JPH03162973A - 画素位置を修正する方法 - Google Patents

画素位置を修正する方法

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JPH03162973A
JPH03162973A JP2174341A JP17434190A JPH03162973A JP H03162973 A JPH03162973 A JP H03162973A JP 2174341 A JP2174341 A JP 2174341A JP 17434190 A JP17434190 A JP 17434190A JP H03162973 A JPH03162973 A JP H03162973A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は複数ビームレーザ走査装置に関し、特に機楓的
な位置合わせ誤りおよびレーザビーム間の電気的な伝播
遅れに起囚する画素位置エラーを修正する電子的修正方
法に関する。
[従来の技術] 複数ビームレーザ装置は広範囲の用途に使用できるが、
その一用途は感光面にわた−で光ビーtを走査するため
に回転ポリゴンミラーが用いられているプリント装置で
ある。複数のレーザビームプリント装置において用いる
ことにより一時に1行以−ヒの情報を発生させることが
でき、回転ポリゴンミラーの実用速度を保ちながら、例
えばインチ当り480以Lの画素である、高画素分解能
を可能とする。複数ビーム装置はさらに他の能力も提供
する。即ち、複数ビームはスポット群内でスポットを変
調することにより有効書き込みスポットの形を変えるた
めに使用でき、あるいは各画素位置において提供される
光量を変調するために使用できる。
複数ビームレーザ装置を用いると単一ビームレーザ装置
に比して顕著な利点を有する反面複数ビームレーザ装置
の場合、プリント位置(画素位置)が行から行に対して
正しく位置決めされていること、即ち一方のレーザによ
り書き込まれる画素が別のレーザにより書き込まれる画
素と適正に整合していることを保証する精密な機楓的位
置合わせを必要とする。レーザアレイを採用している複
数ビーム装置では、画素を正確に位置決めするために緊
密な公差でレーザダイオードをチップ上に位置決めする
ことを要するが、それでもチップ内で半導体のレーザダ
イオードの若干の物理的な位置合わせ誤りの可能性があ
り、レーザスポットが若干変動するレーザアレイでも使
用できる装置を提供することが望まれる。さらに、レー
ザアレイチップは非走査方向で正確なビーム位置合わせ
を提供するため通常傾けられる。しかしながら、傾けら
れることにより走査方向においてビーム間でのオフセッ
トを発生させることになり画素の位置決めの問題を発生
させる。本明細書で使用する機械的位置合わせ誤りとい
う用語は1)レーザアレイ上でのレーザ・スポットの位
置の物理的変動、2)レーザアレイチップ、あるいは本
機楓内での個別のレーザ光源の機械的位置合わせ誤り、
および3)レーザアレイを傾けることにより発生するオ
フセッ1・とを含む。
複数ビームレーザ装置に係わる別の問題は各レーザ光源
に対して異なるレーザ励振器を用いることから発生する
電気的伝播遅れの変動である。
励振器は同じ設計であるとしても、該励振器を構戊する
諸要素が一方のレーザから他方のレーザヘビームをオン
、オフする際に遅れを変動させることにより画素拉置を
変動させる。これらの変動はレーザ励振器の温度と経年
とにより変動する珂能A<あり、画素位置一ラーは動的
に変動する。
従来技術の電子的修正方法はレーザアレイの必要な傾き
による{,7置合わせ誤りに対して多数の画素を修正で
きる。これらの電子的方法のあるもの11 はサブ画素単位の精度を達成する。それらの装置は、高
分解能、即ち1インチ当り480画素以上の装置を計画
する場合、ナノ秒単位の分解能を必要とする。2ナノ秒
までの分解能に対して500 X10611zのクロッ
ク周波数が必要とされる。前述のような分解能を用いる
クロックや高速ロジックは高価である。
[発叩が解訣しようとする課題] 本発明の目的は電気的伝播遅れ並びに機械的位置合わせ
誤りによるエラーを修正するために、複数ビーム走査レ
ーザ装置と共に用いる電子的修正方法を提供することで
ある。
本発明の別の目的は前述のようなエラーに対する閉ルー
プの電子的修正方法を提供することである。
本発明のさらに別の目的は比較的低クロック周波数を用
いるが、ナノ秒の範囲内の修正分解能を与える電子的修
正方法を提供することである。
本発明の別の目的は異なるレーザビームの強度の変動並
びにビーム間のレーザスポットサイズの12 変動に対して比較的鈍感な修正方法を提供することであ
る。
さらに別の本発明の目的は、機械的位置合わせ誤りある
