JPH03134524A

JPH03134524A - 放射温度測定装置

Info

Publication number: JPH03134524A
Application number: JP1270460A
Authority: JP
Inventors: Jun Azuma; 洵東; Yasuo Kaihara; 貝原　保男; Tatsuya Hamada; 達也濱田
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 1989-10-19
Filing date: 1989-10-19
Publication date: 1991-06-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、連続鋳造引抜中の鋳片（スラブ）の表面温度
やその表面温度分布の測定、あるいは、熱延プロセスで
の熱間圧延中の鋼板、厚板の表面温度やその表面温度分
布の測定などに用いて好適の放射温度測定装置に関する
。

［従来の技術］連続鋳造プロセスにおいて、鋳造中の鋳片の温度分布（
特に矯正前の温度分布）は、品質管理上。

重要な監視項目であり、鋳片の幅方向の温度分布を連続
的に測定し、且つ、その表面状態を観察することが望ま
れている。

一般に、連続鋳造引抜中の鋳片は０．６〜２．０ｍ／分
程度の速度で移動しているため、その鋳片の温度や温度
分布は非接触式で測定される。接触式で測温を行なう手
段としては、埋込式熱電対法。

鋲打ち法などがあるが、測定機器が鋳片に付いて移動し
てしまうため、一定位置での連続測定には向かずまた安
定性も悪く、通常、非接触式の測温手段が用いられる。

非接触式で測温を行なう手段としては、■鋳片からの赤
外線を、ｔ４片に近接させた光ファイバにより近接し、
この光ファイバを通じて単色または２色の放射温度計に
導いて測温するものや、■汎用の放射温度計の前面をエ
アパージして周辺の上記を排除しながら測温するものな
ど種々ある。前述の手段■、■で鋳片の幅方向の温度分
布を検出する際には汎用の放射温度計の視野が５°〜７
°程度と狭いので、機械的に走査するか、鋳片の幅方向
に素子を並べた赤外線感知型の１次元ＣＣＤ素子で電子
的に走査するなどの手段をとっている。

放射温度計で使われている検出波長としては。

０．９〜１．１．程度がほとんどである。これは、非接
触式の場合、測定対象と測温手段との間にある水蒸気に
よる吸収を比較的受けにくいことと、中温度域での検出
感度が高いこととによる。

［発明が解決しようとする課題］ところで、放射測温で問題になる測定対象の表面の放射
率の影響を低減するには、できるだけ検出波長を短くす
る方が望ましいことは、周知である。つまり、絶対温度
Ｔの物体から放射される熱エネルギのうち波長λでの見
かけ上の輝度温度Ｓは、近似的に次式で表される。

Ｓミ■７・Ｔここで、εは物体の放射率、ｎは測定器で検出する波長
λによって決まる定′数である。例えば、１０００”Ｋ
付近において、λ＝　０．６５．ｎ（可視光の赤色）で
ｎミ２５、λ＝１．０声（近赤外）でｎミニ４となる。

従って、ｎが大きいほど即ち波長λが短いほど、放射率
が測定値に与える影響は小さくなる。

これを確認するために、可視光の範囲（波長λ；０．４
〜０．７／Ｊｌ）に感度を有するカラー用ＣＣＤ素子を
用いて測温実験を行ない、その結果を第６図に示すにの
第６図に示すように、８００〜９５０℃程度でＣＣＤ素
子の出力は飽和してしまうために、高々１５０〜２００
℃程度の測定範囲しか得られない。連続鋳造用としては
、５５０〜１１００℃の測定範囲が必要なところでは、
もう少し長い波長（λ＝０．９〜１，０．）が適してい
る。

例えば、中温度域で最もよく使用される波長１．０−付
近での測定例を第７図に示す。この第７図に示すように
、走査用クロック周波数（後述する）ｆｃが２５０）（
ｚの場合で６７０〜９００℃程度まで測定でき、測定範
囲が２３０℃程度に拡大される。ＣＣＤ素子の出力が３
〜４％以下は測定できないので、クロック周波数ｆ、を
１０００Ｈｚに上げても７６０〜１１００℃（測定範囲
３３０℃程度）が限界である。

