JPH063192A - フーリエ分光装置における短波長領域測定のためのサンプリング用光路差の決定方法 - Google Patents
フーリエ分光装置における短波長領域測定のためのサンプリング用光路差の決定方法Info
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- JPH063192A JPH063192A JP16265392A JP16265392A JPH063192A JP H063192 A JPH063192 A JP H063192A JP 16265392 A JP16265392 A JP 16265392A JP 16265392 A JP16265392 A JP 16265392A JP H063192 A JPH063192 A JP H063192A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザー光の波長によってサンプリング点の
間隔が規定され、波長の短い光に対して分光が不可能に
なっているフーリエ分光装置において、レーザー光の波
長を変えることなくサンプリング点の間隔を減少し、可
視領域、紫外領域のスペクトル解析を可能とする。 【構成】 フーリエ分光装置で、光路差を形成している
マイケルソン干渉計１４の鏡の一部に微小角度の傾斜面
１４ｄを形成して、分光を行う主光路Ｍと平行に等傾角
干渉を生じる副光路Ｓを形成し、特定波長λを持つレー
ザー光をこの副光路Ｓに入射して得られる干渉光をイメ
ージセンサ２３に結像させ、イメージセンサ２３の所定
区間の受光素子を並び方向に循環・選択して得られる干
渉信号について光路差のλ／２の変化点を検出し、上記
レーザー光波長のλ／２ピッチよりも短いピッチで主光
路Ｍの光路差ｘが変化するサンプリング点を決定する。
間隔が規定され、波長の短い光に対して分光が不可能に
なっているフーリエ分光装置において、レーザー光の波
長を変えることなくサンプリング点の間隔を減少し、可
視領域、紫外領域のスペクトル解析を可能とする。 【構成】 フーリエ分光装置で、光路差を形成している
マイケルソン干渉計１４の鏡の一部に微小角度の傾斜面
１４ｄを形成して、分光を行う主光路Ｍと平行に等傾角
干渉を生じる副光路Ｓを形成し、特定波長λを持つレー
ザー光をこの副光路Ｓに入射して得られる干渉光をイメ
ージセンサ２３に結像させ、イメージセンサ２３の所定
区間の受光素子を並び方向に循環・選択して得られる干
渉信号について光路差のλ／２の変化点を検出し、上記
レーザー光波長のλ／２ピッチよりも短いピッチで主光
路Ｍの光路差ｘが変化するサンプリング点を決定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフーリエ分光装置におけ
る短波長領域測定のためのサンプリング用光路差の決定
方法に関する。
る短波長領域測定のためのサンプリング用光路差の決定
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】フーリエ分光装置は、物体からの光をマ
イケルソン干渉計に通し、光路差ｘに対する干渉信号Ｆ
（ｘ）〔干渉光の交流成分の大きさを表すインターフェ
ログラム〕を測定し、これをフーリエ変換して上記物体
から出た光のスペクトルを得ている。この測定は、光路
差ｘを精度の高い一定ピッチｄｘで変化させて行う必要
が有り、この目的のため、特定波長λのレーザー光を上
記マイケルソン干渉計に入射し、その干渉信号から光路
差ｘがλ／２づつ変化するサンプリング点を決定してい
る。
イケルソン干渉計に通し、光路差ｘに対する干渉信号Ｆ
（ｘ）〔干渉光の交流成分の大きさを表すインターフェ
ログラム〕を測定し、これをフーリエ変換して上記物体
から出た光のスペクトルを得ている。この測定は、光路
差ｘを精度の高い一定ピッチｄｘで変化させて行う必要
が有り、この目的のため、特定波長λのレーザー光を上
記マイケルソン干渉計に入射し、その干渉信号から光路
差ｘがλ／２づつ変化するサンプリング点を決定してい
る。
【０００３】図３は従来のフーリエ分光装置の光学系１
を示すもので、２は物体からの光を絞るスリット、３は
この光を平行化するレンズである。４は光路差ｘ（＝ａ
