JPH0440336A

JPH0440336A - 光学素子の群遅延測定方法及び装置

Info

Publication number: JPH0440336A
Application number: JP14786090A
Authority: JP
Inventors: Tsuneyuki Uragami; 恒幸浦上; Shinichiro Aoshima; 紳一郎青島; Yutaka Tsuchiya; 裕土屋
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 1990-06-06
Filing date: 1990-06-06
Publication date: 1992-02-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

（産業上の利用分野１この発明は、光学素子の群遅延測定方法及び装置に関す
る。

【従来の技術］光学素子、例えばレンズ等の媒質に光を通した時、その
波長によって通過時の遅延が異なるが、これを測定する
ための従来の群遅延測定装置又は方法は、例えば、ノッ
クス（）（ｎｏｘ）等により干渉計を用いた群遅延分散
測定法が提案されている。又、これを改良した方法として、白色光を用いて、相互
干渉波形のフーリエ変換により可視全域で一挙に群遅延
を測定する方法が提案されている。【発明が解決しようとする課題】前者のノックス等が提案した方法は、光源としては単色
光を用いるものであり、−度に多くの波長成分について
の群遅延を測定できないという問題点がある。又、後者の方法では、白色光を用いてはいるが、ミラー
を移動しなければならず、繁雑であり、且つミラーの移
動精度によっては誤差が生じてしまうという問題点があ
る。この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、ミラーを移動したりすることなく且つ、多くの波
長成分について一度に群遅延測定をすることができる光
学素子の群遅延測定方法及び装置を提供することを目的
とする。

【課題を解決するための手段】

この発明は、被測定光学素子を経由した、白色又は波長
スキャン機能を有する短パルス光源からの短パルス光、
及び、経由しない同一光源からの短パルス光を、分光器
及びストリークカメラで時間分解分光してストリーク像
を得て、該ストリーク像における波長毎のピークの時間
軸方向の移動量から、群遅延量を評価する群遅延測定方
法により上記目的を達成するものである。又、第２の発明は、白色又は波長スキャン機能を有する
短パルス光源と、分光器と、この短パルス光源からの短
パルス光を、被測定光学素子を経由し、又は経由しない
で前記分光器に導く光学系と、前記分光器から出射され
た光を時間分解分光するストリークカメラと、前記短パ
ルス光が、被測定光学素子を経由した場合及び経由しな
い場合における、前記ストリークカメラで得られた第１
及び第２のストリーク像から、波長毎の群遅延量を評価
する群遅延測定方法により上記目的を達成するものであ
る。又、この発明は、前記遅延評価手段を、ストリーク像を
撮像する撮像装置と、この撮像装置により得られた像を
解析する解析装置と、を備えて構成することに上記目的
を達成するものである。又、前記解析装置は、前記第１及び第２のストリーク像
を各々蓄積すると共に、蓄積された前記第１及び第２の
ストリーク像の、各波長における強度のピーク時刻を求
めるフレームメモリアナライザと、前記ピーク時刻の波
長毎の時間差を求める処理手段と、を備えることにより
上記目的を達成するものである。又、前記ｍ像［１Ｆを、波長軸方向に複数のチャンネル
を有し、且つストリーク像を時間軸方向に走査する機能
を有する１次元アレーとすると共に、前記解析装置を、
