JPH03131375A - 超音波振動を誘起する方法及び装置と超音波清掃装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明（は、１９８９年５月１日付米国特許願第３４５
．８８９号明細書の追加に係わる。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、超音波による装置及び方法、ことに超音波清
掃を行う装置及び方法のような超音波処理を行う装置及
び方法、なおとぐに清掃流体中に浸した又は少なくとも
この流体に接触した物体の超音波清掃のためにこの清掃
流体中の誘起のように、超音波処理に使うために超音波
振動を誘起する装置及び方法に関する。

〔発明の背景〕

従来の超音波清掃は通常、清掃しようとする物体を清掃
タンク内の溜めに保持される清掃流体の浴に浸し、この
浴に超音波振動を加えて隋帰流体内にいわゆる流体中の
キャビテーションを生成スるのに十分な超音波振動を誘
起するようにすることによって行われる。このようなキ
ャビテーショ（１べ） ンは流体内に微小な空隙を生成する。これ等の空隙は内
側に破裂することにより、浴中に浸した物体の表面の清
掃ができる洗浄作用を貸ｅ）。超音波振動は、通常音の
外側でタンクの底壁に沿い一般にタンクに固定された超
音波変換器により誘起され、超音波発生器により駆動さ
れ、振動してタンク内の流体に超音波振動を伝える共振
面を生成する。若干の例では超音波変換器は、所要の超
音波振動を誘起するように浴内に浸した別個のパワバン
クにより形成した共振面に固定しである。

変換器は通常接着剤で接着することにより固定する。最
も一般的に使われる超音波変換器は、タンク又はパワー
バンクの共振面にエポキシ接着剤により接着したセラミ
ック変換器である。エポキシ接着剤と超音波変換器の固
定に関して一般的に使われる同様な接着剤とは、一般に
極めて硬く又もろくてこれ等の材料がひび割れを生じて
、清掃流体に超音波振動を適当に伝えるため１（、変換
器及びタンク壁又はパワーバンクの間の所望の連結を得
るのに必要な固定状態を保持することができ（１４） なくなる。変換器を保持する接着が破損すると、変換器
の有効性を損するだけでなく又、変換器の断線と変換器
を駆動する超音波発生器の破壊とを招く。超音波掃除機
内に超音波変換器を固着する接着部の破損の一般的な原
因は次の通りである。

物体は、清掃タンクに落されタンク底部又は浸されたパ
ワーバンクに、接着部が破損し変換器がはずれるのに十
分な力で当たる。超音波掃除機はタンク内に存在する清
掃流体がなくても不時に作動し変換器及び超音波発生器
は負荷なしに作動し接着を破損し変換器及び超音波発生
器の最終的の破壊を招く。清掃流体は接着剤と軟化させ
又は融解もさせ接着部の破損を生ずる。

本発明は、超音波変換器を超音波流体入りの密封室に固
定し、この密封室を超音波清掃処理の際に清掃流体に結
合するように超音波処理に使うために結合して、清掃タ
ンクの壁に又は浸漬できるパワーバンクの類似の共振面
に直接には接着しないで、各変換器をこの室内の超音波
流体を介して清掃流体に結合する。この室は、超音波流
体を閉じ込めこの超音波流体を大気から隔離するように
密封し、この密封した室からガスを抜くように真空圧に
さらすのがよい。このようにして変換器と変換器及び密
封室間の接着とは、清掃タンクの壁に向かい落丁した物
体が接着に影響を受けないようにして清掃タンクの溜め
から隔１朧する。変換器は、密封室内の超音波流体中で
超音波振動を生ずるようにつねに作用し負荷なしでは不
時に作動することができない。清掃タンク内の加熱され
た清掃流体の使用は、この加熱された清掃流体が、接着
剤を臨界の軟化温度又は融解温度以下に保つように独自
に冷却できる超音波流体により接着部から隔離されるの
で、接着部に有害な作用を及ぼさないで適応できる。さ
らに超音波振動の伝達のために別個の密封室を使用する
と超音波処理法とくに超音波清掃を従来受入れられない
区域にも延長することができる。