−ｂ）を可変できるマイケルソン干渉計で、光軸に対し
て傾斜配置した半透鏡４ａと、この半透鏡４ａに異なる
方向から対面した固定鏡４ｂ、移動鏡４ｃから構成され
る。５はこのマイケルソン干渉計４で発生した干渉光を
集光するレンズ、６は集光された干渉光を受ける光電変
換素子である。７はサンプリング点決定用のレーザー光
源、８はこのレーザー光を平行化するレンズ、９は平行
化されたレーザー光をマイケルソン干渉計４に入射する
半透鏡で、その入射側の光路中に配置されている。
を示すもので、２は物体からの光を絞るスリット、３は
この光を平行化するレンズである。４は光路差ｘ（＝ａ
−ｂ）を可変できるマイケルソン干渉計で、光軸に対し
て傾斜配置した半透鏡４ａと、この半透鏡４ａに異なる
方向から対面した固定鏡４ｂ、移動鏡４ｃから構成され
る。５はこのマイケルソン干渉計４で発生した干渉光を
集光するレンズ、６は集光された干渉光を受ける光電変
換素子である。７はサンプリング点決定用のレーザー光
源、８はこのレーザー光を平行化するレンズ、９は平行
化されたレーザー光をマイケルソン干渉計４に入射する
半透鏡で、その入射側の光路中に配置されている。
【０００４】上記構成は、移動鏡４ｃを所定ピッチｄｘ
で動かして光路差ｘを変化させ、この各サンプリング点
において、スリット２を通して入射する光に対する干渉
光の強度Ｉ（ｘ）を光電変換素子６で測定するもので、
この信号Ｉ（ｘ）の交流成分が干渉信号Ｆ（ｘ）〔イン
ターフェログラム〕となる。
で動かして光路差ｘを変化させ、この各サンプリング点
において、スリット２を通して入射する光に対する干渉
光の強度Ｉ（ｘ）を光電変換素子６で測定するもので、
この信号Ｉ（ｘ）の交流成分が干渉信号Ｆ（ｘ）〔イン
ターフェログラム〕となる。
【０００５】上記サンプリング点の決定は、物体からの
光を遮断し、レーザー光源７からレーザー光を入射し
て、次のような原理により行う。
光を遮断し、レーザー光源７からレーザー光を入射し
て、次のような原理により行う。
【０００６】レーザー光源７はコヒーレントな単色光を
発生し、これをマイケルソン干渉計４を通して光電変換
素子６でその干渉強度を測定すると、図４に示すように
光路差ｘがレーザー光波長λの１／２変化するごとに増
減する周期的変化を示す。そこで、精度が上げやすい最
大変化点ｎK（最大値と最小値の中間点）をコンパレー
タで検出し、この点をサンプリング点として決定する。
すなわち、移動鏡４ｃを一方向に動かし、光路差ｘがλ
／２づつ増加して上記最大変化点ｎ1,ｎ2,…が検出され
るごとに、レーザー光の入射を物体からの光の入射に切
換えて、上記光強度Ｉ（ｘ）を測定するのである。な
お、光路差０の原点は上記レーザー光の代りに白色光を
入射し、干渉強度が最大となる位置に移動鏡４ｃを位置
させることにより決定する。この状態で、全ての波長の
光が位相差０で干渉し、最大出力が得られるのである。
発生し、これをマイケルソン干渉計４を通して光電変換
素子６でその干渉強度を測定すると、図４に示すように
光路差ｘがレーザー光波長λの１／２変化するごとに増
減する周期的変化を示す。そこで、精度が上げやすい最
大変化点ｎK（最大値と最小値の中間点）をコンパレー
タで検出し、この点をサンプリング点として決定する。
すなわち、移動鏡４ｃを一方向に動かし、光路差ｘがλ
／２づつ増加して上記最大変化点ｎ1,ｎ2,…が検出され
るごとに、レーザー光の入射を物体からの光の入射に切
換えて、上記光強度Ｉ（ｘ）を測定するのである。な
お、光路差０の原点は上記レーザー光の代りに白色光を
入射し、干渉強度が最大となる位置に移動鏡４ｃを位置
させることにより決定する。この状態で、全ての波長の
光が位相差０で干渉し、最大出力が得られるのである。
【０００７】このように測定された光強度Ｉ（ｘ）の交
流成分Ｆ（ｘ）〔インターフェログラム〕から、光のス
ペクトル密度分布を得るフーリエ変換について、次に説
明する。
流成分Ｆ（ｘ）〔インターフェログラム〕から、光のス
ペクトル密度分布を得るフーリエ変換について、次に説
明する。
【０００８】フーリエ分光においては、上記インターフ
ェログラムＦ（ｘ）を、光路差０からの因果関数である
偶関数として扱うので、種々の波長の光がマイケルソン
干渉計に入射したときに得られる光強度Ｉ（ｘ）は、
