JPH03162001A

JPH03162001A - ストリップ線路フィルタ

Info

Publication number: JPH03162001A
Application number: JP1301104A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Ito; 篤伊藤
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1989-11-20
Filing date: 1989-11-20
Publication date: 1991-07-12
Anticipated expiration: 2013-04-02
Also published as: JP2735906B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は、マイクロ波帯域において使用されるストリッ
プ線路フィルタに関するものである。

（口）従来の技術現在、マイクロ波帯域において用いられている誘電体フ
ィルタには、同軸型共振器を用いたものや、ストリップ
線路型共振器を用いたものがある。また、共振電極を片
側短Ｉ／＠構造にすることによって共振周波数ｆｏの１
八波長で共振を起こす１八波長型フィルタが良く知られ
ている。その中でも、高誘電率を有する材料（εγ＃９
ｏ）を用いて構戊されたフィルタが小型のものとして使
われるよらになってきた。

また、第９図に示すように共振線路（１）（１）（１）
の幅を段階的に変化させることによって、線路のインピ
ーダンスを変化させ、それによって共振器を小型化でき
るステップドインピーダンス型共振器（Ｓ　Ｉ　Ｒ）が
知られている［特開昭６２ー１　６　４　３　０　１号
公報（ＨＯＩＰＩ／２０３）参照コ　。

第９図は各共振線路（１　）（１　）（１　）の一端を
短絡したコムライン型のストリノプ線路フィルタの各共
振線路（１　）（１　）（１　）をＳＩＲとした例であ
る。

同図に示すように各共振線路（１　）（１　）（１　）
の開放端（ｌａ）（ｌａ）（ｌａ）側の電極面積を各共
振線路（１）（１）（１）の他の部分よりも大きく形成
している。

尚、（２　）（３　）は入出力用線路、（４）は短絡電
桶である。

しかしながら、第９図に示すようにステノプ部（ｌｂ）
（ｌｂ）（Ｉｂ）の形状が階段形状であると、その不連
続部分における！磁界の乱れが大きくなり、Ｑの劣化を
来たすという問題がある。

また、各共振線路をスクリーン印刷等の千法：こより形
處する場合、階段形状のように角部分を有すると寸法精
度が悪くなり、これにより共振周波数のバラツキが大き
くなるという問題がある。

ところで、第１０図に示すような共振線路（１）（１）
（１）をインターディジタル型に形成したインターディ
ジタル型ストリップ線路フィルタは各共振線路（１　）
（１　）（１　）間の結合の自由度が拡く、フィルタの
高Ｑ化が可能である。

ｉｌｌ図にインターディジタル型ストリップ線路フィル
タの各共振線路に前述のＳＩＲを適用したものを示す。

このような場合、各共振線路（１　）（１　）（１　）
が８１　Ｆ＜であると線路間の結合が一様でなくなるた
め、そのＩＡ適化は困難であり、帯域内フラット特性を
１１ｌることは難しい。

（ハ）　発明が解決しようとする課題本発明は上記の点に鑑み為されたもので・あり、小型で
特性の優れたストリップ線路フィルタを捉供することを
目的とするものである。

（二）課題を解決するための手段本５を明は誘電体基板の一方の表面に形成される挟地電
極と、この誘電体基板の他方の表面にインターディジタ
ル型に配設されると共に開放端側の電極面積がステンプ
部を介して短絡端側よりも大きく形處される複数個の共
振電極とを備え、前記ステップ部はテーパもしくは角部
にアールが施された形状であることを特徴とするもので
ある。

（ホ）作用Ｓ　Ｉ　Ｒｌｌｆ造の各共振電極のステップ部をテーバ
もしくは角部にアールが施された形状とすることにより
電磁界の乱れが抑制される。また、スクＪ−ン印刷等に
より電極パターンを形成する場合精度良く形成される。

（へ）実施例以下、本発明の一実施例を図面に１足い説明する。

第１図は本発明のストリップ線路フィルタを示す図であ
る。（１０）は誘電体基板であり、裏面に接地電極（図
示せず）が形成されている。表面にはインターディジタ
ル型に共振電極（１１）（１１）（１１）（１１）（１
１）が形成されている。（１２）（１３）は銹ｔ体基板
（１０）の側面に形成された短絡電極である。各共振電
極（１１）（１１）（１１）（１１）（１１）は一端（
短絡端）が短絡電極（１２）（１３）に接続され、短絡
電極（１２）（１３）を介して接地電極に接地されてい
る。また、開放端側の電極面積が他の部分よりも大きく
形成されたＳＩＲ購造を有している。

そして、ＳＩＲ溝造の各共振電極（１１）（１１０１１
）のステップ部（ｌｌａ）（１１ａ０１１ａ）をテーパ
状にしている。このようにｔｊＩＩｌ＆することによっ
て、ステップ部（ｌｌａ）（ｌｌａ）（ｌｌａ）での電
磁界の乱れによるＱの劣化が抑制される。また、スクリ
ーン印刷にて共振ｔ極（１１）（１１）・・・を形成す
る際にステップ部（１ｌａ）（ｌｌａ）（ｌｌａ）の寸
法のバラツキが低減されると共に各共振電極（１１）（
ＩＩ）・・・間の結合度のバラッキも低減される。

第２図は他の実施例を示すものであり、ステップ部（ｌ
ｌａ）（ｌｌａ）（ｌｌａ）・・・の角部にアールを施
しており、第１図のものと同様の効果が得られる。

また、本実施例の第１図及び第２図に示すストリップ線
路フィルタは、各共振線路がＳＩＲ溝遺であるので、一
様線路型のものに比べて基板面積を１０〜２０％程度の
小型化が可能となる。