従って本発明は、複数の目的及び利点を持ちその若干を
次に要約する装置及び方法を提供するものである。すな
わち本発明は、使用中に出会うと考えられる条件により
超音波処理の装置及び方法における超音波振動の源の損
傷を防ぎ、超音波処理とぐに超音波による処理及び清掃
の融通性及び使用範囲を一層増し、超音波処理の装置及
び方法に対する新ら゛たな使用分野を開き、超音波処理
装置とぐに超音波処理清掃装置の信頼性を同時に複雑さ
は増さないで高め、超音波処理の装置及び方法の使用に
操作手順を簡略下することができ、層長い使用寿命にわ
たり一層広く使用できる一層丈夫な超音波処理清掃装置
を提供するものである。

前記した目的及び利点と共に別の目的及び利点は、超音
波清掃処理で清掃しようとする物体を清掃するためにこ
の物体に接触する清掃流体中に超音波振動を誘起するよ
うに、超音波処理に使うための超音波振動を誘起する装
置及び方法として簡単に述べる本発明により得られる。

本発明による装置及び方法は、大気から隔離した閉じ込
められた超音波流体媒体中に超音波振動を生ずる手段及
び工程と、超音波処理に使うように閉じ込められた振動
する超音波流体媒体を結合したとえば超音（１７） 波清掃・処理で閉じ込められた超音波流体媒体に清掃流
体を結合して清掃流体中に超音波振＠を誘起するように
する手段及び工程とを包含する。

〔実施例〕

実施例について図面を参照して説明するととくに第１図
において超音波処理は、本発明により構成され物体１２
ｆ：超音波により清掃する超音波清掃装置１０に形成し
た超音波処理装置で実施する。

物体１２は、装置１０の清掃タンク２０により形成した
溜め１６内に保持した清掃流体１４の浴内に浸しである
。清掃タンク２０は、タンク２０の周辺のまわりで溜め
１．６の側部を形成する上向きに延びる側壁２２と、溜
め１６の底部を形成する底壁２４とを備えている。

別の壁２６は、底壁２４の下方に位置し、底壁２４から
下方に間隔を隔てた内側面２８を備え、溜め１６に隣接
し底壁２４により形成した共通の仕切により溜め１６か
ら隔離した室３０を生成する。室３０には超音波流体３
２を満たしである。

超音波流体３２一般に液体は超音波振＠ｈを最も有（１
日） 効に伝えることのできるように超音波清掃業界で知られ
ている流体から選定する。−層一般的な超音波流体には
、水及び洗浄剤の混合物と塩素化液体及びふっ素化液体
とがある。これ等のうち任意のものを超音波流体３２用
に適当に選定する。

超音波発生手段は室３０と結合され室３０内の超音波流
体３２内に超音波振動を発生する。超音波発生手段は、
たとえば接着剤３８により別の壁２６の外側面３６に固
定した超音波変換器３４と導線４２により超音波変換器
３４に接続した超音波発生器４０とから成っている。超
音波発生器４０の作動時には超音波変換器３４は室３０
内の超音波流体３２に超音波振動を誘起する。室３０に
は超音波流体３２を満たしであるから、超音波流体３２
は、清掃タンク２０の低壁２４により形成した共通の仕
切に隣接する。この共通の仕切は、超音波流体３２を構
成する超音波流体媒体と組合って、振動超音波流体３２
に清掃タンク２０内の溜め１６中の清掃流体１４を結合
する結合手段として作用し、超音波振動を清掃流体１４
に誘起し物体１２を超音波清掃する。

室３０に超音波流体３２を確実に満たし又超音波流体３
２から成る媒体を清掃流体１４に適当に結合するように
、充てん管４４及び逃し管４５、が共に室３０に連通し
清掃タンク２０の底４２４の上方の高さまで上向きに延
びている。容管４４゜４５、はキャップ４８の形の密封
手段を備えている。