ェログラムＦ（ｘ）を、光路差０からの因果関数である
偶関数として扱うので、種々の波長の光がマイケルソン
干渉計に入射したときに得られる光強度Ｉ（ｘ）は、
【０００９】
【数１】 Ｂ（ν）：入射光の強度の波数依存関数（スペクトル） ν：入射光の振動数 というフーリエ逆余弦変換式で表され、その交流成分で
あるインターフェログラムＦ（ｘ）は、
あるインターフェログラムＦ（ｘ）は、
【数２】 となる。したがって、スペクトルＢ（ν）は、フーリエ
余弦変換式
余弦変換式
【数３】 で表される。
【００１０】そこで、光路差ｘを０から∞（実際は測定
値が収束するのに十分な距離Ｘ）まで変化させて光強度
Ｉ（ｘ）の測定を行った後、この測定値の直流成分を取
除いて、数値データとしてのインターフェログラムＦ
（ｘ）を作成し、ＦＦＴ演算ボード等の演算装置を用い
るコンピュータ処理により、上記式の演算を行って、
スペクトルＢ（ν）を求める。
値が収束するのに十分な距離Ｘ）まで変化させて光強度
Ｉ（ｘ）の測定を行った後、この測定値の直流成分を取
除いて、数値データとしてのインターフェログラムＦ
（ｘ）を作成し、ＦＦＴ演算ボード等の演算装置を用い
るコンピュータ処理により、上記式の演算を行って、
スペクトルＢ（ν）を求める。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記フーリエ分光装置
の光学系１において、サンプリング点は、レーザー光の
波長λの１／２単位で決定される。使用可能な半導体レ
ーザーの波長λは赤色光用で３００ｎｍ、青色光用で２
００ｎｍである。このピッチで光強度Ｉ（ｘ）の測定を
行えば、赤外光の分光には十分に対応できる。
の光学系１において、サンプリング点は、レーザー光の
波長λの１／２単位で決定される。使用可能な半導体レ
ーザーの波長λは赤色光用で３００ｎｍ、青色光用で２
００ｎｍである。このピッチで光強度Ｉ（ｘ）の測定を
行えば、赤外光の分光には十分に対応できる。
【００１２】しかし、赤外光よりも波長が短い可視光あ
るいは紫外光に対して、このピッチで測定を行なうと、
フーリエ変換の復原率を定めるナイキスト条件を満足せ
ず、必要な精度が得られなくなり、半導体レーザーを用
いたサンプリング点の決定方法が採用できないという問
題があった。
るいは紫外光に対して、このピッチで測定を行なうと、
フーリエ変換の復原率を定めるナイキスト条件を満足せ
ず、必要な精度が得られなくなり、半導体レーザーを用
いたサンプリング点の決定方法が採用できないという問
題があった。
【００１３】そこで、本発明はレーザー光を用いてサン
プリング点を決定する場合において、その波長λの１／
２よりも数段高い分解能でサンプリング点を決定できる
方法を提供することを目的とする。
プリング点を決定する場合において、その波長λの１／
２よりも数段高い分解能でサンプリング点を決定できる
方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明が提供するフーリ
エ分光装置における短波長領域測定のためのサンプリン
グ用光路差の決定方法は、傾けた半透鏡に固定鏡と移動
鏡を対面させて光路差ｘを変化させるマイケルソン干渉
計に、レンズで平行光に変えた光を入射し、これによっ
て得た干渉光を光電変換素子で受光して、光路差ｘに対
する干渉信号Ｆ（ｘ）を測定し、この干渉信号Ｆ（ｘ）
を光路差方向にフーリエ変換することにより光のスペク
トル密度分布を得るようにしたフーリエ分光装置におい
て、
エ分光装置における短波長領域測定のためのサンプリン
グ用光路差の決定方法は、傾けた半透鏡に固定鏡と移動
鏡を対面させて光路差ｘを変化させるマイケルソン干渉
計に、レンズで平行光に変えた光を入射し、これによっ
て得た干渉光を光電変換素子で受光して、光路差ｘに対
する干渉信号Ｆ（ｘ）を測定し、この干渉信号Ｆ（ｘ）
を光路差方向にフーリエ変換することにより光のスペク
トル密度分布を得るようにしたフーリエ分光装置におい
て、
【００１５】上記マイケルソン干渉計の鏡の一部に微小
角度の傾斜面を形成して、上記分光を行う主光路と平行
に等傾角干渉を生じる副光路を形成し、特定波長λを持
つレーザー光をこの副光路に入射して得られる干渉光を
