JPH03142705A - 薄膜磁気ヘッドの電気絶縁測定方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドの電気絶縁測定方法Info
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- JPH03142705A JPH03142705A JP28110989A JP28110989A JPH03142705A JP H03142705 A JPH03142705 A JP H03142705A JP 28110989 A JP28110989 A JP 28110989A JP 28110989 A JP28110989 A JP 28110989A JP H03142705 A JPH03142705 A JP H03142705A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、薄膜磁気ヘッドにおいて、読み書き素子の磁
性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定する方法に
関し、媒体対向面に露出しているボール部Ｃ水銀を接触
させ、水銀を介して、磁性膜と導体コイル膜との間の電
気絶縁を測定することにより、媒体対向面の汚染を生じ
ることなく、迅速、かつ、確実に電気絶縁を測定できる
ようにしたものである。
性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定する方法に
関し、媒体対向面に露出しているボール部Ｃ水銀を接触
させ、水銀を介して、磁性膜と導体コイル膜との間の電
気絶縁を測定することにより、媒体対向面の汚染を生じ
ることなく、迅速、かつ、確実に電気絶縁を測定できる
ようにしたものである。
〈従来の技術〉
薄膜磁気ヘッドの一般的な構造は、第４図に示すように
、Ａｈ０３ 、Ｔ１［：等のセラミック構造体でなるス
ライダ１の端面１０１に、読み書き素子２を付着させた
構造となっている。３は保護膜、４１．４２は読み書き
素子２のリード導体であり、保護膜３の表面に形成され
ている。
、Ａｈ０３ 、Ｔ１［：等のセラミック構造体でなるス
ライダ１の端面１０１に、読み書き素子２を付着させた
構造となっている。３は保護膜、４１．４２は読み書き
素子２のリード導体であり、保護膜３の表面に形成され
ている。
スライダ１は、図示では、磁気ディスクとの対向面側に
間隔をおいて突設したレール部１０２の表面に、浮上面
となる媒体対向面１０３を形成すると共に、媒体対向面
１０３の空気流入方向の端部に、テーバ面１０３ａを設
けた、いわゆるテーバ、フラット型となっている。
間隔をおいて突設したレール部１０２の表面に、浮上面
となる媒体対向面１０３を形成すると共に、媒体対向面
１０３の空気流入方向の端部に、テーバ面１０３ａを設
けた、いわゆるテーバ、フラット型となっている。
読み書き素子２はＩＣ製造テクノロジと同様のプロセス
にしたがって形成された薄膜素子でなる。第５図は読み
書き素子２の付近の拡大断面図で、２１はパーマロイ等
でなる下部の磁性膜、２２はＡｌ２Ｏ，，５ｉｎ２等で
形成されたギャップ膜、２３．２４は導体コイル膜、２
５〜２７はフォトレジスト等で形成された膜間絶縁膜、
２８はパーマロイ等でなる上部の磁性膜である。
にしたがって形成された薄膜素子でなる。第５図は読み
書き素子２の付近の拡大断面図で、２１はパーマロイ等
でなる下部の磁性膜、２２はＡｌ２Ｏ，，５ｉｎ２等で
形成されたギャップ膜、２３．２４は導体コイル膜、２
５〜２７はフォトレジスト等で形成された膜間絶縁膜、
２８はパーマロイ等でなる上部の磁性膜である。
磁性膜２１．２８の先端部は、媒体対向面側に露出する
ボール部２１１，２８１となっていて、このボール部２
１１．２８１で、磁気記録媒体との間で磁気記録再生を
行なう。
ボール部２１１，２８１となっていて、このボール部２
１１．２８１で、磁気記録媒体との間で磁気記録再生を
行なう。
導体コイル＠２３．２４は、渦巻状に形成されていて、
互いに電気的に直列に接続され、その両端がリード導体
４１．４２にそれぞれ導通接続されている。
互いに電気的に直列に接続され、その両端がリード導体
４１．４２にそれぞれ導通接続されている。
保護［３はＡｈＯｓまたはＳｉｎ、等のスパッタ膜とし
て、読み書き素子２及び端面１０１の略全面を覆うよう
に形成されている。
て、読み書き素子２及び端面１０１の略全面を覆うよう
に形成されている。
上記の薄膜磁気ヘッドにおいて、磁性１ｉ２１及び２８
と、導体コイル膜２３．２４との間に充分な電気絶縁が
確保できないと、不良品となる。従来、電気絶縁の測定
に当っては、第６図は示すように、ボール部２１１．２
８１の露出する媒体対向面１０３に対し、スライダ１を
含む広い範囲で、銀ペースト等でなる導電性ペースト５
を塗布していた。そして、導電性ペースト５により、磁
性膜２１．２８のボール部２１１．２８１と、Ａｌ２Ｏ
５、Ｔｉｃ等の導電性セラよツク構造体でなるスライダ
１とを電気的に導通させ、スライダ１と導体コイルＩＩ
！２３．２４に導通ずるリード導体４１または４２との
間に所要の電圧を印加し、測定器６によって電気絶縁を
測定していた。媒体対向面１０３に塗布した導電性ペー
スト５は、測定後に取除く。
と、導体コイル膜２３．２４との間に充分な電気絶縁が
確保できないと、不良品となる。従来、電気絶縁の測定