各キャップ４８をはずすと、室３０に超音波流体３２を
満たし、超音波流体３２を容管４４　、４Ｂ内で、室３
０に充てんして超音波流体３２が清掃タンク２０の底壁
２４により形成した共通の仕切に隣接するレベルまで上
昇させる。このようにして変換器３４により生ずる超音
波振動は別の壁２６と超音波流体３２とタンク２０の底
壁２４とを経て溜め１６内の清掃流体１４に伝播する。

室３０は密封され、超音波流体３２を室３０内に閉じ込
め所望の超音波振動が室３０内の超音波流体３２に確実
に生ずるようにする。超音波流体が大気にさらされると
、時間の経過に伴いキャビテションが減少し超音波流体
の超音波振動の発生の有効性が著しく低下するのが認め
られる。このような有効性の低下を避けるように超音波
流体３２は室３０を密封することにより大気から隔離す
る。

超音波流体３２を密封室３０に閉じ込めることにより、
超音波流体３２内に超音波振動を発生する際の変換器３
４の有効性が保持され効率は高いままになっている。

装置１０の構造は、超音波変換器３４を清掃タンク２０
の底壁２４から離して位置させ超音波変換器３４を溜め
１６内の清掃流体１４に室３０内の超音波流体３２″ｆ
、介して結合する。すなわち清掃タンク２０内にタンク
底壁２４に向かい落下させた物体１２の衝撃は、底壁２
４に対する比較的重い物体の衝突時にも、この衝突の衝
撃が室３０内の超音波流体３２により分散し散逸し又接
着剤３８により得られる接着が妨げられないままになっ
ている点で超音波変換器３４から隔離される。

さらに装置１０を清掃タンク２０の溜め１６内に清掃流
体１４がほとんど又は全くない状態で不時に作動すると
、超音波流体３２の室３０は超音波ｒす１） 変換器３４又は超音波発生器４０の断線又は破壊を伴わ
ないでこのような作動ができるのに十分な負荷を超音波
変換器３４及び超音波発生器４０に加える。

第２図では別の装置１１０が本発明によりこの装置に超
音波変換器を接着する接着剤に有害な作用を及ぼさな旨
で熱い又は極めて熱くても清掃流体の使用を容易にする
方式を示す。すなわち装置１１０は、装置１１０の清掃
タンク１２０により形成した溜め１１６内に保持した清
掃流体１１４の浴を備えている。清掃タンク１２０は、
タンク１２００周辺のまわりで溜め１１６の側部を形成
する上向きに延びる側壁１２２と、溜め１１６の底部を
形成する底壁１２４とを備えている。別の壁１２６は、
底壁１２４の下方に位置し底壁１２４から下方に間隔を
隔て室１３０を形成する。室１３０は、溜め１１６に隣
接し、底壁１２４にょシ形成した共通の仕切によフ溜め
１１６から隔離しである。室１３０には超音波流体１３
２を満たしである。

ｆりり） 超音波発生手段は室１３０に結合され室１３０内の超音
波流体１３２中に超音波振動を発生する。

超音波発生手段は、接着剤１３８等により別の壁１２６
の外側面１３６に固定した超音波変換器１３４と導線１
４２により超音波変換器１３４に接続した超音波発生器
１４０とから成っている。

超音波発生器１４０の作動時には超音波変換器１３４は
、室１３０内の超音波流体１３２に超音波振動を誘起す
る。室１３０には超音波流体１３２を満たしであるから
、超音波流体１３２は清掃タンク１２０の底壁１２４に
′より形成した共通の仕切に隣接し、この共通の仕切は
、超音波流体１３２から成る超音波流体媒体に組合って
、振動する超音波流体１３２を清掃タンク１２０内の溜
め１１６の清掃流体１１４に結合する結合手段として作
用し、すべて第１図の実施例について前記したように清
掃流体１１４内に超音波振動を誘起する。前記の場合と
同様に室１３０は密封され、超音波流体１３２を閉じ込
めて大気から隔離する。