このような測定範囲の限界が走査用クロック周波数ｆｃ
により生じる原因を、第８，９図により説明する６第８
図に示すように、通常、フォトダイオードアレイやＣＣ
Ｄ素子等の光電変換素子１に入射したエネルギは、この
光電変換素子１により電気量に変換され、コンデンサ２
に蓄えられる。

このとき、スイッチ３はオフ（開）状態であり、このス
イッチ３を所定の時間間隔ｔてオン（閉）状態にするこ
とによって、コンデンサ２に蓄えられた電気量が測温結
果として出力される。アレイ素子においては、このよう
な光電変換素子１が多数並べられ順次一定のタイミング
しで切り換え、スイッチ３のオン／オフ走査によりコン
デンサ２からの電気量を取り出している。このタイミン
グしの逆数１７ｔが走査用クロック周波数ｆｃである。

そして、スイッチ３の後段には増幅器（図示せず）が接
続されているが、光電変換素子１へ入光量が少ない場合
、つまり測温対象（被測温体）の物体温度が低く赤外線
エネルギが小さい時には、コンデンサ２に十分電気量が
蓄えられぬまま、タイミングしでその電気量が出力され
てしまうので、増幅器ではノイズとしか識別できないこ
とがある。そこで、タイミングｔを大きく（つまり走査
用クロック周波数ｆｃを小さく）すると、エネルギに対
応した電気量がコンデンサ２に蓄積されるようになり、
増幅器からもノイズと識別可能な測温信号を出力するこ
とができる。しかし、このようにタイミングしを大きく
した場合に、高温物体を眺め大きな入光量があると、コ
ンデンサ２が飽和してしまい、このコンデンサ２からの
出力は、第９図に示すように頭打ちとなってしまい、正
確な測温結果を出力できなくなる。従って、走査用クロ
ック周波数ｆｃを一定にする限り低温度域のみか高温度
域のみしか測定できず、６００〜１１００℃程度の広範
な測定範囲を対象にして測温することができない。

そこで、第９図に示すような飽和状態になる場合には、
走査用クロック周波数ｆｃを大きく〔タイミングＬを小
さく例えばｔｏ（＜ｔ）にコしてやれば。

コンデンサ２が飽和する以前にスイッチ３がオン状態に
なり、エネルギを開放してしまうので、第１０図に示す
ように、飽和状態にはならなくなる。

即ち、走査用クロック周波数ｆｃをエネルギ入力の状況
に応じて切り換えるのである。

しかし、ここで、走査用クロック周波数ｆｃをどのよう
にして切り換えるかが問題になる。最も単純な切換方式
としては、測定信号の大小により走査用クロック周波数
ｆｃを切り換えることである。この切換を定周期的に行
ない、且つ、測定信号の大小判定を行なってどの走査用
クロック周波数を採用するかの判断を行なうようにする
０通常。

ＣＣＤ素子等のアレイ素子からは、通常、第１１図に示
すような出力が得られる。このような出方波形において
、その信号の大きさに応じて走査用クロック周波数ｆｃ
を切り換えるとする。例えば、第１２図に示すように、
あるしきい値において。

走査用クロック周波数ｆｃを低いもの（ｆ□）と高いも
の（ｆ２）とで切換を行なうものを考える。このような
切換方式では、しきい値を境にして周波数ｆ、、ｆ、の
切換を行なうと、例えば、第１２図上段に示すような原
波形については、第１２図下段に示すように、１フレー
ム内で頻繁に走査用クロック周波数ｆｃを切り換える必
要が生じてしまう。