いは電気的伝播遅れにおいて動的な変動を発生させる温
度および/または経年変化に対して動的に適応していく
電子的修正方法を提供することである。
[課題を解決するための手段] 本発明はレーザビームの付勢から制御信号が発生される
閉ループ修正装置を提供することによる、複数ビームレ
ーザブリン1・ヘッドにおいて発生する本気的伝播遅れ
並びに機猟的位置合わせ誤り問題に対する電子的修正に
関する。付勢点は次いで希望位置まで動かされ、ビーム
間でマッチングされる。サブ画素単位での修正がタップ
付きあるいはプログラム可能遅延線を用いることにより
比較的低クロック周波数で達成される。
画素位置を修正する方法は、基準レーザビームがオンと
される位置を検出し、その位置を希望する点に対して凋
幣することを含む。次いで、一時に1個づつ非基準レー
ザビームがオンとされ、それが基準ビームと同じ位置に
来るまで前記のオンする点を調整する。こうして、機械
的かつ電気的スキューがあったとしてもビームが画素を
行間で整合して書き込みできるようにする。
一実施例においては、ビームは検出エレメントのトレー
リング・エッジにおいて、オンとされた点を検出するこ
とにより整合される。第2の実施例においては、CCD
アレイの同じ2個のエレメントの接合点において、ビー
ム間で全レーザエネルギの点を適合させることによりビ
ームが整合される。
双方の実施例において、タップ付きの遅延線あるいはプ
ログラム可能遅延線がサブ画素単位の分解能を提供する
よう使川される。
本発明の前述の目的並びにその他の特徴や目的、および
それらを達成する態様については、添付図面と関連した
本発明の実施例についての以下の説明を参照すればより
明らかとなり、本発叩自体も最良に理解される。
[実 施 例コ 本発明の適用については、感光面」二に対象の像を形成
し、その像を現像し、次いで、紙あるいはその他のプリ
ン1・受容利料に前記像を融着させることによりプリン
トが作られる電子写真機械の構成内で示すことができる
。殆んどの電子写真機械においては、■子写真プロセス
は転写タイプであって、感光材料が四転ドラムの周りに
置かれるか、あるいはローラ系により駆動されるベルト
として配設される。典型的な転写プロセスにおいては、
感光材料が固定したチャージ発生ステーションの下方を
通され、感光面全体にわたり通常数百ボルトの比較的均
一な静電チャージが付与される。次に感光体は像形成ス
テーションまで運ばれ、そこで光線発生源から光線を受
け取る。光源が完全に起動すると感光体は放電するかあ
るいはチャージを比較的低レベルまで低下させ、一方光
源がオフとされるか中間レベルで起動されるか、比較的
短時間起動されると、感光体は高電圧レベルを持ち続け
る。このようにして、感光利料は、15 受容材−1二にプリントしたいと思うプリント、陰影等
に対応するチャージパターンを有するようにされる。
電子写真プリンタにおける光線発生源は、特定の画素領
域において光伝導体を露出するパワーあるいは時間の長
さを制御するようビームがキャラクタ発生器により変調
されるレーザ手段から構成されることが多い。複数ビー
ムレーザ装置においては、キャラクタ発生器は一時に1
本以]二のビームを変調することができ、そのため一時
に1行以上の画素の書き込みができる。
感光体上に像を形成した後、像は本機械の現像ステーシ
ョンに運ばれ、そこでトナーと称する現像材が像の上に
置かれる。この材料は通営粉末の形態であって、感光体
の選択した領域に粉末を堆積させるようチャージを有し
ている。
現像された像は現像器から転写ステーションまで運ばれ
、そこで通常紙であるコピイ受容材が現像された像と兼
尻され、紙の裏側にチャージが移されることにより、感
光体から紙が剥離されると、16 トナー制は紙のーLに保持され、感光体からは除去され
る。
プロセスの残りのステップは1・ナー像をコピイ用紙に
永久的に定着させ、感光体を再使用できるようにその上
の残留トナーを清浄にすることである。
第1図は本発明を実施するために使用する典型的な電子
写真機楓を示す。感光材10は、Aの方向に回転するよ
う、図示していない運動手段により駆動されるドラムl
1の表面に設置される。チャージ発生器12がチャージ
ングステーション12′ において感光体の表面にわた
って数百ホル1・の均一なチャージを付j−J,する。
チャージされた感光体は、図示していない、暗箱内に装
着され、例えば複数ビームレーザ発生器のような光線発
生源から構成されるプリントヘッド13まで回転する。
この光源は像形成ステーション13’ において、チャ
ージされた感光体を選択的に露出し、現像したい領域に
おいて感光体を放電するか(放電された領域を現像する
方法、即ちDAD法)あるいは1・ナーの無域を現像す
る方法、即ちCAD法)。
DAD法に対しては、感光体の放電された領域は、トナ