イメージセンサに結像させ、上記移動鏡を動かしなが
ら、イメージセンサの所定区間の受光素子を並び方向に
循環・選択して得られる干渉信号について光路差のλ／
２の変化点を検出して、上記レーザー光波長のλ／２ピ
ッチよりも短いピッチで主光路の光路差ｘが変化するサ
ンプリング点を決定することを特徴とする。
角度の傾斜面を形成して、上記分光を行う主光路と平行
に等傾角干渉を生じる副光路を形成し、特定波長λを持
つレーザー光をこの副光路に入射して得られる干渉光を
イメージセンサに結像させ、上記移動鏡を動かしなが
ら、イメージセンサの所定区間の受光素子を並び方向に
循環・選択して得られる干渉信号について光路差のλ／
２の変化点を検出して、上記レーザー光波長のλ／２ピ
ッチよりも短いピッチで主光路の光路差ｘが変化するサ
ンプリング点を決定することを特徴とする。
【００１６】
【作用】上記構成において、マイケルソン干渉計の鏡の
一部を傾斜面とすると、これによって形成される副光路
を通る光は、この傾斜面の傾き方向に光路差が微小変化
する等傾角干渉を発生し、これを受けるイメージセンサ
の各受光素子には位相が所定ピッチでずれた干渉光が入
射する。そこで、位相変化の連続により両端で位相が一
致する所定区間の受光素子を使用し、一端から他端へ受
光素子を循環・選択して、その干渉信号について光路差
のλ／２の変化点を検出すれば、λ／２を上記区間の受
光素子数で割った長さの区間毎にサンプリング点を決定
できる。
一部を傾斜面とすると、これによって形成される副光路
を通る光は、この傾斜面の傾き方向に光路差が微小変化
する等傾角干渉を発生し、これを受けるイメージセンサ
の各受光素子には位相が所定ピッチでずれた干渉光が入
射する。そこで、位相変化の連続により両端で位相が一
致する所定区間の受光素子を使用し、一端から他端へ受
光素子を循環・選択して、その干渉信号について光路差
のλ／２の変化点を検出すれば、λ／２を上記区間の受
光素子数で割った長さの区間毎にサンプリング点を決定
できる。
【００１７】
【実施例】本発明の実施例を図１について説明する。
【００１８】図１に示すフーリエ分光装置の光学系１１
は、図３に示す従来の光学系１における、物体からの光
に干渉を起させる主光路Ｍに加えて、等傾角干渉を発生
させる副光路Ｓを形成し、この副光路Ｓにおける干渉光
をイメージセンサ２３で受光するようにしている。
は、図３に示す従来の光学系１における、物体からの光
に干渉を起させる主光路Ｍに加えて、等傾角干渉を発生
させる副光路Ｓを形成し、この副光路Ｓにおける干渉光
をイメージセンサ２３で受光するようにしている。
【００１９】この副光路Ｓは、レーザー光を光路中に入
射する半透鏡１９の延長部と、マイケルソン干渉計１４
の半透鏡１４ａ，固定鏡１４ｂ，移動鏡１４ｃの夫々に
設けた延長部により形成される。この副光路Ｓへのレー
ザー光の入射のため、レンズ８の前方に半透鏡２０，２
１を設け、固定鏡１４ｂの延長部に微小角度θの傾斜面
１４ｄを形成し、等傾角干渉を生じさせている。そし
て、この干渉光を小さな固定鏡２２で受けてイメージセ
ンサ２３に入射させている。なお、図１で図３と同一符
号を付した部分は、図３と同等物を示し、説明を省略す
る。
射する半透鏡１９の延長部と、マイケルソン干渉計１４
の半透鏡１４ａ，固定鏡１４ｂ，移動鏡１４ｃの夫々に
設けた延長部により形成される。この副光路Ｓへのレー
ザー光の入射のため、レンズ８の前方に半透鏡２０，２
１を設け、固定鏡１４ｂの延長部に微小角度θの傾斜面
１４ｄを形成し、等傾角干渉を生じさせている。そし
て、この干渉光を小さな固定鏡２２で受けてイメージセ
ンサ２３に入射させている。なお、図１で図３と同一符
号を付した部分は、図３と同等物を示し、説明を省略す
る。
【００２０】上記構成の光学系１１を用いた分光測定の
手順を説明する。
手順を説明する。
【００２１】始めに、光路差ｘが０のサンプリング点を
決定する。これは、レーザー光源７の位置に図示しない
白色光源を配置し、主光路Ｍの中心を通る白色光に対し
て光電変換素子５で最大の干渉光が検出される位置に、
移動鏡１４ｃを位置決めして行う。マイケルソン干渉計
１４における光路差ｘが０であれば、全ての波長の光成
分が位相差０で干渉し、最大の光強度が得られるわけで