１フレーム内で、このような切換を行なうと、出力信号
の同期をとれなくなり、切換に伴うノイズの発生も加わ
り、事実上極めて実現が困難である。

また、出力信号・の処理もがなり複雑になってしまう。

即ち、測定している途中で入光量が大きいことを検出し
ても、その１フレーム内では走査用クロック周波数ｆｃ
を切り換え難い。ゆるやかな温度変化であればそのフレ
ーム内にしきい値を超える入力があれば、次のフレーム
で走査用クロック周波数ｆｃを切り換えてもよいが、し
きい値の近辺に温度がある場合には、次のフレームで走
査用クロック周波数ｆｃを切り換えることが妥当である
か否かはわからない。

本発明は、このような課題を解決しようとするもので、
広範囲に亘って安定した測温を確実に行なえるようにし
た放射温度測定装置を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］上記目的を達成するために、本発明の放射温度測定装置
（請求項１）は、２以上の異なるアレイ素子の走査用ク
ロック周波数のクロックを発生するクロック発生手段と
、前記２以上の走査用クロック周波数のクロックを一定
周期で順次切り換えて出力する切換手段とをそなえ、該
切換手段から出力された走査用クロック周波数に応じて
前記アレイ素子の走査駆動を行なうことを特徴としてい
る。

また、本発明の放射温度測定装置（請求項２）は、前記
アレイ素子をペルチェ素子により電子冷却することを特
徴としている。

［作　　　用］上述した本発明の放射温度測定装置（請求項１）では、
アレイ素子による測温信号に関係なく、即ち測温信号に
対するしきい値判定によることなく、２以上の異なる走
査用クロック周波数のクロックが、一定周期で切り換え
られて出方され、そのクロック周波数にてアレイ素子の
走査駆動が行なわれる。つまり、被測温体の温度の高低
に関係なく、常に種々の走査用クロック周波数で順次測
温か実施されるので、例えば、被測温体の温度が高く、
低いクロック周波数では飽和状態になり測温かできない
場合には、より高いクロック周波数での測温信号を用い
ることで、高温の被測温体の測温を行なうことができる
。

また、請求項２の装置では、アレイ素子がペルチエ素子
にて電子冷却されるので、熱雑音を低減してＳ／Ｎ比を
向上することができる。

［発明の実施例］以下１図面により本発明の一実施例としての放射温度測
定装置を図について説明すると、第１図はその原理およ
び基本的動作を説明するためのブロック図、第２図は本
発明を適用された具体的な測温システムの構成を示すブ
ロック図、第３図はその要部構成の例をより詳細に示す
ブロック図、第４図は本実施例におけるシェーディング
補正について説明するための図、第５図（ａ）〜（ｃ）
は上記シェーディング補正について説明するためのグラ
フである。

本実施例でも、連続鋳造引抜中の鋳片を被測温体とし、
温度測定用検出素子（１次元ＣＣＤ）としてはＭＯ８型
ダイオードアレイ素子を用い、電子走査にて鋳片の幅方
向の熱放射エネルギを計測し電気信号に変換するものに
ついて説明する。

まず、第１図により本発明の特徴的な部分（Ｍ理および
基本的動作）について説明する。第１図において、１ｏ
はＣＯＤ素子等の光電変換素子からなるアレイ素子、１
１はこのアレイ素子１０からのアナログ出力信号（測温
信号）をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器、１２
は２つの異なるアレイ素子１０の走査用クロック周波数
ｆＬ、ｆ。

（〉ｆ□）のクロックを発生するクロック発生回路（ク
ロック発生手段）で、２つの発振器１２ａ。

１２ｂから構成されている。また、１３はこのクロック
発生回路１２からの２つの走査用クロック周波数ｆ、、
ｆ、のクロックを一定周期Ｔで順次切り換えてアレイ素
子１０へ出力するスイッチ（切換手段）で、このスイッ
チ１３から出力された走査用クロック周波数に応じてア
レイ素子１０の電子走査駆動が行なわれるようになって
いる。

