。
ルデータであるので、撮像装置２の出力であるアナログ
ビデオ信号は、適当な箇所、例えば、撮像装置２の出力
段あるいは制御装置３の入力段等でＡ／Ｄ変換回路によ
りデジタル化される。画像モニタ５は撮像装置２で撮像
された試料の投影像をそのまま表示するためのものであ
り、波形モニタ６は画像メモリ４に格納された画像デー
タを指定された所定の方向から読み出したときの波形が
表示されるものである。
なお、画像モニタ５、波形モニタ６にそれぞれ画像、波
形を表示する際には、例えば制御装置３の出力段等でＤ
／Ａ変換回路によりアナログ信号となされるものである
ことは言うまでもない。操作摘み７は画像モニタ５上に
表示されるカーソルの位置を指示するためのものである
。
形を表示する際には、例えば制御装置３の出力段等でＤ
／Ａ変換回路によりアナログ信号となされるものである
ことは言うまでもない。操作摘み７は画像モニタ５上に
表示されるカーソルの位置を指示するためのものである
。
さて、第１図の構成において、通常、制御装置３は撮像
装置２で撮像した試料の像を取り込み、該画像データを
そのまま画像モニタ５に出力している。これによりオペ
レータは投影像を観察することができる。
装置２で撮像した試料の像を取り込み、該画像データを
そのまま画像モニタ５に出力している。これによりオペ
レータは投影像を観察することができる。
そして、オペレータが非点収差の発生状況およびフォー
カス状態を把握しようとして、図示しないキーボード等
により所定の操作を行うと、制御装置３は撮像装置２の
出力であるビデオ信号を取り込んで画像メモリ４に格納
すると共に、画像モ二夕５の画面上には第２図に示すよ
うに、米字状のカーソル１０を表示する。なお、第２図
中において１１は試料の像を示す。また、画像メモリ４
に取り込むフレーム数は、１フレームだけでもよ＜、Ｓ
／Ｎ改善のために複数フレームを積算するようにしても
よい。
カス状態を把握しようとして、図示しないキーボード等
により所定の操作を行うと、制御装置３は撮像装置２の
出力であるビデオ信号を取り込んで画像メモリ４に格納
すると共に、画像モ二夕５の画面上には第２図に示すよ
うに、米字状のカーソル１０を表示する。なお、第２図
中において１１は試料の像を示す。また、画像メモリ４
に取り込むフレーム数は、１フレームだけでもよ＜、Ｓ
／Ｎ改善のために複数フレームを積算するようにしても
よい。
このような状態において、オペレータは操作摘み７を操
作することにより波形観察を行い易い位置にカーソル１
０を移動させ、波形の表示を指示する。このことにより
、制御装置３は、画像メモリ４から、カーソル１０の各
線に対応する位置の画像データを読み出す。即ち、いま
、画像メモリ４のメモリ空間上に第３図（ａ）の１１で
示すような画像データが格納されているものとすると、
制御装置３は、同図の■、■、■および■で示すカーソ
ル１０を構成する４本の線の方向に沿って画像データを
読み出す。第３図（ａ）の■、■、■および■の方向に
沿って読み出した結果得られた波形が、それぞれ、第３
図（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）および（ｅ）のようであった
とすると、これらの波形１３〜１６が波形モニタ６の画
面に表示される。
作することにより波形観察を行い易い位置にカーソル１
０を移動させ、波形の表示を指示する。このことにより
、制御装置３は、画像メモリ４から、カーソル１０の各
線に対応する位置の画像データを読み出す。即ち、いま
、画像メモリ４のメモリ空間上に第３図（ａ）の１１で
示すような画像データが格納されているものとすると、
制御装置３は、同図の■、■、■および■で示すカーソ
ル１０を構成する４本の線の方向に沿って画像データを
読み出す。第３図（ａ）の■、■、■および■の方向に
沿って読み出した結果得られた波形が、それぞれ、第３
図（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）および（ｅ）のようであった
とすると、これらの波形１３〜１６が波形モニタ６の画
面に表示される。
さて、試料の像を撮像して得られる波形はフォーカス状
態によって変化する。即ち、第３図（ａ）の１１で示す
ような円形の像を考た場合、フォーカスが合っている状
態では第４図（”ｂ’）に示すように波形の立ち上がり
部および立ち下がり部（以下、これらをフリンジと称す
）は滑ら・かに変化するが、フォーカスがアンダー側に
ずれている状態においては第４図（ａ）に示すようにフ
リンジにはオーバーシュートのようなピーク１７、１８
が生じるので像の輪郭が強調された状態となり、また、
フォーカスがオーバー側にずれている建甲においては、
第４図（Ｃ）に示すように、一般にオーバーフリンジと
称される、独立したピーク１９，２０が生じるので、像
の周囲には黒い縞模様が現れる。このように波形にピー
クがあるか否か、ピークが存在する場合にはピークの位
置を観察することによって、フォーカス状態を容易に判
断することができるのである。
態によって変化する。即ち、第３図（ａ）の１１で示す
ような円形の像を考た場合、フォーカスが合っている状
態では第４図（”ｂ’）に示すように波形の立ち上がり
部および立ち下がり部（以下、これらをフリンジと称す
）は滑ら・かに変化するが、フォーカスがアンダー側に
ずれている状態においては第４図（ａ）に示すようにフ
リンジにはオーバーシュートのようなピーク１７、１８
が生じるので像の輪郭が強調された状態となり、また、
フォーカスがオーバー側にずれている建甲においては、
