JP3908960B2 - 赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法 - Google Patents
赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3908960B2 JP3908960B2 JP2002026991A JP2002026991A JP3908960B2 JP 3908960 B2 JP3908960 B2 JP 3908960B2 JP 2002026991 A JP2002026991 A JP 2002026991A JP 2002026991 A JP2002026991 A JP 2002026991A JP 3908960 B2 JP3908960 B2 JP 3908960B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- scanning
- signal
- sampling signal
- sampling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 34
- 238000003331 infrared imaging Methods 0.000 title claims description 10
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 36
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法、特に測定時間を短縮する方法の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
MCTやInSbの多素子検出器はFocal Plane Array(FPA)検出器と呼ばれ、1次元または2次元に配列された各素子からの光電出力を走査する機構をもち、赤外画像装置の検知デバイスとして利用されている。このFPA検出器は、MOSFET回路による各素子出力の走査機構をもつためMHzオーダーの素子走査が可能であり、この走査速度を利用することができれば高速のサンプリングが可能である。
【0003】
図5には、FPA検出器により信号検出を行うフーリエ変換赤外分光(FTIR)装置を備えた赤外画像装置の信号経路の概略が示されている。同図において、FTIR装置50の光源52からの入射光は干渉計54でインターフェログラムを発生し、試料へ照射される。試料を通過した光はFPA検出器56で光電変換されてアナログ電気信号を生じ、該アナログ電気信号はA/D変換器58でデジタル信号に変換された後コンピュータ60へ送られ、デジタルデータとしてメモリ等の記憶手段62へ記憶される。なお、CPUからの信号によりFPA検出器56中のどの素子についての測定値をA/D変換するかを制御するためのドライバ回路59を備えている。そしてCPU等の演算手段64でデータを演算処理した後、最終的に得られた画像データによりディスプレイ等の表示手段66に試料の赤外画像を表示する。
【0004】
ここで、連続スキャン型のFTIR装置では、干渉計に備えた可動鏡の位置を正確に把握するために、可動鏡の移動とともに変調されたレーザの干渉信号を基準信号として使用しており、この基準信号によるサンプリング信号に同期して検出器出力のサンプリングを行う。
【0005】
図6には連続スキャン型FTIR装置が備える干渉計の構成の一例が示されている。光源70からの赤外光72はビームスプリッタ74で固定鏡76方向と可動鏡78方向に分割される。固定鏡76と可動鏡78で反射された光はビームスプリッタ74で再び合成され、定速で移動する可動鏡78の位置に応じた光路差により干渉光80(インターフェログラム)を発生する。
【0006】
一方、試料を通した干渉光80のサンプリングと前記光路差との相関をとるための、副干渉計などと呼ばれる干渉計82が併せて設置されている。この干渉計82では、He−Neレーザ等の単色光84を導入し、固定鏡86と可動鏡78の光路差により干渉光88を発生する。この干渉光88は単色光によるものであるため正弦波状であり、検出した電気信号を例えば同図に示すような櫛型信号90に変換してサンプリングを指示する信号とすることで、サンプリング時の前記光路差を特定することができる。また、白色光94を干渉計82に併せて導入することで、その干渉光強度が極大となる点を前記光路差がゼロの位置として位置の基準とすることができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、連続スキャン型のFTIR装置の検出器としてFPA検出器を使用した場合、検出器出力を前記基準信号によるサンプリング信号に同期して各素子のサンプリングを行うと、サンプリング信号の周波数はKHzオーダーであるため、MHzオーダーの速度で走査可能なFPA検出器の性能を十分に発揮できない。
【0008】
そして、干渉計の可動鏡位置と正確な相関をとったサンプリングを行うには、前記基準信号を利用する以外に方法はなく、例えばFPA検出器のMHzオーダーの内部信号を利用してサンプリングを行おうとしても、干渉計の可動鏡位置との間で精度良く相関がとれないので正確な測定ができない。
【0009】
そこで、ステップスキャン動作により全素子からの出力を読み出せば上述の問題点は回避できるが、ステップスキャン型のFTIR装置は高価であり、より安価に利用可能な連続スキャン型を用いて、適切な精度を保持しつつFPA検出器の性能を活かした高速のデータ取得方法が望まれていた。
本発明は前記従来技術に鑑み為されたものであり、その目的は多素子検出器により信号検出を行う連続スキャン型FTIR装置を備えた赤外画像装置において、適切な測定精度を保持しつつ高速にデータ取得が可能な方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明の赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法は、多素子検出器により信号検出を行う連続スキャン型フーリエ変換赤外分光装置を備えた赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法において、
可動鏡を定速移動させ干渉光を生成する干渉計の可動鏡位置との相関が得られるサンプリング信号に同期して前記多素子検出器の素子走査を開始し、