さらに、１４は前記一定周期Ｔつまり周波数１／Ｔ（Ｈ
ｚ）の信号を発生してスイッチ１３および後述のスイッ
チ１５を切り換える切換周波数発生回路、１５はこの切
換周波数発生回路１４からの信号を受けてスイッチ１３
と同期して切り換えられるスイッチ、１６．１７はそれ
ぞれスイッチ１５を介して走査用クロック周波数ｆｉ、
ｆ、時のアレイ素子１０の出力信号（Ａ／Ｄ変換器１１
によりディジタル化された信号）を受けて記憶するフレ
ームメモリ、１８はフレームメモリ１６から低い周波数
ｆ１時の測温信号を受けこの測温信号と所定のしきい値
とを比較することにより飽和状態になっているか否かを
判定する飽和状態判定回路で、この飽和状態判定回路１
８は、測温信号が所定のしきい値を超えていない場合に
は、スイッチ１９をオン（閉）状態にスイッチ２０をオ
フ（開）状態にしてフレームメモリ１６の測温信号を最
終のフレームメモリ２１へ出力する一方、測温信号が所
定のしきい値を超えている場合には、スイッチ２０をオ
ン（閉）状態にスイッチ１９をオフ（開）状態にしてフ
レームメモリ１７の測温信号を最終のフレームメモリ２
１へ出力するものである。

上述の構成により、アレイ素子１０の走査速度を決定す
るクロックが、クロック発生回路１２およびスイッチ１
３によって、一定周期Ｔで２種の異なる走査用クロック
周波数ｆユｔ　ｆｚに交互に切り換えられる。クロック
周波数ｆ工またはｆ２に応じて電子走査駆動されたアレ
イ素子１０からの出力信号は、Ａ／Ｄ変換器１１により
ディジタル信号に変換された後、スイッチ１３と同期し
て駆動されるスイッチ１５により、フレームメモリ１６
もしくは１７に振り分けられて記憶される。つまり、低
い周波数ｆ工にてアレイ素子１０を走査して得られた測
温信号はフレームメモリ１６に格納される一方、高い周
波数ｆ２にてアレイ素子１０を走査して得られた測温信
号はフレームメモリ１７に格納される。

そして、−旦、フレームメモリ１６に蓄えられた信号は
、その１フレーム後に読み出され、その１フレーム中に
１つでも所定のしきい値を超えたデータがあるか否か（
飽和状態に達したか否か）が。

飽和状態判定回路１８において判定される。例えば、低
い周波数ｆ１側のフレームメモリ１６のデータが、所定
のしきい値を超えていなければ、スイッチ１９が閉じら
れて最終のフレームメモリ２１へ出力される一方、所定
のしきい値を超えていれば、スイッチ２０が閉じられて
、高い周波数ｆ２側のフレームメモリ１７のデータが、
最終のフレームメモリ２１へ出力される。

フレームメモリ２１は、後述するシェーディング補正回
路３１等を有する信号処理部に接続され。

フレームメモリ２１からの測温信号は、後述するごとく
、リニアライズ、サンプリングホールド。

各画素間のバラツキやレンズ特性の補正処理等を施され
る。

ところで、上述のような基本構成・作用をもつ本実施例
の装置は、具体的には第２図に示すような測温システム
に組み込まれる。第２図において、２２は被測温体であ
る鋳片、２３は後述するカメラ２４，２５と鋳片２２と
の間に配設されたバージフードで、最適形状フードによ
り、外部からエアを供給されてカメラ２４．２５のオプ
ティカルパス中の蒸気を確実にパージするものである。

また、２４は鋳片２２の温度および温度分布を測定する
ための２０４８画素の１次元ＣＣＤカメラで、第１図に
おけるアレイ素子１ｏに対応するものである。２５は２
５万画素の２次元ＣＣＤカメラで。