第４図（Ｃ）に示すように、一般にオーバーフリンジと
称される、独立したピーク１９，２０が生じるので、像
の周囲には黒い縞模様が現れる。このように波形にピー
クがあるか否か、ピークが存在する場合にはピークの位
置を観察することによって、フォーカス状態を容易に判
断することができるのである。
また、非点収差の発生状況は、波形モニタ６に表示され
る４種類の波形を比較することで行うことができる。つ
まり、非点収差は方向によってフォーカス状態が異なる
状態をいうのであるから、カーソル１０を構成する４本
の線の全ての方向のフォーカス状態が同じであれば非点
収差は生じていないことになり、また、第３図（ｂ）〜
（ｅ）に示すように、カーソル１０を構成する４本の線
の方向のフォーカス状態が異なっている場合には非点収
差が生じていると判断することができる。
る４種類の波形を比較することで行うことができる。つ
まり、非点収差は方向によってフォーカス状態が異なる
状態をいうのであるから、カーソル１０を構成する４本
の線の全ての方向のフォーカス状態が同じであれば非点
収差は生じていないことになり、また、第３図（ｂ）〜
（ｅ）に示すように、カーソル１０を構成する４本の線
の方向のフォーカス状態が異なっている場合には非点収
差が生じていると判断することができる。
従って、オペレータは波形モニタ８に表示される波形を
観察し、カーソル１０を構成する４本の線の全ての方向
に沿った波形が第４図（ｂ）に示すようなピークの無い
波形となるように、非点収差補正機構およびフォーカス
調整機構を操作すればよい。
観察し、カーソル１０を構成する４本の線の全ての方向
に沿った波形が第４図（ｂ）に示すようなピークの無い
波形となるように、非点収差補正機構およびフォーカス
調整機構を操作すればよい。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、非点
収差の発生状況およびフォーカスが合っているか否かの
判断は波形モニタ６を観察することで行ろことができる
ので、従来の投影像を観察して判断することに比較する
と、容易に、且つ短時間で行うことができるものであり
、その結果、試料を観察する効率を向上でき、ひいては
透過型電子顕微鏡の稼働効率を向上させることができる
ものである。
収差の発生状況およびフォーカスが合っているか否かの
判断は波形モニタ６を観察することで行ろことができる
ので、従来の投影像を観察して判断することに比較する
と、容易に、且つ短時間で行うことができるものであり
、その結果、試料を観察する効率を向上でき、ひいては
透過型電子顕微鏡の稼働効率を向上させることができる
ものである。
以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は
上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可
能であることは当業者に明らかである
上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可
能であることは当業者に明らかである
第１図は本発明に係る非点状態、フォーカス状態モニタ
方式の一実施例の構成を示す図、第２図は波形モニタの
画面表示の例を示す図、第３図は画像データの読み出し
を説明するための図、第４図は信号波形とフォーカス状
態との関係を説明するための図である。 ｌ・・・透過型電子顕微鏡、２・・・撮像装置、３・・
・制御装置、４・・・画像メモリ、５・・・画像モニタ
、６・・・波形モニタ、７・・・操作摘み。 出 願 人 日本電子株式会社
方式の一実施例の構成を示す図、第２図は波形モニタの
画面表示の例を示す図、第３図は画像データの読み出し
を説明するための図、第４図は信号波形とフォーカス状
態との関係を説明するための図である。 ｌ・・・透過型電子顕微鏡、２・・・撮像装置、３・・
・制御装置、４・・・画像メモリ、５・・・画像モニタ
、６・・・波形モニタ、７・・・操作摘み。 出 願 人 日本電子株式会社
Claims (1)
- （１）試料の投影像を撮像して得た画像データの互いに
方向を異にする複数の直線方向の波形を表示することを
特徴とする非点状態、フォーカス状態モニタ方式。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1303832A JPH03163739A (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 | 非点状態、フォーカス状態モニタ方式 |
| US07/616,323 US5117112A (en) | 1989-11-21 | 1990-11-21 | Method and apparatus for monitoring astigmatism and focus in electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1303832A JPH03163739A (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 | 非点状態、フォーカス状態モニタ方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03163739A true JPH03163739A (ja) | 1991-07-15 |
Family