超音波流体１３２の密封室１３０は、熱い清掃流体１１
４と超音波変換器１３４を室１３０の別の壁１２６の外
面１３６に接着する接着剤１３８との間の緩衝剤として
作用することにより、接着剤１３８により得られる接着
の完全性に妥協を行わないで清掃流体１１４を温度を高
くして使・うことができる。超音波変換器１３４及び外
面１３６間の接着剤による接着をさらに保護するために
、超音波流体１３２を熱交換器１５０を経て循環させ超
音波流体１３２を冷却し接着剤１３８の温度を許容限度
内に保つ。すなわちポンプ１５２により超音波流体１３
２を、室１３０及び熱交換器１５０に連通する導管１５
４を経て循環させる。

第６図の実施例は第２図の実施例と同様であり同様な部
品には同じ参照数字を付しである。しかし第６図の実施
例では超音波流体１３２自体は熱交換器１５０を経て循
環させないで、導管１５４を、密封室１３０と室１３０
内の超音波流体１３２とを通過する冷却コイル１５６に
連結する。熱交換媒体１５８は、冷却コイル１５６及び
導管１５４により形成した密閉循環路を経て熱交換器１
５０にポンプ１５２によＶ循環させることにより接着剤
１３８の温度を許容限度内に有効に保つ。室１３０は部
分１４８で密封され、超音波流体１３２を閉じ込めて大
気から隔離する。

第４図には本発明の別の実施例を、物体２１２を超音波
清掃しようとする装置２１０として例示しである。清掃
流体２１４は、側壁２２２及び底壁２２４を持つ清掃タ
ンク２２０内の溜め２１６に保持しである。超音波清掃
単位２２６は、清掃流体２１４の溜め２１６内に浸され
、超音波流体２３２を満たした密封室２３０を備えてい
る。超音波変換器２３４は室内壁２３８の外面２３６に
固定され導線２４２により超音波発生器２４０に接続し
である。

超音波清掃単位２２６はノ・ウジング２４４を備えてい
る。ハウジング２４４は室内壁２３８により室２３０と
室２３０にその外側で隣接する区画２４５、に分割され
る。区画２４５、内には超音波変換器２３４を入れであ
る。区画２４５、は、清掃流体２１４に対して密封され
、このためにシール（２５） ２４８を備えて区画２４５、及びシール２４８がｆ換器
２３４を清掃流体２１４に接触しないように封入する囲
い手段として作用するようにしである。

室２３０内の超音波流体２３２は室２３０内に閉じ込め
て密封され室壁部分２５０を介して清掃流体２１４に結
合され、超音波流体２３２内の超音波変換器２３４の動
作により誘起する超音波振動が清掃流体２１４に伝えら
れ物体２１２の超音波清掃を行う。前記した各実施例の
場合と同様に超音波変換器２３４を溜め２１６から離し
て位置させ、変換器２３４を清掃しようとする落下物体
の衝撃に対し又断線又は破壊を排除するのに十分な負荷
なしで作動することがないように保護する。

超音波清掃単位２２６は、溜め２１６内の清掃流体２１
４の浴内に浸され、室壁の結合部分２５０から離れてハ
ウジング２４４０基体部分２５２に沿いタンク２２０の
底壁２２４に乗り、この単位全広範囲の種類の清掃タン
ク内に浸すことができることによって、従来利用できる
よりもはるかに広い範囲の用途に超音波清掃を応用でき
るように（２６） する。

第５図では本発明により、カーペットを敷いた又は敷い
てない床又は類似の表面の形の物体の清掃の場合のよう
に半ば乾式の応用に超音波清掃を利用できるようにする
。超音波清掃単位３１０は超音波流体３１４を満たした
室３１２（ｉ−備えている。超音波流体３１４は、室３
１２内に封入して密封し大気から隔離する。複数の超音
波変換器３１６を密封室３１２の上壁３１８に固定し導
線３２２を介し超音波発生器３２０に接続しである。

室３１２は、床面３２６により例示したように清掃しよ
うとする表面に当てかうようにした下壁３２４を備えて
いる。清掃液体３２８のフィルムは、室３１２の下壁３
２４と表面３２６との間に保持され、又超音波変換器３
１６の作用により室３１２内の超音波流体３１４に誘起
する超音波撮１φは清掃液体３２８に伝えられ下壁３２
４を清掃液体３２８に結合することによって表面３２６
の清掃が行われる。