前記第１及び第２のストリーク像における、前記１次元
アレーのチャンネル毎の出力を比較して、波長毎の群遅
延口を算出するようにして上記目的を達成するものであ
る。又、前記解析装置を、水平走査の方向が、前記ストリー
クカメラにおける時間分解分光像の時間軸方向に合せら
れたテレビカメラと、このテレビカメラにより得られた
前記第１及び第２のストリーク像のビデオ信号に基づき
、各水平走査ライン毎に水平同期信号からビデオ信号の
ピークまでの間隔の差を求める処理手段と、を備えるよ
うにして上記目的を達成するものである。更に、前記光学系を、前記被測定光学素子が光透過材料
のとき、前記短パルス光源から前記分光器に至る光路中
に、該被測定光学素子を出入自在に構成することにより
上記目的を達成するものである。更に、前記光学系を、前記短パルス光源からの短パルス
光を分割するビームスプリッタと、このど−ムスプリツ
タにより分割された光を、入射光と同一光路に反射づる
群遅延のない、又は群遅延凹既知の第１及び第２のミラ
ーと、を有してなり、前記ビームスプリッタは、これら
第１及び第２のミラーからの反射光を併合して、前記分
光器に導くように配置することにより上記目的を達成す
るものである。又、前記被測定光学素子が光透過材料のとき、前記光学
系を、前記第１又は第２のミラーと前記ビームスプリッ
タとの間に、該被測定光学素子を配置可能とすることに
より上記目的を達成するものである。又、前記光学系を、前記被測定光学素子がレンズのとき
、該レンズに対峙する前記第１又は第２のミラーが、該
レンズの焦点位置となるようにして上記目的を達成する
ものでる。前記被測定光学素子が平面ミラーの場合、前記光学系を
、前記白色短パルス光源からの短パルス光を分割するビ
ームスプリッタと、このビームスプリッタにより分割さ
れた光の一方を、入射光と同一光路に反射する群遅延の
ない、又は群遅延量既知のミラーと、を有して、且つ、
前記平面ミラーを、前記ビームスプリッタにより分割さ
れた他方の光を入射光と同一光路に反射する位置に設置
可能とし、又、前記ビームスプリッタを、前記ミラー及
び平面ミラーからの反射光を併合して、前記分光器に導
くように配置して上記目的を達成するものである。又、前記被測定光学素子が凹面鏡のとき、前記光学系を
、前記短パルス光源からの短パルス光を分割する第１の
ビームスプリッタと、この第１のビームスプリッタによ
り分割された光の一方を、入射光と同一光路に反射する
群遅延のない、又は群遅延ＩＩ既知の第１のミラーと、
分割された他方の光を分割する第２のビームスプリッタ
と、この第２のビームスプリッタで分割された一方の光
が、被測定光学素子である凹面鏡に導かれて反射し、更
に第２のビームスプリッタで反射された光を反射し、第
２のビームスプリッタに戻す第２のミラーとを有してな
り、第２のミラーで反射された光は、第２のビームスプ
リッタで反射し、被測定光学素子である凹面鏡で再び反
射して、入射光と同一光路に反射して分光器に導くよう
に、凹面鏡と第２のビームスプリッタを介した第２のミ
ラーに至る距離のが、凹面鏡の焦点距離であるように第
２のミラーを配置して上記目的を達成するものである。

【作用及び効果】

この発明は、會キ短パルス光を、被測定光学素子を経由
し及び経由しないで、分光器を経てストリークカメラに
入射させ、ここで時間分解分光をして、第１及び第２の
ストリーク像を得て、これら第１及び第２のストリーク
像を解析することによって、波長毎の群遅延を測定する
ことができる。従って、ミラーを移動したりすることなく、多くの波長
成分について一度に群遅延測定をすることができる。

【実施例】

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。第１図は、本発明に係る光学素子の群遅延測定方法を実
