JPH03146445A - 毛細チューブの軸孔に拡径されたテーパー穴を形成する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の背景） 本発明は、毛細チューブの軸孔の両端に漏斗状のテーパ
ー穴を形成する方法に関し、特に光ファイバのための毛
細な接続チューブおよびカブラを作成する方法に関する
。

光ファイバは、コアと、このコアよりも低い屈折率を有
してコアを取囲むクラッド層とを有している。光フアイ
バ装置は、光フアイバ間で光エネルギを接続または結合
する種々のタイプの光エネルギ伝送装置を使用している
。ここで用いられている「光エネルギ伝送装置」とは、
端面つき合せ方向および側面つき合せ方向に配置された
ファイバ間でエネルギを結合するための装置のことを言
う。

２本の光ファイバの端面つき合せ接続では、挿入損失を
最小にするためにファイバ同士の精密な心合が要求され
る。マルチモードファイバは、そのコア寸法が大きいた
めに、コアの心合はそれ程困難ではない。しかしながら
、単一モードファイバでは、そのコアの直径が通常７〜
１２μｍ程度であるので、コアの心合はきわめて困難で
ある。

端面をつき合せた心合状態で２本のファイバを接続する
ために一般に用いられる方法では、２本のファイバの端
面同士を密接させて配置するために、通常接続フェルー
ル（ｆｅｒｒｕｌｅ）のような精密な心合装置を必要と
する。このような心合装置は、ガラス、セラミック、宝
石、金属、プラスチック等で形成された毛細チューブか
らなる。単一モードファイバの心合に適した毛細チュー
ブは、心合されるファイバよりも僅か数ミクロンしか大
きくない内径の精密な軸孔を備えたものでなければなら
ない。ある形式の心合装置においては、ファイバの端面
がフェルールの端面と同一平面をなす態様で、各ファイ
バがフェルールの軸孔内に延長しており、このような２
つのフェルールの整列によってファイバの心合状態がも
たらされている。他の形式の心音装置では、１本のファ
イバがフェルールの軸孔内に部分的に挿入され、この軸
孔内でこのファイバに接続されるべき他のファイバに接
するようになっている。フェルールの軸孔の内径が光フ
ァイバの外径よりも僅かしか大きくないので、フェルー
ルの軸孔には、ファイバの挿入を容易にするための拡径
されたテーパー穴が設けられている。

１９８９年２月８日付けで公開されたヨーロッパ特許出
願第０３０２７４５号明細書に開示された形式のカブラ
は、ファイバ間における光エネルギの僅かな結合に頼っ
ている。この形式のカブラの形成においては、その準備
工程で、ファイバを側面つき合せ関係をもって収容する
のに充分な大きさの軸孔を有するカブラチューブ内に２
本またはそれ以上のファイバを挿入することを必要とす
る。上記チューブはファイバ上にコブラスされ、かつチ
ューブの中間区間は延伸されて、ファイバコアの外径お
よびコア間の距離が縮小されるようになっている。

皇備組立て工程中のファイバ間の緊密な適合により、続
く処理工程中でのファイバの正しい整列が保たれる。こ
の場合も、チューブの軸孔の端部におけるテーパー穴が
この形式の装置を製造するのに役立つ。

用いられる材料の種類に応じて、種々の方法がテーバ−
穴の形式に用いられてきた。フェルール材料として特に
好適なガラスは、モールドまたは機械加工によってテー
パー付き端部を有する穴を形成するのが容易でない。粒
子の吹付ける方法によれば、良好なテーパー穴を得るこ
とができるが、この方法の実施には比較的高価な機器を
必要とする。

軸孔に圧力を加えた状態で、毛細ガラスチューブに対し
距離間隔をおいて焔を向けることによって気泡を形成し
、次に各気泡の中心位置でチューブを切断することによ
っても良好な形状を有する拡径端部を有する穴を形成す
ることが可能であるが、この方法ではチューブの外径が
拡大されるため、用途によってはこれが欠点となる。

（発明の概要） そこで本発明は、毛細チューブの端部に拡径された穴を
形成する方法を提供することを目的とする。他の目的は
、上述した従来の方法の欠点を克服した方法を提供する
ことにある。さらに他の目的は、軸孔と拡径端部との間
に緩やかな遷移領域が存在するように、毛細チューブの
軸孔に拡径された、かつ平滑な漏斗状の端部を形成する
方法を提供することにある。さらに他の目的は、光ファ
イバ継ぎ、光カプラ等の光エネルギ伝送装置を作成する
方法を提供することにある。