超音波清掃単位３１０は表面３２６に沿って移動させる
。室３１２の下壁３２４はみぞ形３３０に形成して、最
小体積の清掃液体を利用し下壁３２４の下面３３２が清
掃液体３２８の有効フィルムを保持できる能力を高める
。すなわち各みぞ３３４は、下面３３２に沿って延び清
掃液体３２８のフィルムを下面３３２と清掃しようとす
る表面３２６との間に保持するのに役立つ。さらにみぞ
形彫状は、各みぞ３３４間のリプ３３６が屈従面内に幾
分人込み清掃作用を高める点でカーペットを敷いた表面
のような屈従面をこするのに役立つ。

第６図に示すように超音波清掃装置１０の室３０内の超
音波流体３２内に超音波振動を発生する能力は、室３０
からガスを抜くことにより高められる。このために真空
ポンプ５０のような真空源が弁５２を経て室３０に通じ
ている。室３０に超音波流体３２を満たすと、弁５２′
ｆｆ：開き、室３０内のガスを抜く。次いで弁５２を閉
じ室３０を密閉し超音波流体３２を室３０内に閉じ込め
大気から隔離する。ガスをこのように除くと密封室３０
内の超腎波流体３２中に超音波振動を発生する能力を増
し、超＃彼清掃の得られる機構を向上させる。すなわち
超音波流体３２からのガスの除去によりキャビチルジョ
ンが促進される。ガスを抜くことによって清掃タンク２
０の底壁２４がわずかに下方に湾曲し、底壁２４が幾分
張力を受ける。底壁２４の湾曲及び張力により清掃タン
ク２０内の清掃流体１４への超音波流体３２の結合を高
め清掃流体１４内に超音波振動を一層有効に誘起する。

同様に超音波清掃装置２２６の室２３０の超音波流体２
３２内に超音波振動を発生する能力を、室２３０からガ
スを抜くことにより高める。すなわち第７図に示すよう
に真空ポンプ２６０のような真空源が弁２３２を経て室
２３０に通じている。

室２３０に超音波流体２３２を満たすと、弁２３２を開
き室２３０内のガスを抜く。次いで弁２３２を閉じ室２
３０を密封し、大気がら隔離された室２３０内に超音波
流体２３２を閉じ込める。このようにガスを除去すると
、密封された室２３０内の超音波流体２３２中に超音波
振動を発生する能Ｃ９９） 力を増し超音波清掃の行われる機構を向上し、すなわち
超音波流体２３２からガスを除くことによりキャビテー
ションを促進する。室２３０からのガス抜きは、室壁を
部分２３４で内方にわずかに湾曲させるのに十分である
。室壁の部分２３４に卦ける湾曲及び引張りにより、超
音波流体２３２から清掃しようとする物品への超音波振
動の伝達を向上する。

本発明により、使用中に出会いやすい条件によって超音
波処理の装置及び方法における超音波振動の源の破壊を
防ぐ装置及び方法が可能になり、超音波処理とぐに超音
波清掃の融通性及び使用範囲を増すことができ、超音波
処理の装置及び方法の新規な使用分野を開き、超音波処
理装置とくに超音波処理清掃装置の信頼性を複雑さの増
大は伴わないで増し、超音波処理の装置の使用時の操作
手順を簡略化でき、−層丈夫な超音波処理装置とくに一
層長い使用寿命にわたり一層広く使うことのできる超音
波処理清掃装置を提供するのは明らかである。