施するための群遅延測定装置を示ずブロック図である。この第１実施例は、図に示されるように、白色短パルス
光源１０と、分光器１２と、この白色短パルス光源１０
からの白色短パルス光を、被測定光学素子１４を経由し
、又は経由しないで前記分光器に導く光学系１６と、前
記分光器１２から出射された光を時間分解分光するスト
リークカメラ１８と、前記白色短パルス光が被測定光学
素子１４を経由した場合及び経由しない場合における、
前記ストリークカメラ１８により得られた第１及び第２
のストリーク像１８Ａ、１８Ｂから、波長毎の群遅延量
を評価する群遅延評価手段２０とから、群遅延測定装置
を構成したものである。ここで、前記光学系１６は、被測定光学素子１４を、そ
の光路中に出没自在となるように構成されている。又、群遅延評価手段２０は、ストリークカメラ１８の出
力螢光面（図示省略）に形成されたストリーク像を撮像
するための！ｌｌｉ像装置２２と、このｆｌ像装置２２
で得られた映像信号を解析する解析装置２４とから構成
されている。前記＠像装置２２は、例えばテレビカメラから構成され
ている。又、解析装置２４は、第１及び第２のストリー
ク＠１８Ａ、１８Ｂを各々蓄積すると共に、蓄積された
第１及び第２のストリーク像１８Ａ、１８Ｂの、各波長
における強度のピーク時刻を求めるフレームメモリアナ
ライザ２４Ａと、前記ピーク時刻の波長毎の時間差を求
める処理手段２４Ｂと、を備えて構成されている。次に上記第１図に示される群遅延測定装置により、被測
定光学素子１４の群遅延を測定する過程について第２図
、第３図を参照して説明する。まず、被測定光学素子１４を光学系１６に入れずに、白
色短パルス光を、分光器１２を経てストリークカメラ７
８で詩ｒ−分解分光して、撮像装置２２で第２のストリ
ーク１１１８Ｂを撮像し、その映像信号を解析装置２４
におけるフレームメモリアナライザ２４Ａにストアする
。次に、光学系１６に被測定光学素子１４を入れて、白色
短パルス光を被測定装置１４を経て分光器１２からスト
リークカメラ１８に入射させ、ここで時間分解分光して
、第１のストリーク像１８Ａを得て、この第１のストリ
ーク像１８Ａを撮像装置２２で搬像し、その映像信号を
解析装置２４におけるフレームメモリアナライザ２４Ａ
にストアする。フレームメモリアナライザ２４Ａは、蓄積させた第１及
び第２のストリーク像１８Ａ、１８Ｂ１即ち、第２図に
示される時間分解分光画像から、白色短パルス光の各波
長における強度のピーク時刻を求める。処理手段２４Ｂは、各波長における、第１及び第２のス
トリーク像１８Ａ、１８Ｂのピークの時間差を求めて出
力する。この１間差が各波長における群遅延量となる。なおこの場合、群遅延ｍは分光器１２やストリークカメ
ラ１８の光学系の影響も入ってくるが、ストリーク像１
８Ａ、１８Ｂの両者に同様に寄与するため、問題は生じ
ない。次に、上記装置を利用した他の群遅延測定方法について
説明する。これは、撮像装置２２を構成するテレビカメラの水平走
査の方向を、時間分解分光像の時間軸方向に合せ、この
状態で各水平走査ライン毎に、水平同期信号からビデオ
信号のピークまでの間隔を求め、解析装置２４に記憶さ
せる。このような走査を、光学系１６に被測定光学素子１４を
入れた場合及び入れない場合のそれぞれについて行ない
、解析装置２４が記憶した、これらを比較して、ビデオ
信号のピークの差を各走査ライン毎に求めれば、波長毎
の群遅延量を測定することができる。次に第４図〜第６図を参照して本発明装置の他の実施例
について説明する。この実施例は、被測定光学素子１４が光透過材料の場合
のものであり、前記光学系１６を、前記白色短パルス光
源１０からの短パルス光を分割するビームスプリッタ２