ID=17925847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1303832A Pending JPH03163739A (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 | 非点状態、フォーカス状態モニタ方式 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5117112A (ja) |
| JP (1) | JPH03163739A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3153277B2 (ja) * | 1991-08-30 | 2001-04-03 | 株式会社日立製作所 | 透過形電子顕微鏡 |
| US6384861B1 (en) * | 1998-12-22 | 2002-05-07 | Gateway, Inc | Image capture device having cursor generating and control apparatus |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4399360A (en) * | 1980-08-08 | 1983-08-16 | University Patents, Inc. | Transmission electron microscope employing sequential pixel acquistion for display |
| JPS5918555A (ja) * | 1982-07-22 | 1984-01-30 | Erionikusu:Kk | 荷電粒子線取扱方法および装置 |
| US4680469A (en) * | 1984-08-17 | 1987-07-14 | Hitachi, Ltd. | Focusing device for a television electron microscope |
| US4760385A (en) * | 1985-04-22 | 1988-07-26 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Electronic mosaic imaging process |
-
1989
- 1989-11-21 JP JP1303832A patent/JPH03163739A/ja active Pending
-
1990
- 1990-11-21 US US07/616,323 patent/US5117112A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5117112A (en) | 1992-05-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE602004008985T2 (de) | Bildverarbeitungssystem und -verfahren | |
| US20080131109A1 (en) | Imaging Device | |
| DE10322884B4 (de) | Kameragestütztes Präsentationssystem | |
| JPH06269026A (ja) | 投写型ディスプレイのコンバーゼンス誤差検出装置 | |
| JPH10200836A (ja) | 画像投影装置 | |
| KR100240133B1 (ko) | 촬상장치 | |
| DE10036143A1 (de) | Displaysystem für Bildsysteme zur Wiedergabe medizinischer Bilder | |
| JPH03163739A (ja) | 非点状態、フォーカス状態モニタ方式 | |
| JPH07262950A (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| KR100188193B1 (ko) | 투사형 프로젝터의 보정량생성장치 | |
| JPH0365795A (ja) | プロセス監視装置 | |
| KR100565536B1 (ko) | 디지털컨버젼스보정장치 | |
| JPH0636020A (ja) | 撮像監視装置 | |
| JPH0898119A (ja) | 画像処理装置 | |
| KR0176523B1 (ko) | 비디오카메라에서 메모리를 이용한 이중화면처리 및 필터효과 장치 | |
| KR100289725B1 (ko) | 프로젝션텔레비젼에서컨버전스모듈의동작자동검사장치및방법 | |
| JPH10272103A (ja) | 眼科撮像システム | |
| JPH02220342A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JPS61233950A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH04269946A (ja) | Ｘ線テレビジョン装置 | |
| JP3375035B2 (ja) | 電子顕微鏡用ｔｖカメラシステム | |
| KR100340459B1 (ko) | 영상장치의 포커싱 방법 | |
| JPH07130321A (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| JPH06205276A (ja) | 撮像装置 | |
| JPH02215035A (ja) | 試料像表示装置 |