JP2001174329A - 抵抗変化型赤外線センサ素子の温度補正方法と温度補正手段を具備した抵抗変化型赤外線センサ並びに撮像装置 - Google Patents

抵抗変化型赤外線センサ素子の温度補正方法と温度補正手段を具備した抵抗変化型赤外線センサ並びに撮像装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】センサ基板温度を常に一定に保つ手段を必要と
せずに、FPN変動分が画面に現れることによる画質の
劣化を防ぎ、なおかつ赤外光に対する感度の変動を防ぐ
ことができる、温度補正方法とこの補正手段を具備した
抵抗変化型赤外線センサの実現。 【解決手段】抵抗変化型フォーカルプレーンアレイ赤外
線センサを使用した赤外線画像撮像装置において、外部
赤外線が遮断されているオプティカルブラック(OB)
領域の平均値により周囲温度を検知し、それによりセン
サへのバイアス電流を制御することにより、周囲温度の
変動によるFPN(固定パターンノイズ:Fixed
Pattern Noise)のレベルを一定に保ち画
質の劣化を防ぐことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、センサ出力の温度
補正方法並びにこの温度補正機能を具備した抵抗変化型
赤外線センサに関する。
【0002】
【従来の技術】ボロメータで代表される抵抗変化型赤外
線センサは、センサに入射する赤外光の入射パワーの強
度によって変化する温度を、温度によって抵抗値が変化
する温度センサの抵抗値変化によって検出するものであ
る。そして、2次元マトリック状に配列された抵抗変化
型赤外線センサにバイアス電流を印加し、抵抗値変化を
電圧変化に変換し、各センサ素子の電圧をシフトレジス
タによって転送して出力を取り出すタイプの2次元セン
サを、抵抗変化型フォーカルプレーンアレイ赤外線セン
サと呼び、被写体の温度分布をリアルタイムに撮像する
赤外線撮像カメラに広く使われている。
【0003】この抵抗変化型フォーカルプレーンアレイ
赤外線センサは、通常、各画素毎のセンサの抵抗ばらつ
きによって発生するるFPN(固定パターンノイズ:F
ixed Pattern Noise)をもってお
り、均一な赤外線光を入力した場合でもこのFPNが撮
像信号に現れるため、撮像信号に含まれるFPNを除去
する必要がある。
【0004】このFPNを除去する方法として、一般的
には均一の赤外線入力条件下で各センサ固有のFPNデ
ータを取得してメモリに記憶させ、入力画像データから
記憶しておいたFPNデータを減算することにより、F
PNを除去した画像データを得る方法がある。
【0005】しかし、上記のような従来の方式では、基
板温度が一定である場合にはFPNを除去することがで
きるが、センサの基板温度が変動した場合、基板温度の
変動によってもFPNが変動し、変動分が画面に現れ画
質を劣化させるため、センサの基板温度を高精度に一定
に保つ手段が必要であった。また、センサの基板温度が
変わると、赤外線光に対する感度自体も変動するため、
これを補正するために可変利得増幅器が必要となってい
た。また、センサの動作温度を高精度に一定に保つ手段
を持たない場合には、センサの動作温度が変動する度に
FPNデータを取り直す必要があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、セン
サ基板温度を常に一定に保つ手段を必要とせずに、FP
N変動分が画面に現れることによる画質の劣化を防ぎ、
なおかつ赤外光に対する感度の変動を防ぐことができ
る、温度補正方法とこの方法に基づく補正手段を具備し
た抵抗変化型赤外線センサを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係わ
る発明の抵抗変化型赤外線センサ素子の温度補正方法
は、赤外線入力が遮断されている画素であるオプティカ
ルブラックの出力信号の振幅の平均値に基づき、全画素
に印加されるバイアス電流を制御して、周囲温度の変動
により発生する固定パターンノイズの変動を抑圧するこ
とを特徴とする。また、本発明の請求項2に係わる発明
の抵抗変化型赤外線センサ素子の温度補正方法は、赤外
線センサ素子が形成されている基板に配設した温度セン
サの出力電圧に基づき、全画素に印加されるバイアス電
流を制御して、周囲温度の変動により発生する固定パタ
ーンノイズの変動を抑圧することを特徴とする。また、
本発明の請求項3に係わる発明の抵抗変化型赤外線セン
サは、赤外線入力が遮断されている画素であるオプティ
カルブラックと赤外線を感知する画素である有効画素と
を有する抵抗変化型赤外線センサ素子と、前記抵抗変化
型赤外線センサの出力信号のうち複数の前記オプティカ
ルブラックの出力信号の振幅の平均値を算出する平均値
算出手段と、前記平均値算出手段の出力から前記赤外線
センサを構成する全画素に印加するバイアス電流を制御
するバイアス制御手段を含み、前記抵抗変化型赤外線セ
ンサ素子の周囲温度の変動により発生する前記抵抗変化
型赤外線センサの固定パターンノイズの変動を抑圧する
温度補正機能を具備したことを特徴とする。また、本発
明の請求項4に係わる発明の抵抗変化型赤外線センサ