本発明は、毛細チューブを通って長平方向に延びる軸孔
の端部にテーパー穴を形成する方法に関する。気相エッ
チャントがチューブの軸孔を通って流され、チューブの
第１の端部において軸孔から放散される。チューブの第
１の端部は加熱され、この気相エッチャントを流す処理
と加熱処理とは、気相エッチャントがチューブと反応し
て上記第１の端部における軸孔部分を拡径するのに充分
な長さの時間の間継続される。

気相エッチャントは分留してチューブ材料と反応する活
性な成分を放出する化合物となしうる。

気相エッチャントがチューブの中間領域を流れる間は、
気相エッチャントの温度は分留温度に達していないが、
チューブの加熱源にさらされた端部領域に気相エッチャ
ントが達すると、気相エッチャントは分留温度に達する
。気相エッチャントは、チューブの端部領域内でさらさ
れる温度において分留してフッ素ラジカルを放出するフ
ッ素含有ガスとなしうる。

チューブの第１の端部において、またはチューブの端部
領域内の第１の端部から軸線方向に離れた位置において
最高温度が発生するようされている。温度勾配は、チュ
ーブの第１の端部において、またはチューブの端部領域
内の第１の端部から軸線方向に離れた位置において最大
拡径が得られるように設定されている。

加熱処理は、チューブがその軸線のまわりで一様に熱せ
られるように行なわれるのが望ましい。

このような加熱は、チューブをその軸線のまわりに回転
させることにより、あるいは熱をチューブの第１の端部
に対し軸線方向に向けることにより、あるいはリングバ
ーナを用いることによって達成される。

チューブの軸孔テーパー穴以外の部分の周囲の平滑さ、
形状および遷移領域は、光エネルギ伝送装置の製作時の
光ファイバの挿入を容易にする。

一般に、上述の方法によって作成されたチューブは、そ
のテーパー穴に少なくとも１本の光ファイバが挿入され
、かう光ファイバとテーパー穴とに接着剤が施されてフ
ァイバがチューブに固定されることによって、光エネル
ギ伝送装置を構成する。

（実　施　例） 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。

第１図のチューブ１０はその両端面１３．１４間に延び
る長平方向の軸孔１２を備えている。チューブ１０は、
その軸線方向に区分された３つの領域、すなわち２つの
端部領域１５．１５と中間領域２３からなる（第２図参
照）。光ファイバの接続および結合のために、チューブ
１ｏは、その軸孔１２の内径寸法公差が厳しく管理され
た精密毛細チューブであることが好ましい。軸孔の断面
形状は、目的によって円、正多角形、ダイアモンド形等
となる。ピストン現象を防止するために、軸孔に沿って
スロットを設けてもよい。本発明の方法は、たとえ毛細
チューブの軸孔がチューブの長平方向の軸線上に位置し
ていない場合であっても適用可能である。

チューブ１０は選択的気相エツチングによって適当にエ
ツチングされうる材料で形成されうる。

チューブ１０の組成は、形成されるべきデバイスの種類
によって異なる。光ファイバの端面つき合せ接続のため
にはガラスが好ましいが、ある種のセラミックおよびガ
ラス・セラミックおよび金属のような材料もまた使用さ
れうる。例えばチューブがガラス製である場合、純シリ
カのような比較的硬いガラスまたは酸化鉛、酸化ホウ素
等をドープされた５ｉｎｓのようなより軟いガラスによ
り作成されうる。この種のコネクタにとって毛細チュー
ブの屈折率は問題でない。もしこのチューブが、２本ま
たはそれ以上の光ファイバが軸孔内に挿入され、その後
コラプスされかつ延伸されるような形式の側面つき合せ
接続形カブラを形成するのに用いられる場合は、チュー
ブ１０の軟化点温度は挿入されるファイバの軟化点温度
よりも低くなければならない。この後者に用いるのに適
したチューブの組成は、Ｂｏｏｍｓフッ素およびこれら
の組合せをドープされた５ｉｎｓである。Ｂ、Ｏ，およ
びフッ素はＳｉＯｘの軟化点温度を低下させるのに加え
て屈折率を減少させる作用がある。

