JPH03122493A - 雰囲気熱処理炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［ａ業上の利用分野］ 本発明は、所要雰囲気下で電子部品、軽合金、化成原材
料その他の焼成、酸化等の熱処理を行うため、ほぼ水平
に連設した複数の炉芯管内を雰囲気ガスが供給される熱
処理室としてなる雰囲気熱処理炉に関する。

［従来の技術］ 従来、この種の雰囲気熱処理炉は、処理室の外側に配置
されたヒーターにとって雰囲気ガスが有害な場合、ヒー
ターが炉芯管の接続部（目地）から漏洩する雰囲気ガス
に直接曝されるのを防ぐため、炉芯管を二重とし、漏洩
ガスをヒーター室に流さずに、炉外に排気する構成とな
っている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記従来の７囲気熱処理炉においては、
二重の炉芯管の外側にヒーターが配置されるので伝熱効
率が極めて悪くなり、熱処理室を所要温度に保持するた
めに、必要以上にヒーターの表面温度が上昇したり、負
荷が大きくなる。

従りて、熱処理の温度によりては、適切なヒーター材質
が無かったり、寿命が著しく短くなる問題がある。

そこで、本発明は、伝熱効率を高め、かつ、ヒーター寿
命を延ばし得る雰囲気熱処理炉の提供を目的とする。

［課題を解決するための手段］ 前記課題を解決するため、本発明の雰囲気熱処理炉は、
ほぼ水平に連設した複数の炉芯管内を雰囲気ガスが供給
される熱処理室としてなる雰囲気熱処理炉において、前
記熱処理室とこれを同軸的に囲む耐火断熱層との間に空
間を形成する一方、この空間を前記各炉芯管の中間部側
と端部側とで気密に仕切ってヒーター室と目地室とを設
け、この目地室に排気口を設けたものである。

［作　用］ 上記手段においては、炉芯管が一重となり、かつ、その
目地から漏洩したガスがヒーター室に流れ込まない。

目地室には、排気口のみならず給気口を設け、この給気
口からフォーミングガスを供給し、目地から漏れた雰囲
気ガスとともに排気口から炉外へ導出し、燃焼させるこ
とが望ましい。

又、ヒーター室にも、給気口を設け、目地室よりも僅か
に高い圧力の空気等を供給することが好ましく、このよ
うにすることにより、目地室からのガスの流入を二重に
防止し得、かつ、その寿命を一層延ばすことができる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を雰囲気焼成炉の概念を示す第
１図と共に説明する。

図中１はトンネル状の焼成室で、アルミナ質耐火物から
なる比較的短い複数の炉芯管２をほぼ水平に連設したも
のの内に形成されている。焼成室１の一端側（第１図に
おいては左端側）には、被焼成品を搬入する搬入室３が
連設されており、この搬入室３には、ＮＨ３ガス等の７
囲気ガスを焼成室１に供給する雰囲気ガス給気口４が付
設されている。一方、焼成室１の他端側には、焼成品を
搬出する搬出室５が連設されており、この搬出室５には
、雰囲気ガスを排出する雰囲気ガス排気口６が付設され
ている。雰囲気ガス排気口６から排気される雰囲気ガス
は、ＬＰＧ等を用いたパイロットバーナー７を用いて焼
成させられる。

焼成室１の外周には、鋼板等の外被８の内側に取付けた
耐火断熱層９により焼成室１を同軸的に囲むことによっ
て筒状の気密空間が形成されており、この空間には、円
輪板状の隔壁１０により前記各炉芯管２の中間部側と端
部側とを気密に仕切ってヒーター室１１と目地室１２と
が設けられている。そして、各ヒーター室１１には、Ｓ
ｉＣ発熱体等のヒーター（図示せず）が収容さ、れてい
ると共に、このヒーター室１１内に後述するように目地
室１２内に供給されるフォーミングガスの圧力より僅か
に高い圧力又は大気圧で空気等を供給する給気口１３が
その下部に付設されている。

一方、各目地室１２には、Ｎ２ガス等のフォーミングガ
スをそれぞれの目地室１２内に供給するフォーミングガ
ス給気口１４がその下部に付設され、かつ炉芯管２の目
地２ａから漏洩した雰囲気ガスと共にフォーミングガス
を排出するフォーミングガス排気口１５がその上部に付
設されている。フォーミングガス排気口１５から排気さ
れるフォーミングガス及び雰囲気ガスは、前述した雰囲
気ガス排気口６から排気される雰囲気ガスと同様に焼成
させられる。

上記構成の雰囲気焼成炉をＩ桑炉したところ枯、ヒータ
ーには、特に異常は認められず、通常雰囲気（空気）で
使用した場合と同等の期間使用可能であった。

一方、第１図に示した炉において隔壁１０を取り除き、
他は同様の条件で操炉した場合、実施例の炉に比し、約
１１５の期間でヒーターに折損等が発生し、使用不可能
となった。

［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、炉芯管が一重となり、か
つ、その目地から漏洩したガスがヒー命を大気中での使
用と同程度にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す雰囲気焼成炉の概念図
である。 １・・・焼成室　　　　　　２・・・炉芯管２ａ・・・
目地　　　　　　４・・・：囲気ガス給気口６・・・７
囲気ガス排気口　９・・・耐火断熱層１ ０・・・隔壁 １・・・ヒーター室 ２・・・目地室 ４・・・フォーミングガス排気口 ５・・・フォーミングガス排気口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ほぼ水平に連設した複数の炉芯管内を雰囲気ガス
   が供給される熱処理室としてなる雰囲気熱処理炉におい
   て、前記熱処理室とこれを同軸的に囲む耐火断熱層との
   間に空間を形成する一方、この空間を前記各炉芯管の中
   間部側と端部側とで気密に仕切ってヒーター室と目地室
   とを設け、この目地室に排気口を設けたことを特徴とす
   る雰囲気熱処理炉。