ある。なお、このとき、同様の原理で、固定鏡１４ｂと
移動鏡１４ｃの傾きを修正することができる。
決定する。これは、レーザー光源７の位置に図示しない
白色光源を配置し、主光路Ｍの中心を通る白色光に対し
て光電変換素子５で最大の干渉光が検出される位置に、
移動鏡１４ｃを位置決めして行う。マイケルソン干渉計
１４における光路差ｘが０であれば、全ての波長の光成
分が位相差０で干渉し、最大の光強度が得られるわけで
ある。なお、このとき、同様の原理で、固定鏡１４ｂと
移動鏡１４ｃの傾きを修正することができる。
【００２２】次に、イメージセンサ２３の受光素子の使
用範囲を決定する。
用範囲を決定する。
【００２３】レーザー光源７からレーザー光を照射し、
副光路Ｓを通って等傾角干渉した光をイメージセンサ２
３で受けると、最初の光路差０のときの干渉光は、図２
に示すように上記傾斜面１４ｄの傾き方向と対応する受
光素子の並び方向に、所定ピッチの位相変化を示してい
る。この干渉光の位相は光路差ｘの増加に従い図示した
ように移動するものである。
副光路Ｓを通って等傾角干渉した光をイメージセンサ２
３で受けると、最初の光路差０のときの干渉光は、図２
に示すように上記傾斜面１４ｄの傾き方向と対応する受
光素子の並び方向に、所定ピッチの位相変化を示してい
る。この干渉光の位相は光路差ｘの増加に従い図示した
ように移動するものである。
【００２４】ここで、受光素子の使用範囲を決定する。
これは、例えば図示したように、両端の受光素子が同一
位相の干渉光を受けている受光素子の所定区間の並びで
ある。
これは、例えば図示したように、両端の受光素子が同一
位相の干渉光を受けている受光素子の所定区間の並びで
ある。
【００２５】従来例で説明したように、サンプリング点
は干渉強度の急変点で決定するのが精度向上のため好ま
しいので、この選定は、例えば各受光素子の出力の最大
値と最小値の平均をコンパレータの判定レベルとして用
い、図示したように、この判定レベルの出力をしている
２つの受光素子ｉ0,ｉnを使用範囲の両端として定め
る。以上の操作によって測定の準備が整い、測定を開始
する。
は干渉強度の急変点で決定するのが精度向上のため好ま
しいので、この選定は、例えば各受光素子の出力の最大
値と最小値の平均をコンパレータの判定レベルとして用
い、図示したように、この判定レベルの出力をしている
２つの受光素子ｉ0,ｉnを使用範囲の両端として定め
る。以上の操作によって測定の準備が整い、測定を開始
する。
【００２６】初期状態では、光路差０の原点位置にある
ので、直ちに、上記レーザー光に代え物体からの光を主
光路Ｍに通して、その光強度Ｉ（０）を光電変換素子５
で測定する。
ので、直ちに、上記レーザー光に代え物体からの光を主
光路Ｍに通して、その光強度Ｉ（０）を光電変換素子５
で測定する。
【００２７】これ以降の測定のサンプリング点は、上述
したように使用範囲が定められたイメージセンサ２３の
受光素子の並びｉ0,ｉ1,ｉ2,…,ｉnから、受光素子を１
個ずつ循環・選択して使用する。すなわち、移動鏡１４
ｃを動かし始めると、まず受光素子ｉ1を使用し、その
出力が上記コンパレータの判定レベルに達した位置（光
路差ｘ1）をサンプリング点として決定する。これによ
って、レーザー光の入射を止め、物体からの光の干渉強
度の測定が行われれば、次にｉ2→ｉ3→ｉ4という順に
選択作用し、ｉn-1に達するとｉ0に戻るといった手順
で、この選択使用を繰返す。
したように使用範囲が定められたイメージセンサ２３の
受光素子の並びｉ0,ｉ1,ｉ2,…,ｉnから、受光素子を１
個ずつ循環・選択して使用する。すなわち、移動鏡１４
ｃを動かし始めると、まず受光素子ｉ1を使用し、その
出力が上記コンパレータの判定レベルに達した位置（光
路差ｘ1）をサンプリング点として決定する。これによ
って、レーザー光の入射を止め、物体からの光の干渉強
度の測定が行われれば、次にｉ2→ｉ3→ｉ4という順に
選択作用し、ｉn-1に達するとｉ0に戻るといった手順
で、この選択使用を繰返す。
【００２８】なお、受光素子はｉ0→ｉ1→ｉ2の方向
に、副光路Ｓにおける位相差ｘが減少しているものとす
る。
に、副光路Ｓにおける位相差ｘが減少しているものとす
る。
【００２９】このようなサンプリング点の決定方式で