は、抵抗変化型赤外線センサ素子と、前記抵抗変化型赤
外線センサ素子が形成されている基板に配設した温度セ
ンサと、前記温度センサの出力電圧に基づき、前記抵抗
変化型赤外線センサ素子を構成する全画素に印加される
バイアス電流を制御する手段を含み、前記抵抗変化型赤
外線センサ素子の周囲温度の変動により発生する前記抵
抗変化型赤外線センサの固定パターンノイズの変動を抑
圧する温度補正機能を具備したことを特徴とする。ま
た、本発明の請求項5に係わる発明の撮像装置は、前記
請求項3記載の抵抗変化型赤外線センサを備えたことを
特徴とする。また、本発明の請求項6に係わる発明の撮
像装置は、前記請求項4載の抵抗変化型赤外線センサを
備えたことを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】図1は本発明の一実施例である温
度補正装置付き赤外線センサのブロック図であり、セン
サ1、A/Dコンバータ2、平均値算出回路3、D/A
コンバータ4、バイアス制御回路5、FPN除去回路6
によって構成されている。
【0009】センサ1は抵抗変化型フォーカルプレーン
アレイ赤外線センサで、その基本的な構成とバイアス制
御回路5とを図2に示す。センサ基板上に抵抗変化型の
センサ素子11が2次元に配置されている。センサの各
素子11は外部から入射される赤外線の強度に応じた温
度変化をし、その温度に対応した抵抗値となる。したが
って、センサの各素子にバイアス信号25を印加するこ
とにより、各センサ素子の抵抗値に対応した電圧は、垂
直シフトレジスタ13によって画素スイッチ15を開閉
し、また、水平シフトレジスタ14によって水平スイッ
チ16を開閉することによって順次読み出され、センサ
出力20として時系列に出力される。
【0010】センサ素子11の温度はそれぞれの素子が
受ける赤外線光の強度によって変化するが、センサ基板
の温度の影響も受ける。センサの基板温度が、センサ周
囲温度にほぼ等しい場合、外部赤外線が遮断されている
OB領域(オプティカル・ブラック領域)18のセンサ
出力により、センサ基板温度を検知することができる。
図2では2次元アレイの第1列の画素列ををOB画素領
域18、2列目以降を有効画素領域19としている。
【0011】図1の本発明の実施例の温度補正装置付き
赤外線センサのブロック図に戻り、温度補正装置の動作
を説明する。センサ1からのセンサ出力20は、A/D
コンバータ2よってディジタル信号に変換され、ディジ
タル型のFPN除去回路6によって画素毎の抵抗変化値
のばらつきに起因するFPNが除去され撮像信号21と
して出力される。このFPNの除去の動作は、前述の従
来技術の説明で述べた、均一の赤外線入力条件下で各セ
ンサ固有のFPNデータを取得してメモリに記憶させ、
入力画像データから記憶しておいたFPNデータを減算
することにより、FPNを除去する方法である。
【0012】センサ素子個々のばらつきに起因するFP
Nは、上記のFPN除去回路6によって取り除けるが、
センサ基板温度の変化によるFPNのドリフトは除去で
きない。図3にバイアス電流が一定な場合のFPNデー
タの一例を示す。バイアス電流が一定の時は、センサの
温度変動によってFPNのレベルも変動する。本実施例
では、センサの温度変動によって生じるFPNのレベル
の変動を抑圧するために、OB画素のデータからセンサ
のバイアス電流を制御する信号に帰還する帰還制御系を
構成している。
【0013】OB画素領域を含め、センサ各素子には出
力特性のばらつきがあるので、OBデータ22から、平
均値算出回路3によってOB画素領域全体の平均値を算
出し、平均値データ23を出力する。この平均値をD/
Aコンバータ3に入力する。D/Aコンバータ4の出力
はバイアス制御回路4へバイアス制御信号24として入
力する。バイアス制御回路5は入力に応じたバイアス信
号25をセンサ1に供給する。
【0014】センサ出力20はセンサ抵抗とバイアス信
号25の電流の大きさに比例する。センサの抵抗値はセ
ンサ基板温度によって指数関数的に変化するが、どのセ
ンサも均一な抵抗温度係数を持っていれば、センサ基板
温度の変化によるセンサ出力20の変化と、バイアス信
号25の変化よるセンサ出力20の変化は同じように変
化する。つまり、バイアス信号25を制御することによ
りセンサ基板温度変化による、FPNのドリフトを相殺
し、そのレベルを一定に保つことが可能である。図4に
バイアス電流を制御した場合のFPNデータの一例を示
す。センサ温度が上昇するとFPNのレベルは高くなる
が、バイアス電流を下げることにより、FPNのレベル
を一定に保たれる。逆にセンサ温度が低下した場合は、
FPNレベルが低下するので、バイアス電流を上げるこ
とにより再びFPNのレベルを一定に保つことができ
る。OBデータの平均値データ23、すなわちセンサ基
板温度の電圧値をバイアス信号25に負帰還を掛けるバ
イアス制御回路5のゲインは、予め計測して定める。
【0015】そして、センサ出力20はA/D変換後、
FPN除去回路6により、上述の予め取得されているF
PNデータを減算され、FPN成分が取り除かれる。こ
のように、センサ温度が変動しても、FPNの大きさは