ーを付lj4することによって感光体がデータの可視像
を有するようにさせる現像装置14により現像ステーシ
ョン14′で現像される。現像された像は転写ステーシ
ョン15′ まで回転し、そこでBの方向に運動してい
るプリント用紙が感光体の表而と並置される。トナー上
のチャージに対して極性が逆のチャージが転写チャージ
発生器15によりプリント用紙の裏側に位置され、その
ため紙が感光体の表面から剥離されると、トナーは紙に
誘引され、感光体10の表面から離れる。残留l・ナー
は清浄装置16により清浄ステーション16′において
感光体から掃除される。
像形成ステーション13′ において感光体1oに光線
を選択的に付与することは、プリントヘッド変調手段1
7を介して達成される。半導体レーザダイオードに対し
て、プリントヘッド変調器は、パターンデータに従って
感光体の放′iシ程度を変えるベく長時間あるいは短時
間光源を発光させるか、パターンデータに従って照射強
度を強弱させるため光線発生源を発光させる電源を含む
。いずれにしても、変調はメモリ19に記憶されたデー
タに従って生ずる。前記データはラスタバッファ18に
送られ、さらにプリントヘッド変調器へ送られる。
第2図は第1図に示す電子写真機械のプリントヘッド1
3において使用する光学走査装置を示す。
第2図に示す複数ビーム装代においては、概ね共軸線関
係の4本のレーザビーム40〜43が複数ビームレーザ
アレイモジュール24から放射されているものとして示
されている。4本のレーザビームは円柱レンズ25を通
り各々回転ポリゴンミラーの表面26に集光される。ビ
ームは回転ミラーから負の倍率の球面レンズ群27、ア
ナモルフィックレンズ群28および正の倍率の球面レン
ズ群29を介して感光体10の表面−1二に反射される
。第2図は折而げミラー80、出口ウインドウ31,感
光体10を横切る走査長さ32およびビーム拡大光学系
33とを示す。各レーザビームからの光線を光検出器3
5に反射させ1つ て走査開始(SOS)信号を引き出すために反射面34
が設けられている。走査終了(EOS)信号を発生させ
るために類似の装置を用いるか、あるいは反射面が走査
光線ビームの終りを検出器35へ導き同じ検出器をSO
SとEOS信号の双方に対してい用いることができる。
第3図は、プロセス方向pにおいて画素を正しく位置さ
せるためにレーザアレイモジュール24を傾ける必要の
あることを示す。インチ当り480画素の解像力におい
ては、画素はインチ間隔(第3図のbの寸法)の480
分の1毎に位置させる必要がある。アレイ24上のレー
ザスポットは、プロセス方向の軸線pに対して平行にレ
ーザアレイ24を位置させるためには同様の近接した間
隔である必要がある。しかしながら、レーザアレイをそ
のような詰めた公差に製作することは実用的でない。
従って、アレイ24は、bの距離より大きい距離だけレ
ーザスポットを離しても、依然として画素を走査ライン
の間の距離bだけ正しく隔置させる角度に傾けられる。
そのようにすることにより、20 レーザスポットは走査方向Sにおいては距離Cだけオフ
セッ1・される。従って、画素f1゜liを走査方向に
おいて適正に合わせるために距離Cだけ横移動するに必
要な時間だけレーザビーム間で走査方向におけるプリン
トの開始をレーザアレイ装置において電子的にオフセッ
トする必要がある。
レーザビーム40が基準レーザとして選定されるとすれ
ば、レーザビーム41によりプリントされる画素は、レ
ーザビーム41が距離Cだけ横移動するに十分な時間だ
け遅れる必要がある。同様にビーム42によりプリント
される画素はビーム4lの遅れの約2倍の量遅れる必要
があり、ビーム43によりプリントされる画素はビーム
4lの遅れの量の約3倍遅れる必要がある。このような
タイプの修正を提供する装霞が考案された訳であるが、
従来技術による装置はビーム間の電気的伝播の遅れを考
慮に入れていなかった。
第4図は電気的伝播遅れの作用を示し、かつ機械的な位
置合わせ誤り要素の他に、画素が正しく並ぶように電気
的伝播遅れを追加する必要のあることを示す。即ち、走
査ライン41における、基準走査ライン40に対する正
確な遅れは、機城的エラーCと共に電気的エラーeを考
慮に入れるべきである。
第5図は必要な修正を行うための回路の単純なブロック
図である。ゲート制御された画素クロック信号44が遅
延線45に供給され、適当なときにレーザ励振器46を
作動させてレーザ47を付勢する。
レーザ励振器46に対する正確な遅れは遅延選択ライン
48を介して提供される。同様に、複数ビーム装置にお
けるその他のレーザ励振器に対する他の遅れは各秤の走
査ラインに沿って各画素を適正に整列させるための適正
な遅れと共に提供される。
第6図は電気的伝播遅れ並びに機械的位置合わせ誤りを
