JPH03116449A - 偏光スイッチを利用した合焦方法および装置 - Google Patents
偏光スイッチを利用した合焦方法および装置Info
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- JPH03116449A JPH03116449A JP1124317A JP12431789A JPH03116449A JP H03116449 A JPH03116449 A JP H03116449A JP 1124317 A JP1124317 A JP 1124317A JP 12431789 A JP12431789 A JP 12431789A JP H03116449 A JPH03116449 A JP H03116449A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
（産業上の利用分野］
本発明は、光学装置に係り、特に光ディスクなどの光学
的情報記録再生システムにおける光ビームスポットの合
焦方法及び装置、さらには、上記システムにおける光ビ
ームのトラッキング装置に関する。
的情報記録再生システムにおける光ビームスポットの合
焦方法及び装置、さらには、上記システムにおける光ビ
ームのトラッキング装置に関する。
光学データ記憶装置、レーザビームプリンタ等の光学デ
ータ処理用途においては、回折で制限された分解能で光
点を移動面上に合焦しなければならない。 移動面は光
点の分解能より相当大きい範囲で変動しているのが普通
であるため、移動面に対する光点の位置を検出して、必
要であればそれを修正しなげれならない。 従来より光学ディスク装置などでは、上述のような合焦
を行うために、集束レンズの位置を移動させる機械的ア
クチュエータが用いられてきた。 ［発明が解決しようとする課題］ しかし、機械的に集束レンズを移動させる方法にはいく
つかの欠点がある。その一つとして、集束レンズを機械
的に可動にすることによって、振動やｆｉ撃に弱いとい
う欠点がある。また、機械的動作は比較的遅いうえに、
故障を生じやすいという欠点もあげらる。 本発明の目的は、光点を、機械的手段に依らず、所望と
する移動面上に追随させ１合焦させる方法及び装置を提
供することにある。 ［課題を解決するための手段］ 上記本発明の目的は、装置に入射する光の偏光状態に依
って、その結像特性を変化せしめる合焦方法もしくは合
焦手段を用いることによって達成される。 本発明においては、機械的アクチュエータの代わりに光
の偏光方向を切り換えるスイッチング素子が用いられる
。
ータ処理用途においては、回折で制限された分解能で光
点を移動面上に合焦しなければならない。 移動面は光
点の分解能より相当大きい範囲で変動しているのが普通
であるため、移動面に対する光点の位置を検出して、必
要であればそれを修正しなげれならない。 従来より光学ディスク装置などでは、上述のような合焦
を行うために、集束レンズの位置を移動させる機械的ア
クチュエータが用いられてきた。 ［発明が解決しようとする課題］ しかし、機械的に集束レンズを移動させる方法にはいく
つかの欠点がある。その一つとして、集束レンズを機械
的に可動にすることによって、振動やｆｉ撃に弱いとい
う欠点がある。また、機械的動作は比較的遅いうえに、
故障を生じやすいという欠点もあげらる。 本発明の目的は、光点を、機械的手段に依らず、所望と
する移動面上に追随させ１合焦させる方法及び装置を提
供することにある。 ［課題を解決するための手段］ 上記本発明の目的は、装置に入射する光の偏光状態に依
って、その結像特性を変化せしめる合焦方法もしくは合
焦手段を用いることによって達成される。 本発明においては、機械的アクチュエータの代わりに光
の偏光方向を切り換えるスイッチング素子が用いられる
。
第１図は本発明の、光点を光軸方向に合焦させる方法の
原理を示している。 Ｘ方向に直線偏光された光を、電子的に切り換え（スイ
ッチング）可能な半波長板ＨＷＰに入射させる。上記Ｈ
ＷＰの切り換え状態に従って、半波長板ＨＷＰ後の光は
Ｘ方向に直線偏光されるかＸ方向に直線偏光される。 レンズＬが例えば石英のような複屈折結晶で形成されて
いるものとし、レンズＬを構成する結晶の光軸をそれぞ
れｙ軸に平行に配向する。するとレンズＬにおいて、光