（６０） 以」二本発明をその好適な実施例について詳細に説明し
たが本発明はなおその精神を逸脱しないで種種の変化変
型を行うことができるのはもちろんである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の１実姉例を一部を縦断面にして示
す斜視図である。 第２図は本発明の他の実施例による装置の縦断面図であ
る。 第６図は本発明のなお別の実施例による装置の縦断面図
である。 第４図は本発明のさらに別の実施例による装置の縦断面
図である。 第５図は本発明の曲の実施例による装置の縦断面図であ
る。 第６図は本発明の別の実施例による装置を一部を縦断面
にして示す斜視図である。 第７図は本発明のさらに別の実症例による装置の、ａ：
断面図である。 １０・・・超音波振動誘起装置、１２・・・物体、１４
清掃流体、 ・・結合手段、 ０・・・室、 ２・・・ 超音波流体、 ・・超音発生手段、 ８・・・密封手 段 話惠 手続ネ市二１−Ｆ１）（方式〉 １ 事件の表示 平成２年特許願第１１１．８９７号 ３、補正をする者 事件との関係 ！ｌ寺ｊ午出臥 エドウアド、工仁ペツツィヴイア チュ （平成２年７月３１日発送） （４）図面の浄書（内容に変更なし）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、清掃しようとする物体に接触する清掃流体にこの物
   体を超音波清掃するように超音波振動を誘起する装置に
   おいて、 室と、 この室内の超音波流体と、 前記室を密封しこの室内に前記超音波流体を閉じ込めて
   大気から隔離するようにした密封手段と、前記の密封さ
   れた室に結合されこの密封室内の超音波流体中に超音波
   振動を発生する超音波発生手段と、 前記の振動する超音波流体を前記清掃流体に結合してこ
   の清掃流体に超音波振動を誘起するようにした結合手段
   と を包含する超音波振動誘起装置。 ２、前記室に室壁を設け、前記結合手段を前記室壁の少
   なくとも一部分により構成した請求項１記載の装置。 ３、前記室壁に、超音波流体と接触する内側面と外側面
   とを設け、前記超音波発生手段を前記室壁の外側面に固
   定した少なくとも１個の超音波変換器により構成した請
   求項２記載の装置。 ４、超音波変換器を、前記結合手段を構成する前記室壁
   部分から離れた室壁外側面に固定した請求項５記載の装
   置。 ５、前記密封室にその外側で隣接する区画を備え、超音
   波発生手段を前記区画内で前記密封室に固定した少なく
   とも１個の超音波変換器により構成した請求項１記載の
   装置。 ６、清掃流体に接触しないように前記区画内に超音波変
   換器を囲む囲い手段を備え、清掃流体及び超音波変換器
   の間に接触を生じないで清掃流体内に浸されるようにし
   た請求項５記載の装置。 ７、超音波流体から熱を除去するように前記密封室に結
   合した熱交換手段を備えた請求項１記載の装置。 ８、前記熱交換手段に、前記室の外側に超音波流体を循
   環させ前記密封室の外側で超音波流体を冷却するように
   した手段を設けた請求項７記載の装置。 ９、熱交換手段に、前記密封室内の超音波流体を経て熱
   交換媒体を循環させる手段を設けた請求項９記載の装置
   。 １０、清掃流体に浸した物体を清掃する超音波清掃装置
   において、 清掃流体を保持し清掃タンク内部の清掃流体中に浸すよ
   うに物体を受ける溜めを持つ清掃タンクと、前記の清掃
   タンク内の溜めに隣接しこの溜めから隔離され、前記清
   掃タンクに隣接し前記溜め内の清掃流体から隔離して密
   封室内部に閉じ込め大気から隔離するようにした超音波
   流体を入れるようにした密封室と、 この密封室に結合されこの密封室内の超音波流体中に超
   音波振動を発生し超音波流体を経て超音波振動を伝播さ
   せこれ等の超音波振動が前記溜め内の清掃流体中に誘起
   され前記の清掃タンク内の清掃流体中に浸した物体を清
   掃するようにした超音波発生手段と を包含する超音波清掃装置。 １１、前記の溜め及び密封室の間に共通の壁を備えて、