修正するために必要とされる情報を提供する光検出器3
5の実施例を示す。走査タイミング修正装置に対して要
求されるエレメントの1つは、ビーム間の機槻的および
電気的なタイミング・スキューを測定しうる装置である
。第6図に示す装置は、その位置を第2図において示す
2個のエレメントからなる走査開始(SOS)センサ3
5である。前記センサは感光而10の近傍にある必要は
ないが、ポリゴンミラーからビームが集中される場所と
、相似の距離に位置すべきである。第6図に示す2個の
エレメントからなるセンサ35はビームの走査方向に対
して垂直に取り付けられている。
従来技術において示された典型的なタイミング構戊にお
いては、基準レーザビームは例えば検出器35のような
2個のエレメントからなる検出器を横切って移動し、第
1のエレメント50からの走査開始パルスとエレメント
5lからの第2のパルスを提供する。2番目の走査にお
いて、基準レーザはエレメント50が横切られるまで、
付勢され、次いで消勢される。その後の短い時間、レー
ザ1は付勢され、整合しているエレメント51を照射す
る。
こうして基準レーザの第2のパルスに対してレーザ1を
適合させるに要する遅れの量を決めることができる。し
かしながら、この従来技術による方法は基準レーザと非
基準レーザとの間の機械的位置合わせ誤りのみ測定し、
パルスが付勢されてい23 るレーザビームから発生されるので電気的な伝播遅延を
mリ定しない。電気的伝播遅れを測定するためには、非
基準レーザのオンの時間と共に基準レーザのオンの時間
から作動する方法を考案する必要がある。そのようにし
て、機械的位置合わせ誤りと電気的伝播遅れとを一緒に
測定することができる。
第6図に示す2個のエレメントからなるセンサは、異な
るレーザビームが通過する際のそれらの相対位置を検出
するために本発明において用いられる。第7図に関して
詳細に説明するように、走査開始位置をサブ画素単位で
修正するために遅延線が使用される。本発明の装置にお
いては、161期化は走査開始センサエレメント50か
ら達成される。
即ち基準レーザビームが走査の開始、即ちセンサエレメ
ント50を付勢すると、ゲー1・された制御クロックは
再同期化される。基準レーザ、例えば第3図におけるレ
ーザビーム40はそれがセンサエレメント50に達する
時間の前にオンとされる。基準レーザビームが走査開始
センサエレメント50を付24 勢すると、同期パルスが発生し、これはゲートされた制
御クロックをゲート制御するために用いられる。基準レ
ーザビーム40は同期信号発生後オフとされ、次いで整
合センサエレメント51のトレーリング・エッジと離れ
ると同時にオンとされる。
このようにするためには、夕ロックの値がダウンカウン
タ64(第8図)にロードされ、該ダウンカウンタ64
はセンサエレメント50と整合センサエレメント51の
トレーリング・エッジとの間のクロックパルスの数を近
似する。カウンタが零に達すると、基準レーザ40が再
びオンとされ、整合センサが付勢された場合、先の値よ
り1だけ大きく増分した新しい値がダウンカウンタにロ
ードされ、プロセスが再開される。整合センサ51が間
び{−J勢されると、夕゛ウンカウンタにおける1直は
再び1だけ増分され、プロセスが再開される。このよう
に、整合センサエレメントが基準レーザビームにより付
勢されなくなるまでプロセスは繰り返される。
前記付勢がない時点で、ダウンカウンタは1だけ減分さ
れ、ダウンカウンタにおけるクロ・ノクノくルスの遅れ
の数が、基準レーザ40が走査開始位置から整合センサ
のトレーリング・エッジまで運動するに要した時間の長
さを近似する。この時点において、経過的調整は完全で
あって、微調整が行われる。即ち、第8図に示すプログ
ラム可能遅延線63が同様に調整され、整合センサがビ
ームの存在を検出する、最終クロックパルスの部分を提
供する。
第7図は、タップ{=jき又はプログラム可能の遅延線
63により発生された一連のパルスの付与を示し、それ
によりゲート制御されたクロックパルス53の時間内で
微細な分解能を提供することができる。経過的調整が完
了した後は、プログラム可能遅延線63が最小にセット
される。整合センサが付勢されると、遅れは1だけ増分
され、整合センサが付勢されなくなるまでプロセスは継
続する。第7図においては、整合パルス54はタツブB
とタツプCとの間で発生することが検出される。1ある
いは2ナノ秒の分解能を有するタップ付き遅延線が得ら
れるので、パルス54の立トリは1または2ナノ秒の分
解能まで検出でき、これは分解能がインチ当り480画
素以上であったとしても1画素の10分の1以下である
。このように、基準レーザビーム40が同期信号を発生
させる時刻からレーザビーム40が幣合センサを出てい
く時刻までの遅れ時間が識別される。その遅れ時間はレ