６と、このビームスプリッタ２６により分割された光を
、入射光と同一光路に反射する群遅延のない第１及び第
２のミラー２８及び３０とを設けてなり、前記ビームス
プリッタ２６を、第１のミラー２８及び第２のミラー３
０からの反射光を併合して、前記分光器１２に導くよう
にして構成されている。ここで、前記ビームスプリッタ２６と第１のミラー２８
及び第２のミラー３ｏまでの距離は等しくされている。又、これら第１及び第２のミラー２８及び３０は、Ａｎ
ミラー等の、群遅延のない材料から構成されている。符
号３４はアパーチャを示す。この実施例においては、光学系１６におけるビームスプ
リッタ２６と第１のミラー２８との間の位置に、光透過
材料からなる被測定光学素子１４をおく。この状態で、ビームスプリッタ２６によって併合された
類パスル光を分光器１２を経てストリークカメラ１８に
入射させ、ここで第１及び第２のストリーク像１８Ａ、
１８Ｂを形成させる。第５図に示されるように、ストリークカメラ１８によっ
て得られるストリーク像は、被測定光学素子１４を経た
第１のストリーク像１８Ａと、第２のミラー３０で反射
されて、被測定光学素子１４を通過しない短パルス光に
基づく第２のストリーク像１８Ｂが得られ、第１のスト
リーク像１８Ａは、被測定光学素子１４による群遅延に
よって、第５図において下方にずれる。従って、波長毎にストリーク像のピーク値の時間差を求
めることによって、群遅延を測定することができる。この場合、光が被測定光学素子１４を２回通るので、遅
延量は２倍で観測され、処理手段２４Ｂにおいて１７２
の係数をかけて補正を行う必要がある。この実施例の場合は、光学系１６内に被測定光学素子１
４を出入れする必要がないので、迅速な測定ができると
共に、被測定光学素子１４を出没させる装置が不要とな
る利点がある。この実施例の場合においても、前記撮像装置２２を構成
するテレビカメラの水平走査線の方向を時間軸に合せて
、測定することができる。この場合、−本の水平線のビ
デオ信号は、ある波長のストリーク像のプロファイルを
現すことになるので、（第６図（Ａ）参照）これをビデ
オ信号処理によってピークの間隔を計ることにより、各
波長毎の群遅延を計測することができる。この場合の解析装置２４における処理過程を第６図に示
す。即ち第６図（Ａ＞に示される、−水筒の水平線のビデオ
信号を、二値化処理して第６図（Ｂ）に示されるように
し、次に第６図（Ｃ）に示されるように二値化信号を微
分し、更に第６図（Ｄ）に示されるように、二値化信号
の立下り時に対応する、前記第６図（Ｃ）の微分信号を
クランプし、得られた２つの信号の時間間隔を演算する
。この場合、処理手段２４Ｂは、例えば、２つのパルス信
号の間の時間差に比例する高さを持つ電圧を出力する時
間−振幅変換器（ＴＡＣ）を用いる。前記第１実施例あるいは第４図の実施例で必要ある場合
、被測定光学素子１４の光学系１６への出入は、例えば
第７図に示されるように、被測定光学素子１４を保持す
るサンプルホルダ３２を、光軸に対して直交する方向に
スライドあるいは回転させることによって光路から被測
定光学素子１４がはずれるようにして行う。次に、被測定光学素子が第８図に示されるようにレンズ
１４Ａの場合について説明する。この実施例は、前記第４図の実施例におけるビームスプ
リッタ２６と第１及び第２のミラー２８．３０の一方と
の間にレンズ１４Ａを配置するものであるが、レンズ１
４Ａを配置した側のミラー３０を、該レンズ１４Ａの焦
点位置となるようにする。この実施例においても、光が被測定光学素子であるレン
ズ１４Ａを往復するため、得られた群遅延ｍは２倍の値
となるので、処理手段２４Ｂにおいて１／２の係数をか
けて補正する必要がある。この場合、レンズ１４Ａを光学系に配置する前に、光学