チューブ１０は、その端面１４がバーナ１７および１９
のような加熱源に接近するように、万力のような適当な
装置に取付けられて、バーナ１７および１９の焔１８．
１９がチューブ１０に向けられる。チューブ１０の側面
を加熱する場合、チューブの軸孔の一方の側壁のみが片
寄ってエツチングされるのを防止するために、熱源はチ
ューブのまわりで一様に回転させなければならない。複
数のバーナまたはリングバーナを用いてもよく、または
チューブ１０をその軸線のまわりで回転させても、ある
いは１つのバーナをチューブのまわりで回転させても同
様の効果が得られる。もしチューブ１０の一端をその軸
線方向から加熱する場合は、単一のバーナを用いること
ができ、その場合はバーナとチューブとを相対的に回転
させる手段は不要になる。

軸孔１２内にエッチャントを導入するために、ガス供給
管２１のような手段がチューブの端面１３側に接続され
る。ガス供給管２１はシリコーンのような弾性プラスチ
ック材料で形成されうる。

用いられるエッチャントの種類はチューブ１０を形成し
ている材料によって異なる。フッ素含有気相エッチャン
トは、光フアイバコネクタおよびカプラに用いられるチ
ューブを作成する好ましい材料である高シリカ含有ガラ
スをエツチングするのに特に適している。例えばＳＦ、
、ＮＦ、およびＣｔＦａは、室温では本質的に不活性で
あるフッ素含有気相エッチャントである。これらのガス
は、上記熱源によって温度が充分に上昇したときに分離
してフッ素のラジカルをチューブの加熱部分に発生させ
る。

これらフッ素のラジカルは、５００℃を超える温度にお
いてシリカベースのガラスをエツチングするのにきわめ
て効果的である。チューブの温度はチューブが変形し始
める温度以上に上昇させてはならない。ＳＦ、ガスの理
論的な分留温度は約１２００℃である。このガスはエツ
チングよりに純シリカチューブに拡大された穴を形成す
るのに用いられうるが、このような高い温度ではＢ、０
３を含むより軟いガラスは変形する傾向がある。より軟
いガラスに対しては、ＮＦｓのようなガスが約５００℃
で分留するので好ましい。

上記加熱源の位置と温度とは、熱が加えられるチューブ
１０の端部が所定の温度勾配をもって加熱されるように
定められる。平面２４で区画される゛チューブ領域（第
２図参照）は、ガスがフッ素ラジカルを分留し始める温
度Ｔｆに加熱される。温度Ｔｆはガスの種類によって異
なる。チューブの温度は平面２４から端面１４に向うに
つれて上昇する。軸孔１２内に流されるガス２２の温度
は、ガスが平面２４に達するまではＴｆまで高められて
いない。平面２４では僅かのパーセンテージのフッ素ラ
ジカルしか分留されないので、平面２４における気相エ
ッチャントによるエツチング量は僅かである。平面２４
と端面１４との間ではガスの温度が高くなるので、より
多くのパーセンテージのフッ素ラジカルが気相エッチャ
ントから分留され、これらラジカルは高い温度において
よりよく反応するので、第３図に示すように、エツチン
グ量は平面２４を離れるに従い増大する。

エツチングによる軸孔１２の端部の拡径は、所望の最大
内径寸法が得られるまで継続される。もし端面１４にお
いてチューブ温度が最高となるのであれば、連続して拡
がるテーパー領域２５が形成される。すなわち、第３図
に示されるように、軸孔１２とテーパー領域２５との間
になだらかな遷移領域２６が形成される。

工程上の種類のパラメータを変えることにより、所定の
深さに達するまでの時間が変り、テーパー領域２５の形
状も変わる。これらパラメータは、（ａ）チューブ１０
の軸線に対するバーナおよび焔の指向角度、（ｂ）チュ
ーブ１０と熱源との距離、（Ｃ）加熱源の温度、（ｄ）
用いられるエッチャントの種類（濃度と分留温度）（ｅ
）エッチャントの流量等である。