ーザビーム40による書き込みを制御し、適正な遅れエ
レメント、例えば第5図におけるエレメント45ヘロー
ドされる。
他のレーザビームを基準ビームに対して調整する場合、
以下のようにプロセスが繰り返される。
SOSセンサエレメント50を付勢して間期化パルス5
2を発生させることができるように基準ビームがオンと
される。次いで基準ビームはオフとされ、次のレーザビ
ーム即ちレーザビーム41が、それが整合センサエレメ
ント51を離れるときにオンとされる。このことはダウ
ンカウンタ75において近似カウントをセットすること
により達成される。整合センサ51がレーザビーム41
を検出すると、ダウンカウンタのカウントは、整合セン
サがそれ以27 上付勢されなくなるまで1づつ増分される。その点にお
いて、ダウンカウンタは1たけ仄され、プログラム可能
遅延線75が調整されて、整合用センサがそれ以上付勢
されない最終クロックサイクルの部分を見い出す。その
ようにして、糸準レーザビーム40が同期化信号を発生
させる時刻からレーザビーム41が整合センサを出てい
く時間までに要する遅延時間が識別される。その遅延時
間はレーザ41による書き込みを制御するために使用さ
れ、第5図の適正な遅延エレメントにロードされる。
同様に、複数ビーム装置におけるその他のいずれのレー
ザも、各ビームに対して適当な遅延値を見出すよう基準
レーザに対して検査される。この方法においては各レー
ザビームの立上りが利用されるので、各レーザビームの
遅延係数が走査方向における電気的並びに機械的スキュ
ーをもたらす。
第8図は極めて高速のロジックを川いることなく機械的
および電気的スキューを高分解能で測定する装置の詳細
ブロック図である。第8図は、チャンネル1に近似のチ
ャンネル0を備えた、228 本のレーザ装置に対する諸エレメントを示す。唯一の差
異はチャンネル0が追加のANDゲー1・60を何する
点である。双方のチャンネルの作動は概ね同じであるの
で、チャンネル0の動作のみを詳細に説明する。
第8図に示す装置の動作に対してキーエレメントが2個
ある。第1は、高分解能プログラム可能遅延線63が正
確な間接的時間測定を可能とすることである。プロセス
は異なるビームの相対位置を基準化する零化タイプであ
るので、プログラム可能遅延線の絶対精度は重要でない
。第2に、ビームが整合されたセンサを横移動するのを
概ね終ったときレーザを付勢することにより電気的スキ
ューが測定に含まれることである。
第8図はエレメント50から走査の開始信号を受け取る
制御装置61を示す。制御装置61は整合過程を開始す
べくダウンカウンタ64にカウントをロードする。プロ
グラム可能遅延線63はサブ画素単位の修正を提供し、
全体的遅れがORゲート65およびANDゲート60を
介してレーザ制御−路66まで通される。また、制御回
路66は、レーザチツプ69を付勢ずるレーザ励振器6
8を変調するために像データ67を受け取る。検出エレ
メント5iからの整合信号は整合センサ上のビームのラ
ッチ(BOASラッチ)70により受け取られる。整合
センサの信号は極めて持続時間の短いものであるので、
ラッチ70が利用される。
第9A図は第8囚の目路における各種のタイミングイベ
ントを示す。第9B図は同期化位置の周りのタイミング
の拡大図である。調整局面の間、像データ67に含まれ
たデータは全て「1」であり、データがレーザ励振器6
8にクロツクされるとレーザ0が光線を放射するように
させる。制御装置61は、本装置に対するタイミングセ
ンサであり、意欲決定エレメントである。それは各走査
に対してrSOS  PWRJ信号を発生させる。その
信号はANDゲート60に入力される。その結果、基準
レーザは、SOSセンサ50の第1のエレメントを付勢
でき、そのためSOS信号を発生する時にオンとされる
。SOS信号は全装置に対する同期化信号である。SO
S  PWR信号は制御装置61がSOSの立上りを検
出するまで作動状態のままである。各走査時、精密発振
器71により発生するゲー1・制御されたクロック信号
はSOSの検出と同時に再同期化される。次いで、制御
装置61はSOSのトレーリング・エッジとゲー1・制
御されたクロック信号との論理的組合せを介してリセッ
トおよび15J朋化信号を発生させる。
制御装置61はCFOのラベルを付した多数の線を介し
て、プログラム可能遅延線63にセットする遅れの量を
決定する。プログラム可能遅延線63は1あるいは2ナ
ノ秒のステップサイズを典型的に有する細密遅延機構で
ある。制御装置6lはまた、ダウンカウンタ64に対し
て適正なカウンタロード値CCOを供給することにより
必要とされる全画素遅延量を決定する。ダウンカウンタ
64は本装置に対する経過的遅延を提供する。制御装置
61がリセット指令を発すると、CCOはラッチ70の