鋳片２２の表面状態をＩｔ察するためのものであり。

このカメラ２５により撮像された鋳片２２の映像は、Ｃ
ＲＴ２６の画面上に表示されるようになっている。なお
、カメラ２４．２５は、ズーム調整。

ピント調整、光軸調整および首振りの可能な構成になっ
ている。

また、２７は１次元ＣＣＤカメラ２４に所定の走査用ク
ロック周波数のクロックを送出するクロック回路で、第
１図におけるクロック発生回路１２およびスイッチ１３
を含んで構成される。このクロック回路２７や後述する
Ａ／Ｄ変換部３０等にはパソコン２８から制御信号、切
換信号が与えられるようになっており、このパソコン２
８が。

第１図における切換周波数発生回路１４の機能を有して
いる。２９は１次元ＣＣＤカメラ２４からの測温信号を
対数関数的に増幅するログアンプ、３０はログアンプ２
９からの測温信号のディジタル変換等の処理′を施すＡ
／Ｄ変換部で、本実施例では、このＡ／Ｄ変換部３０が
、第１図におけるフレームメモリ１６．１７，２１．ス
イッチ１９゜２０および飽和状態判定回路１８としての
機能も有している。従って、クロック回路２７およびＡ
／Ｄ変換部３０の機能により、鋳片２２の温度や温度分
布が、飽和状態に達することなく測定される。

そして、その測温結果は、後段のシェーディング補正回
路３１に入力され、シェーディング補正を施される。こ
のシェーディング補正回路３１は、ＲＡＭ３１ａ、乗算
器３１ｂ、加算器３１ｃ、シフトレジスタ３１ｄから構
成されている。

ここで、シェーディング補正について、第４゜５図によ
り説明する。カメラ２４の瞬時視野をφ（ｒａｄ　：通
常１〜２　ｎ＋ｒａｄっまり１ｍ離れてスポットが直径
１〜２ａｍ）とすると、第４図に示すように。

ｂ点では鋳片２２を最短距離で撮影できるので、ｂ点で
のスポット径ｄ、は、ｄＢ＝Ｌ−ｔａｎφ となる。ここで、Ｌはカメラ２４のレンズ２４ａと鋳片
２２との最短距離である。そして、ａ点でのスポット径
ｄＡは。

となり、明らかにｄ　Ａ）　ｄ　Ｂとなっている。カメ
ラ２４に入射する光のパワーは、距離の２乗に反比例す
るので、ａ点からの光量は、ｂ点からの光量に対して、
（ｃｏｓθ）”　Ｘ　（ｄ　Ａ／　ｄ　ａ）＝ｃｏｓθ
の割合となり、ｂ点からの光量よりも少なくなる。これ
を第５図（ａ）に示す。このような光量減少をシェーデ
ィングという、実際の鋳片の温度分布は、第５図（ｂ）
に示すように両端部分で低くなるので、１次元ＣＣＤカ
メラ２４により測定された信号は、第５図（ａ）と第５
図（ｂ）との畳込み（ｃｏｎｖｏｌｕｔｉｏｎ）結果で
ある第５図（ｃ）に示すようなものとなっている。そこ
で、本実施例では、シェーディング補正回路３１におい
て、第５図（ｃ）に示すような実際の測温信号から、第
５図（ａ）に示すようなシェーディングによる影響を取
り除いてシェーディング補正を実施し、第５図（ｂ）に
示すような鋳片の実際の温度分布に関する信号を得てい
る。なお、ＲＡＭ３１ａに第５図（ａ）に示すようなシ
ェーディングに関するデータが格納され、このデータに
基づいて乗算器３１ｂ、加算器３１ｃ、シフトレジスタ
３１ｄにより補正演算が行なわれる。

上述のごとくシェーディング補正を施された測温信号は
、ＲＡＭ３２ａ、乗算器３２ｂからなる温度変換回路３
２へ入力されて所定の温度データ信号に変換された後１
本システムを統括的に監視制御するパソコン２８に入力
される。このパソコン２８は、測温結果である最大温度
Ｔｍａｘ、最小温度Ｔａ１ｎ、平均温度Ｔａｖｅなどを
出力するほか。