素子走査をサンプリング信号のサンプリング周波数より高速の周波数で行い、
素子走査を開始したサンプリング信号の次のサンプリング信号が発生する前に全素子の走査を終え、
この一連の操作をサンプリング信号が発生するごとに繰りかえすことを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明の実施形態について説明する。
図1には、FPA検出器の素子配列の一例が示されている。測定時には、1行目の各素子から(1,1)、(1,2)・・・(1,64)の順に走査し、次に2行目の各素子について(2,1)、(2,2)・・・(2,64)の順に走査し、同様に3〜64行目の各素子についても順番に走査を行う。
【0012】
前述したように、FPA検出器はこの走査をMHzオーダーで行うことが可能である。しかし、連続スキャン型FTIR装置の検出器として使用する場合、可動鏡位置との正確な相関は干渉計の基準信号によるKHzオーダーのサンプリング信号でしかとることができず、例えばFPA検出器の内部信号をそのまま利用して全測定を行ったとしても精度の良い測定をすることができない。
【0013】
そこで本発明者らは十分な測定精度でFPA検出器のもつ走査速度を活かしたデータ取得方法を鋭意検討した結果、以下に説明する方法を見出した。図2には、図1の検出器を使用した場合を例として、本発明の方法によるサンプリングの概略が示されている。同図のレーザ基準信号10は、干渉計の可動鏡の位置と対応したKHzオーダーのサンプリング信号12を発生している。
【0014】
本発明ではFPA検出器の走査をサンプリング信号12に同期して開始する。そして、例えば検出器回路の内部信号を利用してサンプリング信号12の周波数より高速の周波数で走査を行えば、干渉計の可動鏡位置との相関が確保される。
【0015】
すなわち、走査信号の周波数が一定で等間隔のサンプリングを行えば各素子の走査点は干渉計の可動鏡位置と相関して特定できるため、擬似的に各素子のサンプリングを行うことができる。
【0016】
そして、素子走査を開始したサンプリング信号の次のサンプリング信号が発生する前に全素子の走査を終え、この一連の操作をサンプリング信号が発生するごとに繰りかえし全サンプリングを行う。
【0017】
素子走査の終了時と次のサンプリング信号との間には適当な時間間隔があってよく、例えば各サンプリング信号の間で素子数が数十〜数百個程度のFPA検出器の全素子走査を行うことができる。
【0018】
このようにして、適切な測定精度を保持しつつ、FPA検出器の性能を活かして高速にデータ取得を行うことができる。例えば従来のように単一素子の検出器を使用する場合では、サンプリング信号12ごとに該素子からの信号検出を行うが、本発明の方法によれば、サンプリング信号12ごとに全素子の走査が行われるので、多素子検出器であるにもかかわらず、従来の単一素子の検出器におけるサンプリング時間と変わらない速度で全サンプリングを行うことができる。
【0019】
また、本発明者らは、FTIR装置の検出器としてFPA検出器を使用し、赤外画像を得る際の検出器からのデータ取得方法として、以下に説明する方法が適用できることを見出した。以下、この方法について説明する。
【0020】
すなわち、FPA検出器を使用して赤外画像を得る場合、スイッチング回路のドライバによりFPA検出器の全素子を走査して、全素子それぞれを各点とした画像を得ていた。
【0021】
しかしながら、測定目的、対象によっては必ずしも全素子それぞれを各点とした精細な画像が常に要求されるわけではない。
また、画質よりも測定時間の短縮が求められる場合もある。
【0022】
一方、測定対象全体ではなく、その一部の画像を迅速に得たい場合には、前述の全素子を走査する方法では不適である。
【0023】
そこで、FPA検出器を使用して赤外画像を得る際に測定時間を短縮することを目的として検討した結果、多素子検出器により信号検出を行うフーリエ変換赤外分光装置を備えた赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法において、
前記多素子検出器の全素子配列から走査する素子を選択し、該選択された素子のみ走査を行い、
該走査を行った素子からのデータを画像データとすることを特徴とするデータ取得方法を見出した。
【0024】
また、前記方法において、均一に素子間隔を置いて走査する素子を選択することが好適である。
また、前記方法において、測定対象の被測定部位に対応した範囲の素子を選択することが好適である。
【0025】
以下、上述の方法について説明する。
上述の方法が適用される赤外画像装置としては、例えば図5の構成が挙げられる。
図3及び図4には、FPA検出器の素子配列と共に上述の方法を説明した概略図が示されている。図3に示す方法では、全素子を走査するのではなく、均一に素子間隔を置いて選択された素子からデータを取得する。すなわち、同図では、1行目は(1,1)、(1,3)、(1,5)・・・の順に1つおきに走査し、2行目は(2,2)、(2,4)、(2,6)・・・の順に1つおきに走査し、3〜64行目についても同様に走査してデータを取得する。そして該走査を行った素子からの取得したデータを画像データとし、これに基づいて画像を得る。
【0026】
このような走査方法は、スイッチング回路のドライバの設定により可能であり、このようにデータを取得すれば全素子からデータを取得した場合に比して理論的には画質は落ちるが、それでも視覚的には十分な場合もあり、また高画質よりも測定時間の短縮が要求される場合には効果的な方法である。
なお、素子間隔等は測定目的により適宜決定される。
【0027】
また、図4に示す方法では、全素子を走査するのではなく、測定対象の被測定部位に対応した範囲の素子を選択して走査しデータを取得する。同図には横が1〜10列目まで、縦が1〜10行目までの素子からデータを取得する場合の例が示されている。そして該走査を行った素子からのデータを画像データとし、これに基づいて画像を得る。
【0028】
このようにデータを取得すれば、測定対象の一部の画像だけ得ればよい場合であれば、必要なデータだけ効率よく取得可能であり、測定時間が短縮される。
【0029】
以上説明したように上述の方法によれば、効率の良いデータ取得が可能であり、測定時間が短縮されるという効果がある。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の方法によれば、適切な測定精度を保持しつつ高速なデータ取得が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】FPA検出器の素子配列の一例である。