に当っては、第６図は示すように、ボール部２１１．２
８１の露出する媒体対向面１０３に対し、スライダ１を
含む広い範囲で、銀ペースト等でなる導電性ペースト５
を塗布していた。そして、導電性ペースト５により、磁
性膜２１．２８のボール部２１１．２８１と、Ａｌ２Ｏ
５、Ｔｉｃ等の導電性セラよツク構造体でなるスライダ
１とを電気的に導通させ、スライダ１と導体コイルＩＩ
！２３．２４に導通ずるリード導体４１または４２との
間に所要の電圧を印加し、測定器６によって電気絶縁を
測定していた。媒体対向面１０３に塗布した導電性ペー
スト５は、測定後に取除く。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、上述した従来の測定方法には次のような
問題点があった。
問題点があった。
（イ）媒体対向面１０３に導電性ペースト５を塗布する
ため、媒体対向面１０３及びその周囲が汚染され、品質
及び信頼性の低下を招く。
ため、媒体対向面１０３及びその周囲が汚染され、品質
及び信頼性の低下を招く。
（ロ）導電性ペースト５を塗布し、拭き取る作業が必要
であるため、測定作業性が悪い。
であるため、測定作業性が悪い。
（ハ）読み書き素子２のボール部２１１．２８１の周り
には、硬質のアルミナでなるギャップ膜２２及び保護膜
３、更にはＡＩ、Ｏ，、ＴｉＣ等のセラミック構造体等
でなるスライダ１がある。このため、媒体対向面１０３
を研磨した後、導電性ペースト５を塗布する前の完成状
態では、第７図に示すように、ボール部２１１．２８１
の研磨量が、ギャップ膜２２、保護膜３及びスライダ１
よりも大きくなり、微小な凹凸７を生じている。この凹
凸７のため、塗布された導電性ペースト５が、ボール部
２１１．２８１の端面に接触しないことがある。このた
め、測定の信頼性が低いという問題点があった。
には、硬質のアルミナでなるギャップ膜２２及び保護膜
３、更にはＡＩ、Ｏ，、ＴｉＣ等のセラミック構造体等
でなるスライダ１がある。このため、媒体対向面１０３
を研磨した後、導電性ペースト５を塗布する前の完成状
態では、第７図に示すように、ボール部２１１．２８１
の研磨量が、ギャップ膜２２、保護膜３及びスライダ１
よりも大きくなり、微小な凹凸７を生じている。この凹
凸７のため、塗布された導電性ペースト５が、ボール部
２１１．２８１の端面に接触しないことがある。このた
め、測定の信頼性が低いという問題点があった。
（ニ）前２述の凹凸７は３．Ｏｎｅ程度であり、導電性
ペースト５に含まれる銀粉末等の導電成分の粒径によっ
ては、導電性ペースト５が凹凸７内に入り込めないこと
もあり、測定信頼性を低下させる。
ペースト５に含まれる銀粉末等の導電成分の粒径によっ
ては、導電性ペースト５が凹凸７内に入り込めないこと
もあり、測定信頼性を低下させる。
（ホ）スライダ１の導電性を利用しているので、スライ
ダ１が電気絶縁物である場合には適用が困難である。
ダ１が電気絶縁物である場合には適用が困難である。
そこで、本発明のｙＡ題は、上述する従来の問題点を解
決し、磁性膜及び導体コイル膜の間の電気絶縁を、汚染
を生じることなく、迅速、かつ、確実に測定し得る方法
を提供することである。
決し、磁性膜及び導体コイル膜の間の電気絶縁を、汚染
を生じることなく、迅速、かつ、確実に測定し得る方法
を提供することである。
く課題を解決するための手段〉
上述する従来の問題点を解決するため、本発明は、スラ
イダと、このスライダによって担持された読み書き素子
とを含み、前記読み書き素子は、磁性膜及び導体コイル
膜による磁気回路を内蔵し、前記磁性膜によるボール部
を媒体対向面に露出させた薄膜磁気ヘッドにおいて、前
記磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定する場
合に、前記ボール部に水銀を接触させ、前記水銀を介し
て、前記磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定
することを特徴とする。
イダと、このスライダによって担持された読み書き素子
とを含み、前記読み書き素子は、磁性膜及び導体コイル
膜による磁気回路を内蔵し、前記磁性膜によるボール部
を媒体対向面に露出させた薄膜磁気ヘッドにおいて、前
記磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定する場
合に、前記ボール部に水銀を接触させ、前記水銀を介し
て、前記磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定
することを特徴とする。
く作用〉
水銀は、表面張力が非常に大きく、導電性にも優れてい
る。このため、ボール部に水銀を接触させ、水銀を介し
て、磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定した
場合、周囲を汚すことなく、ボール部に対して水銀を確
実に接触させ、磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁
を確実に測定できる。
る。このため、ボール部に水銀を接触させ、水銀を介し
て、磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定した
場合、周囲を汚すことなく、ボール部に対して水銀を確