セッティングと共に、ダウンカウンタ64にロードされ
る。この時、出力ラッチ70は第9A図に示すよう31 に高レベルとなる。
信号のタイミングは同期化時間の周りで最も重要である
ので、第9B図に拡大図を示す。間期化信号は走査タイ
ミング修正装置のタイミングイベントの始まりであって
、SOS信号の作動から特定−数のクロックザイクルの
後に制御装置61により発生される。同期化信号はAN
Dゲート62に対する一方の人力であり、クロック信号
が低レベルである時に遷移せねばならない。同期化信号
は数クロツクサイクルの間低レベルのままであってプロ
グラム可能遅延線63がクリャされて低レベルに留まる
よう保証する。制御装置6{は、同期化パルスの立」ニ
リエッジが、走査毎に走査開始信号の降下エッジに対し
て繰り返し可能であることを保証せねばならない。入力
を遅延線にゲートすることにより、遅延線を用いてクロ
ック信号」二で、クロックの1サイクルより大きい遅れ
を発生させることができる。
第10図は本発明の第2の実施例を示す。電荷結合装置
(CCD)アレイ80が複式エレメントから32 なる走査始点センサ35の代りに用いられる。アレイ8
0はセンサエレメント35と概ね同じ位置において第2
図に示す光学装置に位置している。CCDアレイ80は
相互に相対的にレーザビームの位置ヲ検出するように構
成されている。基本的には、CCDアレイはフォトダイ
オードと類似の一連の半導体エレメントであって、光線
がエレメントに衝突すると、該エレメントに付属した容
量がチャージされる。チャージの量は供給されたエネル
ギ、即ち光線が半導体に衝突している時間の間の光線の
強度により決められる。CCDアレイは一次元あるいは
二次元のいずれでもよく、この実施例の場合、第10図
に示すように一次元のCCDアレイ80が使用されてい
る。前記アレイは付属の屯子装置を有し、そのためいず
れか特定の半導体に供給されるエネルギの量を確認でき
る。第10図に示すアレイにおいては、Nエレメントア
レイが利用されている。
本実施例の方法において、基準レーザビーム40はCC
Dアレイを横切る間のある点においてオンとされる。例
えば、基準ビーム40は第lO図に示すように軌跡Aに
おいてCCDエレメント3を横切る間に検出される。軌
跡Bはエレメント3と関連したエネルギがCCDエレメ
ント2における零エネルギレベルに対して、40′で示
すように十分な量だけ上昇していることを示す。エレメ
ント4の間およびそれ以降、CCDアレイのエレメント
と関連したエネルギは全て最大レベル40′である。
このようにしてCCDアレイ80は、エレメント3の横
断r′l1lこ基準レーザビーム40がオンされたこと
を確認する。次に、前述のようなプログラム可能遅延線
が使用されてレーザビーム40のオンの点を置き直し、
そのためエレメント3における全エネルギが正確に侠置
決めされる。即ち、基準レーザビーム40のオンとなる
点を軌跡Cに示す位置まで動かすことによりCCDエレ
メント3の横断の正に開始時に全エネルギに達するよう
にすることが望ましい。プログラム可能遅延線はビーム
がエレメント3を横断する時間の間M−Qにおいて示す
ように一連のパルスを提供することにより遷移(レーザ
ビーム40のオンとなる点)が、プログラム可能遅延線
のタップPおよびQの間で発生するものとして検出され
る。遅れを第5図の回路を通して適当量調整することに
よりレーザビーム40に対するオンの点がシフトし、そ
のため第10図の軌跡Cで示すように、エレメント2と
3との接合点に全レーザエネルギが位置決めされる。
基準ビームと適合するよう他のビームを調整する際、ビ
ームがCCDアレイの範囲内にあるとき一時に一本づつ
オンとされ、次いでそれもエレメント3においてピーク
になり始めるまで遅れが、調整される。例えば第lO図
の軌跡Aはレーザ41の立上りを示し、かつ同時にレー
ザ41が基準レーザ40以上の高いエネルギレベルを発
生させることを示す。次いで、プログラム可能遅延線が
利用され、CCDアレイエレメント3上でレーザ41の
オンの正確な位置を確認し、次いでレーザ41のオンの
点をレーザ40のオンの点に適合するよう動かすべく、
即ち、レーザ4lの最大エネルギがアレイ80のエレメ
ント2.3の接合部において発生するよう調整35 がなされる。このようにして、2本のビームが整合され
る。
CCDアレイの実施例の一つの利点は、もし特定のレー
ザビームが別のレーザより明るいか又はスポットサイズ
が大きい場合、どのレーザビームがCCDアレイに衝突
しているかとは無関係に全エネルギ点は依然として同じ
であることである。
エネルギの絶対値は測定されず、むしろレーザスポット
が全エネルギに達する位置が測定される。
レーザビームのオンに対する測定がなされるので、電気
的伝播遅延並びに機楓的位置合わせ誤りが位置決めの過