【図2】本発明の方法の説明図である。
【図3】FTIR装置の検出器としてFPA検出器を使用し、赤外画像を得る際の検出器からのデータ取得方法を示した説明図である。
【図4】FTIR装置の検出器としてFPA検出器を使用し、赤外画像を得る際の検出器からのデータ取得方法を示した説明図である。
【図5】赤外画像装置の信号経路の概略を示した説明図である。
【図6】干渉計の構成の概略を示した説明図である。
【符号の説明】
10:基準信号、12:サンプリング信号、50:FTIR装置、52:光源52、54:干渉計、56:FPA検出器、58:AD変換器、59:ドライバ回路、60:コンピュータ、62:記憶手段、64:演算手段、66:表示手段、70:光源、72:赤外光、74:ビームスプリッタ、76:固定鏡、78:可動鏡、80:干渉光、82:干渉計、84:単色光、86:固定鏡、88:干渉光、90:櫛型信号、94:白色光
Claims (1)
- 多素子検出器により信号検出を行う連続スキャン型フーリエ変換赤外分光装置を備えた赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法において、
可動鏡を定速移動させ干渉光を生成する干渉計の可動鏡位置との相関が得られるサンプリング信号に同期して前記多素子検出器の素子走査を開始し、
素子走査をサンプリング信号のサンプリング周波数より高速の一定周波数で行い、
素子走査を開始したサンプリング信号の次のサンプリング信号が発生する前に全素子の走査を終え、
この一連の操作をサンプリング信号が発生するごとに繰り返すことを特徴とする赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002026991A JP3908960B2 (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法 |
US10/355,295 US6891162B2 (en) | 2002-02-04 | 2003-01-31 | Method of acquiring data from multi-element detector in infrared imaging apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002026991A JP3908960B2 (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003227754A JP2003227754A (ja) | 2003-08-15 |
JP3908960B2 true JP3908960B2 (ja) | 2007-04-25 |
Family
ID=27654609
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002026991A Expired - Fee Related JP3908960B2 (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6891162B2 (ja) |
JP (1) | JP3908960B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3895187B2 (ja) * | 2002-02-04 | 2007-03-22 | 日本分光株式会社 | 赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法 |
WO2008043205A1 (fr) * | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Ming Wu | Système d'imagerie basé sur une extraction optique |
JP2009236565A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Jasco Corp | 複数成分の自動連続定量分析方法およびその装置 |
DE102011086226B3 (de) * | 2011-11-11 | 2013-01-17 | Bruker Optik Gmbh | Aufnahme eines spektral aufgelösten Bildes durch Auslesen von verschiedenen Teil-Arrays in mehreren Interferometer-Durchläufen |
WO2014044202A1 (zh) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | Wang Hao | 红外信息显示控制装置和红外信息显示控制方法 |
JP2015534364A (ja) * | 2012-09-21 | 2015-11-26 | 杭州美盛紅外光電技術有限公司 | 熱画像情報記録装置および熱画像情報記録方法 |
US9625695B2 (en) | 2014-06-20 | 2017-04-18 | Agilent Technologies, Inc. | Magnifying assembly for an infrared microscope |
US9450330B2 (en) | 2014-06-30 | 2016-09-20 | Agilent Technologies, Inc. | Connector assembly for an inductively coupled plasma source |
JP6457122B2 (ja) * | 2016-02-04 | 2019-01-23 | 日本分光株式会社 | フーリエ変換型分光装置を用いたスペクトル測定方法 |
JP7006494B2 (ja) * | 2018-05-02 | 2022-01-24 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換型分光光度計 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4999010A (en) * | 1989-07-31 | 1991-03-12 | Mattson Instruments, Inc. | Dual beam optical nulling interferometric spectrometer |