一定に保たれ、後のFPN除去回路6を通すことによっ
て、FPN成分が画面に現れることがない。またセンサ
抵抗とバイアス電流の積が、センサ周囲温度が変動して
も一定に保たれようと制御される為、赤外光に対する感
度の変動を防ぐ。
【0016】図5は、本発明の別なる実施例の温度セン
サを用いた温度補正回路のブロック図を示す。第一の実
施例ではOBデータの平均値から、赤外線センサの動作
温度の情報を算出しているが、OBデータの代わりに熱
電対やサーミスタのような温度センサ30を直接赤外線
センサの基板に設けて、この温度センサ30の温度セン
サ出力26を、バイアス制御回路40に入力し、赤外線
センサ1のバイアス信号を制御することによっても第一
の実施例と同様の効果が期待できる。
【0017】また、第一及び第二の実施例の温度補正手
段を備えた赤外線センサを使用することによって画質の
優れた撮像装置が得られる。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、抵抗変化型赤外線
センサの出力の中に含まれるOB領域の平均値を算出
し、または、抵抗変化型赤外線センサの基板に取り付け
た温度センサの出力から、FPNレベルが一定になるよ
う抵抗変化型赤外線センサのバイアス電流を制御するこ
とにより、センサ基板温度を常に一定に保つ手段を必要
とせずに、FPN変動分が画面に現れることによる画質
の劣化を防ぎ、なおかつ赤外光に対する感度の変動を防
ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の温度補正回路のブロック図
を示す図である。
【図2】本発明の実施例に用いるセンサである抵抗変化
型フォーカルプレーンアレイ赤外線センサの基本的な構
成とバイアス制御回路とを示す図である。
【図3】バイアス電流が一定な場合のFPNデータの一
例を示す図である。
【図4】バイアス電流を制御した場合のFPNデータの
一例を示す図である。
【図5】本発明の別なる実施例の温度センサを用いた温
度補正回路のブロック図を示す図である。
【符号の説明】
1 センサ 2 A/Dコンバータ 3 平均値算出回路 4 D/Aコンバータ 5 バイアス制御回路 6 FPN除去回路 11 センサ素子 13 垂直シフトレジスタ 14 水平シフトレジスタ 15 画素スイッチ 16 水平スイッチ 18 OB画素領域 19 有効画素領域 20 センサ出力 21 撮像信号 22 OBデータ 23 平均値データ 24 バイアス制御信号 25 バイアス信号 26 温度センサ出力 30 温度センサ 40 バイアス制御回路

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 赤外線入力が遮断されている画素である
    オプティカルブラックの出力信号の振幅の平均値に基づ
    き、全画素に印加されるバイアス電流を制御して、周囲
    温度の変動により発生する固定パターンノイズの変動を
    抑圧することを特徴とする抵抗変化型赤外線センサ素子
    の温度補正方法。
  2. 【請求項2】 赤外線センサ素子が形成されている基板
    に配設した温度センサの出力電圧に基づき、全画素に印
    加されるバイアス電流を制御して、周囲温度の変動によ
    り発生する固定パターンノイズの変動を抑圧することを
    特徴とする抵抗変化型赤外線センサ素子の温度補正方
    法。
  3. 【請求項3】 赤外線入力が遮断されている画素である
    オプティカルブラックと赤外線を感知する画素である有
    効画素とを有する抵抗変化型赤外線センサ素子と、前記
    抵抗変化型赤外線センサの出力信号のうち複数の前記オ
    プティカルブラックの出力信号の振幅の平均値を算出す
    る平均値算出手段と、前記平均値算出手段の出力から前
    記赤外線センサを構成する全画素に印加するバイアス電
    流を制御するバイアス制御手段を含み、前記抵抗変化型
    赤外線センサ素子の周囲温度の変動により発生する前記
    抵抗変化型赤外線センサの固定パターンノイズの変動を
    抑圧する温度補正機能を具備したことを特徴とする抵抗
    変化型赤外線センサ。
  4. 【請求項4】 抵抗変化型赤外線センサ素子と、前記抵
    抗変化型赤外線センサ素子が形成されている基板に配設
    した温度センサと、前記温度センサの出力電圧に基づ
    き、前記抵抗変化型赤外線センサ素子を構成する全画素
    に印加されるバイアス電流を制御する手段を含み、前記
    抵抗変化型赤外線センサ素子の周囲温度の変動により発
    生する前記抵抗変化型赤外線センサの固定パターンノイ
    ズの変動を抑圧する温度補正機能を具備したことを特徴
    とする抵抗変化型赤外線センサ。
  5. 【請求項5】 前記請求項3記載の抵抗変化型赤外線セ
    ンサを備えたことを特徴とする撮像装置。
  6. 【請求項6】 前記請求項4載の抵抗変化型赤外線セン
    サを備えたことを特徴とする撮像装置。
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