ところで、電極パターンをスクリーン印刷にて形戒する
場合、印刷ずれによって電極パターン．が所定の寸；去
と異なるのを防止するために第３図に示すようなガード
電極（１４）（１５）を形成する。このガード電極（１
４）（１５）は誘電体基板（１０）裏面の接地電極（図
示せず）を共振ＴＬ極（＋１）（ＩＩ）（１１）（１１
）’（１１）’　が形成される表面側にまで延在させて
形成されたものである。

第３図のストリノブ線路フィルタは、第１図に示した本
発明のストリンプ線路フィルタにガード電極（＋４）（
１５）を設けたものであるが、以下に述べるような問題
がある。

すなわち、入出力用１ｉ極（１６）（１７）は一端（短
絡端）をガード電極（１４〉に接続し、他端を誘電体基
板（ｌＯ）の端縁まで延在して形成している為、この入
出力用’ｔ極（１６）（１７）と、入出力用ｉｉｔ’ｉ
（１６）（１７）に隣接する共ｗｉｔ極（１１）’　　
（１１）’　　との相対向する共振電横長（結合長）が
他の共振電極間のものよりガード電極（ｌ５）の幅だけ
長くなる。このため、フィルタの周波数特性において帯
域内リップルの場加の原囚となる。

このような不都合を解消するために第４図及び第５図に
示すように、入出力用電極（１６）（１７）に隣接する
共振電極（１１）’　（１１）’の開放端の形状を工夫
した。

第４図は共振ｔ極（１１）“（１１）”の開放端の入出
力用ｔ極（１６）（１７）に隣接する側をガードｔ極（
１５）の幅の長さ分だけ方形状に除去した形状としてい
る。このようにして各共振電極（１１）（１１）（１１
）（１１）（１１）“間の結合長を等しくすることによ
って、第６図の周波数特性曲線に示すように帯１或内リ
ップルが減少する（同図において、実線（Ａ）はｉ４図
に示すストリ７プ線路フィルタの特性曲線、破１？！（
Ｂ）は第３図に示すストリップ線路フィルタの特性曲線
である）。

また、第４図のストリンプ線路フィルタでは入山力線路
（１６）（１７）のステップ部（ｌｌａ）（Ｉｌａ）の
角度及び拉置を調整することによって微妙な結合度の調
整を行っている。これは、第４図のような電極パターン
において、入出力用線路（１６）（１７）と共振電極（
１１）’　（１１）’　　とのギャップを例えば２００
μｍ程度に狭く形成する必要がある場合、ギャップ値を
変更することによって結合度を制御するのが困難となる
からである。特に電極パターンをスクリーン印刷にて形
成する場合にこの方法は有効となる。

また、第５図は共振電極（１１）’　（１１）’の開放
端を斜めにカットした形状とすることにより、各共振１
極（１１）（１１）（１１）（１１）’　（１１）’間
の結合長を等しくしたものである（第５図のストリップ
線路フィルタは各共振ｔ極のステップ部にアールを施し
たものである）。

尚、以上説明したストリップ線路フィルタは電極パター
ンをフォトリングラフイによって形成することにより、
ｔ極パターンの形成ｖ４度が向上し、フィルタ特性のバ
ラツキが減少する。

以下、簡単にフ才トリソグラフィによる形戒方｝去を説
明する。

先ず、誘電体基板（１０）の全面に無電界メッキによっ
て、銅、銀等の金属層（１８）を形成した後、フォトレ
ジスト層（１９）を形成し、更に金属フイルム等の所定
の電極パターンが形成されたマスク（２０）を被せ（第
７図（ａ）斜視図（ｂ）側断面図参照）、フォトレジス
ト層（１９）を感光させる。次に、マスク（２０）を外
した後感光させた７才トレジスト層（ｌ９）部分を除去
し、さらにエッチングにより不要部分の金属層（１８）
を除去することにより所定のｘｉパターンを得る（第８
図（ａ）斜視図（ｂ）側断面図参照）。

（ト）発明の効果本発明によれば、小型で且つＱ　ｆｔｆが高く特性のバ
ラツキの少ない優れた特性のストリップ線路フィルタが
実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図、第４図及び第５図は本発明の
ストリップ線路フィルタの実施例を示す図、＠６図は第
３図及び第４図のストリップ線路フィルタの周波数特性
曲線を示す図、第７図及び第８図はストリップ線路フィ
ルタの電極形成工程を説明するための図、第９図、第ｌ
Ｏ図及び第１】図は従来例を説明するための図である。（】０）・・・誘電体基板、（１１）（１１）’　・・
・共振電極、（ｌｌａ）・・・ステソプ部、（１４）（１５）・・・ガード電極、（１６）（１７）・・・入出力用電極。出馳人三洋電機株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

（１）誘電体基板の一方の表面に形成される接地電極と
、この誘電体基板の他方の表面にインターディジタル型
に配設されると共に開放端側の電極面積がステップ部を
介して短絡端側よりも大きく形成される複数個の共振電
極とを備え、前記ステップ部はテーパもしくは角部にアールが施され
た形状であることを特徴とするストリップ線路フィルタ
。
（２）前記接地電極が前記共振電極形成面側にまで延在
して形成されると共に前記複数個の共振電極の短絡端が
接続されるガード電極と、初段及び終段の前記共振電極
であって、一端が前記ガード電極に接続されると共に他
端が前記誘電体基板の端縁まで延在する入出力用電極と
を備え、前記各共振電極の結合長を互いに等しくするべ
く前記入出力用電極と隣接する共振電極の開放端側を非
対称形状にしたことを特徴とする請求項１記載のストリ
ップ線路フィルタ。