程で配慮される。
本発明を好適実施例に関して図示しかつ説明してきたが
、本発明の精神や範囲から逸脱することなく本発明の形
態および細部において変更が可能なことが理解される。
例えば、本発明を、整合センサがレーザビームにより付
勢され、次いでビームがもはや検出されなくなるまで増
分されるような状況について説門してきた。初期走査に
おいて瞥合センサの付勢に失敗すれば、ダウン36 カウンタはビームが検出されるまで減分される。
【図面の簡単な説明】
第1図は電子写真機械の概略図、 第2図は第1図に示す機楓で使用するレーザアレイ光学
装置を示す図、 第3図は、プロセス方向において画素を適正に整合させ
るために傾けているが、そのため修正されない場合走査
方向における画素の整合が不適正となるレーザアレイを
示し、画素幣合が修正されて示されている図、 第4図は機槻的f\γ置合わせ誤りと共に電気的伝括遅
れによる作用を示す目、 第5図は走査方向における許容限度まで画素位置エラー
を低減させる簡単な方法を示すブロック図、 第6図は本発明の一実施例において使用する複式検出方
法を示す図、 第7図は比較的低周波数の夕ロックで高解像度の装置を
達成するためのプログラム可能遅延線の作用を示す園、 第8図は第6図に示すセンサと共に使用する回路のブロ
ック図、 第9A図と第9B図とは第8図に示す回路に介在する信
弓のタイミング線図、および 第10図は本発明の第2の実施例を示す図である。 (外1名) 第 ろ 図 第 4 図 第 0 図 第 7 図 第 5 図 −584−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)複数ビームレーザ走査装置の走査方向における画素
    の位置を修正する方法において、基準レーザビームがオ
    ンとされる位置を検出し、希望する点においてオンとな
    るよう前記基準レーザビームの位置を調整し、 非基準レーザビームがオンとされる位置を検出し、 前記基準レーザビームと同じ位置でオンとなるよう前記
    非基準レーザビームの位置を調整し、前記の調整された
    位置に従って、前記の基準および非基準ビームにより発
    生される画素を書き込むことにより機械的および電気的
    スキューによる作用を修正するステップを含むことを特
    徴とする画素位置を修正する方法。 2)特許請求の範囲第1項に記載の方法において、前記
    基準レーザビームがオンとされる位置を検出するステッ
    プが、 第1の光検出エレメントを横切って、付勢された状態で
    前記基準ビームを走査して基準信号を発生させ、 前記基準ビームをオフとし、 第2の光検出エレメントを横切って前記基準ビームを走
    査し、かつ前記基準ビームを、前記第2のエレメントか
    ら第1のパルスを発生させるタイミングでオンとさせる
    ステップを含むことを特徴とする画素位置を修正する方
    法。 3)特許請求の範囲第2項に記載の方法において、前記
    基準ビームの位置を調整するステップが、前記第1のパ
    ルスが前記第2の光検出エレメントをそのトレーリング
    ・エッジにおいて付勢するように前記第1のパルスのリ
    ーディング・エッジを位置決めし直して前記基準パルス
    と、前記第1のパルスとの間に基準ビーム時間を設定す
    るステップを含むことを特徴とする画素位置を修正する
    方法。 4)特許請求の範囲第3項に記載の方法において、非基
    準ビームの位置を検出するステップが、前記基準ビーム
    により前記基準パルスを発生させ 前記基準ビームをオフとし、 前記第2の光検出エレメントを横切って前記非基準ビー
    ムを走査し、かつ前記第2の光検出エレメントから非基
    準パルスを発生させるタイミングで前記非基準ビームを
    オンとするステップを含むことを特徴とする画素位置を
    修正する方法。 5)特許請求の範囲第4項に記載の方法において、前記
    非基準ビームの位置を調整するステップが、前記第2の
    光検出エレメントをそのトレーリング・エッジにおいて
    付勢するように前記非基準パルスのリーディング・エッ
    ジを位置決めし直して前記基準パルスと前記非基準パル
    スの間に非基準ビーム時間を設定するステップを含むこ
    とを特徴とする画素位置を修正する方法。 6)特許請求の範囲第5項に記載の方法において、前記
    第1のパルスのリーディング・エッジを位置決めし直す
    ステップが、 前記基準パルスにゲート制御された一連のクロックパル
    スを発生し、 前記基準ビームの最初の走査において前記第1のパルス
    を発生させ、 前記基準パルスと前記第1のパルスとの間の全クロック