DE69631530T2 (de) * | 1996-10-09 | 2004-07-08 | Perkin-Elmer Ltd., Beaconsfield | Interferogrammdigitalisierung für die Fouriertransformationsspektroskopie |
-
2002
- 2002-02-04 JP JP2002026991A patent/JP3908960B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-01-31 US US10/355,295 patent/US6891162B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003227754A (ja) | 2003-08-15 |
US20030146386A1 (en) | 2003-08-07 |
US6891162B2 (en) | 2005-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3076013B2 (ja) | 画像生成atr分光装置及びスペクトル吸収画像を得る方法 | |
US6661519B2 (en) | Semiconductor impurity concentration testing apparatus and semiconductor impurity concentration testing method | |
US5539518A (en) | Method for determining and displaying the spacial distribution of a spectral pattern of received light | |
JP5092104B2 (ja) | 分光測定装置、及び分光測定方法 | |
JP3908960B2 (ja) | 赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法 | |
KR20190052158A (ko) | 반도체 디바이스 제조 중 분광 측정의 촉진 | |
JP6025411B2 (ja) | 形状測定装置および形状測定方法 | |
Huffman et al. | Generalized implementation of rapid-scan Fourier transform infrared spectroscopic imaging | |
US20150369667A1 (en) | Imaging spectrometer with extended resolution | |
US9086319B2 (en) | Recording a spectrally resolved image by reading out several partial arrays in a plurality of interferometer scans | |
US8542439B2 (en) | Method and device for scanning-microscopy imaging of a specimen | |
JP4324693B2 (ja) | 光検出器の分光応答度測定装置、その測定方法及び光源の分光放射照度校正方法 | |
US7903253B2 (en) | Microscope | |
US20210404879A1 (en) | Method for determining a correction value function and method for generating a frequency-corrected hyperspectral image | |
JP3895187B2 (ja) | 赤外画像装置における多素子検出器からのデータ取得方法 | |
JPH04264205A (ja) | 干渉計 | |
Barducci et al. | Performance assessment of a stationary imaging interferometer for high-resolution remote sensing | |
JPH063192A (ja) | フーリエ分光装置における短波長領域測定のためのサンプリング用光路差の決定方法 | |
Aguanno et al. | Full-field laser vibrometry employing a novel CMOS-DSP camera | |
CN116399244A (zh) | 基于宽谱激光和波前编码的高分辨率表面测量方法与装置 | |
JP2004219114A (ja) | 多色赤外線撮像装置及びデータ処理方法 | |
Lee et al. | Digital signal processor based digital time delay integration for a medical infrared imaging system | |
CN116429257A (zh) | 一种光谱测量系统及光谱式厚度测量系统 | |
JPH063126A (ja) | 微小変位量の測定方法及び測定装置 | |
JPH0440336A (ja) | 光学素子の群遅延測定方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060421 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060502 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060627 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3908960 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130126 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140126 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |