JPH03141053A - 情報記録媒体製作用スタンパの製作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は情報記録媒体製作用スタンパの製作方法に関す
る。

（従来の技術） 記録再生の対象にされている情報信号に応じた凹凸（ビ
ット）を信号面に形成させておき、微小な径の光点を信
号面に照射して情報信号の読取りを行うようにした情報
記録媒体は、従来からコンパクトディスク、あるいはビ
デオディスク、その他の光ディスクとして実用されてい
る。

前記した各種の記録済み光ディスクは、記録再生の対象
にされている情報信号に応じた凹凸（ビット）が表面に
形成されているスタンパにおける表面の凹凸を合成樹脂
製のディスクの信号面に転写させて製作されるが、従来
、前記したスタンパは例えば第４図に例示されているよ
うな記録系を用いて、ガラス原盤上に形成させたフォト
レジスト層を記録の対象にされている情報信号によって
強度変調されている微小な径の光によって感光させ、第
５図に例示されているような複雑な多くの製作工程を経
て製作されていた。

（発明が解決しようとする課題） すなわち、情報記録媒体の製作に使用されるスタンパの
製作に当っては、第４図に例示されている従来の記録系
の構成図及び第５図に例示されているスタンパ製作のた
めの工程図からも明らかなように、ガラス原盤にフォト
レジスト膜を塗布した後にそれにベーキング処理を施し
て記録膜を形成させたレジスト原盤を用い、レジスト原
盤におけるフォトレジスト膜よりなる記録膜にガスレー
ザから放射されたレーザ光を光変調器を用いて記録の対
象にされている情報信号により強度変調し、それを微小
な光点としてフォトレジスト膜よりなる記録層を感光さ
せた後に現像処理、表面導電化処理、電鋳、剥離などの
複雑な諸工程が必要とされていた。

前記のように従来のスタンパの製作にはレジスト原盤が
用いられているが、高解像度フォトレジストの分光感度
は波長４５０ｎｍ以下の波長域に高い感度を有すること
から、記録系の構成中に用いられる記録用のレーザ光源
としても１発振波長が４５７．９　ｎｍのＡｒレーザ、
または発振波長が４４１．６ｎｍのＨｅ　−Ｃｄレーザ
等の大型なガスレーザが必要とされ、またフォーカス制
御系に用いられるレーザ光としてはフォトレジストが感
度を有しない波長の光であることが必要とされるから、
フォーカス制御用のレーザ光源を前記した記録用のレー
ザ光源とは別のもの、例えばＨｅ−Ｎａレーザを用いる
ことが必要とされる他、前記したガスレーザはそれ自体
では情報信号による強度変調を行えないために、記録光
用のガスレーザから放射されたレーザ光の強度変調のた
めに光変調器を用いることが必要とされ、さらに光変調
器では完全に光を零にすることができないからジッタが
必要とされる等のために必然的に記録系は大型で複雑な
ものになり、また、フォトレジスト膜はそれに感光させ
た後に現像処理を施さない限り凹凸形状にはならないか
ら、露光工程の後に現像工程が必要とされるために、従
来のスタンパの製作には大型で複雑な記録系と複雑な製
作工程とが必要とされていた。

（課題を解決するための手段） 本発明は鏡面研磨されたガラス原盤にスタンパにおける
凹凸の深さと同じ厚さの有機材料による記録膜を形成さ
せて有機材料による記録膜付のガラス原盤を得る工程と
、記録の対象にされている情報信号によって強度変調さ
れた状態で半導体レーザから放射されたレーザ光を有機
材料による記録膜付のガラス原盤における有機材料によ
る記録膜に集光させて、有機材料による記録膜における
レーザ光の照射部分を飛散させることにより有機材料に
よる記録膜に記録の対象にされている情報信号に対応す
る凹凸を形成させる工程と、前記した有機材料による記
録膜付のガラス原盤における凹凸が形成された有機材料
による記録膜側の面に導電化処理を施す工程と、前記の
導電化処理が施された面上に電鋳を施す工程と、電鋳に
よって形成された部分を他の部分から剥離して電鋳によ
って形成された部分をスタンパとして取出す工程とから
なる情報記録媒体製作用スタンパの製作方法を提供する
。

（作用） 鏡面研磨されたガラス原盤上にスタンパにおける凹凸の
深さと同じ厚さの有機材料による記録膜を例えばスピン
コード法によって形成させて有機材料による記録膜付の
ガラス原盤を作る。

記録の対象にされている情報信号によって強度変調され
た状態で半導体レーザから放射されたレーザ光を記録光
学系を介して有機材料による記録膜付のガラス原盤にお
ける有機材料による記録膜に集光させると、有機材料に
よる記録膜におけるレーザ光の照射部分が飛散し、有機
材料による記録膜に記録の対象にされている情報信号に
対応する凹凸が形成される。

前記した有機材料による記録膜付のガラス原盤における
凹凸が形成された有機材料による記録膜側の面に導電化
処理を施してから、前記の導電化処理が施された面上に
電鋳を施し、電鋳によって形成された部分を他の部分か
ら剥離して電鋳によって形成された部分をスタンパとし
て取出す。

（実施例） 以下、添付図面を参照して本発明の情報記録媒体製作用
スタンパの製作方法の具体的な内容を詳細に説明する。

第１図は記録系の一部のブロック図、第２図は記録の対
象にされている情報信号によって強度変調された状態で
半導体レーザから放射されたレーザ光を記録光学系を介
して有機材料による記録膜付のガラス原盤における有機
材料による記録膜に集光させて、有機材料による記録膜
におけるレーザ光の照射部分が飛散し、有機材料による
記録膜に記録の対象にされている情報信号と対応する凹
凸が形成されることを示す図、第３図は有機材料による
記録膜の光の波長に対する吸収率特性を示す図、第６図
及び第７図は有機材料による記録膜の特性側図である。

第１図及び第２図において、Ｄは有機材料による記録膜
付のガラス原盤であり、この有機材料による記録膜付の
ガラス原盤りは、ガラス原盤１の表面が鏡面研磨された
後に、その表面に記録膜２となされるべき有機材料膜を
例えばスピンコード法によって付着形成させることによ
り作られたものである。前記した有機材料膜による記録
膜２は。

その厚さがスタンパにおける凹凸の深さと同じとなるよ
うになされている。前記の記録膜２を構成する有機材料
としてはレーザ光の照射による加熱によって飛散しうる
ようなものが使用される。なお、前記の記録膜２を形成
させる有機材料として半導体レーザの光の波長付近で吸
収の多いものを使用したり、あるいは記録膜２の構成材
料としてレーザ光の照射によって低温で自己発熱する有
機材料を使用すると、レーザ光によって効率良く記録膜
２を飛散させることができる。

前記した記録膜２となされるべき有機材料膜の構成材料
としては５例えば日本感光色素研究所製のＮＫ２９２９
のシアニン系の有機材料（第６図中に化学構造式が示さ
れている）を使用することができる。

第１図において有機材料による記録膜付のガラス原盤り
は図示されていない回転駆動機構によって所定の回転数
により図中の矢印Ｒのように回転駆動されている。また
、第１図中において有機材料による記録膜付のガラス原
盤りの下方に示されている構成部分は図示されていない
移送機構によって記録膜付のガラス原盤りの径方向に所
定の移送態様で移送されるようになされている。

ＬＤは半導体レーザであり、この半導体レーザＬＤは、
信号源４から供給されている記録の対象にされている情
報信号によって強度変調されている状態のレーザ光を放
射する。

半導体レーザＬＤから放射されたレーザ光はレンズＬ１
によって平行光にされた後にプリズムＰによってビーム
形状が整形され、ビームスプリッタＢＳを透過し、次い
で反射鏡Ｍで反射されて結像レンズＬ２によって有機材
料による記録膜付のガラス原盤りにおける有機材料によ
る記録膜２に結像される。

前記した有機材料による記録膜付のガラス原盤りにおけ
る有機材料による記録膜２は、それにレーザ光の微小光
点が結像されたときに、その部分が光を吸収して加熱さ
れて飛散し、その部分にはガラス原盤の表面が露出して
いる状態（第２図中の図面符号３の部分を参照）になさ
れる。

それで、有機材料による記録膜付のガラス原盤りにおけ
る有機材料による記録膜２には半導体レーザＬＤから放
射されているレーザ光を強度変調している情報信号に対
応しているピット配列（凹凸）が形成されることになる
。

前記した有機材料による記録膜付のガラス原盤りにおけ
る有機材料による記録膜２に結像されたレーザ光の微小
な径の光点からの反射光は、結像レンズＬ２→反射鏡Ｍ
→ビームスプリッタＢＳ→レンズＬ３→光検出器ＰＤの
光路により光検出器ＰＤに入射される。そして、前記の
光検出器ＰＤではフォーカスの状態に対応した電気信号
を出力してそれをフォーカス制御回路ＦＳＣに与える。

フォーカス制御回路ＦＳＣではフォーカス制御信号を発
生してアクチュエータによって前記した結像レンズＬ２
を駆動し、常に結像レンズＬ２によってレーザ光が有機
材料による記録膜付のガラス原盤りにおける有機材料に
よる記録膜２に結像される状態に自動フォーカス制御す
る。

第３図は有機材料による記録膜付のガラス原盤りにおけ
る有機材料による記録膜２の構成に使用されている有機
材料の吸収率と光の波長との関係を示す特性側図であり
、この第３図のように半導体レーザからの発光波長７８
０ｎｍにおいて有機材料の吸収率が最大となされた場合
には最も効率的な記録を行うことができる。

前記のようにして有機材料による記録膜付のガラス原盤
りにおける有機材料による記録膜２には半導体レーザＬ
Ｄから放射されているレーザ光を強度変調している情報
信号に対応しているビット配列（凹凸）が形成された状
態の有機材料による記録膜付のガラス原盤りは１次にそ
れの記録膜２が形成されている方の面に導電化処理が行
われる。

前記の導電化処理としては例えば真空蒸着法、あるいは
スパッタリング法のような真空成膜法を採用することが
できるが、他の周知の導電化処理手段が用いられてもよ
い。

導電化処理が行われた表面には１例えばニッケルによっ
て電鋳が行われ、その後に表面の機械的強度を高めるた
めにクロムの薄膜が表面に施されてスタンパが完成する
。

第６図は前記した日本感光色素研究新製のＮＫ２９２９
のシアニン系の有機材料（第６図中に化学構造式が示さ
れている）を記録膜２となされるべき有機材料膜として
用いた場合の光波長と光の透過率との関係を示す特性側
図であり、また、第７図は前記した材料に−おける発熱
特性を示す図であって、この第７図において横軸は温度
、縦軸は発熱量を示しており、この有機材料は低温で自
己発熱する状態を示している。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したところから明らかなように、本発
明の情報記録媒体製作用スタンパの製作方法は、鏡面研
磨されたガラス原盤に、スタンパにおける凹凸の深さと
同じ厚さの有機材料による記録膜を形成させて有機材料
による記録膜付のガラス原盤を得る工程と、記録の対象
にされている情報信号によって強度変調された状態で半
導体レーザから放射されたレーザ光を有機材料による記
録膜付のガラス原盤における有機材料による記録膜に集
光させて、有機材料による記録膜におけるレーザ光の照
射部分を飛散させることにより有機材料による記録膜に
記録の対象にされている情報信号に対応する凹凸を形成
させる工程と、前記した有機材料による記録膜付のガラ
ス原盤における凹凸が形成された有機材料による記録膜
側の面に導電化処理を施す工程と、前記の導電化処理が
施された面上に電鋳を施す工程と、電鋳によって形成さ
れた部分を他の部分から剥離して電鋳によって形成され
た部分をスタンパとして取出す工程とからなる情報記録
媒体製作用スタンパの製作方法であって、この本発明の
情報記録媒体製作用スタンパの製作方法によれば、記録
系でガスレーザや光変調器を用いたりする必要がないか
ら記録系の構成が簡単で小型なものになり、また、スタ
ンパの凹凸の深さと同じ厚さを有し、かつ、熱によって
飛散する有機材料を使用した記録膜に、記録の対象にさ
れている情報信号により強度変調されて半導体レーザか
ら放射されたレーザ光を光学系によって集光した微小な
光点を照射してその照射部分の記録膜を飛散させること
により、ガラス原盤上の記録膜によって、直ちに記録の
対象にされている情報信号と対応する深さの凹凸を形成
させることができるので、従来のスタンパの製作に際し
て必要とされていたベーキング工程や現像工程が不要と
なり１本発明によれば既述した従来の問題点は良好に解
決される。

【図面の簡単な説明】

第１図は記録系の一部のブロック図、第２図は有機材料
による記録膜におけるレーザ光の照射部分が飛散し、有
機材料による記録膜に記録の対象にされている情報信号
と対応する凹凸が形成されることを示す側断面図、第３
図は有機材料による記録膜の光の波長に対する吸収率特
性を示す図、第４図は従来法で使用されていた記録系の
ブロック図、第５図は従来法における工程図、第６図及
び第７図は有機材料による記録膜の特性側図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、鏡面研磨されたガラス原盤に、スタンパにおける凹
   凸の深さと同じ厚さの有機材料による記録膜を形成させ
   て有機材料による記録膜付のガラス原盤を得る工程と、
   記録の対象にされている情報信号によって強度変調され
   た状態で半導体レーザから放射されたレーザ光を有機材
   料による記録膜付のガラス原盤における有機材料による
   記録膜に集光させて、有機材料による記録膜におけるレ
   ーザ光の照射部分を飛散させることにより有機材料によ
   る記録膜に記録の対象にされている情報信号に対応する
   凹凸を形成させる工程と、前記した有機材料による記録
   膜付のガラス原盤における凹凸が形成された有機材料に
   よる記録膜側の面に導電化処理を施す工程と、前記の導
   電化処理が施された面上に電鋳を施す工程と、電鋳によ
   って形成された部分を他の部分から剥離して電鋳によっ
   て形成された部分をスタンパとして取出す工程とからな
   る情報記録媒体製作用スタンパの製作方法２、記録膜を
   形成させる有機材料として半導体レーザの光の波長付近
   で吸収の多いものを使用した請求項１に記載の情報記録
   媒体製作用スタンパの製作方法 ３、記録膜を形成させる有機材料として低温で自己発熱
   するものを使用した請求項１に記載の情報記録媒体製作
   用スタンパの製作方法