    パルスの数を決定し、 前記第1のパルスが発生しなくなるまで前記基準ビーム
    の一連の各走査時に前記基準パルスと第1のパルスとの
    間の全クロックパルスの数を1だけ増分し、次いでクロ
    ックパルスの数を1だけ戻して確定したクロックパルス
    数を発生させ、前記ステップにおいて確定された全クロ
    ックパルスの最後に続くクロックパルスの間持続時間の
    等しい一連の増分パルスを発生させ、 前記第1のパルスの消滅前に増分パルスの数を決定し、 全クロックパルスの数を増分パルスの数に加算して前記
    基準時間を測定するステップを 含むことを特徴とする画素位置を修正する方法。 7)特許請求の範囲第6項に記載の方法において、非基
    準パルスのリーディング・エッジを位置決めし直すステ
    ップが、 前記非基準ビームの最初の走査において前記非基準パル
    スを発生させ、 前記基準パルスと前記非基準パルスとの間の全クロック
    パルスの数を決定し、 前記の非基準パルスが発生しなくなるまで前記非基準ビ
    ームの一連の各走査時に前記基準パルスと前記非基準パ
    ルスとの間の全クロックパルスの数を1だけ増分し、次
    いで前記全クロックパルスの数を1だけ戻して確定した
    全クロックパルス数を発生させ、 前記ステップで確定された全クロックパルスの最後に続
    くクロックパルスの間持続時間の等しい一連の増分パル
    スを発生させ、 前記非基準パルスの消滅の前に増分パルスの数を決定し
    、 決定した全クロックパルス数を増分パルスの数に加算し
    て前記非基準ビーム時間を測定するステップを含むこと
    を特徴とする画素位置を修正する装置。 8)特許請求の範囲第1項に記載の方法において、前記
    基準レーザビームがオンとされる位置を検出するステッ
    プが、 CCDアレイを横切って消勢状態で前記基準ビームを走
    査し、 前記CCDアレイから信号を発生させるタイミングで前
    記基準ビームをオンにする、 ステップを含むことを特徴とする画素位置を修正する方
    法。 9)特許請求の範囲第8項に記載の方法において、前記
    基準ビームの位置を調整するステップが、隣接するCC
    Dアレイエレメントの接合部において全レーザエネルギ
    が検出されるまで基準ビームをオンする点を動かすこと
    により達成されることを特徴とする画素位置を修正する
    方法。 10)特許請求の範囲第9項に記載の方法において、前
    記の非基準ビームの位置を検出するステップが、前記C
    CDアレイを横切り消勢状態で前記非基準ビームを走査
    し、 前記CCDアレイから信号を発生させるタイミングで前
    記非基準ビームをオンにする ステップを含むことを特徴とする画素位置を修正する方
    法。 11)特許請求の範囲第10項に記載の方法において、
    前記の非基準ビームの位置を調整するステップが、前記
    隣接するCCDアレイエレメントの接合部において全レ
    ーザエネルギが検出されるまで前記非基準ビームをオン
    とする位置を動かすことにより達成されることを特徴と
    する画素位置を修正する方法。 12)特許請求の範囲第11項に記載の方法において、
    基準ビームの位置を調整するステップがさらに、前記隣
    接するCCDエレメントがまず基準ビームの全レーザエ
    ネルギを検出する直前に基準レーザビームがCCDエレ
    メントを横切る時間の間一連の増分パルスを発生させ、 全レーザエネルギを検出する前に増分パルスの数を決定
    し、 決定された増分パルスの数に従って前記基準レーザビー
    ムをオンにする点を動かす ステップを含むことを特徴とする画素位置を修正する方
    法。 13)特許請求の範囲第12項に記載の方法において、
    非基準ビームの位置を調整する手段がさらに、特許請求
    の範囲第12項においてまず全レーザエネルギを検出す
    るものとして識別されているCCDエレメントの直後に
    CCDアレイエレメントにおいて全レーザエネルギがま
    ず検出されるよう前記非基準ビームをオンにする点を動
    かし、前記隣接するCCDエレメントがまず非基準レー
    ザビームの全エネルギを検出する直前に非基準レーザビ
    ームがCCDエレメントを横切る時間に一連の増分パル
    スを発生させ、 全レーザエネルギを検出する前に増分パルスの数を決定
    し、 決定された増分パルスの数に従って前記非基準レーザビ
    ームのオンとなる点を動かす ステップを含むことを特徴とする画素位置を修正する方
    法。
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