系１６の異なる２つの光路を経た光によるストリーク像
が重なり合うように光学系１６を校正しておく。又は、
光学系１６の異なる２つの光路長が等しくなくとも、処
理手段２４Ｂ上で、予め光路長差を評価しておき、レン
ズ１４Ａを光路の一方に入れた場合に住じる群遅延量が
計算できるようにしておく。次に、被測定光学素子が平面鏡の場合について、第９図
を参照して説明する。第９図に示されるように、平面鏡１４Ｂの場合は、前記
第４図の実施例における第１又は第２のミラー２８．３
０の一方を平面Ｍ１４Ｂに置換える（ここではミラー３
０を置換えた）。又、平面１１４Ｂを光学系１６に配置する前に、置換え
られる第１又は第２のミラー２８．３０を置いた状態で
、光学系１６の異なる光路を経た光によるストリーク像
が重なり合うように光学系１６を調整しておく。又は、
光学系１６の異なる２つの光路長が等しくなくとも、処
理手段２４Ｂ上で、予め光路長差を評価しておき、平面
＃Ｍ１４Ｂを光学計１６に配置した場合に生じる群遅延
量が計算できるようにしてお（。この実施例の場合、前記第８図の実施例と異なり、群遅
延量は倍の値とならないので、処理手段２４Ｂにおいて
は、補正係数をかける必要がない。次に第１０図を参照して、被測定光学素子が凹面鏡の場
合について説明する。第１０図に示されるように、被測定光学素子が凹面鏡１
４Ｃの場合、前記Ｍ４図の実施例における一方のミラー
例えば第２のミラー３０を、ビームスプリッタ２６から
の反射光の光軸の側方におき、該第２のミラー３０の光
軸と、ビームスプリッタ２６の反射光の光軸との交点に
、第２のビームスプリッタ３６を置き、且つ、該第２の
ビームスプリッタ３６を通過した光の光軸上に、凹面鏡
１４Ｃを配置するようにしたものである。ここで、前記第２のビームスプリッタ３６と第２のミラ
ー３０との距離Ｊ２２と、第２のビームスプリッタ３６
と凹面１１１４Ｃとの距離β１の和は、該凹面１１４Ｃ
の焦点距離と等しくなるようにされている。この系においては、凹面鏡１４ｃで反射された後、ミラ
ー３０を経由せずに直接ストリークカメラ１８へ入射す
る光は拡散してしまうので、測定にはほとんど悪影響を
及ぼさない。この実施例における校正は、第１０図において、ＨＭＨ
ＭＩの距離＝ａ　１ＨＭ　１−８Ｍ２の距離＝ｂとする
と、ａＸ２＝ｂ＋Ｊｔ＋Ｊ＋＋Ａｚ−ＬＪ！２＋１＋＋Ｊ　
＋　＋ｂ　＝２（ｂ十１ｚ）’＋４Ｊ２ｔとなるように
しておく。次に、実測により、ＨＭＩ、８Ｍ２０群遅延を含むよう
に校正する。上記実施例は、いずれも、撮像装置をテレビカメラとし
た場合のものであるが、本発明はこれに限定されるもの
でなく、撮像装置は、ストリーク像をｗｌ像できるもの
であれば良い。従って、例えば銀縁装置として、第１１図に示されるよ
うに、波長軸方向に複数のチャンネルを有する１次元ア
レー３８を用いても良い。この場合、この１次元アレー３８は、ストリーク像を時
間軸方向に走査する機能を有し、又、この場合の解析装
＠４０は、第１及び第２のストリーク像における、前記
１次元アレー３８のチャンネル毎の出力を比較して、波
長毎の群遅延量を算出できるようにされている。即ち、第１２図に示されるように、ストリークカメラ１
８の螢光面１９に現れたストリーク像を、１次元アレー
３８により時間軸を方向にスキャンすると、１次元アレ
ー３８の、例えば波長λ。に対応するχ０のチャンネル
の出力は第１３図のようになり、これを、第１及び第２
のストリーク像１８Ａ、１８Ｂの各々について波長毎に
比較すれば、群遅延量を測定することができる。この実施例の場合、前記テレビカメラ等の２次元撮像装
置を用いた揚台と比較して、スキャンライン、あるいは
フレームメモリアナライザのメモリによる分解能の制限
がなくなるために、分解能を向上させることができると