実に接触させ、磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁
を確実に測定できる。
しかも水銀は、その表面張力により、磁気ヘッドに付着
することがない。このため、測定作業を迅速に行なうこ
とができる。
することがない。このため、測定作業を迅速に行なうこ
とができる。
また、パーマロイでなる磁性膜との間で、アマルガムを
作ることもなく、安定である。
作ることもなく、安定である。
更に、水銀に対して直接に測定回路を接続できるから、
スライダが導電性である場合のみならず、電気絶縁物で
ある場合にも適用できる。
スライダが導電性である場合のみならず、電気絶縁物で
ある場合にも適用できる。
〈実施例〉
第１図は本発明に係る電気絶縁測定法の一実施例を示す
図、第２図は同じく要部の拡大断面図である。図におい
て、第４図〜第７図と同一の参照符号は同一性ある構成
部分を示している。読み書き素子２のボール部２１１．
２８１に水銀８を接触させである。水銀８は、その表面
張力により収縮し、第２図に示すように、凹凸７の内部
に確実に入り込み、ボール部２１１．２８１に接触する
。従って、測定器６から導かれた測定端の一端を水銀８
に導通させると共に、測定端の他端を導体コイル膜２３
．２４に導通するリード導体４１または４２に接続する
ことにより、磁性膜２１．２８と導体コイル膜２３．２
４との間の電気絶縁を、確実に測定することができる。
図、第２図は同じく要部の拡大断面図である。図におい
て、第４図〜第７図と同一の参照符号は同一性ある構成
部分を示している。読み書き素子２のボール部２１１．
２８１に水銀８を接触させである。水銀８は、その表面
張力により収縮し、第２図に示すように、凹凸７の内部
に確実に入り込み、ボール部２１１．２８１に接触する
。従って、測定器６から導かれた測定端の一端を水銀８
に導通させると共に、測定端の他端を導体コイル膜２３
．２４に導通するリード導体４１または４２に接続する
ことにより、磁性膜２１．２８と導体コイル膜２３．２
４との間の電気絶縁を、確実に測定することができる。
水銀８は、スライダｔ１保護１１！３、ギャップ膜２２
及び磁性膜２１．２８に対して付着することもないし、
磁性膜２１．２８との間でアマルガムを作ることもない
。
及び磁性膜２１．２８に対して付着することもないし、
磁性膜２１．２８との間でアマルガムを作ることもない
。
第３図は別の実施例を示す。この実施例では、容器９内
の水銀３の上に、媒体対向面１０３が水銀８の表面に接
触するように配置し、水銀８とリード導体４１または４
２との間に測定器６を電気的に接続して、電気絶縁測定
を行なうようになっている。
の水銀３の上に、媒体対向面１０３が水銀８の表面に接
触するように配置し、水銀８とリード導体４１または４
２との間に測定器６を電気的に接続して、電気絶縁測定
を行なうようになっている。
上記実施例では、面内記録再生用の薄膜磁気ヘッドを例
にとって説明したが、垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘ
ッドにも適用できる。また、浮上面となる媒体対向面の
形状は実施例に限定されない。例えば、媒体対向面がレ
ール部を持たない平面状となっているもの等、他の形状
、構造のものについても同様に適用が可能である。
にとって説明したが、垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘ
ッドにも適用できる。また、浮上面となる媒体対向面の
形状は実施例に限定されない。例えば、媒体対向面がレ
ール部を持たない平面状となっているもの等、他の形状
、構造のものについても同様に適用が可能である。
〈発明の効果〉
以上述べたように、本発明によれば、次のような効果が
得られる。
得られる。
（ａ）ボール部に水銀を接触させ、水銀を介して、磁性
膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定する構成であ
るので、周囲を汚すことなく、ボール部に対して水銀を
確実に接触させ、磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶
縁を確実に測定することができる。
膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定する構成であ
るので、周囲を汚すことなく、ボール部に対して水銀を
確実に接触させ、磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶
縁を確実に測定することができる。
（ｂ）水銀は、その表面張力により、磁気ヘッドに付着
することがないため、測定作業を迅速に行なうことがで
きる。
することがないため、測定作業を迅速に行なうことがで
きる。
（ｃ）ｌｉｆｔ性膜のボール部との間で、アマルガムを
作ることもなく安定であり、スライダが導電性である場
合のみならず、電気絶縁物である場合にも適用できる利
用範囲の広い電気絶縁測定方法を提供できる。
作ることもなく安定であり、スライダが導電性である場
合のみならず、電気絶縁物である場合にも適用できる利
用範囲の広い電気絶縁測定方法を提供できる。
第１図は本発明に係る電気絶縁測定法の一実施例を示す
図、第２図は同じく要部の拡大断面図、第３図は本発明
に係る電気絶縁測定方法の別の実施例を示す図、第４図
は薄膜磁気ヘッドの斜視図、第５図は同じく要部の拡大