は、例えば上記使用範囲（ｉ0,ｉ1,ｉ 2,…,ｉn）の受光
素子数が４００１個であったとすると、レーザー光の波
長λに対してλ÷（２×４０００）の微小ピッチでサン
プリング点を決定でき、可視光のみならず紫外光までの
スペクトル解析が可能になる。
は、例えば上記使用範囲（ｉ0,ｉ1,ｉ 2,…,ｉn）の受光
素子数が４００１個であったとすると、レーザー光の波
長λに対してλ÷（２×４０００）の微小ピッチでサン
プリング点を決定でき、可視光のみならず紫外光までの
スペクトル解析が可能になる。
【００３０】なお、上記実施例においては、傾斜面１４
ｄは固定鏡１４ｂに形成した例を示したが、移動鏡１４
ｃに形成してもよい。
ｄは固定鏡１４ｂに形成した例を示したが、移動鏡１４
ｃに形成してもよい。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、マイケルソン干渉計の
鏡に微小角度の傾斜面を設けて形成した副光路にレーザ
ー光を通して得られる干渉光をイメージセンサで受ける
ことにより、従来使用するレーザー光の波長λの１／２
でしか決定できなかった、サンプリング点数を飛躍的に
増加させることができ、可視光から紫外光までの分光が
可能になる。
鏡に微小角度の傾斜面を設けて形成した副光路にレーザ
ー光を通して得られる干渉光をイメージセンサで受ける
ことにより、従来使用するレーザー光の波長λの１／２
でしか決定できなかった、サンプリング点数を飛躍的に
増加させることができ、可視光から紫外光までの分光が
可能になる。
【図１】本発明の分光方法を実施するフーリエ分光装置
の光学系を示す図
の光学系を示す図
【図２】図１の光学系でイメージセンサの受光素子に入
射する干渉光の光路差ｘに対する位相変化状態を示す図
射する干渉光の光路差ｘに対する位相変化状態を示す図
【図３】従来のフーリエ分光装置の光学系を示す図
【図４】図３の光学系でサンプリング点を決定する方法
を説明するレーザー光の干渉波形図
を説明するレーザー光の干渉波形図
２ スリット ３，６，８ レンズ ５ 光電変換素子 ７ レーザー光源 １１ フーリエ分光装置の光学系 １４ マイケルソン干渉計 １４ａ 半透鏡 １４ｂ 固定鏡 １４ｃ 移動鏡 １４ｄ 微小角度θの傾斜面 ２０，２１ 半透鏡 ２２ 小さな固定鏡 ２３ イメージセンサ Ｍ 主光路 Ｓ 副光路
Claims (1)
- 【請求項１】 傾けた半透鏡に固定鏡と移動鏡を対面さ
せて光路差ｘを変化させるマイケルソン干渉計に、レン
ズで平行光に変えた光を入射し、これによって得た干渉
光を光電変換素子で受光して、光路差ｘに対する干渉信
号Ｆ（ｘ）を測定し、この干渉信号Ｆ（ｘ）を光路差方
向にフーリエ変換することにより光のスペクトル密度分
布を得るようにしたフーリエ分光装置において、 上記マイケルソン干渉計の鏡の一部に微小角度の傾斜面
を形成して、上記分光を行う主光路と平行に等傾角干渉
を生じる副光路を形成し、特定波長λを持つレーザー光
をこの副光路に入射して得られる干渉光をイメージセン
サに結像させ、上記移動鏡を動かしながら、イメージセ
ンサの所定区間の受光素子を並び方向に循環・選択して
得られる干渉信号について光路差のλ／２の変化点を検
出して、上記レーザー光波長のλ／２ピッチよりも短い
ピッチで主光路の光路差ｘが変化するサンプリング点を
決定することを特徴とするフーリエ分光装置における短
波長領域測定のためのサンプリング用光路差の決定方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16265392A JPH063192A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | フーリエ分光装置における短波長領域測定のためのサンプリング用光路差の決定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16265392A JPH063192A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | フーリエ分光装置における短波長領域測定のためのサンプリング用光路差の決定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063192A