その測温結果をＣＲＴ３３上に表示する。

次に、より詳細な要部構成例を第３図にて説明する。第
３図において、２４ｂはカメラ２４のフィルタ、３４は
クロック制御回路（第２図におけるクロック回路２７に
対応）、３５はカメラ２４からの測温信号を増幅するア
ンプ、３６はアンプ３５からの信号をホールドするサン
プルホールド回路、３７は第２図における符号３１に対
応するシェーディング補正回路で、ここではカウンタ３
７ａ、ＲＯＭ３７ｂおよびＤ／Ａ変換器３７ｃから構成
されている。また、３８はシェーディング補正後の信号
を対数増幅するログアンプである。

そして、３９はカメラ２４におけるアレイ素子１０を電
子冷却するためのベルチェ素子、４ｏはアレイ素子１０
付近の温度Ｔ□、Ｔ２に基づいてベルチェ素子３９を制
御しアレイ素子３９の温度を制御する温度制御回路、４
１はこの温度制御回路４０へ電源供給するための電源供
給回路である。

ここでは、特にベルチェ素子３９の機能や作用について
説明する。赤外線検出では、信号とノイズとの比をＳ／
Ｎ比で示しこれが大きいほど検出精度が高く好ましい。

ところが、ノイズとしては。

外部雑音（外部からの光等）や内部雑音（＠気的雑音）
があり、測温時にかなりの影響を受ける。

般に物質の絶対温度をＴとしボルツマン定数をｋとする
と、その熱エネルギＥはほぼに−Ｔで表され、これは内
部雑音に変わるほか、Ｅ＝ｈ・ν＝ｈ・（１／λ）のエ
ネルギをもつ光に変わる。ただし、ｈはブランク定数、
λは光の波長である。つマリ、ｋ−Ｔ＝ｈ・ν（Ｔ；２
７ｏ〜３０ｏ°Ｋ）ならば、波長λがほぼ数−の赤外線
となって外部に放射されることになる。このような赤外
線は、当然、本実施例の装置にも影響を与え測温時に検
知されてしまうため、外乱となってしまう。

従って、一般に赤外線検出を安定化させるためには、検
出素子つまりアレイ素子１０を冷却する。

そこで、本実施例では、ベルチェ素子３９をアレイ素子
１０の近傍に設け、このベルチェ素子１０を温度制御回
路４０により制御することでアレイ素子１０を適当な温
度に冷却するのである。

ここで、アレイ素子１０の冷却用としてベルチェ素子３
９を選択した理由としては、小型であり温度制御が極め
て容易であって、他の手段に比べて極めて有利だからで
ある。

このように１本実施例の装置によれば、測温信号に対す
るしきい値判定によることなく、２つのクロック周波数
ｆ工ｔｆｌのクロックが、一定周期Ｔで切り換えられて
出力され、各クロック周波数ｆ工ｌ　ｆＺにてアレイ素
子１０の走査駆動が行なわれる。従って、ｖ！片２２の
温度の高低に関係なく、常に２つの走査用クロック周波
数ｆ工ｔ　ｆｚで交互に′＃ｊ温が実施されるので、い
ずれか一方のクロック周波数時の測温結果を用いること
で、極めて広範囲に亘って安定した測温が確実に行なわ
れるのである。

また、本実施例では、アレイ素子１０がベルチェ素子３
９にて電子冷却されるので、熱雑音が低減されＳ／Ｎ比
が大幅に向上するので、特に低温度側を安定して測定で
きる。

なお、上記実施例では、被測温体が連続鋳造抜中の鋳片
２２である場合について説明したが、本発明はこれに限
定されるものではない。また、上記実施例では、走査用
クロック周波数が２種類の場合について説明したが、３
種類以上の異なる走査用クロック周波数のクロックを用
いるようにしてもよい。