断面図、第６図は従来の薄膜磁気ヘッドの電気絶縁測定
方法を示す図、第７図は同じくその問題点を示す図であ
る。 １・・・スライダ ２・・・読み書き素子６・・・
測定器 ８・・・水銀 １０３・・・媒体対向面 ２１．２８・・・磁性膜 ２２・・・ギャップ膜 ２３．２４・・・導体コイル膜 ２１１．２８１・・・ボール部 １０３・・・媒体対向面 第 冒 図 第 図 ５ ７ どｂ 第 図 第 図 第 ６ 図 第 図 ５ ７ ６ ２
図、第２図は同じく要部の拡大断面図、第３図は本発明
に係る電気絶縁測定方法の別の実施例を示す図、第４図
は薄膜磁気ヘッドの斜視図、第５図は同じく要部の拡大
断面図、第６図は従来の薄膜磁気ヘッドの電気絶縁測定
方法を示す図、第７図は同じくその問題点を示す図であ
る。 １・・・スライダ ２・・・読み書き素子６・・・
測定器 ８・・・水銀 １０３・・・媒体対向面 ２１．２８・・・磁性膜 ２２・・・ギャップ膜 ２３．２４・・・導体コイル膜 ２１１．２８１・・・ボール部 １０３・・・媒体対向面 第 冒 図 第 図 ５ ７ どｂ 第 図 第 図 第 ６ 図 第 図 ５ ７ ６ ２
Claims (1)
- スライダと、このスライダによって担持された読み書き
素子とを含み、前記読み書き素子は、磁性膜及び導体コ
イル膜による磁気回路を内蔵し、前記磁性膜によるボー
ル部を媒体対向面に露出させた薄膜磁気ヘッドにおいて
、前記磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を測定す
る場合に、前記ボール部に水銀を接触させ、前記水銀を
介して、前記磁性膜と導体コイル膜との間の電気絶縁を
測定することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの電気絶縁測
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28110989A JPH03142705A (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | 薄膜磁気ヘッドの電気絶縁測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28110989A JPH03142705A (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | 薄膜磁気ヘッドの電気絶縁測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03142705A true JPH03142705A (ja) | 1991-06-18 |
Family
ID=17634480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28110989A Pending JPH03142705A (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | 薄膜磁気ヘッドの電気絶縁測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03142705A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6476801B2 (en) | 1997-03-31 | 2002-11-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma display device drive circuit identifies signal format of the input video signal to select previously determined control information to drive the display |
-
1989
- 1989-10-27 JP JP28110989A patent/JPH03142705A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6476801B2 (en) | 1997-03-31 | 2002-11-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma display device drive circuit identifies signal format of the input video signal to select previously determined control information to drive the display |
| US6608610B2 (en) | 1997-03-31 | 2003-08-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma display device drive identifies signal format of the input video signal to select previously determined control information to drive the display |
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