端面１４から離れた平面２８（第４図参照）において温
度が最高になるようにすれば、球状に拡大された穴２７
を形成することができ、この穴２７の平面２８における
内径は端面１４におけるよりも大きくなる。この形状の
利点は接着剤の保持に約立つことであり、したがって光
ファイバをチューブ１０に固定するのに効果的である。

本発明によるテーパー穴の形成方法は容易かつ安価な方
法であるから、大量生産のために容易に自動化される。

この方法はチューブの外径を変形させることがない。ま
たチューブ端面に残存する環状部分１４′の径方向の幅
Ｗ（第３図参照）は、完成されたチューブが適切な強度
を有するのを保証するのに充分な程度に管理されうる。

もし上記幅Ｗが著しく狭くなって、テーパー穴の端部が
尖鋭な面で終端されるようになった場合は、チューブが
弱くなることは明らかである。

第５図および第６図は、複数の毛細チューブにテーパー
穴を同時に形成するのに用いられる装置を示す。マニホ
ールド３０は主ガス供給孔３１と複数の分岐孔３２とを
備えている。各分岐孔３２は、マニホールド３０の面か
ら上方に突出する金属チューブ３３を嵌着するように拡
径された部分を有する。各金属チューブ３３上にはプラ
スチックチューブ３４が設けられ、このプラスチックチ
ューブ３４上にカラー３５がＯリング３６によって固定
されている。これらの部材３３〜３６は毛細チューブ保
持機構３７を形成している。

ガラス毛細チューブ３８は、金属チューブ３３上に着座
するまで各カラー３５を通じて各プラスチックチューブ
３４内に挿入される。かくして各ガラスチューブ３８の
上端面３９は、可動リボンバーナ４１から所定の間隔を
保って配置される。

Ｏリング３６は、気相エッチャントがガラス毛細チュー
ブ３８の外周面から洩れないようにガラス毛細チューブ
３８をプラスチックチューブ３４に対してシールする。

工程が自動化されている場合、ガス供給孔３１への気相
エッチャントの供給およびバーナ４１に対する酸素の供
給は電気的に制御されるバルブによって制御される。バ
ーナ４１のガラスチューブ３８の上方位置とガラスチュ
ーブ３８から離れた後退位置との間の移動は電気的手段
によって制御されうる。動作のシーケンスは下記のとお
りである。すなわち、まずバーナ４１が点火される。気
相エッチャントの供給が開始され、バーナ４１は第６図
の矢印４３で示す方向に移動してガラスチューブ３８の
直上方の位置を占める。焔４２がガラスチューブ３８の
軸線方向から向けられるため、ガラスチューブ３８の端
部領域は、その上端面３９で最高温度になるような温度
勾配をもって加熱される。所定時間経過後、バーナ４１
は後退し、エツチングが停止される。上記所定時間は、
温度と気相エッチャントの種類および量とによって所望
のテーパー穴が形成されるように設定される。

第７図に示されているのは、ファイバが軸孔４５の両端
に挿入されるときに余分な接着剤かそこから流出する放
射方向の孔４６を備えた接続チューブ４４である。軸孔
４５内に気相エッチャントを矢印２２の方向に流し、か
つ同時に、チューブ４４の両端を加熱することによって
、軸孔４５の両端にテーパー穴を同時に形成することか
できる。

第８図に示されている方法によって、テーバー穴を備え
た複数のチューブを作成することができる。気相エッチ
ャント２２は、長い毛細チューブ４８の一端から供給さ
れる。チューブ４８は長さ方向に間隔をおいた複数の箇
所がそれぞれバーナ５２によって加熱される。チューブ
４８の各加熱領域がエツチングされて空洞５０が形成さ
れる。

空洞５０を形成する気相エッチャントが所定の一定の濃
度に保たれるために、−時に１つの領域のみを加熱する
のが好ましい。テーパー穴５１はチューブ４８の一端に
上述のように形成される。空洞５０間の距離は完成され
るチューブの長さに等しくとられる。すべての空洞５０
が形式された後、チューブ４８には各空洞５０の中央の
位置で目印がつけられ、次にそこから切断されて個々の
チューブが形成される。加熱領域の中央が最高温度にな
るようにチューブに沿った温度勾配を制御することによ
って、第３図のテーパー穴２６と同様の各テーパー穴が
形成される。