［発明の効果］以上詳述したように、本発明の放射温度測定装置によれ
ば、２以上の異なる走査用クロック周波数を、一定周期
で切り換えて出力し、各クロック周波数にてアレイ素子
の走査駆動を行なうように構成したので、適当なりロッ
ク周波数時の測温結果、を用いることで、極めて広範囲
に亘って安定した測温を確実に行なえる効果がある。

また、ペルチェ素子によりアレイ素子を電子冷却するこ
とにより、熱雑音を低減できＳ／Ｎ比を大幅に向上させ
て、特に低温度側の安定的な測定が可能になる効果もあ
る。

【図面の簡単な説明】

第１〜５図は本発明の一実施例としての放射温度測定装
置を示すもので、第１図はその原理および基本的動作を
説明するためのブロック図、第２図は本発明を適用され
た具体的な測温システムの構成を示すブロック図、第３
図はその要部構成の例をより詳細に示すブロック図、第
４図は本実施例におけるシェーディング補正について説
明するための図、第５図（ａ）〜（ｃ）は上記シェーデ
ィング補正について説明するためのグラフであり、第６
図は可視光の範囲に感度を有するカラー用ＣＣＤ素子に
よる測温実験の結果を示すグラフ、第７図は波長１．Ｏ
ｔ！ｍ付近での測温結果例を走査用クロック周波数ごと
に示すグラフ、第８図は一般的な光電変換素子の入力部
回路構成を示す回路図、第９図は測温時の飽和状態を説
明するためのグラフ、第１０図は飽和状態を解消するた
めの一手段を説明するためのグラフ、第１１図は一般的
なアレイ素子の出力波形を示すグラフ、第１２図は飽和
状態を解消すべく行なったしきい値判定処理の結果得ら
れた出力波形を示すグラフである。図において、１０−　アレイ素子、１１−Ａ／Ｄ変換器
、１２−クロック発生回路、１２ａ、１２ｂ−−一発振
器、１３−　スイッチ、１４−切換周波数発生回路、１
５−スイッチ、１６．１７−　フレームメモリ、１８−
飽和状態判定回路、１９．２０−スイッチ、２１−　　
フレームメモリ、２２−鋳片、２３−パージフード、２
４−１次元ＣＣＤカメラ、２４　ａ−ｍ−レンズ、２４
　ｂ　−フィルタ、２５−２次元ＣＣＤカメラ、２６−
ＣＲＴ、２７−クロック回路、２８−パソコン、２９−
ログアンプ、３０−Ａ　／　Ｄ変換部、３１−シェーデ
ィング補正回路、３１ａ−−ＲＡＭ、３１ｂ−乗算器、
３１ｃｍ加算器、３１　ｄ　−シフトレジスタ、３２−
温度変換回路、３２ａ−ＲＡＭ、３２ｂ−乗算器、３３
−ＣＲＴ、３４−クロック制御回路、３５−　アンプ、
３６−サンプルホールド回路、３７−シェーディング補
正回路、３７　ａ　−カウンタ、３７ｂ〜ＲＯＭ、３７
ｃｍＤ／Ａ変換器、３８−ログアンプ。３９−ペルチェ素子、４〇−温度制御回路、４１−電源
供給回路。第４図第５図（（））

Claims

【特許請求の範囲】

（１）複数の光電変換素子からなるアレイ素子をそなえ
、該アレイ素子の各光電変換素子を順次切り換えて前記
アレイ素子を走査駆動することにより、被測温体の温度
および温度分布を前記アレイ素子にて非接触で測定する
放射温度測定装置において、２以上の異なる前記アレイ
素子の走査用クロック周波数のクロックを発生するクロ
ック発生手段と、該クロック発生手段からの前記２以上
の走査用クロック周波数のクロックを一定周期で順次切
り換えて出力する切換手段とがそなえられ、該切換手段
から出力された走査用クロック周波数に応じて前記アレ
イ素子の走査駆動が行なわれることを特徴とする放射温
度測定装置。
（２）前記アレイ素子をペルチェ素子により電子冷却す
ることを特徴とする請求項１記載の放射温度測定装置。