JPH031449U - - Google Patents
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- JPH031449U JPH031449U JP5898989U JP5898989U JPH031449U JP H031449 U JPH031449 U JP H031449U JP 5898989 U JP5898989 U JP 5898989U JP 5898989 U JP5898989 U JP 5898989U JP H031449 U JPH031449 U JP H031449U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity type
- semiconductor substrate
- epitaxial growth
- type semiconductor
- layer
- Prior art date
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- Pending
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す断面図、第2
図a,b,cは製造例を示す各工程時の断面図、
第3図は従来例を示す断面図である。 1……アノード電極、2……カソード電極、3
……アノード、4……ガードダイオード、5……
P+拡散層、6……N+埋込み拡散層、7……N
+拡散層、9……N型半導体基板、10……エピ
タキシヤル層。
図a,b,cは製造例を示す各工程時の断面図、
第3図は従来例を示す断面図である。 1……アノード電極、2……カソード電極、3
……アノード、4……ガードダイオード、5……
P+拡散層、6……N+埋込み拡散層、7……N
+拡散層、9……N型半導体基板、10……エピ
タキシヤル層。
Claims (1)
- 第1導電型半導体基板上に第2導電型エピタキ
シヤル成長層を形成し、前記第1導電型半導体基
板に選択的に第1導電型埋め込み拡散を設け、前
記第2導電型エピタキシヤル成長層を前記埋込み
拡散層及び第1導電型の不純物拡散により多数個
に分離してなり、前記第1導電型半導体基板をカ
ソード、分離された前記各第2導電型エピタキシ
ヤル成長層をアノードとし、前記アノードとなる
前記第2導電型エピタキシヤル成長層の表面に局
部的に第2導電型でかつより高濃度の電極接続用
拡散層を形成したことを特徴とする多分割フオト
ダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5898989U JPH031449U (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5898989U JPH031449U (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH031449U true JPH031449U (ja) | 1991-01-09 |
Family
ID=31585089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5898989U Pending JPH031449U (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH031449U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50124336U (ja) * | 1974-03-26 | 1975-10-11 |
-
1989
- 1989-05-22 JP JP5898989U patent/JPH031449U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50124336U (ja) * | 1974-03-26 | 1975-10-11 |