いう利点がある。なお、本発明において光学系１６に用いるミラーはＡ℃
ミラーのように群遅延を生じないものを用いているが、
これに限定されない。例えば、群遅延量が既知のミラー
であれば、測定で得られた群遅延量から、ミラーによっ
て生じる遅延量を減じてやればよいので、使用可能であ
る。又、ストリークカメラは、螢光面出力であり、ストリー
ク像を搬像装置によって観測しているが、ストリーク管
内に撮像素子を有する一体型の装置であってもよい。前記実施例においては、光源を白色短パルス光としてい
るが、必ずしもこれに限ったものではなく、波長スキャ
ンの機能を有した短パルス光源も用いることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る光学素子の群遅延測定方法を実
施するための装置の基本実施例を示すブロック図、第２
図及び第３図は、同装置によって得られた時間分解分光
画像を示す線図、第４図は、本発明の第２実施例に係る
群遅延測定装置を示すブロック図、第５図は、同実施例
によって得られたストリーク像を示す線図、第６図は、
本発明による他の群遅延測定方法による信号処理過程を
示す線図、第７図は、本発明における被測定光学素子の
出入構造を示すブロック図、第８図〜第１０図は、本発
明に係る光学素子の群遅延測定装置の光学系の他の実施
例を示す光学系統図、第１１図は、本発明の、撮像装置
の異なる他の実施例を示すブロック図、第１２図は、同
実施例によって得られたストリーク像を示す線図、第１
３図は、同実施例の解析装置によって得られた信号を示
す線図である。１０・・・白色短パルス光源、１２・・・分光器、１４・・・被測定光学素子、１４Ａ・・・レンズ、１４Ｂ・・・平面鏡、１４Ｃ・・・凹面鏡、１６・・・光学系、１８・・・ストリークカメラ、１８Ａ・・・第１のストリーク像、１８Ｂ・・・第２のストリーク像、１９・・・螢光面、２０・・・群遅延評価手段、２２・・・撮像装置、２４．４０・・・解析装置、２４Ａ・・・フレームメモリアナライザ、２４Ｂ・・・
処理手段、２６・・・ビームスプリッタ、２８・・・第１のミラー３０・・・第２のミラー３６・・・第２のビームスプリッタ、３８・・・１次元アレー

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被測定光学素子を経由した、白色又は波長スキャ
ン機能を有する短パルス光源からの短パルス光、及び、
経由しない同一光源からの短パルス光を、分光器及びス
トリークカメラで時間分解分光してストリーク像を得て
、該ストリーク像における波長毎のピークの時間軸方向
の移動量から、群遅延量を評価することを特徴とする光
学素子の群遅延測定方法。
（２）白色又は波長スキャン機能を有する短パルス光源
と、分光器と、この短パルス光源からの短パルス光を、
被測定光学素子を経由し、又は経由しないで前記分光器
に導く光学系と、前記分光器から出射された光を時間分
解分光するストリークカメラと、前記短パルス光が、被
測定光学素子を経由した場合及び経由しない場合におけ
る、前記ストリークカメラで得られた第１及び第２のス
トリーク像から、波長毎の群遅延量を評価する群遅延評
価手段と、を有してなる光学素子の群遅延測定装置。
（３）請求項２において、前記群遅延評価手段は、スト
リーク像を撮像する撮像装置と、この撮像装置により得
られた像を解析する解析装置と、を備えて構成されたこ
とを特徴とする光学素子の群遅延測定装置。
（４）請求項３において、前記解析装置は、前記第１及
び第２のストリーク像を各々蓄積すると共に、蓄積され
た前記第１及び第２のストリーク像の、各波長における
強度のピーク時刻を求めるフレームメモリアナライザと
、前記ピーク時刻の波長毎の時間差を求める処理手段と