true JPH063192A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=15758719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16265392A Withdrawn JPH063192A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | フーリエ分光装置における短波長領域測定のためのサンプリング用光路差の決定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063192A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011148726A1 (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-01 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 干渉計およびフーリエ変換分光分析装置 |
| JP2015175678A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 株式会社日立エルジーデータストレージ | 光断層観察装置 |
| WO2017135356A1 (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 日本分光株式会社 | フーリエ変換型分光装置を用いたスペクトル測定方法 |
| EP2634551A4 (en) * | 2010-10-28 | 2018-04-04 | Konica Minolta, Inc. | Interferometer and fourier-transform spectroscopic analyzer |
-
1992
- 1992-06-22 JP JP16265392A patent/JPH063192A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011148726A1 (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-01 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 干渉計およびフーリエ変換分光分析装置 |
| JPWO2011148726A1 (ja) * | 2010-05-28 | 2013-07-25 | コニカミノルタ株式会社 | 干渉計およびフーリエ変換分光分析装置 |
| EP2634551A4 (en) * | 2010-10-28 | 2018-04-04 | Konica Minolta, Inc. | Interferometer and fourier-transform spectroscopic analyzer |
| JP2015175678A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 株式会社日立エルジーデータストレージ | 光断層観察装置 |
| WO2017135356A1 (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 日本分光株式会社 | フーリエ変換型分光装置を用いたスペクトル測定方法 |
| JPWO2017135356A1 (ja) * | 2016-02-04 | 2018-05-31 | 日本分光株式会社 | フーリエ変換型分光装置を用いたスペクトル測定方法 |
| US10317283B2 (en) | 2016-02-04 | 2019-06-11 | Jasco Corporation | Spectrum measurement method using fourier transform type spectroscopic device |
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