   前記の清掃流体及び超音波流体を前記共通壁により隔離
   するようにした請求項１０記載の清掃装置。 １２、前記超音波発生手段を、前記密封室に固定した少
   なくとも１個の超音波変換器により構成した請求項１１
   記載の清掃装置。 １３、前記密封室に前記共通壁に対向する室壁を設け、
   前記超音波変換器を前記の共通壁に対向する室壁に固定
   した請求項１２記載の清掃装置。 １４、前記超音波変換器を前記密封室の外側に位置させ
   た請求項１６記載の清掃装置。 １５、清掃しようとする物体に接触する清掃流体中にこ
   の物体を超音波清掃するように超音波振動を誘起する方
   法において、 密封室内に閉じ込められ大気から隔離するようにした超
   音波流体媒体に超音波振動を生じさせ、前記密封室を清
   掃流体に並置して振動する超音波流体に清掃流体を結合
   しこの清掃流体に超音波振動を誘起するようにする ことから成る誘起法。 １６、清掃流体に対する前記密封室の並置により、この
   密封室を清掃流体内に浸す請求項１５記載の誘起法。 １７、前記室からガスを抜き次いでこの室を密封する請
   求項１５記載の誘起法。 １８、清掃しようとする物体に接触する清掃流体にこの
   物体を超音波清掃するように超音波振動を誘起する方法
   において、 大気から隔離した閉じ込めた超音波流体媒体に超音波振
   動を生じさせ、 前記の閉じ込めた振動する超音波流体媒体に清掃流体を
   結合し清掃流体に超音波振動を誘起するようにする ことから成る誘起法。 １９、超音波流体媒体を室内に閉じ込め、超音波流体媒
   体を閉じ込めた前記室からガスを抜き次いでこの室を密
   封する請求項１８記載の誘起法。 ２０、清掃しようとする物体に接触する清掃流体にこの
   物体を超音波清掃するように超音波振動を誘起する装置
   において、 大気から隔離した閉じ込めた超音波振動を生ずる手段と
   、 前記の閉じ込めた振動する超音波流体媒体に清掃流体を
   結合して清掃流体に超音波振動を誘起するようにする結
   合手段と を包含する超音波振動誘起装置。 ２１、超音波流体媒体を閉じ込める室と、この超音波流
   体媒体を閉じ込める室からガスを抜く手段と、前記室を
   密封する密封手段とを備えた請求項２０記載の誘起装置
   。 ２２、物体を超音波清掃するように超音波振動を誘起す
   る装置において、 室と、 この室内の超音波流体と、 前記室を密封しその超音波流体を前記室内に閉じ込め大
   気から隔離するようにした密封手段と、前記密封室に結
   合されこの密封室内の超音波流体に超音波振動を発生さ
   せる超音波発生手段と、振動する超音波流体に清掃しよ
   うとする物体を結合する結合手段と を包含する超音波振動誘起装置。 ２６、前記密封室にその外側で隣接する区画を備え、前
   記超音波発生手段を前記区画内で前記密封室に固定した
   少なくとも１個の超音波変換器により構成した請求項２
   ２記載の誘起装置。 ２４、前記超音波変換器を前記区画内に囲み前記の清掃
   流体及び超音波変換器の間に接触を生じないで装置全体
   を清掃流体内に浸すようにした包囲手段を備えた請求項
   ２３記載の誘起装置。 ２５、超音波処理に使うように超音波振動を誘起する装
   置において、 室と、 この室内の超音波流体と、 前記室を密封しこの室内に超音波流体を閉じ込め大気か
   ら隔離するようにした密封手段と、前記密封室に結合さ
   れこの密封室内の超音波流体に超音波振動を発生させる
   超音波発生手段と、超音波処理に使うように振動する超
   音波流体を結合する結合手段と を包含する誘起装置。 ２６、前記室に室壁を設け、前記結合手段に前記室壁の
   少なくとも一部分を設けた請求項２５記載の誘起装置。 ２７、前記室壁に超音波流体に接触する内側面と外側面
   とを設け、超音波発生手段を前記の室壁の外側面に固定
   した少なくとも１個の超音波変換器により構成した請求
   項２６記載の装置。 ２８、前記超音波変換器を、前記結合手段を構成する前
   記室壁部分から遠い方の室壁外側面に固定した請求項２