反応生成物はチューブ４８の残りの部分に流れ、各空洞
５０の下流側に粉状の残滓を残留させる。

この残滓は薄いＨＦ溶液のような適当な洗浄剤をチュー
ブ内に流すことによって除去しうる。この洗浄工程は、
チューブ４８の切断の前または後で行ないうる。

第５図の装置は１２本の毛細チューブの軸孔の端部を同
時に拡径するのに用いられた。各チューブ３８は、融合
されかつ延伸される１２５μｍの外径を有する２本の光
ファイバを側面つき合せ形式で収容するのに適している
。装置は１２個のチューブ保持機構３７が取付けられた
マニホールド３０によって構成された。各チューブ保持
機構３７はステンレススチールチューブ３３、ポリエチ
レンチューブ３４、ポリエチレンカラー３５およびＯリ
ング３６よりなる。酸素とＣＨ４とがそれぞれ２．０７
リツトル／分および０．５６リツトル／分の流量をもっ
てリボンバーナ４１に供給された１２本のチューブ３８
のためにマニホールド３０のガス供給孔３１に流される
ＮＦｌの総流量は０．０３リットル／分であった。

チューブ３８は下記のような寸法を有する。すなわち、
外径２．８叩、円形の断面形状を有する軸孔の内径２７
５μｍ１長さ３．８ｃｍであった。チューブ３８の組成
は約６重量％のＢ、０３と１〜２重量％のフッ素をドー
プされたシリカよりなる。これらチューブ３８は１２個
のチューブ保持機構３７のそれぞれに１本ずつ取付けら
れた。ステンレススチールチューブ３３の一端にチュー
ブ３８が接触させられた状態で、各チューブ３８の上端
３９とバーナ４１との距離は０．７５ｃｍであった。Ｎ
Ｆｓがチューブ３８に流されている状態で、バーナ４１
がチューブ３８の軸線の直上方に位置するように駆動さ
れた。１分後にバーナ４１は後退させられた。

チューブ３８は冷された後に上下を反転され、上記と同
様の工程が反復された。１２本のチューブ８８の各端に
形式された拡径されたテーパー穴の形状は第８図のとお
りである。各テーパー穴の深さは約１．５ｗ〜２ｍｍで
あった。チューブ端における各テーパー穴の内径は約１
．５ｍｍであった。

本発明の方法によって形成されたチューブは、外径１２
５μｍの通常のシングルモード光ファイバ５４．５６（
第９図参照）を端面つき合せ形式で接続するのに用いる
ことができる。米国特許第４７５０９２６号公報に開示
されているように、シリカチューブが長手方向に沿う突
起を備えた円筒状カーボン部材上にコラプスされる。上
記カーボン部材は焼き切りによってシリカチューブから
除去され、このシリカチューブは次に延伸されてその外
径を縮少される。したがって、このようにして得られた
チューブはその軸孔に沿って延びるスロットを備えてい
る。もし必要であれば、チューブの外周面上にガラス微
粒子をデポジットさせることによって、チューブの外径
が増大され、次にこの合成物を熱してガラス微粒子を焼
結させる。得られたチューブは２．５ｍｍの外径と、内
径１２７μの軸孔とを備えている。チューブは２　、５
４ｃｍ間隔で目印がつけられ、各目印ラインの位置で切
断されて個々のチューブ７２が形成された。チューブ７
２は、本発明の方法によって形成されたテーパー穴６８
．７０を両端に備えている。

ファイバ５４．５６は通常のように保護コーティング５
８．６０でそれぞれ被覆されている。ファイバ５４．５
６の端部のコーティングが皮むき工具を用いて約３８ｍ
ｍの長さに除去され、かつコーテイング物質が残存しな
いように洗浄される。

ファイバの裸の端部は直角に切断されて約１２ｍｍの長
さにされる。小量の接着剤が接続チューブ７２の一端に
施され、この接着剤は毛細管現象によってチューブ全長
に亘って流れる。ファイバ５４の裸の端部がテーパー穴
６８内に挿入され、続いてこの端部がチューブ７２の両
端面７４．７６の中間に達するようにチューブ７２の軸
孔に抑大される。テーパー穴の平滑な内面はファイバの
挿入を容易にする。ファイバ５６の裸の端部はテーパー
穴７０内に挿入され、かつこの端部がファイバ５４の端
面６２に密接するようにチューブ７２の軸孔内に挿入さ
れる。このような位置関係によって、ファイバ５４．５
６の保護コーティング５８．６０はそれぞれテーパー穴
６８．７０内に入りこんでいる。次に大量の接着剤６４
．６６がテーパー穴６８．７０内にそれぞれ施され、被
覆されたファイバを接続チューブ７２に固定し、かつ両
ファイバの端面を互いに密接状態に保持している。