、を備えたことを特徴とする光学素子の群遅延測定装置
。
（５）請求項３において、前記撮像装置は、波長軸方向
に複数のチャンネルを有し、且つストリーク像を時間軸
方向に走査する機能を有する１次元アレーであり、前記
解析装置は、前記第１及び第２のストリーク像における
、前記１次元アレーのチャンネル毎の出力を比較して、
波長毎の群遅延量を算出することを特徴とする光学素子
の群遅延測定装置。
（６）請求項３において、前記解析装置は、水平走査の
方向が、前記ストリークカメラにおける時間分解分光像
の時間軸方向に合せられたテレビカメラと、このテレビ
カメラにより得られた前記第１及び第２のストリーク像
のビデオ信号に基づき、各水平走査ライン毎に、水平同
期信号からビデオ信号のピークまでの間隔の差を求める
処理手段と、を備えたことを特徴とする光学素子の群遅
延測定装置。
（７）請求項２乃至６のいずれかにおいて、前記光学系
は、前記被測定光学素子が光透過材料のとき、前記短パ
ルス光源から前記分光器に至る光路中に、該被測定光学
素子を出入自在に構成されたことを特徴とする光学素子
の群遅延測定装置。
（８）請求項２乃至６のいずれかにおいて、前記光学系
は、前記短パルス光源からの短パルス光を分割するビー
ムスプリッタと、このビームスプリッタにより分割され
た光を、入射光と同一光路に反射する群遅延のない、又
は群遅延量既知の第１及び第２のミラーと、を有してな
り、前記ビームスプリッタは、これら第１及び第２のミ
ラーからの反射光を併合して、前記分光器に導くように
配置されたことを特徴とする光学素子の群遅延測定装置
。
（９）請求項８において、前記被測定光学素子が光透過
材料のとき、前記光学系は、前記第１又は第２のミラー
と前記ビームスプリッタとの間に、該被測定光学素子を
配置可能とされたことを特徴とする光学素子の群遅延測
定装置。
（１０）請求項９において、前記光学系は、前記被測定
光学素子がレンズのとき、該レンズに対峙する前記第１
又は第２のミラーが、該レンズの焦点位置となるように
されたことを特徴とする光学素子の群遅延測定装置。
（１１）請求項２乃至６のいずれかにおいて、前記被測
定光学素子が平面ミラーの場合、前記光学系は、前記短
パルス光源からの短パルス光を分割するビームスプリッ
タと、このビームスプリッタにより分割された光の一方
を、入射光と同一光路に反射する群遅延のない、又は群
遅延量既知のミラーと、を有してなり、且つ、前記平面
ミラーを、前記ビームスプリッタにより分割された他方
の光を入射光と同一光路に反射する位置に設置可能とさ
れ、前記ビームスプリッタは、前記ミラー及び平面ミラ
ーからの反射光を併合して、前記分光器に導くように配
置されたことを特徴とする光学素子の群遅延測定装置。
（１２）請求項２乃至６のいずれかにおいて、前記被測
定光学素子が凹面鏡のとき、前記光学系は、前記短パル
ス光源からの短パルス光を分割する第１のビームスプリ
ッタと、この第１のビームスプリッタにより分割された
光の一方を、入射光と同一光路に反射する群遅延のない
、又は群遅延量既知の第１のミラーと、分割された他方
の光を分割する第２のビームスプリッタと、この第２の
ビームスプリッタで分割された一方の光が、被測定光学
素子である凹面鏡に導かれて反射し、更に第２のビーム
スプリッタで反射された光を反射し、第２のビームスプ
リッタに戻す第２のミラーとを有してなり、第２のミラ
ーで反射された光は、第２のビームスプリッタで反射し
、被測定光学素子である凹面鏡で再び反射して、入射光
と同一光路に反射して分光器に導くように、凹面鏡と第
２のビームスプリッタを介した第２のミラーに至る距離
のが、凹面鏡の焦点距離であるように第２のミラーを配
置したことを特徴とする光学素子の遅延測定装置。