はいずれかの偏光方向に対応して１通常の屈折率ｎ０と
それに対する焦点距離ｆ０か、あるいは異常屈折率ｎｅ
とそれに対する焦点距離ｆ８のいずれかをとる。 第２図は上述のように光軸上で異なる二つの位置に焦点
を結ばせる可能性を具現する手段を示したものである。 半波長板ＨＷＰと複屈折レンズＢＲＬの原理については
筒に第１図で説明したとおりである。ＢＲＬが石英で形
成されており、第２図に示すように曲率半径Ｒ＝２２．
５ｍｍの平凸レンズであるものとする。また、光の波長
を７８０ｎｍと仮定する。この時レンズの屈折率はｎ。 ＝１．５３８７９、ｎｅ＝１ 、５４７６９となり、そ
の結果、焦点距離はｆｇ”４１．８ｍｍ、ｆｅ＝４１．
１ｍｍとなる。 集束レンズＦＬの焦点距離を３ ｍ ｍとし、開口数を
０．５とすると、集束レンズの焦点深度ＦＤは３．１２
μｍである。その結果、光の全焦点距離は、光が半波長
板ＢＲＬにおいて感応する屈折率により、それぞれ２．
７９８９ｍｍ、または２゜７９５８ ｍ ｍとなる。焦
点距離め差は、３．１μｍであり、はぼ焦点深度に等し
くなっている。 従って光が焦点距＆１ｆ、をとる場合、その光は２．７
９７４ｍｍから２．８００５ｍｍの範囲で。 回折で制限された大きさの光点に集束される。また、焦
点距ＷＨ６をとる場合、その光は２．７９４３ｍｍから
２．７９４ｍｍの範囲で、回折で制限された大きさの光
点に集束される。 こうして回折で制限されたスポットサイズの光点を、半
波長板）−（Ｗ Ｐの切り替え状態に応じて２゜７９７
４ｍｍから２．８００５ｍｍの範囲内に形成することが
できる。すなわち、焦点深度のほぼ２倍である、６．２
μｍの範囲内で正確に光点を合焦できる。 回折で制限された大きさの光点を提供できる範囲を焦点
深度の２倍をこえてさらに拡大するためには、複数段の
切り替え大半波長板および複屈折レンズを縦続接続する
。このようにすると各段ごとにその範囲を２倍にするこ
とができる。 例えば、４０μｍの修正可能な範囲を達成するためには
、４段あればよく、各段においてそれぞれ３μｍから６
μｍ、６μｍから１２７ｚｍ、１２μｍから２４μｍ、
２４μｍから４８μｍ八と拡大することができる。
原理を示している。 Ｘ方向に直線偏光された光を、電子的に切り換え（スイ
ッチング）可能な半波長板ＨＷＰに入射させる。上記Ｈ
ＷＰの切り換え状態に従って、半波長板ＨＷＰ後の光は
Ｘ方向に直線偏光されるかＸ方向に直線偏光される。 レンズＬが例えば石英のような複屈折結晶で形成されて
いるものとし、レンズＬを構成する結晶の光軸をそれぞ
れｙ軸に平行に配向する。するとレンズＬにおいて、光
はいずれかの偏光方向に対応して１通常の屈折率ｎ０と
それに対する焦点距離ｆ０か、あるいは異常屈折率ｎｅ
とそれに対する焦点距離ｆ８のいずれかをとる。 第２図は上述のように光軸上で異なる二つの位置に焦点
を結ばせる可能性を具現する手段を示したものである。 半波長板ＨＷＰと複屈折レンズＢＲＬの原理については
筒に第１図で説明したとおりである。ＢＲＬが石英で形
成されており、第２図に示すように曲率半径Ｒ＝２２．
５ｍｍの平凸レンズであるものとする。また、光の波長
を７８０ｎｍと仮定する。この時レンズの屈折率はｎ。 ＝１．５３８７９、ｎｅ＝１ 、５４７６９となり、そ
の結果、焦点距離はｆｇ”４１．８ｍｍ、ｆｅ＝４１．
１ｍｍとなる。 集束レンズＦＬの焦点距離を３ ｍ ｍとし、開口数を
０．５とすると、集束レンズの焦点深度ＦＤは３．１２
μｍである。その結果、光の全焦点距離は、光が半波長
板ＢＲＬにおいて感応する屈折率により、それぞれ２．
７９８９ｍｍ、または２゜７９５８ ｍ ｍとなる。焦
点距離め差は、３．１μｍであり、はぼ焦点深度に等し
くなっている。 従って光が焦点距＆１ｆ、をとる場合、その光は２．７
９７４ｍｍから２．８００５ｍｍの範囲で。 回折で制限された大きさの光点に集束される。また、焦
点距ＷＨ６をとる場合、その光は２．７９４３ｍｍから
２．７９４ｍｍの範囲で、回折で制限された大きさの光
点に集束される。 こうして回折で制限されたスポットサイズの光点を、半
波長板）−（Ｗ Ｐの切り替え状態に応じて２゜７９７
４ｍｍから２．８００５ｍｍの範囲内に形成することが
できる。すなわち、焦点深度のほぼ２倍である、６．２
μｍの範囲内で正確に光点を合焦できる。 回折で制限された大きさの光点を提供できる範囲を焦点
深度の２倍をこえてさらに拡大するためには、複数段の
切り替え大半波長板および複屈折レンズを縦続接続する
。このようにすると各段ごとにその範囲を２倍にするこ
とができる。 例えば、４０μｍの修正可能な範囲を達成するためには
、４段あればよく、各段においてそれぞれ３μｍから６
μｍ、６μｍから１２７ｚｍ、１２μｍから２４μｍ、
２４μｍから４８μｍ八と拡大することができる。
【実施例］
第３図は本発明の一実施例の光学ディスク用ピックアッ
プを示している。 この装置は、５段の切り替え大半波長板（ＨＷＰ１〜Ｉ
−Ｉ Ｗ Ｐ 、 ）および複屈折レンズ（ＢＲＬ、〜
ＢＲＬ４およびＦＬ）を縦続接続しており、ディスク面
のほぼ１００μｍの範囲の光軸方向のゆれに追随させて
光点を合焦させることができる。 レーザダイオードＬＤから出射された光がコリメートレ
ンズＣＬによってコリメートされる。ビームスプリッタ
ＢＳを通過後、それぞれ切り替え大半波長板と複屈折レ
ンズからなる４つの切り替え段に順次入射する。これら
の各段は、第１段で焦点を、Ｉ×焦点深度＝３μｍ移動
し、第２段で６μｍ、第３段で１２μｍ、第４段で８×
焦点深度＝２４μｍ移動するように設計されている。第
４段から入射した光は第５段目の切り替え大半波長板Ｈ
ＷＰ５を通過した後、鏡Ｍによって集束レンズＦＬおよ
び光学ディスクＤに向かって偏向される。 第２図で用いたデータを適用するとともに、集束レンズ
についても石英で形成されているものとすると、入射光
の偏光状態により集束レンズの焦点距離は２，９７６ｍ
ｍおよび３，０２５ｍｍのいずれかとなる。従って焦点
の移動量はほぼ１６Ｘ焦点深度＝４８μｍとなる。 光学ディスクＤによって反射された光は入射光と逆の経
路をたどって集束レンズＦＬを通過した後、ｉＩｔＭに
よって反射され、半波長板ＨＷＰ５および４つの段を通
過する。その光の少なくとも一部はビームスプリッタＢ
Ｓによって反射され、適宜の光検出器でデータ信号及び
サーボ信号を検出することができる。 焦点誤差信号と半波長板の切り換え状態により新しい半
波長板の切り換え状態が決定される。 本発明によれば、横方向の光点の駆動についても同じよ
うに実現できる。 ウォラストンプリズムのような複屈折材料からなるプリ
ズムに平行光が入射する場合、八ｎを通常屈折率と異常
屈折率の差、βを第４図に示したプリズム角とするとき
、（１）式 ％式％（１） によって光の偏向角αが求められる。 集束レンズＦＬの焦点距離をｆとすると、光点の横方向
変位量ΔＸは、ｆ−ｔａｎαによって求められる。 例えばウォラストンプリズムが角度β＝４５″の石英で
構成され、集束レンズＦＬの焦点距離が５ｍｍ、光の波
長が７８０ｍｍ （→Δｎ＝８．９Ｘ１０＋３）である
とき、変位ｆｆｉΔｘは＋４４．５μｍとなる。従って
、上記の合焦方法と同様にスプリット角の異なるウォラ
ストンプリズムを複数段、複屈折レンズの代わりに用い
ることによって、横方向の光点の合焦位置の駆動が可能
となる。 第５図は上記横方向の合焦位置調節のための装置の実施
例を示す。この場合の用途も光学ディスク用ピックアッ
プを例に示す。 レーザーダイオードＬＤから発射された光は、コリメー
タレンズＣＬによって平行光にコリメートされた後、ビ
ーノ、スプリッタＢＳを通過する。 次いで、上記の光ビームは２段の、それぞれ切り換え式
半波長板ＨＷ ＰいＨＷＰ２とウォラストンプリズムＷ
Ｐ４、ＷＦ２からなる光偏向素子に順次入射せしめられ
る。 初段のウォラストンプリズムＷＰ□は光ビームを角度α
、＝±０．５°偏向させ、第２段のウォラストンプリズ
ムＷＰ２はα２＝±Ｏ，，２５’偏向させる。 ２つの偏向段を通過した光は、鏡Ｍによって反射されて
、集束レンズＦＬに向かう。集束レンズＦＬが光を光学
ディスクＤ上に合焦する。少なくとも一部の光が、光学
ディスクに反射されて、往路と同じ経路を順次逆にたど
って、ビームスプリッタＢＳに至る。ビームスプリッタ
ＢＳでは少なくとも一部の光が反射され、光検出素子に
入射せしめられ、そこでデータ信号とサーボ信号が誘導
されろ。 集束レンズＦＬの焦点ｆｆｌ［を５ｍｍとすると、偏向
角α１＝±０．５°およびα２＝±０．２５゜は、それ
ぞれ変位量Δｘ、＝±４４．５μｍ、ΔＸ２＝±２２．
２５μｍに相当する。 従って、半波長板の切り換え状態に応じて、ウォラスト
ンプリズムＷＰによる光点の横方向変位量が４つの値、
すなわち、−６６，７５μｍ、２２．２５μｍ、＋２２
．２５μｍ、＋６６．７５μｍのいずれかとなる。 残る±ｉ１．３０μｍでの範囲のレーザスボッ）〜の合
焦点の微３Ａ整を行うことができれば、光点の横方向の
調整を機械的運動を伴わずに実現できる。 微調整は第５図に示すように、鏡Ｍをやや傾斜させるな
どの方法をとることによっても容易に行うことができる
。この場合の傾斜角α、は±０゜０６５°の範囲でｙＪ
４整すればよい。 もう１つの方法として、第６図に示すような音響光学偏
向機ＡＯＤを用いてもよい。この実施例では、第５図の
例と同様に、レーザダイオードから発射された光がコリ
メータレンズによりコリメートされた後、ビームスプリ
ッタなどを通過し、前記と同様の複数段の切り換え式半
波長板ＨＷＰとウォラストンプリズムＷＰによる偏向を
受け、ディスクＤに入射し、反射光が検出される。 前記第５図の実施例と異なる点は、鏡Ｍの傾斜角の調整
で微調整を行う代わりに、音響光学偏向機ＡＯＤを用い
て微腑整のための光路偏向をさせている点である。 以上１機械的運動を用いることなく焦点深度より相当大
きい範囲で回折限界の光点を形成する方法について説明
してきた。ここで、本発明が上記実施例で１例示的な意
味でのみ示した実施態様および用途に限定されるもので
ないことは勿論である。例えば、使用する光が直ａ偏光
ではなく、円形偏光である場合には、複屈折レンズの代
わりに光学的特性を可変とするレンズもしくはプリズム
を用いることが可能である。 【発明の効果】 以上に述べたように、本発明によれば、所望とするレー
ザービームなどの微小な光点を、機械的手段に依らず、
所望とする移動面上に追随させ、合焦させることが可能
となる。このことにより。 光ディスク、光テープ、光ドラムのような、光学的情報
記録媒体を用いた情報の記録あるいは再生におけるそれ
ら動作の高速化、高精度化がはかれる。
プを示している。 この装置は、５段の切り替え大半波長板（ＨＷＰ１〜Ｉ
−Ｉ Ｗ Ｐ 、 ）および複屈折レンズ（ＢＲＬ、〜
ＢＲＬ４およびＦＬ）を縦続接続しており、ディスク面
のほぼ１００μｍの範囲の光軸方向のゆれに追随させて
光点を合焦させることができる。 レーザダイオードＬＤから出射された光がコリメートレ
ンズＣＬによってコリメートされる。ビームスプリッタ
ＢＳを通過後、それぞれ切り替え大半波長板と複屈折レ
ンズからなる４つの切り替え段に順次入射する。これら
の各段は、第１段で焦点を、Ｉ×焦点深度＝３μｍ移動
し、第２段で６μｍ、第３段で１２μｍ、第４段で８×
焦点深度＝２４μｍ移動するように設計されている。第
４段から入射した光は第５段目の切り替え大半波長板Ｈ
ＷＰ５を通過した後、鏡Ｍによって集束レンズＦＬおよ
び光学ディスクＤに向かって偏向される。 第２図で用いたデータを適用するとともに、集束レンズ
についても石英で形成されているものとすると、入射光
の偏光状態により集束レンズの焦点距離は２，９７６ｍ
ｍおよび３，０２５ｍｍのいずれかとなる。従って焦点
の移動量はほぼ１６Ｘ焦点深度＝４８μｍとなる。 光学ディスクＤによって反射された光は入射光と逆の経
路をたどって集束レンズＦＬを通過した後、ｉＩｔＭに
よって反射され、半波長板ＨＷＰ５および４つの段を通
過する。その光の少なくとも一部はビームスプリッタＢ
Ｓによって反射され、適宜の光検出器でデータ信号及び
サーボ信号を検出することができる。 焦点誤差信号と半波長板の切り換え状態により新しい半
波長板の切り換え状態が決定される。 本発明によれば、横方向の光点の駆動についても同じよ
うに実現できる。 ウォラストンプリズムのような複屈折材料からなるプリ
ズムに平行光が入射する場合、八ｎを通常屈折率と異常
屈折率の差、βを第４図に示したプリズム角とするとき
、（１）式 ％式％（１） によって光の偏向角αが求められる。 集束レンズＦＬの焦点距離をｆとすると、光点の横方向
変位量ΔＸは、ｆ−ｔａｎαによって求められる。 例えばウォラストンプリズムが角度β＝４５″の石英で
構成され、集束レンズＦＬの焦点距離が５ｍｍ、光の波
長が７８０ｍｍ （→Δｎ＝８．９Ｘ１０＋３）である
とき、変位ｆｆｉΔｘは＋４４．５μｍとなる。従って
、上記の合焦方法と同様にスプリット角の異なるウォラ
ストンプリズムを複数段、複屈折レンズの代わりに用い
ることによって、横方向の光点の合焦位置の駆動が可能
となる。 第５図は上記横方向の合焦位置調節のための装置の実施
例を示す。この場合の用途も光学ディスク用ピックアッ
プを例に示す。 レーザーダイオードＬＤから発射された光は、コリメー
タレンズＣＬによって平行光にコリメートされた後、ビ
ーノ、スプリッタＢＳを通過する。 次いで、上記の光ビームは２段の、それぞれ切り換え式
半波長板ＨＷ ＰいＨＷＰ２とウォラストンプリズムＷ
Ｐ４、ＷＦ２からなる光偏向素子に順次入射せしめられ
る。 初段のウォラストンプリズムＷＰ□は光ビームを角度α
、＝±０．５°偏向させ、第２段のウォラストンプリズ
ムＷＰ２はα２＝±Ｏ，，２５’偏向させる。 ２つの偏向段を通過した光は、鏡Ｍによって反射されて
、集束レンズＦＬに向かう。集束レンズＦＬが光を光学
ディスクＤ上に合焦する。少なくとも一部の光が、光学
ディスクに反射されて、往路と同じ経路を順次逆にたど
って、ビームスプリッタＢＳに至る。ビームスプリッタ
ＢＳでは少なくとも一部の光が反射され、光検出素子に
入射せしめられ、そこでデータ信号とサーボ信号が誘導
されろ。 集束レンズＦＬの焦点ｆｆｌ［を５ｍｍとすると、偏向
角α１＝±０．５°およびα２＝±０．２５゜は、それ
ぞれ変位量Δｘ、＝±４４．５μｍ、ΔＸ２＝±２２．
２５μｍに相当する。 従って、半波長板の切り換え状態に応じて、ウォラスト
ンプリズムＷＰによる光点の横方向変位量が４つの値、
すなわち、−６６，７５μｍ、２２．２５μｍ、＋２２
．２５μｍ、＋６６．７５μｍのいずれかとなる。 残る±ｉ１．３０μｍでの範囲のレーザスボッ）〜の合
焦点の微３Ａ整を行うことができれば、光点の横方向の
調整を機械的運動を伴わずに実現できる。 微調整は第５図に示すように、鏡Ｍをやや傾斜させるな
どの方法をとることによっても容易に行うことができる
。この場合の傾斜角α、は±０゜０６５°の範囲でｙＪ
４整すればよい。 もう１つの方法として、第６図に示すような音響光学偏
向機ＡＯＤを用いてもよい。この実施例では、第５図の
例と同様に、レーザダイオードから発射された光がコリ
メータレンズによりコリメートされた後、ビームスプリ
ッタなどを通過し、前記と同様の複数段の切り換え式半
波長板ＨＷＰとウォラストンプリズムＷＰによる偏向を
受け、ディスクＤに入射し、反射光が検出される。 前記第５図の実施例と異なる点は、鏡Ｍの傾斜角の調整
で微調整を行う代わりに、音響光学偏向機ＡＯＤを用い
て微腑整のための光路偏向をさせている点である。 以上１機械的運動を用いることなく焦点深度より相当大
きい範囲で回折限界の光点を形成する方法について説明
してきた。ここで、本発明が上記実施例で１例示的な意
味でのみ示した実施態様および用途に限定されるもので
ないことは勿論である。例えば、使用する光が直ａ偏光
ではなく、円形偏光である場合には、複屈折レンズの代
わりに光学的特性を可変とするレンズもしくはプリズム
を用いることが可能である。 【発明の効果】 以上に述べたように、本発明によれば、所望とするレー
ザービームなどの微小な光点を、機械的手段に依らず、
所望とする移動面上に追随させ、合焦させることが可能
となる。このことにより。 光ディスク、光テープ、光ドラムのような、光学的情報
記録媒体を用いた情報の記録あるいは再生におけるそれ
ら動作の高速化、高精度化がはかれる。
第１図、第２図は本発明の詳細な説明するための光学系
の縦断面図、第３図、第４図、第５図。
の縦断面図、第３図、第４図、第５図。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光ビームを、偏向方向を切り換える偏光スイッチに
入射せしめ、該偏光スイッチの出射光を、偏光方向の相
違によって焦点位置の異なる結像光学系に入射せしめ、
該結像光学系の出射光を所望とする面上に結像せしめる
ことを特徴とする合焦方法。 ２、光ビームを出射する光源と、偏光方向を切り換える
偏光スイッチと、偏光方向によって結像位置が異なる結
像光学系とを有してなることを特徴とする合焦装置。 ３、上記結像光学系が光学複屈折レンズもしくは光学複
屈折プリズムを含んでいる請求項第２項記載の合焦装置
。 ４、上記結像光学系が、光学特性を可変とするレンズも
しくはプリズムを含んでなる請求項第２項記載の合焦装
置。 ５、請求項第２項〜第４項のいずれかに記載の合焦装置
を一つまたはそれ以上含んでおり、該合焦装置によって
結像可能な結像位置の可変範囲を焦点深度より相当大き
くできるように構成されている結像光学系。 ６、請求項第５項記載の結像光学系と焦点誤差検出手段
とを含んでなり、偏光切り換え装置を自動的に切り換え
ることにより、結像位置を修正するように構成されてい
る合焦装置。 ７、請求項第６項記載の合焦装置とトラッキングエラー
検出手段とを含んでなり、偏光切り換え装置を自動的に
切り換えることにより、結像位置を修正するように構成
されているトラッキング装置。 ８、結像位置を光軸方向と、光軸に直角な方向の両方に
調節可能としたことを特徴とする請求項第５項記載の結
像光学系。 ９、請求項第６項ないし第８項記載の装置を備えるレー
ザービームプリンタ。 １０、請求項第６項ないし第８項記載の装置を備える光
情報記録再生装置。 １１、請求項第６項ないし第８項記載の装置を備える光
ディスク。 １２、請求項第６項ないし第８項記載の装置を備える光
テープ。 １３、請求項第６項ないし第８項記載の装置を備える光
ドラム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1124317A JPH03116449A (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 偏光スイッチを利用した合焦方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1124317A JPH03116449A (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 偏光スイッチを利用した合焦方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03116449A true JPH03116449A (ja) | 1991-05-17 |
Family
ID=14882340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1124317A Pending JPH03116449A (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 偏光スイッチを利用した合焦方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03116449A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05225602A (ja) * | 1992-02-14 | 1993-09-03 | Alps Electric Co Ltd | 光ヘッド装置 |
| JP2013538369A (ja) * | 2010-08-30 | 2013-10-10 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | イメージングシステム及びその関連方法 |
| WO2023189715A1 (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | 株式会社東京精密 | レーザ光学系及びその調整方法並びにレーザ加工装置及び方法 |
-
1989
- 1989-05-19 JP JP1124317A patent/JPH03116449A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05225602A (ja) * | 1992-02-14 | 1993-09-03 | Alps Electric Co Ltd | 光ヘッド装置 |
| JP2013538369A (ja) * | 2010-08-30 | 2013-10-10 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | イメージングシステム及びその関連方法 |
| WO2023189715A1 (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | 株式会社東京精密 | レーザ光学系及びその調整方法並びにレーザ加工装置及び方法 |
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