【図面の簡単な説明】

第１図は拡径されたテーパー穴を毛細チューブに形成す
る装置の断面図、第２図はエッチャント分留温度平面が
示された毛細チューブの断面図、第３図は本発明の方法
によって形成されたテーパー面を示す毛細チューブの部
分的断面図、第４図はテーパー面の変形を示す毛細チュ
ーブの部分的断面図、第５図は複数本の毛細チューブに
テーパー穴を同時に形成するための装置の部分的断面図
、第６図は第５図に示された装置の動作説明に供する第
５図の６−６線に沿った部分的断面図、第７図は本発明
を適用しうる毛細チューブの変形を示す断面図、第８図
は本発明の他の実施例を示す断面図、第９図は一対のフ
ァイバが本発明の方法によって形成された接続チューブ
によって接続された状態を示す断面図である。 １０．３８．４４．４８・・・毛細チューブ１２．４５
・・・軸孔 １７．１９．４１．５２・・・バーナ ３０・・・マニホールド　　３１・・・ガス供給孔３２
・・・分岐孔　　　　　３３・・・金属チューブ３４・
・・プラスチックチューブ ３５・・・カラー　　　　　３６・・・０リング３７・
・・チューブ保持機構 ５４．５６・・・ファイバ ７２・・・接続チューブ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、反応度が温度の関数である気相エッチャントを毛細
   チューブの軸孔内に流し、 上記チューブのある領域を加熱してこの領域に長さ方向
   の温度勾配を生じさせ、上記気相エッチャントが上記チ
   ューブに反応して上記加熱領域内における軸孔の少なく
   とも一部分を拡径するのに充分な長さの時間の間、上記
   気相エッチャントを流す処理と上記加熱処理とを継続し
   、この場合、上記軸孔の最大拡径が、上記領域の最高温
   度にさらされた部分で生じることを特徴とする毛細チュ
   ーブの軸孔に拡径されたテーパー穴を形成する方法。 ２、上記気相エッチャントを流す処理が、ある分留温度
   において分留して、チューブ材料と反応する活性成分を
   放出する気相化合物を流すことを含む請求項１記載の方
   法。 ３、上記チューブが第１の端部と、中間領域と、上記第
   １の端部と上記中間領域との間の端部領域とを備え、上
   記気相エッチャントは上記端部領域に達するのに先立っ
   て上記中間領域を通って流れ、上記加熱処理は、上記気
   相エッチャントが上記端部領域を通って流れるときに上
   記気相エッチャントが分留するのに充分な高い温度に上
   記端部領域を加熱することを含み、上記中間領域の温度
   は上記気相エッチャントの分留温度よりも低くされ、上
   記端部領域は、上記チューブの上記第１の端部近傍部分
   が最高温度に加熱されるような温度勾配をもって加熱さ
   れる請求項２記載の方法。 ４、上記最高温度は上記チューブの上記第１の端部にお
   いて生じる請求項３記載の方法。 ５、上記最高温度により、上記端部領域内における上記
   チューブの上記第１の端部から軸線方向に離れた位置に
   おいて生じる請求項３記載の方法。 ６、上記最高温度により、上記テーパー穴の最大の拡径
   が上記チューブの上記第１の端部において生じる請求項
   ３記載の方法。 ７、上記最高温度により、上記テーパー穴の最大の拡径
   が上記端部領域内における上記チューブの上記第１の端
   部から軸線方向に離れた位置において生じる請求項３記
   載の方法。 ８、上記気相エッチャントを流す処理が上記チューブの
   非加熱部分の周囲温度では分留を生じないフッ素含有気
   相エッチャントを流すことを含み、上記気相エッチャン
   トは、上記チューブの加熱された部分がさらされる温度
   において分留し、かつフッ素ラジカルを放出する請求項
   ２記載の方法。 ９、上記加熱処理が、上記チューブをその軸線のまわり
   で一様に加熱することを含む請求項１記載の方法。 １０、上記加熱処理が、上記チューブをその軸線のまわ
   りで回転させることを含む請求項９記載の方法。 １１、軸孔を備えた毛細チューブの第１の端部において
   気相エッチャントを上記軸孔から放散させる態様で、上
   記気相エッチャントを上記軸孔を通じて流し、 上記チューブの第１の端部を加熱し、上記気相エッチャ
   ントが上記チューブに反応して上記第１の端部における
   上記軸孔の部分を拡径するのに充分な長さの時間の間、
   上記気相エッチャントを流す処理と上記加熱処理とを継
   続することを特徴とする毛細チューブの軸孔の第１の端
   部に拡径されたテーパー穴を形成する方法。 １２、上記気相エッチャントを流す処理が、ある分留温
   度において分留して、チューブ材料と反応する活性成分
   を放出する気相化合物を流すことを含む請求項１１記載
   の方法。 １３、上記気相エッチャントを流す処理が、上記チュー
   ブの非加熱部分の周囲温度では分留を生じないフッ素含
   有気相エッチャントを流すことを含み、上記気相エッチ
   ャントは、上記チューブの上記第１の端部が位置する上
   記チューブの端部領域内でこの気相エッチャントがさら
   される温度において分留し、かつフッ素ラジカルを放出
   する請求項１２記載の方法。 １４、上記加熱処理が、上記チューブの上記第１の端部
   に向って軸線方向に熱を当てることを含む請求項１１記
   載の方法。 １５、中間領域とこの中間領域から毛細チューブの第１
   および第２の端部に向って延びる第１および第２の端部
   領域を備えたチューブを用意し、気相エッチャントを上
   記チューブの上記中間領域から少なくとも上記チューブ
   の上記第１の端部に向って流しかつ上記第１の端部から
   放散させる態様で、上記気相エッチャントを上記チュー
   ブの軸孔を通じて流し、 上記第１の端部領域を通って流れる上記気相エッチャン
   トの一部が少なくとも上記気相エッチャントの分留温度
   よりも高い温度にさらされるように、かつ上記中間領域
   を通って流れる上記気相エッチャントの一部は上記分留
   温度に加熱されないように、上記第１の端部領域を加熱
   し、 上記第１の端部領域内における上記軸孔の部分が拡径さ
   れるのに充分な長さの時間の間、上記気相エッチャント
   を流す処理と上記加熱処理とを継続することを特徴とす
   る毛細チューブの軸孔の一端にテーパー穴を形成する方
   法。 １６、互いに反対側にある第１および第２の端部と長手
   方向に延びる軸孔とを備え、かつ温度の上昇に伴って反
   応速度が増大する気相エッチャントと反応する材料によ
   って形成された毛細チューブを用意し、 上記エッチャントを、上記チューブの上記第１の端部か
   ら放散させる態様で、上記軸孔を通じて流し、 上記チューブの上記第１の端部を加熱し、上記エッチャ
   ントが流れる上記軸孔の部分を拡径するのに充分な長さ
   の時間の間、上記エッチャントを流す処理と上記加熱処
   理とを継続して、上記チューブの上記第１の端部に拡径
   されたテーパー穴を形成することを特徴とする毛細チュ
   ーブの軸孔の端部にテーパー穴を形成する方法。 １７、互いに反対側にある第１および第２の端部と長手
   方向に延びる軸孔とを備えたチューブを用意し、 上記チューブの上記第１の端部における上記軸孔から上
   記気相エッチャントが放散する態様で上記気相エッチャ
   ントを上記軸孔を通じて流し、上記チューブの上記第１
   の端部を加熱し、上記気相エッチャントが上記チューブ
   と反応して上記第１の端部における上記軸孔の部分を拡
   径するのに充分な長さの時間の間、上記気相エッチャン
   トを流す処理と上記加熱処理とを継続して、上記チュー
   ブの上記第１の端部に拡径されたテーパー穴を形成し、 上記テーパー穴に少なくとも１本の光ファイバを挿入し
   、 上記光ファイバと上記テーパー穴とに接着剤を施して上
   記ファイバを上記チューブに固定することを特徴とする
   光エネルギー伝送装置の作成方法。