   ７記載の誘起装置。 ２９、前記密封室にその外側で隣接する区画を備え、前
   記超音波発生手段を前記区画内で前記密封室に固定した
   少なくとも１個の超音波変換器により構成した請求項２
   ５記載の誘起装置。 ３０、前記区画内に前記超音波変換器を囲む包囲手段を
   備えた請求項２９記載の誘記装置。 ３１、処理流体内に浸した物体を処理する超音波処理装
   置において、 処理流体を保持し物体を受けて処理タンク内部の処理流
   体中に浸すようにした溜めを持つ処理タンクと、 この処理タンク内の前記溜めに隣接しこの溜めから隔離
   され、前記処理タンクに隣接し前記溜め内の処理流体か
   ら隔離して密封室内部に閉じ込めて大気から隔離するよ
   うにした超音波流体を入れる密封室と、 この密封室に結合されこの密封室内の超音波流体に超音
   波振動を発生させこの超音波流体を経て超音波振動を伝
   播させ前記溜め内の処理流体に超音波振動を誘起して前
   記処理タンク内の処理流体中に浸した物体を処理するよ
   うにした超音波発生手段と を包含する処理装置。 ３２、前記の溜め及び密封室の間に共通の壁を備え、こ
   の共通壁により処理流体及び超音波流体を隔離するよう
   にした請求項３１記載の処理装置。 ３５、超音波発生手段を前記密封室に固定した少なくと
   も１個の超音波変換器により構成した請求項３２記載の
   処理装置。 ３４、前記密封室に、前記共通壁に対向する室壁を設け
   、この共通壁に対向する室壁に超音波変換器を固定した
   請求項３３記載の処理装置。 ３５、前記超音波変換器を前記密封室の外側に当てがつ
   た請求項３４記載の処理装置。 ３６、処理しようとする物体に接触する処理流体にこの
   物体を超音波処理するように超音波振動を誘起する方法
   において、 密封室内に閉じ込められ大気から隔離するようにした超
   音波流体媒体に超音波振動を生じさせ、前記密封室に処
   理流体を並置し前記の振動する超音波流体媒体に処理流
   体を結合しこの処理流体に超音波振動を誘起するように
   する ことから成る超音波振動誘起法。 ３７、処理流体に対する前記密封室の並置により、前記
   密封室を処理流体内に浸す請求項３６記載の誘起法。 ３８、前記室からガスを抜き次いでこの室を密封する請
   求項３７記載の誘起法。 ３９、超音波処理に使うように超音波振動を誘起する方
   法において、 大気から隔離した閉じ込めた超音波流体媒体に超音波振
   動を生じさせ、 閉じ込めた振動する超音波流体媒体を超音波処理に使う
   ように結合する ことから成る超音波振動誘起法。 ４０、超音波流体媒体を室内に閉じ込め、超音波流体媒
   体を閉じ込めた前記室からガスを抜き、次いで前記室を
   密封する請求項３９記載の誘起法。 ４１、超音波処理に使うように超音波振動を誘起する装
   置において、 大気から隔離した閉じ込めた超音波流体媒体に超音波振
   動を生じさせる手段と、 閉じ込めた振動する超音波流体媒体を超音波処理に使う
   ように結合する結合手段と を包含する超音波振動誘起装置。 ４２、超音波流体媒体を閉じ込める室と、超音波流体媒
   体を閉じ込めた室からガスを抜く手段と、前記室を密封
   する密封手段とを備えた請求項４１記載の誘起装置。 ４５、物体を超音波処理するように超音波振動を誘起す
   る装置において、 室と、 この室内の超音波流体と、 前記室を密封しこの室内に超音波流体を閉じ込め大気か
   ら隔離するようにした密封手段と、前記の密封された室
   に結合されこの密封された室内の超音波流体に超音波振
   動を発生させる超音波発生手段と、 処理しようとする物体を振動する超音波流体に結合する
   結合手段と を包含する超音波振動誘起装置。 ４４、前記密封室にその外側で隣接する区画を備え、前
   記超音波発生手段を前記区画内で前記密封室に固定した
   少なくとも１個の超音波変換器により構成した請求項４
   ３記載の誘起装置。 ４５、前記超音波変換器を前記区画内に囲む包囲手段を
   備えた請求項４４記載の誘起装置。